JPH0843433A

JPH0843433A - 加速度センサーとその製造方法

Info

Publication number: JPH0843433A
Application number: JP19774194A
Authority: JP
Inventors: Hiroshi Ito; 浩伊藤; Hidenori Oikawa; 秀紀及川; Yasuhiro Kanai; 康弘金井
Original assignee: Taiyo Yuden Co Ltd
Current assignee: Taiyo Yuden Co Ltd
Priority date: 1994-07-30
Filing date: 1994-07-30
Publication date: 1996-02-16

Abstract

(57)【要約】【目的】組立が容易で、しかも回路基板への搭載も容
易であり、且つ小型化が可能な加速度センサー。【構成】ベース部材１と遊動部材６とを、何れも一対
のハーフ１ａ、１ｂ、６ａ、６ｂにより構成し、これら
ハーフ１ａ、１ｂ、６ａ、６ｂにセンサー素子１１の基
端と自由端とを各々挟持すると共に、遊動部材６のハー
フ６ａ、６ｂの凹部７の中に錘１０を収納し、これらハ
ーフ１ａ、１ｂ、６ａ、６ｂを互いに固定する。遊動部
材６のベース部材１に近い端部側に設けたストッパー
９、９を、ベース部材１の側壁１８、１８と各々所定の
間隔をおいてその内側に配置する。ベース部材１の底面
から突起１６、１６…を突設する共に、ピン状の端子部
材５、５をベース部材１の両側から同部材１に設けた貫
通孔４に嵌合し、同端子部材５、５の先端をセンサー素
子１１の両側の電極に接続する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、圧電要素等のセンサー
素子を用いた加速度センサーに関し、特に比較的低周波
の振動を検知するのに好適なセンサーに関する。

【０００２】

【従来の技術】この種の加速度センサーは、両面をメタ
ライズした矩形の圧電セラミック板を直接または金属板
を介して貼り合わせた、いわゆる圧電バイモルフを使用
し、この一端をベース部材に固定し、その他端を自由端
としたものである。この状態で、圧電バイモルフの厚み
方向に加速度が加わると、圧電バイモルフが撓み、その
両側の電極に電圧が発生する。そこで、この電圧により
加速度を検知する。

【０００３】このような加速度センサーのうち、比較的
低周波の振動を検知する低周波加速度センサーは、比較
的長く、且つ燐青銅板等を挟んで高弾性とした圧電バイ
モルフを使用し、その自由端に錘を取り付けた構成とな
っている。このような加速度センサーでは、圧電バイモ
ルフの固有振動数が比較的低いため、比較的低い周波数
の振動を確実に検知するのに好適である。

【０００４】このような構造を有する加速度センサーに
おいては、圧電バイモルフ、ベース部材及び錘の正確な
組立が要求される。特に、圧電バイモルフの固有振動数
を所定の値とするためには、圧電バイモルフの基端側の
支持基点から錘の重心までの距離を正確に組み立てなけ
ればならない。

【０００５】従来において、このような加速度センサー
を正確に組み立てる手段として、例えば、特開平３−８
４４６６号公報に示されたような技術が知られている。
すなわち、この文献に記載された加速度センサーは、凹
所を有する支持基台とホルダーとが連結片で一体となっ
た成形品を使用し、ホルダーの凹所に錘を嵌め込むと共
に、支持基台とホルダーとに形成されたスリットに、長
尺板状のセンサー素子の基端と自由端側を各々差し込
む。その後、支持基台とホルダーとの凹所に紫外線硬化
性樹脂系接着剤を流し込み、同接着剤を硬化させて錘と
センサー素子を固定する。その後、連結片を切断し、セ
ンサー素子の自由端側が遊動できるようする。

【０００６】さらに、この従来の加速度センサーにおい
て、センサー素子の過度の負荷による破壊を防止するた
め、前記ホルダーの外側に所定の間隔をおいて支持基台
と一体になった枠を設けたものも知られている。この従
来の加速度センサーでは、センサー素子の支持基台側の
支持基点から錘の重心までの距離がばらつくことなく、
正確に組み立てることができる。なお、この従来の加速
度センサーは、回路基板上に接着剤による接着やねじ止
め等の手段で搭載され、センサー素子の両側の電極は、
リード線を介して回路基板上の回路に接続される。

【０００７】

【発明が解決しようとしている課題】しかしながら、前
記従来の加速度センサーにおいては、組立の最後に、支
持基台とホルダーとの凹所に紫外線硬化性樹脂系接着剤
を流し込み、同接着剤を硬化させて錘とセンサー素子を
固定する工程や、連結片を切断する工程が必要であり、
組立の自動化がし難いという課題があった。また、回路
基板上に搭載するときも、支持基台を接着剤やねじ等で
回路基板に固定しなければならず、さらにセンサー素子
の両側の電極も、リード線を介して回路基板上の回路に
接続しなければならない。このため、回路基板上への搭
載も面倒であった。

【０００８】さらに、従来の加速度センサーにおいて
は、ホルダーの外側に基台と一体となった枠を設けるこ
とから、加速度センサー全体が大型化してしまい、小型
化が困難であった。本発明は、前記従来の加速度センサ
ーにおける課題に鑑み、組立が容易で、しかも回路基板
への搭載も容易であり、且つ小型化が可能な加速度セン
サーを提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明では、回路基板１
４上に搭載するとき、回路基板１４上に固定される側の
ベース部材１と、錘になる遊動部材６とを、何れも一対
のハーフ１ａ、１ｂ、６ａ、６ｂにより構成し、これら
ハーフ１ａ、１ｂ、６ａ、６ｂにセンサー素子１１の基
端と自由端とを各々挟持し、この状態でハーフ１ａ、１
ｂ、６ａ、６ｂを互いに固定して一体化することとし
た。

【００１０】すなわち、本発明による加速度センサー
は、撓みにより両側の電極に電気的変化を生じる長尺な
センサー素子１１と、このセンサー素子１１の基端を支
持するベース部材１と、センサー素子１１の自由端に取
り付けられ、ベース部材１に対して遊動自在とされた所
要の重量を有する遊動部材６とを有するものにおいて、
前記遊動部材６が一対のハーフ６ａ、６ｂに前記センサ
ー素子１１の自由端を挟持した状態で、同ハーフ６ａ、
６ｂを互いに固定することで一体化してなり、また前記
ベース部材１も一対のハーフ１ａ、１ｂの挟持部１７に
前記センサー素子１１の基端を挟持した状態で、同ハー
フ１ａ、１ｂを互いに固定することで一体化してなるこ
とを特徴とする。

【００１１】通常の加速度センサーでは、センサー素子
１１の自由端に錘１０が取り付けられるが、この場合
は、遊動部材６のハーフ６ａ、６ｂの対向する面に凹部
７を設け、この凹部７の中に錘１０を収納してハーフ６
ａ、６ｂを互いに固定するようにする。また、加速度セ
ンサーに衝撃が加えられた時などに、センサー素子１１
に過度の負荷がかからないようにするためには、ベース
部材１の遊動部材６に近い側の部分に、所定の間隔で対
向する側壁１８、１８を設け、遊動部材６のベース部材
１に近い端部側にストッパー９、９を設け、このストッ
パー９、９を、前記側壁１８、１８と各々所定の間隔を
おいてその内側に配置する。

【００１２】この加速度センサーを回路基板１４上に固
定するため、好ましくは、ベース部材１の底面から突起
１６、１６…を突設し、この突起１６、１６…を回路基
板１４に予め設けた穴に嵌合して回路基板１４上に搭載
できるようにするとよい。さらに、センサー素子の両側
の電極を回路基板１４に形成された回路に接続するため
の端子部材５、５としては、ピン状のものを用い、この
ピン状の端子部材５、５をベース部材１の両側から同部
材１に設けた貫通孔４に嵌合し、同端子部材５、５の先
端をセンサー素子１１の両側の電極に接続するのがよ
い。

【００１３】このような加速度センサーを得るための本
発明による加速度センサーの製造方法は、一対のハーフ
６ａ、６ｂに前記センサー素子１１の自由端を挟持した
状態で、同ハーフ６ａ、６ｂを互いに固定することで一
体化された遊動部材６とする工程と、一対のハーフ１
ａ、１ｂの挟持部１７に前記センサー素子１１の基端を
挟持した状態で、同ハーフ１ａ、１ｂを互いに固定して
一体化されたベース部材１とする工程とを有する。

【００１４】この場合、前記のストッパー９、９を有す
るものでは、遊動部材６を一体化する工程の後、同遊動
部材６のベース部材１に近い端部側から突設されたスト
ッパー９、９を、ベース部材１のハーフ１ａ、１ｂに対
向して設けた側壁１８、１８の内側に配置した状態で、
ベース部材１を一体化する工程を行う。また、遊動部材
６に錘１０を組み込む場合は、同部材６のハーフ６ａ、
６ｂの対向する面に設けられた凹部７の中に錘１０を収
納すると共に、その端部にセンサー素子１１の自由端を
挟持して互いに固定する。

【００１５】

【作用】本発明による加速度センサーでは、ベース部材
１と遊動部材６とを、何れも一対のハーフ１ａ、１ｂ、
６ａ、６ｂにより構成し、これらハーフ１ａ、１ｂ、６
ａ、６ｂを互いに固定することで一体化するようにした
ので、これらハーフ１ａ、１ｂ、６ａ、６ｂにセンサー
素子１１の基端と自由端とを各々挟持し、この状態でハ
ーフ１ａ、１ｂ、６ａ、６ｂを互いに固定するだけで、
ベース部材１、遊動部材６及びセンサー素子１１の組立
が容易に行える。また、遊動部材６のハーフ６ａ、６ｂ
の対向する面に設けた凹部７の中に錘１０を収納し、ハ
ーフ６ａ、６ｂを互いに固定するので、錘１０の組み込
みも容易である。

【００１６】すなわち、遊動部材６の一対のハーフ６
ａ、６ｂに前記センサー素子１１の自由端を挟持した状
態で、同ハーフ６ａ、６ｂを互いに固定することで一体
化された遊動部材６とし、また、ベース部材１の一対の
ハーフ１ａ、１ｂの挟持部１７に前記センサー素子１１
の基端を挟持した状態で、同ハーフ１ａ、１ｂを互いに
固定して一体化されたベース部材１とするだけで、前記
の加速度センサーが得られる。

【００１７】また、遊動部材６に錘１０を組み込む場合
も、ハーフ６ａ、６ｂを重ね合わせて固定する際に、そ
のハーフ６ａ、６ｂの対向する面に設けられた凹部７の
中に錘１０を収納すればよいので、錘１０を容易に組み
込める。また、ベース部材１の遊動部材６に近い側の部
分に、所定の間隔で対向する側壁１８、１８を設け、遊
動部材６のベース部材１に近い端部側から突設したスト
ッパー９、９をこの側壁１８、１８の内側に挿入するこ
とにより、遊動部材６の外側に枠等を設ける必要が無く
なり、加速度センサー全体を小型化できる。

【００１８】さらに、ベース部材１の底面から突起１
６、１６…を突設することにより、この突起１６、１６
…を回路基板１４に予め設けた穴に嵌合して回路基板１
４上に搭載できるので、回路基板１４への搭載も容易と
なる。加えて、ベース部材１の両側から同部材１に設け
た貫通孔４に嵌合したピン状の端子部材５、５を用いる
ことで、回路基板１４上にこのピン状の端子部材５、５
に対応してランド電極１５、１５を設けておけば、リー
ド線を用いずに、同端子部材５、５を介してセンサー素
子１１の両側の電極を回路基板１４の回路に接続するこ
とができる。

【００１９】

【実施例】次に、図面を参照しながら、本発明の実施例
について具体的且つ詳細に説明する。図１に示すよう
に、本発明の実施例による加速度センサーは、ベース部
材１、遊動部材６、センサー素子１１、錘１０及びピン
状の端子部材５、５からなる。

【００２０】センサー素子１１は、両面をメタライズし
て電極を形成した２枚の圧電セラミック板を用い、それ
ら圧電セラミック板の一方の電極を直接または金属板等
の導体を介して貼り着けた、いわゆるバイモルフ形のセ
ンサー素子１が一般に使用される。特に、低周波振動検
知用の加速度センサーでは、燐青銅板等を挟んで高弾性
とした長尺な圧電バイモルフが使用される。センサー素
子１１としてその他に、歪ゲージや半導体ゲージ等が使
用されることがある。錘１０は、例えば図１に示すよう
な直方体形の金属ブロックが使用されるが、その他に円
柱体形、球形、多角柱形等の金属ブロックが使用され
る。

【００２１】遊動部材６は、対称な形状を有する樹脂等
で作られた一対のハーフ６ａ、６ｂからなる。このハー
フ１ａ、１ｂの一端面からは、ストッパー９、９が突設
されている。さらに、この対向するハーフ６ａ、６ｂの
対向する面のストッパー９、９が突設された端部寄りの
部分には、前記センサー素子１１の端部の厚さの約１／
２の深さのセンサー端部収納部８が形成されている。さ
らに、このセンサー端部収納部８から離れて、ハーフ６
ａ、６ｂの他方の端部寄りに、前記錘１０の半分の形状
の凹部７が形成されている。

【００２２】ベース部材１は、対称な形状を有する樹脂
等で作られた一対のハーフ１ａ、１ｂからなる。このハ
ーフ１ａ、１ｂの一端側には挟持部１７、１７があり、
この挟持部１７、１７の対向する側面には、センサー素
子１１の端部の厚さの約１／２の深さのセンサー端部収
納部２が形成されている。さらに、このセンサー端部収
納部２の一部には、上方に開口した溝状の凹部３、３が
設けれ、この凹部３、３の中に貫通するように、挟持部
１７、１７に貫通孔４、４が設けられている。この貫通
孔４、４は、ハーフ１ａ、１ｂの底面に近い側に設けら
れている。このハーフ１ａ、１ｂの挟持部１７、１７よ
り先端側は、断面Ｌ字形となっている。すなわち、対向
する面側が凹部１９、１９となっており、この凹部１
９、１９の外側が側壁１８、１８となっている。

【００２３】このハーフ１ａ、１ｂの底面の外側部分の
各々両端寄りの位置に、突起１６、１６…が突設されて
いる。なお、図１においてハーフ１ａ側の突起１６、１
６…は、ハーフ１ａに隠れているため見えない。端子部
材５、５は、前記ハーフ１ａ、１ｂに設けられた貫通孔
４、４の直径に対応した先端径を有するピン状のもの
で、基端部はこれより径が大きい。

【００２４】次に、このような構成部材により、加速度
センサーを組み立てる手順について説明する。まず、遊
動部材６の一方のハーフ６ａの凹部７内に錘１０の片側
部分を嵌め込む共に、センサー端部収納部８にセンサー
素子１１の一端を嵌め込む。その後、他方のハーフ６ａ
の対向する側面を前記一方のハーフ６ａの対応する側面
に重ね合わせると共に、その凹部７内に錘１０を挟み込
む共に、センサー端部収納部８にセンサー素子１１の一
端を挟み込む。この状態で、重ね合わせたハーフ６ａ、
６ｂの接合面を、熱融着や高周波融着或は接着剤による
接着等の手段で互いに固定する。これにより、錘１０が
凹部７内に収納されると共に、センサー素子１１の一端
がハーフ６ａ、６ｂの端部に挟持された遊動部材６が出
来上がる。

【００２５】次に、センサー素子１１の他端の両側部分
を、ベース部材１のハーフ１ａ、１ｂの挟持部１７、１
７のセンサー端部収納部２、２に嵌め込み、この状態で
ハーフ１ａ、１ｂの対向する面を重ね合わせ、この面を
やはり熱融着や高周波融着或は接着剤による接着等の手
段で互いに固定する。このとき、前記遊動部材６のスト
ッパー９、９の先端部分を、ベース部材１の凹部１９の
中、つまり両側の側壁１８、１８の内側に配置する。こ
れにより、センサー素子１１の基端部が挟持部１７に支
持されたベース部材１が出来上る。

【００２６】次に、ピン状の端子部材５、５の先端部を
ベース部材１を構成するハーフ１ａ、１ｂの貫通孔４、
４に嵌合し、この端部部材５、５の先端を挟持部１７に
挟持されたセンサー素子１１の端部の両側に挿入し、同
両側面に形成された電極に導電性接着剤２２等を介して
接続する。この端子部材５、５の基端部は、貫通孔４、
４から突出している。

【００２７】このようにして組み立てられた加速度セン
サーを図２と図３に示す。ハーフ１ａ、１ｂは一体とな
ってベース部材１を構成し、その挟持部１７にセンサー
素子１１の基端が支持されている。符号１２は、ハーフ
１ａ、１ｂを互いに固定した接合部を示す。また、貫通
孔４、４に嵌合されたピン状の端子部材５、５の先端が
センサー素子１１の基端部の両側面側に挿入され、その
両面に形成された電極に導電性接着剤２２を介して接続
されている。また、ベース部材１の底面の両端寄りの両
側から突起１６、１６…が突設されている。

【００２８】ベース部材１の挟持部１７より図２、３に
おいて左側には低壁と両側の側壁１８、１８に囲まれた
凹部１９が形成され、その両側に側壁１８、１８が所定
の間隔をもって対向している。センサー素子１１の自由
端側は、このベース部材１の凹部１９内で遊動自在に配
置され、同素子１１に撓みがないときは、同素子１１の
自由端が両側壁１８、１８の中間位置にある。

【００２９】センサー素子１１の自由端に、一対のハー
フ６ａ、６ｂを互いに固定して構成された遊動部材６が
固定され、この遊動部材６の内部に錘１０が収納されて
いる。符号１３は、ハーフ６ａ、６ｂを互いに固定した
接合部を示す。このまた、遊動部材６の端面から突設さ
れたストッパー９、９の先端がベース部材１の側壁１
８、１８の間に配置される。センサー素子１１に撓みが
ないとき、両側のストッパ９、９とその両側のベース部
材１の側壁１８、１８との間隔は、何れも等しい。そし
て、この加速度センサーに衝撃が加わったようにとき、
ストッパ９、９がその両側の側壁１８、１８に当り、遊
動部材６の遊動幅を規制し、これによりセンサー素子１
１の過度の撓みが防止される。

【００３０】図４〜図６は、この加速度センサーを回路
基板上に搭載した状態を示している。回路基板１４に
は、前記ベース部材１の底面の突起１６、１６の位置に
対応させて、予め取付穴を設けておくと共に、前記挟持
部１７の両側から突出したピン状の端子部材５、５の基
端の位置に対応させてランド電極１５、１５を形成して
おく。そして、前記取付穴にベース部材１の突起１６、
１６を嵌合し、ベース部材１を回路基板１４上に固定す
る。この状態では、ベース部材１の両側面から突出した
端子部材５、５の基端が回路基板１上のランド電極１
５、１５の上に位置するようになっており、端子部材
５、５の基端を、半田等によってランド電極１５、１５
に接続することができる。遊動部材６は、そのストッパ
９、９がベース部材１の側壁１８、１８により規制され
る範囲でセンサー素子１１の厚み方向、すなわち回路基
板１４の板面と平行な方向に遊動自在であり、この遊動
により、センサー素子１１が撓み、その両側面の電極の
間に起電力が生じる。この起電力は、端子部材５、５及
びランド電極１５、１５を介して接続された回路基板１
上の回路で処理され、振動が検知される。

【００３１】図７は、本発明の他の実施例を示してい
る。この実施例では、ピン状の端子部材５、５に代えて
導体膜による端子を形成している。すなわち、ベース部
材１を構成するハーフ１ａ、１ｂの挟持部１７、１７の
センサー端部収納部２の表面をメタライズすると共に、
挟持部１７、１７の側面及び底面の一部をメタライズし
て端子電極２０、２０を形成し、これら導体膜を挟持部
１７、１７に貫通して設けたスルーホール導体２１、２
１により接続している。このため、ハーフ１ａ、１ｂの
挟持部にセンサー素子１１の端部を挟持した状態でそれ
らを互いに固定し、ベース部材１を構成すると、センサ
ー素子１１の基端部の両側の電極が前記センサー端部収
納部２の表面の導体膜とスルーホール導体２１、２１を
介して前記端子電極２０、２０に接続される。

【００３２】図８、図９は、この加速度センサーを回路
基板上に搭載した状態を示している。回路基板１４の取
付穴にベース部材１の突起１６、１６を嵌合し、ベース
部材１を回路基板１４上に固定することは、前記の実施
例と同じである。この状態では、ベース部材１の両側面
と底面の一部に形成した端子電極２０、２０が回路基板
１上のランド電極１５、１５の上に位置するようになっ
ており、端子電極２１、２１そ、半田等によってランド
電極１５、１５に接続することができる。その他の構成
は、前記実施例と同じである。

【００３３】

【発明の効果】以上説明した通り、本発明によれば、次
のような効果が得られる。第一に、ベース部材１、遊動
部材６、センサー素子１１及び錘１０の組立を容易に行
え、高い生産性を実現できる。第二に、ベース部材１に
所定の間隔で対向する側壁１８、１８を設け、遊動部材
６のストッパー９、９をこの側壁１８、１８の内側に挿
入したものでは、センサー素子１１の過度の撓みを防止
するために遊動部材６の外側に枠等を設ける必要が無く
なり、加速度センサー全体を小型化できる。

【００３４】第三に、ベース部材１の底面から突起１
６、１６…を突設することにより、加速度センサーの回
路基板１４への工程が容易に行える。第四に、ベース部
材１の両側から同部材１に設けた貫通孔４に嵌合したピ
ン状の端子部材５、５を用いたものでは、センサー素子
１１の両側の電極を回路基板１４上のランド電極１５、
１５に容易に接続することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例による加速度センサーの分解斜
視図である。

【図２】同実施例による加速度センサーの組立状態の斜
視図である。

【図３】同実施例による加速度センサーの組立状態の底
面側の斜視図である。

【図４】同実施例による加速度センサーを回路基板上に
搭載した状態の平面図である。

【図５】図４のＡ−Ａ線拡大断面図である。

【図６】同実施例による加速度センサーを回路基板上に
搭載した状態の側面図である。

【図７】本発明の他の実施例による加速度センサーの分
解斜視図である。

【図８】同実施例による加速度センサーを回路基板上に
搭載した状態の平面図である。

【図９】図４のＢ−Ｂ線拡大断面図である。

【符号の説明】

１ベース部材１ａベース部材のハーフ１ｂベース部材のハーフ４貫通孔５端子部材６遊動部材６ａ遊動部材のハーフ６ｂ遊動部材のハーフ７ハーフの凹部９遊動部材のストッパー１０錘１１センサー素子１６ベース部材の底面の突起１７ベース部材の挟持部１８ベース部材の側壁

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】撓みにより両側の電極に電気的変化を生
じる長尺なセンサー素子（１１）と、このセンサー素子
（１１）の基端を支持するベース部材（１）と、センサ
ー素子（１１）の自由端に取り付けられ、ベース部材
（１）に対して遊動自在とされた所要の重量を有する遊
動部材（６）とを有する加速度センサーにおいて、遊動
部材（６）は、一対のハーフ（６ａ）、（６ｂ）に前記
センサー素子（１１）の自由端を挟持した状態で、同ハ
ーフ（６ａ）、（６ｂ）を互いに固定することで一体化
してなり、ベース部材（１）は、一対のハーフ（１
ａ）、（１ｂ）の挟持部（１７）に前記センサー素子
（１１）の基端を挟持した状態で、同ハーフ（１ａ）、
（１ｂ）を互いに固定することで一体化してなることを
特徴とする加速度センサー。
【請求項２】前記請求項１において、遊動部材（６）
のハーフ（６ａ）、（６ｂ）は、その対向する面に凹部
（７）を有し、この凹部（７）の中に錘（１０）を収納
して互いに固定されていることを特徴とする加速度セン
サー。
【請求項３】前記請求項１または２において、ベース
部材（１）の遊動部材（６）に近い側の部分に、所定の
間隔で対向する側壁（１８）、（１８）を有し、遊動部
材（６）のベース部材（１）に近い端部側には、前記側
壁（１８）、（１８）と各々所定の間隔をおいてその内
側に配置されたストッパー（９）、（９）を有すること
を特徴とする加速度センサー。
【請求項４】前記請求項１〜３の何れかにおいて、ピ
ン状の端子部材（５）、（５）がベース部材（１）の両
側から同部材（１）に設けた貫通孔（４）、（４）に嵌
合され、同端子部材（５）、（５）の先端がセンサー素
子（１１）の両側の電極に接続されていることを特徴と
する加速度センサー。
【請求項５】前記請求項１〜４の何れかにおいて、ベ
ース部材（１）の底面から突起（１６）、（１６）…が
突設されていることを特徴とする加速度センサー。
【請求項６】撓みにより両側の電極に電気的変化を生
じる長尺なセンサー素子（１１）と、このセンサー素子
（１１）の基端を支持するベース部材（１）と、センサ
ー素子（１１）の自由端に取り付けられ、ベース部材
（１）に対して遊動自在とされた所要の重量を有する遊
動部材（６）とを有する加速度センサーを製造する方法
において、一対のハーフ（６ａ）、（６ｂ）に前記セン
サー素子（１１）の自由端を挟持した状態で、同ハーフ
（６ａ）、（６ｂ）を互いに固定することで一体化され
た遊動部材（６）とする工程と、一対のハーフ（１
ａ）、（１ｂ）の挟持部（１７）に前記センサー素子
（１１）の基端を挟持した状態で、同ハーフ（１ａ）、
（１ｂ）を互いに固定して一体化されたベース部材
（１）とする工程とを有することを特徴とする加速度セ
ンサーの製造方法。
【請求項７】前記請求項６において、遊動部材（６）
を一体化する工程は、同部材（６）のハーフ（６ａ）、
（６ｂ）の対向する面に設けられた凹部（７）の中に錘
（１０）を収納すると共に、その端部にセンサー素子
（１１）の自由端を挟持して互いに固定する工程である
ことを特徴とする加速度センサーの製造方法。
【請求項８】前記請求項６または７において、遊動部
材（６）を一体化する工程の後、同遊動部材（６）のベ
ース部材（１）に近い端部側から突設されたストッパー
（９）、（９）を、ベース部材（１）のハーフ（１
ａ）、（１ｂ）に対向した設けた側壁（１８）、（１
８）の内側に配置した状態で、ベース部材（１）を一体
化する工程を行うことを特徴とする加速度センサーの製
造方法。
【請求項９】前記請求項６〜８の何れかにおいて、ベ
ース部材（１）を一体化する工程の後、ベース部材
（１）の両側から同部材（１）に設けた貫通孔（４）に
ピン状の端子部材（５）、（５）を嵌合し、同端子部材
（５）、（５）の先端をセンサー素子（１１）の両側の
電極に接続する工程を行うことを特徴とする加速度セン
サーの製造方法。