JPH08155365A - 基板への塗布液塗布装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 塗布液の有効利用を図り、設置スペースを小
さくし、塗布品質の向上を図り、塗布液膜の膜厚が許容
範囲を外れる非有効領域の発生を防止できる塗布装置を
提供する。 【構成】 基板10を保持するステージ12と、基板の被塗
布面に塗布液を供給する塗布液槽14と、塗布液槽を基板
に沿って下方へ直線移動させる手段と、塗布終端側に配
設され基板の下端面に当接又は近接する端面30及び塗布
液槽と対向する前壁面32を有した延設部材28とを備えて
構成する。塗布液槽は、両端が閉塞され基板の幅方向に
延在する筒状をなし、前面壁部16に、それを貫通する塗
布液流出路18を形成し、前端面20が被塗布面に非接触で
かつ近接するように配設される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、液晶表示デバイス
（ＬＣＤ）、半導体デバイス、各種電子部品等の製造プ
ロセスにおいて、ＬＣＤ用ガラス基板、半導体基板、プ
リント基板等の基板の表面にフォトレジスト膜、絶縁
膜、導電膜等を形成するために基板表面へ塗布液を塗布
する塗布液塗布装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】基板に塗布液を塗布する方式としては、
回転塗布方式、ブレード塗布方式、スプレイ塗布方式、
ロールコート方式などがある。これらの塗布方式のう
ち、現在、ＬＣＤや半導体デバイスの製造プロセスで
は、回転塗布方式が広く使用されている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、回転塗
布方式には、被塗布基板の大型化や角型基板の利用増加
などといった近年の傾向とも相俟って、次のような問題
が存在する。すなわち、回転塗布方式は、使用される塗
布液の有効利用という点で本質的に無駄があり、塗布液
の利用効率が悪い（５％程度）。また、例えばＬＣＤで
はガラス基板の大サイズ化が図られているが、回転塗布
方式では、塗布工程において被塗布基板を水平姿勢で回
転させるため、基板の大型化に伴って装置が大型化し設
置スペースが増大せざるを得ない。さらに、被塗布基板
が角型基板である場合は、円型基板に比し、基板の回転
時において基板表面に気流の乱れが発生し易く、しか
も、基板が大型化すると、その回転時における基板の内
・外での線速度差が増大することにより、塗布液の状態
変化が小型基板に比べて顕著になる。このため、塗布液
膜の膜厚均一性等の塗布品質を確保することが難しくな
り、塗布品質が低下する、といった問題点がある。

【０００４】この発明は、以上のような事情に鑑みてな
されたものであり、基板、例えばＬＣＤ用ガラス基板に
塗布液を塗布する際に、塗布液の有効利用を図って塗布
液使用量を少なくし、また、装置の小型化を図り設置ス
ペースを小さくし、さらに、塗布液膜の膜厚均一性等の
塗布品質の低下を来さず塗布品質を向上させることがで
きるような基板への塗布液塗布装置を提供することを目
的とする。また、加えて、基板の被塗布面において、塗
布液膜の膜厚が許容範囲を外れる非有効領域が発生する
のを防止ないしは可能な限り少なくすることができるよ
うな基板への塗布液塗布装置を提供することを目的とす
る。

【０００５】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明で
は、基板への塗布液塗布装置を、被塗布基板を鉛直姿勢
又は傾斜した姿勢に保持する基板保持手段と、この基板
保持手段に保持された被塗布基板の被塗布面に塗布液を
供給する塗布液槽と、この塗布液槽と前記基板保持手段
に保持された被塗布基板とを相対的に直線的に移動させ
る直動手段と、塗布終端側に配設され、前記基板保持手
段に保持された被塗布基板の下端面の少なくとも一部に
当接し又は対向して近接する端面を有した延設部材とか
ら構成した。前記塗布液槽は、両端が閉塞され前記基板
保持手段に保持された被塗布基板の幅方向に延在する筒
状をなし、前面壁部にそれを貫通するように、多数の細
管、多数の微小孔又はスリット状細溝ノズルからなる塗
布液流出路が幅方向にわたって形成されている。前記前
面壁部の前端面は、基板保持手段に保持された被塗布基
板の被塗布面に非接触でかつ近接するように水平方向に
配設され、前面壁部の前端面の上端が、基板保持手段に
保持された被塗布基板の被塗布面と前面壁部の前端面と
の間の隙間を上方へ無限に延長させたと仮定した場合に
前記塗布液流出路を通って流出し前記隙間内に流入した
塗布液が少なくとも毛細管作用によって隙間内を上昇す
るときの到達高さ位置より上方に位置するように形成さ
れている。そして、この塗布液槽は、前面壁部の前端面
と被塗布基板の被塗布面との間に隙間を保ったまま被塗
布基板に対しその縦方向に相対的に移動自在に保持され
る。

【０００６】請求項２に記載の発明では、塗布液槽の前
面壁部の前端面の上端が、基板保持手段に保持された被
塗布基板の被塗布面と前面壁部の前端面との間の隙間を
上方へ無限に延長させたと仮定した場合に塗布液流出路
を通って流出し前記隙間内に流入した塗布液が少なくと
も毛細管作用によって隙間内を上昇するときの到達高さ
位置と塗布液流出路の前端面側出口との間に位置するよ
うに形成されている。これ以外の構成は、請求項１に記
載の発明と同じである。

【０００７】請求項３に記載の発明では、請求項１又は
請求項２記載の塗布液塗布装置において、上記延設部材
に前壁面を形設し、その前壁面と塗布液槽の前面壁部の
前端面とが対向するようにして、前壁面と前面壁部の前
端面との間に、基板保持手段に保持された被塗布基板の
被塗布面と前面壁部の前端面との間の隙間から連続した
隙間が形成されるようにした。そして、塗布終端側にお
いて、基板保持手段に保持された被塗布基板の被塗布面
と塗布液槽の前面壁部の前端面との間の隙間に形成され
た液溜りが前面壁部の前端面の下端によって規制された
状態で被塗布基板の被塗布面の下端を相対的に通過して
少なくとも前記延設部材の前記前壁面に到達するまで、
塗布液槽と被塗布基板との相対的移動を継続させるよう
に、直動手段を制御する制御手段を設け、塗布終端側に
おいて、基板保持手段に保持された被塗布基板の被塗布
面と塗布液槽の前面壁部の前端面との間の隙間に形成さ
れた液溜りの塗布液の少なくとも一部が、前記延設部材
の前記前壁面と塗布液槽の前面壁部の前端面との間の隙
間に保持されるようにした。

【０００８】請求項４に記載の発明では、請求項３記載
の塗布液塗布装置において、上記延設部材の前壁面と塗
布液槽の前面壁部の前端面との間の隙間の寸法が、基板
保持手段に保持された被塗布基板の被塗布面と塗布液槽
の前面壁部の前端面との間の隙間の寸法と等しくなるよ
うに、延設部材の前壁面を、基板保持手段に保持される
被塗布基板の被塗布面と同一平面内に形成するようにし
た。

【０００９】請求項５に記載の発明では、請求項３又は
請求項４記載の塗布液塗布装置において、基板保持手段
に保持された被塗布基板の被塗布面と塗布液槽の前面壁
部の前端面との間の隙間に形成された液溜りの塗布液の
少なくとも一部が、延設部材の前壁面と塗布液槽の前面
壁部の前端面との間の隙間に保持された際に、延設部材
の前壁面の、液溜りの塗布液と接触する部位を、塗布液
に対する被塗布基板の被塗布面の濡れ性より悪い濡れ性
を有する材料によって形成し又は表面処理するようにし
た。

【００１０】請求項６に記載の発明では、請求項３又は
請求項４記載の塗布液塗布装置において、基板保持手段
に保持された被塗布基板の被塗布面と塗布液槽の前面壁
部の前端面との間の隙間に形成された液溜りの塗布液の
少なくとも一部が、延設部材の前壁面と塗布液槽の前面
壁部の前端面との間の隙間に保持された際に、延設部材
の前壁面の、液溜りの塗布液と接触する部位を、塗布液
に対する被塗布基板の被塗布面の濡れ性より良い濡れ性
又は被塗布基板の被塗布面の濡れ性と同等の濡れ性を有
する材料によって形成し又は表面処理するようにした。

【００１１】請求項７に記載の発明では、請求項１ない
し請求項６のいずれかに記載の塗布液塗布装置におい
て、延設部材の端面の、基板保持手段に保持された被塗
布基板の下端面に当接し又は対向して近接する部位を、
塗布液に対する被塗布基板の被塗布面の濡れ性より悪い
濡れ性を有する材料によって形成し又は表面処理するよ
うにした。

【００１２】

【作用】請求項１に記載された発明に係る基板への塗布
液塗布装置では、塗布液槽内に注入された塗布液が、前
面壁部に形成された塗布液流出路を通って槽外へ流出
し、基板保持手段によって鉛直姿勢又は傾斜した姿勢に
保持された被塗布基板の被塗布面と前面壁部の前端面と
の間の隙間内へ流入する。このとき、前記隙間内に流入
した塗布液は、少なくとも毛細管作用によって隙間内を
前端面下端まで下降するが、それより下方位置では毛細
管作用等によっては下降せず、隙間内に流入した塗布液
の下方への流動は前端面下端で規制されることとなり、
隙間内の塗布液が前端面下端を越えて下方へ流下するこ
とはない。一方、前記隙間内に流入した塗布液は、少な
くとも毛細管作用によって上方へ流動するが、塗布液槽
の前面壁部の前端面の上端は、前記隙間を上方へ無限に
延長させたと仮定した場合に隙間内に流入した塗布液が
少なくとも毛細管作用によって隙間内を上昇するときの
到達高さ位置より上方に位置しているので、前記隙間
に、被塗布基板の幅方向に延びる帯状の塗布液の液溜り
が形成され、その液溜りの上方に塗布液が無い空間が形
成される。この状態において、前面壁部の前端面と被塗
布基板の被塗布面との間の隙間を保ったまま、被塗布基
板の縦方向、すなわち基板の幅方向と直交する方向に塗
布液槽と被塗布基板とを直動手段によって相対的に直線
的に移動、例えば被塗布基板を静止させた状態で塗布液
槽を下方向へ移動させると、被塗布基板の塗布液面に塗
布液が塗布される。そして、前記隙間の液溜りの塗布液
は、被塗布面に塗布されていくことにより消費される
が、その消費量に見合った量の塗布液が、塗布液槽内か
ら塗布液流出路を通って前記隙間へ供給されるため、被
塗布面に塗布液を塗布している途上において前記隙間の
液溜りにおける塗布液の量は、常時一定に保たれる。

【００１３】以上のようにして基板への塗布液の塗布が
行なわれるが、この塗布装置を使用して被塗布面に塗布
された塗布液膜の膜厚は、前記隙間の寸法、塗布液の流
動特性や物性値、被塗布基板の被塗布面及び／又は塗布
液槽の前面壁部の前端面の濡れ性などの他、例えば被塗
布基板の幅方向と直交する方向における、前記隙間に形
成された塗布液の液溜りの上端と被塗布基板との相対移
動速度によって決定されることになる。

【００１４】ここで、被塗布基板は、基板保持手段に鉛
直姿勢又は傾斜した姿勢に保持された状態で、その被塗
布面に塗布液が塗布される。このため、例えば基板保持
手段に被塗布基板が真空吸着によって保持されていると
すると、停電等の異常事態が発生して基板保持手段の保
持力が無くなり或いは低下した場合には、被塗布基板が
落下し或いは滑り落ちて破損する、といった危険性があ
る。また、被塗布基板の厚みが増大するなどした場合に
は、基板保持手段による被塗布基板の保持安定性に問題
が生じることがある。

【００１５】ところが、この塗布装置では、塗布終端側
に延設部材が配設され、その延設部材の端面が、基板保
持手段に保持された被塗布基板の下端面の少なくとも一
部に当接又は対向して近接しているため、仮に停電等に
より基板保持手段の保持力が無くなり或いは低下するよ
うなことがあっても、延設部材によって被塗布基板が支
持される。従って、被塗布基板が落下し或いは滑り落ち
て破損する、といった危険性が少なくなる。また、被塗
布基板の厚みが増大するなどした場合でも、延設部材に
よって補助的に被塗布基板が支持されていることによ
り、基板保持手段による被塗布基板の保持安定性の問題
も解消される。

【００１６】請求項２に記載された発明に係る基板への
塗布液塗布装置では、塗布液槽内から前面壁部の塗布液
流出路を通って槽外へ流出し被塗布基板の被塗布面と前
面壁部の前端面との間の隙間内へ流入した塗布液は、少
なくとも毛細管作用によって隙間内を前端面下端まで下
降するが、それより下方位置では毛細管作用等によって
は下降せず、隙間内に流入した塗布液の下方への流動は
前端面下端で規制されることとなり、隙間内の塗布液が
前端面下端を越えて下方へ流下することはない。一方、
隙間内に流入した塗布液の上方への流動は、前面壁部の
前端面の上端より上方位置では毛細管作用等によっては
流動しないので、前端面上端で規制されることとなる。
従って、被塗布基板の被塗布面と塗布液槽の前面壁部の
前端面との間の隙間に、基板の幅方向に延びる帯状の塗
布液の液溜りが形成される。被塗布基板の塗布液面への
塗布液の塗布は、請求項１に記載の発明に係る塗布装置
と同様にして行なわれるが、この塗布装置を使用した場
合には、被塗布面に塗布された塗布液膜の膜厚は、塗布
液槽と被塗布基板との相対移動速度によって決定される
ことになる。また、延設部材も、請求項１に記載の発明
に係る塗布装置における場合と同様の作用をなす。

【００１７】また、被塗布基板の被塗布面の塗布終端へ
向かって塗布液の塗布が行なわれ、塗布終端側におい
て、被塗布基板の被塗布面と塗布液槽の前面壁部の前端
面との間の隙間に形成された液溜りの下端（前面壁部の
前端面の下端）が被塗布基板の被塗布面の終端に到達
し、さらに被塗布面終端を通過して、例えば液溜りの上
端或いは塗布液槽の前面壁部の前端面の上端が被塗布面
終端から外れるまで、被塗布基板の被塗布面と塗布液槽
の前面壁部の前端面との間の隙間を保持したままで塗布
液槽を被塗布基板に対しその縦方向に相対的に移動させ
るようにした場合について考えてみる。この場合、塗布
液槽の前面壁部の前端面が被塗布基板の被塗布面の終端
（下端）から次第に外れていくに従い、前記隙間が破壊
されていく。そして、その次第に破壊されていく隙間に
保持されている液溜りの塗布液の一部は、被塗布基板の
下端或いは塗布液槽の前面壁部の前端面の下端等から流
下したりする。また、被塗布基板の下端で液溜りの塗布
液の移動が抑制されることにより、液溜りの上端と被塗
布基板の被塗布面との相対移動速度に不具合を生じ、或
いは、被塗布基板の被塗布面と塗布液槽の前面壁部の前
端面との間の隙間から液溜りの塗布液の一部が前面壁部
の前端面の上端を越えてはみ出すことが起こる。この結
果、被塗布基板の被塗布面の塗布終端近傍において、塗
布液膜の膜厚が許容範囲を外れる非有効領域が発生し、
被塗布基板の有効領域が減少する、といった問題があ
る。

【００１８】ところが、請求項３に記載された発明に係
る塗布装置では、塗布終端側において被塗布基板の下端
面の少なくとも一部に端面が当接又は近接するように配
設された延設部材の前壁面が、塗布液槽の前面壁部の前
端面の、被塗布基板の被塗布面終端（下端）から順次外
れた部分と対向し、延設部材の前壁面と前面壁部の前端
面との間に、被塗布基板の被塗布面と前面壁部の前端面
との間の隙間から連続した隙間が形成されるようになっ
ている。そして、被塗布基板の被塗布面と塗布液槽の前
面壁部の前端面との間の隙間に形成された液溜りの塗布
液が、前面壁部の前端面が被塗布基板の被塗布面の終端
（下端）から次第に外れていくのに伴い、依然として液
溜りの下端が前面壁部の前端面の下端で規制された状態
で延設部材の前壁面と前面壁部の前端面との間の隙間に
順次移行して保持されていくこととなる。このため、隙
間に形成された液溜りの塗布液が被塗布基板の下端から
受ける影響は無くなり或いは低減され、液溜りの下端
（塗布液槽の前面壁部の前端面の下端）が被塗布基板の
被塗布面の終端（下端）を相対的に通過する際にも、さ
らにまた、塗布液槽の前面壁部の前端面が被塗布基板の
被塗布面の終端から徐々に外れていく際にも、液溜りの
塗布液の一部が被塗布基板の下端や塗布液槽の前面壁部
の前端面の下端等から流下したりすることは起こらな
い。また、液溜りの塗布液の移動が被塗布基板の下端で
抑制されることもない。従って、隙間における液溜りの
上端と被塗布基板の被塗布面との相対移動速度に不具合
を生じたり、被塗布基板の被塗布面と塗布液槽の前面壁
部の前端面との間の隙間から液溜りの一部が前面壁部の
前端面の上端を越えてはみ出したりする、といったこと
は起こらない。そして、例えば、延設部材の前壁面の下
端から塗布液槽の前面壁部の前端面の下端が外れる時点
では、遅くとも、隙間に形成された液溜りの上端が被塗
布基板の被塗布面の終端（下端）を外れるように、延設
部材の前壁面を形成して延設部材を塗布終端側に配設し
ておくようにすれば、被塗布基板の被塗布面の終端ま
で、液溜りの上端が被塗布基板の被塗布面に対し許容速
度範囲で相対的に移動して、また、塗布液槽の前面壁部
の前端面の上端で液溜りの上端が規制された状態で、塗
布液が塗布されることとなる。この結果、被塗布基板の
被塗布面の塗布終端近傍において塗布液膜の膜厚が許容
範囲を外れて非有効領域が発生する、といった問題は生
ぜず、或いは、非有効領域は最小限に抑えられることと
なる。

【００１９】請求項４に記載された発明に係る塗布装置
では、延設部材の前壁面が、被塗布基板の被塗布面の下
方にそれと同一平面に形成されており、被塗布面がその
まま延長されたのと同様の状態で塗布終端側における塗
布液の塗布が行なわれるので、請求項３に記載の発明の
上記作用が最も効果的に奏される。

【００２０】請求項５に記載された発明に係る塗布装置
では、延設部材の前壁面の、隙間に形成された液溜りの
塗布液と接触する部位が、塗布液に対する被塗布基板の
被塗布面の濡れ性より悪い濡れ性を有する材料、例えば
フッ化樹脂によって形成され又は表面処理されている。
このため、延設部材の前壁面に塗布液が付着しにくくな
っているので、塗布液槽の前面壁部の前端面の下端が被
塗布基板の被塗布面の下端を相対的に通過し、さらに前
面壁部の前端面下端が被塗布面下端から次第に外れてい
く際に、被塗布基板の下端が隙間における液溜りの塗布
液の移動を抑制する力が一部残存する恐れがある。しか
しながら、延設部材の前壁面が塗布液槽の前面壁部の前
端面と隙間をあけて対向するように形設されていない場
合に比べると、被塗布基板の被塗布面の塗布終端近傍に
おける塗布液膜の膜厚が許容範囲を外れる非有効領域の
発生をそれでも格段に少なくすることができる。そし
て、この塗布装置では、延設部材の前壁面に付着する塗
布液は、膜状態とはならず液滴状態となるため、延設部
材の前壁面から付着塗布液を容易に除去することがで
き、その清掃作業が簡単になる。

【００２１】一方、請求項６に記載された発明に係る塗
布装置では、延設部材の前壁面の、隙間に形成された液
溜りの塗布液と接触する部位が、塗布液に対する被塗布
基板の被塗布面の濡れ性と同等以上の濡れ性を有する材
料によって形成され又は表面処理されている。このた
め、延設部材の前壁面に塗布液が、被塗布基板の被塗布
面と同等もしくはそれ以上に付着し易くなっているの
で、塗布液槽の前面壁部の前端面の下端が被塗布基板の
被塗布面の下端を相対的に通過し、さらに前面壁部の前
端面下端が被塗布面下端から次第に外れていく際に、隙
間における液溜りの塗布液の移動が被塗布基板の下端で
抑制されることはない。従って、被塗布基板の被塗布面
の塗布終端近傍における塗布液膜の膜厚が許容範囲を外
れて非有効領域が発生する、といった問題は生ぜず、或
いは、非有効領域が最小限に抑えられる。但し、延設部
材の前壁面には、被塗布基板の被塗布面と同様に塗布液
が膜状態に付着することになるため、延設部材の前壁面
の清掃に工夫が必要となる。

【００２２】請求項７に記載された発明に係る塗布装置
では、延設部材の端面の、被塗布基板の下端面に当接又
は近接する部位が、塗布液に対する被塗布基板の被塗布
面の濡れ性より悪い濡れ性を有する材料、例えばフッ化
樹脂によって形成され又は表面処理されている。このた
め、例えば、被塗布基板の被塗布面と塗布液槽の前面壁
部の前端面との間の隙間に形成され液溜りの下端（前面
壁部の前端面の下端）が被塗布基板の被塗布面の終端
（下端）に到達する以前の位置まで塗布液を塗布した
後、塗布液槽を被塗布面に対し、前記隙間を増大させる
方向へ相対的に移動させるようにした場合、或いは、隙
間に形成された液溜りの下端が被塗布基板の被塗布面の
終端に到達して、さらに連続して塗布液槽を被塗布面に
対し相対的に移動させるようにした場合に、液溜りから
被塗布基板の被塗布面上を流下した一部の塗布液が、或
いは、被塗布基板の被塗布面の終端まで塗布された塗布
液の一部が、被塗布基板の下端面と延設部材の対向した
端面との間の隙間へ流入することが抑制される。従っ
て、被塗布基板の下端面が塗布液によって汚される、と
いった恐れが無くなり、或いは減少する。

【００２３】

【実施例】以下、この発明の好適な実施例について図面
を参照しながら説明する。

【００２４】図１ないし図４は、請求項１に係る発明の
１実施例を示し、図１は、基板への塗布液塗布装置の要
部の構成を示す縦断面図であり、図２は、その正面図、
図３は、その部分の上面図であり、図４は、塗布途上の
状態を示す部分拡大縦断面図である。

【００２５】この塗布装置は、塗布液を塗布しようとす
る基板10を真空吸着等の手段によって固定し、基板10を
鉛直姿勢に保持する基板保持台（ステージ）12、並び
に、両端が閉塞され基板10の幅方向に延在する筒状をな
す塗布液槽14を備えている。塗布液槽14の前面壁部16に
は、それを貫通しかつその前端側へ上向きに傾斜するよ
うに塗布液流出路18が幅方向に形成されている。塗布液
流出路18は、多数の直線状の細管の集合、多数の微小孔
（少なくとも入口と出口とが連通してさえいれば両者の
個数は必ずしも一致する必要はなく、孔の途中形状は直
線状に限らない）の集合、或いは、１本又は複数本のス
リット状細溝ノズルから構成される。塗布液槽14は、そ
の前面壁部16の一部が前方へ突出して幅方向全体にわた
って前端面20が形成され、その前端面20とステージ12に
保持された基板10の被塗布面との間に寸法Ｇの隙間22が
形成されるように、前端面20が基板10の被塗布面に非接
触でかつ近接するように水平方向に配設されている。
尚、この塗布液槽14の前端面20も用途に応じて必ずしも
全長にわたって形成する必要はない。そして、塗布液槽
14の前面壁部16の前端面20は、その下端が塗布液流出路
18の前端面側出口24とその反対側の入口26との間の高さ
に位置するように形成されている。また、塗布液槽14
は、その前端面20とステージ12に保持された基板10の被
塗布面との間に寸法Ｇの隙間22を保ったままで、矢印ａ
に示すように縦方向、すなわち基板10の幅方向と直交す
る下方向へ直線的に移動させることができるように、図
示しない直動駆動機構に支持されている。また、基板10
をステージ12に容易に保持させまたステージ12から容易
に取り外すことができるように、ステージ12又は塗布液
槽14を隙間22が広がる方向へ移動させる駆動機構を設け
るようにしてもよい。また、その場合には、隙間22の寸
法Ｇを測定するための検出器を付設しておくとよい。

【００２６】また、塗布終端側（ステージ12の下端側）
には、延設部材28が配設されている。延設部材28には、
ステージ12に保持された基板10の下端面の少なくとも一
部に当接し又は対向して近接する端面30が形設されてい
る。この延設部材28は、ステージ12に、図示していない
が例えばねじ等によって固定されている。また、図１に
示すように延設部材28をステージ12と別体にせずに、延
設部材をステージと一体形成するようにしてもよい。
尚、延設部材28をステージ12に固定した場合、或いは、
延設部材をステージと一体形成した場合においては、基
板10を、その下端が延設部材28の端面30に当接又は近接
するようにステージ12に保持させるためには、例えば、
延設部材28に対して基板10を位置決めした状態でステー
ジ12面上へ基板10を移送して搭載させるなどしなければ
ならず、ステージ12への基板10の装填操作が難しい、と
いった問題がある。このような操作上の困難さを解消す
るための手段として、延設部材28をステージ12とは別体
で分離可能に、かつ、例えば延設部材28が下方位置から
上方へステージ12の背面34と延設部材28の鉛直面36とを
摺接させながら図示しない駆動装置により移動させられ
るように構成し、基板10をステージ12に保持させた後
に、延設部材28を、その端面30が基板10の下端面に当接
又は近接するまで移動させて停止させるようにしてもよ
い。

【００２７】また、延設部材28には、塗布液槽14の前面
壁部16の前端面20と対向して、前面壁部16の前端面20と
の間に隙間を形成する前壁面32が形設されている。そし
て、その隙間は、塗布終端側においてステージ12に保持
された基板10の被塗布面と塗布液槽14の前面壁部16の前
端面20との間の隙間22から連続するように形成される。
この実施例では、延設部材28の前壁面32は、ステージ12
に保持された基板10の被塗布面と同一平面内となるよう
に形成されており、延設部材28の前壁面32と塗布液槽14
の前面壁部16の前端面20との間の隙間の寸法が、基板10
の被塗布面と前面壁部16の前端面20との間の隙間22の寸
法Ｇと等しくなるようになっている。そして、塗布液槽
14は、図示しない制御装置によって直動駆動機構を制御
することにより、塗布終端側において、前面壁部16の前
端面20の下端が基板10の被塗布面の終端（下端）を通過
して少なくとも延設部材28の前壁面32に到達するまで、
矢印ａに示す縦方向へ連続的に移動させられるようにな
っている。

【００２８】また、図１、図３及び図４には図示を省略
しているが、塗布液槽14には、図２に示すように、槽内
を加圧し、減圧し、及び、大気圧にし又は大気開放する
圧力設定系40、並びに、槽内へ塗布液を供給する塗布液
供給系42がそれぞれ設けられている。図２中の44、50は
切換えバルブ、46は、図示しない圧力調整部に連通接続
する管路、48は、大気に連通する管路である。また、塗
布液槽14には、槽内に注入された塗布液38の液面を検知
する検出器52が付設されている。

【００２９】そして、塗布液槽14内へ塗布液供給系42か
ら塗布液38が供給され、その液面が塗布液流出路18の入
口26と前面壁部16の前端面20の下端との間の高さに位置
するように、すなわち図４中の範囲Ｄ内に位置するよう
に、検出器52で塗布液面を検知しながら塗布液槽14内に
塗布液38が注入される。この際、塗布液供給に伴う塗布
液槽14内の圧力上昇により、先に塗布液槽14内に供給さ
れた塗布液が塗布液流出路18を通って槽外へ流出する、
といった不都合を避けるため、圧力設定系40の切換えバ
ルブ44を操作して、例えば塗布液槽14内を大気開放の状
態としておくようにする。塗布液槽14内に所定量の塗布
液38が注入されると、塗布液38は、毛細管作用等により
塗布液流出路18の前端面側出口24の位置まで上昇する。
尚、このとき、塗布液槽14内に所定量の塗布液38が注入
されても、塗布液流出路18を通してその出口24からの塗
布液38の強制的流出が起こらないようにするため、塗布
液槽14内の圧力を、例えば引き続いて大気開放状態とな
るように圧力設定系40により設定しておく。

【００３０】塗布液38が塗布液流出路18の前端面側出口
24の位置まで上昇したとき、基板10の被塗布面と塗布液
槽14の前面壁部16の前端面20との間に寸法Ｇの隙間22が
形成されていると、その隙間22内へ塗布液槽14内から塗
布液流出路18を通って塗布液38が流入し、毛細管作用等
により塗布液が隙間22内を流動し、前面壁部16の前端面
20の下端で塗布液の流動が規制されて、基板10の幅方向
に帯状の液溜り54が形成される。この液溜り54は、塗布
液流出路18を通して常時塗布液槽14内の塗布液38に連絡
している。

【００３１】尚、塗布開始位置において最初に寸法Ｇの
隙間22に帯状の液溜り54を形成する際の方法としては、
圧力設定系40により塗布液槽14内を加圧して、強制的に
液溜り54の一部を形成した後に、塗布液槽14内を、塗布
液が強制的に塗布液流出路18を通って槽外へ流出しない
程度の圧力、例えば大気開放状態にし、その状態で帯状
の液溜り54を形成する方法、最初から帯状の液溜り54が
形成されるまでの間、塗布液槽14内を加圧状態として、
強制的に液溜り54を形成する方法、或いは、最初から帯
状の液溜り54が形成されるまでの間、塗布液槽14内を大
気開放状態として、強制的でなく液溜り54を形成する方
法などがある。これらのうち何れの方法によってもよい
が、何れの方法によった場合にも、遅くとも帯状の液溜
り54が形成された後では、塗布液槽14内を、その前面壁
部16の前端面20の下端等から塗布液が流出しない程度
で、かつ、後述する塗布途上において寸法Ｇの隙間22に
塗布液槽14から塗布液38が供給される圧力にしておき、
例えば大気開放状態としておく。

【００３２】ここで、塗布液槽14の前面壁部16の前端面
20と基板10の被塗布面との間の隙間22の寸法Ｇは、塗布
品質の如何に関ってくるが、塗布品質に影響する因子、
例えば塗布液槽14或いは隙間22における液溜り54の上端
の移動速度、塗布液38の流動性や物性値、基板10の被塗
布面及び／又は前面壁部16の前端面20の濡れ性などを考
慮し、また、塗布液の利用効率、隙間22における液溜り
54の保持安定性なども考慮して、毛細管作用が発現する
範囲内において選定される。また、塗布液流出路18の寸
法は、塗布液槽14内の塗布液38を隙間22へ毛細管作用等
で流入させ、隙間22に毛細管作用等によって帯状の液溜
り54を形成させるのに支障が無い範囲で、かつ、塗布開
始時を含めて良好な塗布液膜を形成させることができる
範囲内で設定される。

【００３３】一方、塗布液槽14の前面壁部16の前端面20
を除く前壁面21は、それと基板10の被塗布面との間に形
成される隙間へ液溜り54の塗布液が毛細管作用等によっ
て流入しない形状に形成される。そして、塗布液槽14内
の塗布液38の量、塗布液38の特性、基板10の被塗布面や
前面壁部16の前端面20の表面状態、隙間22の寸法Ｇなど
の如何によって、前面壁部16の前端面20の下端等から液
溜り54の塗布液が流出する恐れがある場合には、前端面
20下端等から液溜り54の塗布液が流出しないで、かつ、
隙間22へ塗布液流出路18を通って塗布液槽14内の塗布液
38が毛細管作用等により供給されるように、塗布液槽14
の槽内圧力が決定される。従って、隙間22の液溜り54の
下端は、前面壁部16の前端面20の下端で規制されること
となって、液溜り54の塗布液は隙間22から流下すること
がない。

【００３４】また、塗布液槽14の前面壁部16の前端面20
の上端は、前端面20と基板10の被塗布面との間の寸法Ｇ
の隙間22を上方へ無限に延長させたと仮定した場合に、
前面壁部16に形成された塗布液流出路18を通って隙間22
内へ流入した塗布液が毛細管作用等によって隙間22内を
上昇するときの到達高さ位置より上方に位置するように
形成されている。従って、塗布液槽14内に塗布液38を、
その液面が塗布液流出路18の入口26と前端面20の下端と
の間の高さになるように注入したとき、塗布液槽14内か
ら塗布液流出路18を通って隙間22内へ流入した塗布液で
隙間22に形成される液溜り54は、その下端が上述した通
り前端面20の下端に位置し、その上端が前端面20の上端
より下方に位置することとなって、隙間22に、液溜り54
の上方の、塗布液の無い空間56が形成されることとな
る。

【００３５】そして、図４に示すように、ステージ12に
保持された基板10の被塗布面と塗布液槽14の前面壁部16
の前端面20との間の隙間22に、基板10の幅方向に延びる
帯状の塗布液の液溜り54が形成された状態において、そ
の塗布始端側の停止位置から塗布液槽14を、前面壁部16
の前端面20と基板10の被塗布面との間に寸法Ｇの隙間22
を保ったまま、矢印ａに示すように基板10の縦方向、す
なわち基板10の幅方向と直交する下方向へ、制御装置に
より直動駆動機構を制御して直線的に移動させると、基
板10の被塗布面への塗布液の塗布が開始されることにな
る。そして、隙間22に形成された液溜り54の塗布液は、
基板10の被塗布面に塗布されていくことにより消費され
るが、その消費量に見合った量の塗布液が、塗布液槽14
内から塗布液流出路18を通って隙間22へ供給されること
となる。

【００３６】尚、塗布始端側において、隙間22に形成さ
れた液溜り54の上端がステージ12に保持された基板10の
被塗布面の上端より下方側に位置するように、塗布液槽
14を塗布始端位置に停止させ、その位置から基板10の縦
方向への塗布液槽14の移動を開始させて被塗布面の塗布
液を塗布する場合に限らず、例えば、ステージに保持さ
れた基板10の被塗布面の上端が、塗布液流出路18の前端
面側出口24と隙間22内へ流入した塗布液が毛細管作用等
によって隙間22内を上昇するときの塗布液の到達高さ位
置との間に位置するように、かつ、前面壁部16の前端面
20とステージ12に保持された基板10の被塗布面との間に
寸法Ｇの隙間22が形成されるように、塗布液槽14を位置
決めして停止させ、その位置から基板10の縦方向への塗
布液槽14の移動を開始させて、被塗布面への塗布液の塗
布動作が開始するようにしてもよい。この場合において
も、基板10の被塗布面に塗布液が塗布されていく塗布途
上においては、隙間22に形成された塗布液の液溜り54
は、その下端が塗布液槽14の前面壁部16の前端面20の下
端に位置し、上端が前面壁部16の前端面20の上端より下
方に位置して、隙間22の液溜り54上方に塗布液の無い空
間56が形成されることとなる。

【００３７】また、ステージ12は、その縦方向の長さ
を、基板10の縦方向、すなわち基板10の幅方向と直交す
る方向の長さより短くして、基板10を、その上端部分が
ステージ12の上端辺より突出した状態でステージ12に保
持するようにしている。この場合、基板10が、例えばＬ
ＣＤ用ガラス基板のように透明基板であるときは、塗布
始端側において、ステージ12の上端辺より突出した透明
な基板10の被塗布面の反対面側から、基板10の被塗布面
と塗布液槽14の前面壁部16の前端面20との間の隙間22に
基板10の幅方向にわたって帯状の液溜り54が形成された
ことを確認することができ、その確認後に、塗布液槽14
を下方向へ移動させて塗布操作を行なうことができる。
このため、基板10の被塗布面への塗布が、より確実に行
なわれることとなる。尚、その確認のために、検出器を
付設するようにしてもよい。

【００３８】一方、塗布終端側においては、基板10を、
その下端部分がステージ12の下端辺より突出した状態で
ステージ12に保持するようにしている。この場合におい
ては、基板10の被塗布面に塗布液を塗布している途上或
いは塗布終了後において基板10の下端から塗布液が流下
して、その流下した塗布液が基板10の下端面と延設部材
28の端面30との間の隙間などからステージ12の前面と基
板10の被塗布面の反対面側（裏面側）との間に侵入す
る、といったような不都合を防止することができる。

【００３９】尚、この実施例では、ステージ12の上端辺
及び下端辺より基板10の上端部分及び下端部分をそれぞ
れ突出させた状態でステージ12に基板10を保持するよう
にしているが、このような保持形態に限定されないのは
勿論である。また、図１に示した塗布装置では、ステー
ジ12に保持された基板10の被塗布面と同一平面内に前壁
面32が配置されるように、すなわち、基板10の被塗布面
を下方向へ延長した平面により前壁面32が形成されるよ
うに、延設部材28を構成し配設しているが、このような
構成に限定されない。但し、延設部材の前壁面が、ステ
ージ12に保持された基板10の被塗布面から隙間22の寸法
Ｇに相当する寸法以上に前方側へ突出するように配置さ
れる場合には、塗布終端側において、塗布液槽14の前面
壁部16の前端面20の下端が延設部材の前壁面の上端に到
達するまでの範囲が、塗布液槽14の移動可能範囲とな
り、塗布領域が制約されることとなる。

【００４０】また、図１に示した上記例では、ステージ
12によって基板10を鉛直姿勢に保持しているが、基板を
前方方向（図１上における左方向）又は後方方向（図１
上における右方向）へ適当角度だけ傾斜させた姿勢に保
持するようにしてもよい。また、上記した例では、基板
10を静止させた状態で塗布液槽14を下方向へ移動させる
ようにしているが、基板と塗布液槽とは基板の縦方向に
相対的に移動させるようにすればよく、塗布液槽を静止
させた状態でステージに保持された基板を上方向へ移動
させるような構成としてもよい。

【００４１】以上のような構成の塗布装置を使用して基
板10の被塗布面に塗布液を塗布するには、まず、ステー
ジ12に真空吸着等によって基板10を固定する。この際、
延設部材28がステージ12に一体的に固定され或いはステ
ージ12と一体形成されている場合においては、例えば、
延設部材28に対して基板10を位置決めした状態でステー
ジ12面上へ基板10を移送して搭載させ、塗布終端側にお
いて基板10の下端面が延設部材28の端面30に当接又は近
接した状態にして基板10をステージ12に保持させる。ま
た、延設部材28をステージ12とは別体で分離可能に、か
つ、延設部材28を下方位置から上方へステージ12の背面
34と延設部材28の鉛直面36とを摺接させながら移動させ
ることができる構成としたときは、基板10をステージ12
に保持させた後に、延設部材28を、その端面30が基板10
の下端面に当接又は近接するまで移動させて停止させる
ようにする。

【００４２】そして、所定量の塗布液38が注入された塗
布液槽14を、基板10の被塗布面と前面壁部16の前端面20
との間に寸法Ｇの隙間22が形成されるように、例えば基
板10から離間した位置から基板10に向かって例えば水平
方向へ移動させ基板10に接近させる。この場合、塗布液
槽14内に所定量の塗布液38が前もって注入されていて
も、圧力設定系40により塗布液槽14内の圧力を、塗布液
38が槽外へ流出しない圧力に設定、例えば大気開放状態
にしておけば、塗布液槽14内から塗布液流出路18を通っ
て塗布液38が流出することはない。勿論、塗布液槽14の
前面壁部16の前端面20と基板10の被塗布面との間に寸法
Ｇの隙間22が形成された後に、塗布液槽14内へ所定量の
塗布液38を注入するようにしてもよい。

【００４３】次に、圧力設定系40により塗布液槽14内を
加圧し、塗布液槽14内から塗布液流出路18を通って隙間
22へ塗布液を流出させ、隙間22に液溜り54の一部を形成
させた後、強制的に槽外へ塗布液が流出しないように塗
布液槽14内を大気開放状態にし、隙間22に帯状の液溜り
54を形成させる。或いは、隙間22が形成された後、塗布
液槽14内を帯状の液溜り54が形成されるまで加圧しても
よいし、また、隙間22の形成後、塗布液槽14内を大気開
放状態にして帯状の液溜り54を形成するようにしてもよ
い。また、塗布液槽14の前面壁部16の前端面20の下端等
から液溜り54の塗布液が流出しないで、かつ、隙間22へ
塗布液流出路18を通って塗布液槽14内の塗布液38が毛細
管作用等によって供給されるような槽内圧力だけで、或
いは、その槽内圧力と加圧、大気開放等との組合せで、
帯状の液溜り54を形成するようにしてもよい。その他、
どのような方法によって隙間22に帯状の液溜り54を形成
するようにしてもよいが、何れにしても、隙間22に帯状
の液溜り54が形成された以後は、液溜り54の塗布液が隙
間22から流出せず、かつ、後述する塗布途上において隙
間22に塗布液槽14から塗布液38が供給される圧力に塗布
液槽14内を調整しておく必要があり、例えば塗布液槽14
内を大気開放状態としておく。

【００４４】隙間22に帯状の液溜り54が形成されると、
塗布液槽14の前面壁部16の前端面20と基板10の被塗布面
との間に寸法Ｇの隙間22を保ったまま、基板10の縦方向
（図１の矢印ａの方向）へ塗布液槽14を移動させる。そ
して、塗布液槽14の移動に伴い、隙間22の液溜り54の上
端が基板10の被塗布面上を移動し始めて、図４に示すよ
うに、基板10の被塗布面に塗布液が塗布されて塗布液膜
58が形成され始める。さらに引き続いて塗布液槽14が下
方向へ移動することにより、基板10の被塗布面と塗布液
槽14の前面壁部16の前端面20との間の隙間22に液溜り54
の上方の塗布液の無い空間56が形成された状態で、液溜
り54の上端が下方向へ移動するとともに、隙間22の液溜
り54の塗布液が被塗布面に塗布されて消費される量に見
合った量の塗布液が塗布液槽14内から塗布液流出路18を
通して毛細管作用等により隙間22へ供給され、隙間22の
液溜り54の塗布液量が一定に保たれながら、基板10の被
塗布面に塗布液が塗布されていく。そして、隙間22にお
ける液溜り54の上端が少なくとも塗布必要領域から外れ
る位置、例えば二点鎖線で示す基板10の下端近くまで塗
布液槽14を移動させた後停止させる。

【００４５】上記したように、塗布液槽14が基板10の上
端近くから下端近くまで移動することにより、基板10の
被塗布面の塗布必要領域に液溜り54の塗布液が接するこ
とになり、図４に示すように基板10の被塗布面に塗布液
が塗布されて塗布液膜58が形成される。

【００４６】塗布液槽14が基板10の下端近くの位置で停
止して基板10の被塗布面への塗布液の塗布が終了する
と、ステージ12から基板10を取り外す。この際、塗布液
槽14をステージ12から離間する例えば水平方向へ移動さ
せるか、ステージ12を塗布液槽14から離間する例えば水
平方向へ移動させるようにすると、基板10の取外しが容
易になる。ステージ12から塗布済みの基板10が取り外さ
れると、次の基板10への塗布液塗布のために最初の工程
へ戻る。

【００４７】以上のようにして、被塗布面の塗布必要領
域に塗布液膜が形成された基板が得られるが、この塗布
装置では、上記したように、塗布終端側において基板10
の下端面に延設部材28の端面30が当接し又は対向して近
接した状態で、基板10をステージ12に真空吸着等によっ
て保持するようにしているので、ステージ12に保持され
た基板10が落下し或いは滑り落ちて破損する、といった
危険性を少なくすることができ、また、基板10の厚みが
増大するなどした場合でも、延設部材28によって補助的
に基板10が支持されることにより、ステージ12による基
板10の保持安定性の問題も解消されることとなる。

【００４８】尚、塗布液槽14をステージ12から離間する
方向へ移動させたとき、隙間22の液溜り54の塗布液は、
隙間22が広がって液溜り54が破壊されることにより、被
塗布面や前面壁部16の前端面20に付着しまた流下して、
以後の塗布に使用することができなくなる。そこで、塗
布液槽14をステージ12から離間させる前に、圧力設定系
40により塗布液槽14内を減圧状態とし、隙間22の液溜り
54の塗布液を塗布液流出路18を通し逆流させて塗布液槽
14内に回収するようにしてもよい。この回収の際には、
塗布液槽14の前面壁部16の前端面20の、少なくとも塗布
液流出路18の前端面側出口24から前端面20の上端までの
範囲が基板10の下端側から外れておらず、前端面20と基
板10の被塗布面との間に隙間22が形成されている状態に
しておく必要がある。

【００４９】図１ないし図４に示した塗布装置の塗布液
槽14は、基板10の被塗布面と前面壁部16の前端面20とに
よって形成される隙間22が前端面20の全域で一定の寸法
Ｇとなるように構成されているが、塗布液槽の前面壁部
の前端面の形状は、上記実施例で示したものに限定され
ない。その例を図５及び図６に示す。

【００５０】図５に部分拡大縦断面図を示した塗布装置
の塗布液槽64は、その前面壁部66の前端面が、前端面下
部70ａとこの前端面下部70ａより後方側へ凹んだ前端面
上部70ｂとからなる段付き面に形成されている。前面壁
部66の前端面下部70ａとステージ12に保持された基板10
の被塗布面との間に形成される下部隙間72ａの寸法Ｇ
は、図１ないし図４に示した塗布装置における隙間22の
寸法Ｇと同一であり、前端面上部70ｂと被塗布面との間
に形成される上部隙間72ｂの寸法Ｇ₁は、下部隙間72ａ
の寸法Ｇより大きくなる。そして、塗布液流出路68の前
端面側出口74が、前面壁部66の前端面下部70ａと前端面
上部70ｂとの境界部に位置するように形成されている。
また、前面壁部66の前端面下部70ａの下端は、塗布液流
出路68の前端面側出口74とその反対側の入口76との間の
高さに位置するように形成され、一方、前面壁部66の前
端面上部70ｂの上端は、前端面上部70ｂと基板10の被塗
布面との間の寸法Ｇ₁の上部隙間72ｂを上方へ無限に延
長させたと仮定した場合に、前面壁部66に形成された塗
布液流出路68を通って上部隙間72ｂ内へ流入した塗布液
が毛細管作用等によって上部隙間72ｂ内を上昇するとき
の到達高さ位置より上方に位置するように形成されてい
る。従って、塗布液槽64内に塗布液38を、その液面が塗
布液流出路68の入口76と前端面下部70ａの下端との間の
高さになるように注入すると、塗布液槽64内から塗布液
流出路68を通って隙間72ａ、72ｂ内へ流入した塗布液に
より、下端が前端面下部70ａの下端に位置し、上端が前
端面上部70ｂの上端と塗布液流出路68の前端面側出口74
との間に位置した液溜り78が形成されることになって、
上部隙間72ｂに、液溜り78の上方の、塗布液の無い空間
80が形成されることとなる。尚、塗布液槽64内への塗布
液38の注入は、塗布液槽64を図５に示した状態に位置決
めする前或いはその位置決め操作の途上で行なうように
してもよい。

【００５１】尚、図５では塗布始端側のみを図示して塗
布終端側の図示を省略しているが、図５に示した塗布装
置にも、図１ないし図４に示した塗布装置と同様に、塗
布終端側に延設部材28が配設されている。

【００５２】そして、図５に示す塗布始端位置から塗布
液槽64を、その前面壁部66の前端面下部70ａ及び前端面
上部70ｂとステージ12に保持された基板10の被塗布面と
の間に寸法Ｇの下部隙間72ａ及び寸法Ｇ₁の上部隙間72
ｂを保ったまま、例えば矢印ａに示すように基板10の縦
方向、すなわち基板10の幅方向と直交する下方向へ、制
御装置により直動駆動機構を制御して直線的に移動させ
ると、図１ないし図４に示した塗布装置と同様にして、
基板10の被塗布面への塗布液の塗布が開始されることに
なる。そして、隙間72ａ、72ｂに形成された液溜り78
は、塗布液槽64の移動に伴い、基板10の被塗布面に塗布
されていくことにより消費されるが、その消費量に見合
った量の塗布液が、塗布液槽64内から塗布液流出路68を
通って隙間72ａ、72ｂへ供給されることとなる。

【００５３】図６は、図５に示した塗布液槽64と同様の
作用効果を奏する塗布液槽の別の構成例を示す部分拡大
縦断面図である。この塗布液槽84では、その前面壁部86
の前端面が、その下端から塗布液流出路88の前端面側出
口94を僅かに過ぎた位置までの前端面下部90ａと、前端
面側出口94を僅かに過ぎた位置から上端までの、前端面
下部90ａより後方側へ凹んだ前端面上部90ｂとからなる
段付き面に形成されており、塗布液流出路88の出口94
が、前端面下部90ａと基板10の被塗布面との間の下部隙
間92ａに開口している。それ以外の構成は、図５に示し
た塗布液槽64と同じである。すなわち、前面壁部86の前
端面下部90ａと基板10の被塗布面との間の下部隙間92ａ
の寸法Ｇは、図５に示した塗布液槽64における下部隙間
72ａの寸法Ｇと同一であり、前端面上部90ｂと被塗布面
との間の上部隙間92ｂの寸法Ｇ₂は、下部隙間92ａの寸
法Ｇより大きくされている。また、前面壁部86の前端面
下部90ａの下端は、塗布液流出路88の前端面側出口94と
その反対側の入口96との間の高さに位置するように形成
され、一方、前面壁部86の前端面上部90ｂの上端は、寸
法Ｇ₂の上部隙間92ｂを上方へ無限に延長させたと仮定
した場合に塗布液が毛細管作用等によって上部隙間92ｂ
内を上昇するときの到達高さ位置より上方に位置するよ
うに形成されている。そして、塗布液槽84内に塗布液38
を所定量だけ注入したときに、塗布液槽84内から塗布液
流出路88を通って隙間92ａ、92ｂ内へ流入した塗布液に
より、下端が前端面下部90ａの下端に位置し、上端が前
端面上部90ｂの上端と塗布液流出路88の前端面側出口94
との間に位置した液溜り98が形成されることになって、
上部隙間92ｂに、液溜り98の上方の、塗布液の無い空間
100が形成されることとなる。尚、塗布液槽84内への塗
布液38の注入は、塗布液槽84を図６に示した状態に位置
決めする前或いはその位置決め操作の途上で行なうよう
にしてもよい。そして、基板10への塗布液の塗布操作
は、図１ないし図４及び図５にそれぞれ示した塗布装置
と全く同様にして行なわれる。

【００５４】尚、図６においても図５と同様に塗布始端
側のみを図示して塗布終端側の図示を省略しているが、
図６に示した塗布装置にも、図１ないし図４に示した塗
布装置と同様に、塗布終端側に延設部材28が配設されて
いる。

【００５５】図５、図６に係る上記実施例では、塗布液
槽64、84の前面壁部66、86の前端面が、前端面下部70
ａ、90ａとこの前端面下部70ａ、90ａより凹んだ前端面
上部70ｂ、90ｂとからなる段付き面に形成され、ステー
ジ12に保持された基板10の被塗布面と前端面上部70ｂ、
90ｂとの間の隙間72ｂ、92ｂが、被塗布面と前端面下部
70ａ、90ａとの間の隙間72ａ、92ａより広く形成される
ように構成しているが、このような構成にのみ限定され
るものではない。例えば、前端面を前端面上部と前端面
下部の２つだけから構成するのではなく２つ以上で構成
し、それぞれ基板の被塗布面との幅を異なる広さとする
構成としてもよく、或いは部分的に前端面上端側へ行く
に従って被塗布面との幅が広くなる形状をさらに加える
構成等を採用してもよい。その他、前端面として種々の
構成を採用することが可能である。また、図１ないし図
４並びに図５、図６に係る上記実施例では、塗布液槽1
4、64、84の前面壁部16、66、86は、その上部が前方へ
突出して前端面20、前端面下部70ａ、90ａ及び前端面上
部70ｂ、90ｂがそれぞれ形成されているが、前面壁部の
中間部が前方へ突出して前端面、前端面下部及び前端面
上部がそれぞれ形成されるようにしてもよい。

【００５６】図７ないし図１０は、請求項２に係る発明
の１実施例を示し、図７は、基板への塗布液塗布装置の
要部の構成を示す縦断面図であり、図８は、その正面
図、図９は、その部分の上面図であり、図１０は、塗布
途上の状態を示す部分拡大縦断面図である。これらの図
において、図１ないし図４で使用した符号と同一符号を
付したものについては、上記した通りであり、その説明
を省略する。

【００５７】この塗布装置が図１ないし図４に示した塗
布装置と相違する点は、塗布液槽104の前面壁部106の前
端面110の上端位置である。すなわち、この塗布装置の
塗布液槽104では、前端面110と基板10の被塗布面との間
の寸法Ｇの隙間112を上方へ無限に延長させたと仮定し
た場合に前面壁部106に形成された塗布液流出路108を通
って隙間112内へ流入した塗布液が毛細管作用等によっ
て隙間112内を上昇するときの到達高さ位置と塗布液流
出路108の前端面側出口114との間に前面壁部106の前端
面110の上端が位置するように構成されている。塗布液
槽104の前面壁部106の下端は、図１ないし図４に示した
装置と同様、塗布液流出路108の前端面側出口114とその
反対側の入口116との間の高さに位置するように形成さ
れている。従って、塗布液槽104内に塗布液38を、その
液面が塗布液流出路108の入口116と前端面110の下端と
の間の高さに位置するように、すなわち図１０中の範囲
Ｄ内に位置するように注入したとき、塗布液槽104内か
ら塗布液流出路108を通って隙間112内へ流入した塗布液
で隙間112に形成される液溜り118は、その下端が前端面
110の下端に位置し、上端が前面壁部106の前端面110の
上端に位置することとなる。これ以外の構成は、図１な
いし図４に示した塗布装置と同様であるため、その説明
を省略するが、この塗布装置にも、図１ないし図４に示
した塗布装置と同様に、塗布終端側に、ステージ12に保
持された基板10の下端面に当接し又は対向して近接する
端面30及び塗布液槽104の前面壁部106の前端面110との
間に隙間を形成する前壁面32を有した延設部材28が配設
されている。

【００５８】図７ないし図１０に示した塗布装置を使用
して基板10の被塗布面に塗布液を塗布する操作は、図１
ないし図４に示した塗布装置を使用する場合と同様に行
なわれ、図１０に示すように、基板10の被塗布面に塗布
液膜120が形成されることとなる。

【００５９】尚、塗布始端側において、隙間112に形成
された液溜り118の上端（塗布液槽104の前面壁部106の
前端面110の上端）がステージ12に保持された基板10の
被塗布面の上端より下方側に位置するように、塗布液槽
104を塗布始端位置に停止させ、その位置から基板10の
縦方向への塗布液槽104の移動を開始させて被塗布面の
塗布液を塗布する場合に限らず、例えば、ステージに保
持された基板10の被塗布面の上端が、塗布液流出路108
の前端面側出口114と塗布液槽104の前面壁部106の前端
面110の上端との間に位置するように、かつ、前面壁部1
06の前端面110とステージ12に保持された基板10の被塗
布面との間に寸法Ｇの隙間112が形成されるように、塗
布液槽104を位置決めして停止させ、その位置から基板1
0の縦方向への塗布液槽104の移動を開始させて、被塗布
面への塗布液の塗布動作が開始するようにしてもよい。
この場合においても、基板10の被塗布面に塗布液が塗布
されていく塗布途上においては、隙間112に形成された
塗布液の液溜り118は、その下端が塗布液槽104の前面壁
部106の前端面110の下端に位置し、上端が前面壁部106
の前端面110の上端に位置することとなる。

【００６０】また、図７ないし図１０に示した塗布装置
の塗布液槽104は、ステージ12に保持された基板10の被
塗布面と前面壁部106の前端面110とによって形成される
隙間112が、前面壁部106の前端面110の全域において一
定の寸法Ｇとなるように構成されているが、塗布液槽の
前面壁部の前端面の形状は、図示例のものに限定されな
い。

【００６１】また、図１ないし図４、図５、図６並びに
図７ないし図１０にそれぞれ示した各塗布装置では、塗
布液槽14、64、84、104の前面壁部16、66、86、106に形
成された塗布液流出路18、68、88、108は、その前端面
側出口24、74、94、114よりその反対側の入口26、76、9
6、116が下方に位置するように傾斜している。また、塗
布液槽14、64、84、104の前面壁部16、66、86、106は、
塗布液流出路18、68、88、108の前端面側出口24、74、9
4、114とその反対側の入口26、76、96、116との間の高
さに前端面20、前端面下部70ａ、90ａ又は前端面110の
下端が位置するように形成されている。そして、塗布液
槽14、64、84、104の前面壁部16、66、86、106の前端面
20、前端面下部70ａ、90ａ又は前端面110の下端と塗布
液流出路18、68、88、108の入口26、76、96、116との間
の高さに塗布液面が位置するように、塗布液槽14、64、
84、104内に塗布液38を注入して、基板10の被塗布面へ
の塗布液の塗布を行なうようにしている。しかしなが
ら、塗布液流出路の形成の仕方、塗布液槽の前面壁部の
前端面下端と塗布液流出路の前端面側出口及びその反対
側の入口との位置関係、塗布液槽内に注入される塗布液
の液面高さの条件などは、上記実施例の内容に限定され
ない。

【００６２】すなわち、塗布液流出路は、その前端面側
出口とその反対側の入口とが同一高さに位置するように
水平方向に形成するようにしてもよいし、また、前端面
側出口よりその反対側の入口が上方に位置するように傾
斜させて形成するようにしてもよい。また、塗布液槽の
前面壁部の前端面下端を、塗布液流出路の前端面側出口
の反対側の入口より下方に位置するように形成してもよ
い。さらにまた、塗布液槽内に注入する塗布液の量につ
いても、液面が塗布液流出路の前端面側出口の反対側の
入口より上方に位置してさえおればよい。但し、何れの
場合においても、塗布終了過程では、その時の状態に応
じて塗布液槽の槽内圧力を適正値に設定しておくように
する。また、基板の被塗布面に塗布液を塗布する塗布途
上では、基板の被塗布面と塗布液槽の前面壁部の前端面
とで形成される隙間に、その上部に塗布液の無い空間を
有した状態で液溜りが形成され、或いは、隙間全域にお
いて塗布液の液溜りが形成されるように、かつ、この隙
間から液溜りの塗布液が流出しないように、さらに被塗
布面に塗布液が塗布されることによって消費された量に
応じてこの隙間に塗布液が供給されるように等々、上記
本発明の目的が達成されるように構成し条件設定するも
のとする。

【００６３】また、図１ないし図４、図５、図６並びに
図７ないし図１０にそれぞれ示した各塗布装置では、ガ
ラス基板等の透明の基板10に塗布液を塗布する場合にお
いて、基板10の被塗布面の反対面側から、基板10の被塗
布面と塗布液槽14、64、84、104の前面壁部16、66、8
6、106の前端面20、70ａ・70ｂ、90ａ・90ｂ、110との
間の隙間22、72ａ・72ｂ、92ａ・92ｂ、112に帯状の液
溜り54、78、98、118が形成されたことを確認すること
ができるように、ステージ12の縦方向の長さを、基板10
の幅方向と直交する方向すなわち縦方向の長さより短く
して、基板10を、その上端部分がステージ12の上端辺よ
り突出した状態でステージ12に保持させるようにしてい
るが、透明の基板の被塗布面の反対面側から液溜りを観
察することができるようにする構成は、上記実施例の内
容に限定されない。例えば、ステージの縦方向の長さ
を、基板10の幅方向と直交する方向すなわち縦方向の長
さより短くすることなく、基板をステージに、基板の上
端部分がステージの上端辺より突出した状態で保持させ
るようにしてもよい。また、基板の被塗布面の塗布始端
位置から塗布終端位置に対応する範囲の大きさの貫通穴
をステージに穿設するようにしてもよいし、また、基板
の被塗布面の塗布始端位置に対応する範囲で貫通穴をス
テージに穿設するようにしてもよい。さらに、ステージ
の少なくとも必要部分を透明ガラス等の透明材料で形成
するようにしてもよい。その他、種々の形態を採用する
ことができる。

【００６４】尚、上記各実施例に係る塗布装置では、上
記した通り、より確実に基板の被塗布面に塗布液を塗布
することができるように、塗布始端側において基板の被
塗布面と塗布液槽の前面壁部の前端面との間の隙間に帯
状の液溜りが形成されたことを確認してから、基板の被
塗布面への塗布液の塗布を開始することができるように
構成しているが、塗布始端側において基板の被塗布面と
塗布液槽の前面壁部の前端面との間の隙間に帯状の液溜
りが形成されたことを想定し、例えば、基板の被塗布面
と塗布液槽の前面壁部の前端面との間に所定寸法の隙間
を形成した後、予め設定した時間が経過した時点をもっ
て、前記隙間に帯状の液溜りが形成されたと想定し、そ
の後に塗布液槽を移動させて基板の被塗布面への塗布液
の塗布を開始するようにしても、何ら差し支えない。こ
の場合には、透明基板の被塗布面の反対面側から液溜り
を観察することができるようにするための上記した種々
の構成は、不要となる。

【００６５】また、基板が不透明である場合にも、塗布
開始位置に帯状の液溜りが形成されていることを確認す
ることができる手段もある。例えば、図１ないし図４に
示した構成の塗布液塗布装置における塗布液槽におい
て、その上部に、幅方向の少なくとも一部において前後
方向に貫通した貫通穴を形成するとともに、その貫通穴
の前端側に、開口面を閉塞するように透明ガラス板など
の透明体を嵌め込み、その透明体の前壁面によって前面
壁部の前端面の一部を形成して、基板の被塗布面側から
透明体を通し、隙間における液溜りの上端の少なくとも
一部を確認することができるようにすればよい。尚、こ
のような構成としたときは、基板が透明である場合にも
有効に使用することが可能である。また、このような塗
布液槽の構成と、図１ないし図４に示した塗布装置と同
様、ステージ12の縦方向の長さを、基板10の幅方向と直
交する方向すなわち縦方向の長さより短くして、基板10
を、その上端部分がステージ12の上端辺より突出した状
態でステージ12に保持させるようにした構成とを組み合
わせるようにしたときには、基板が透明である場合に、
例えば基板の被塗布面の反対側に照明系を配置し、塗布
液槽の前面壁部の前端面の一部をなす透明体を通して隙
間の液溜りを観察することができる構成とすることがで
きる。勿論、この場合におけるステージの構成として
は、貫通穴をステージに穿設するなどの種々の形態を採
用することができる。

【００６６】ところで、仮に、図１ないし図４に示した
塗布液塗布装置において塗布終端側に延設部材28を配設
していない状態で、ステージ12に保持された基板10の被
塗布面と塗布液槽14の前面壁部16の前端面20との間に寸
法Ｇの隙間22を保ち、その隙間22に液溜り54を保持しな
がら、塗布液槽14を矢印ａの方向へ移動させて、基板10
の被塗布面に塗布液の塗布を行ない、塗布終端側におい
て、図１１に示すように、塗布液槽14の前面壁部16の前
端面20の下端が基板10の被塗布面の終端（下端）に到達
し、さらに、図１２に示すように、塗布液槽14の前面壁
部16の前端面20下端が基板10の被塗布面終端を通過し
て、例えば液溜り54の上端（或いは塗布液槽14の前面壁
部16の前端面20の上端）が基板10の被塗布面終端に達す
るまで、基板10の被塗布面に塗布液を塗布する場合につ
いて考えてみることとする。

【００６７】まず、図１１に示すように、塗布液槽14の
前面壁部16の前端面20の下端が基板10の被塗布面の下端
に到達するまでは、隙間22に形成された液溜り54の上端
は、矢印ａ方向への塗布液槽14の移動に伴って、塗布液
槽14の移動速度と同等の速度で矢印ａ方向へ移動する。
そして、塗布液槽14の前面壁部16の前端面20下端が基板
10の被塗布面下端に到達した以降においては、塗布液槽
14の前面壁部16の前端面20が基板10の被塗布面下端から
次第に外れていくに従い、隙間22が破壊されていき、そ
の次第に破壊されていく隙間22に保持されている液溜り
54の塗布液の一部は、基板10の下端或いは塗布液槽14の
前面壁部16の前端面20の下端等から流下したりする。ま
た、隙間22に形成された液溜り54の塗布液の一部は、基
板10の下端で移動が抑制され、このため、隙間22の液溜
り54の上端は、塗布液槽14が移動しても塗布液槽14と共
には基板10の被塗布面上を移動せず、或いは、その移動
速度が塗布液槽14の移動速度より低速となる。この結
果、基板10の塗布終端近傍において塗布液膜58の膜厚が
薄くなり、また、図１２に示すように、隙間22から液溜
り54の塗布液の一部が、塗布液槽14の前面壁部16の前端
面20の上端を越えてはみ出すことが起こる。そして、基
板10の被塗布面の塗布終端近傍において、塗布液膜の膜
厚が許容範囲を外れる非有効領域が発生することとな
る。

【００６８】ところが、図１ないし図４に示した塗布装
置では、塗布終端側に、塗布液槽14の前面壁部16の前端
面20と対向する前壁面32を有した延設部材28が配設さ
れ、その前壁面32が基板10の被塗布面から連続するよう
に配置されている。このため、図１３に示すように、塗
布終端側において、塗布液槽14の前面壁部16の前端面20
が基板10の被塗布面下端から外れても、延設部材28の前
壁面32が塗布液槽14の前面壁部16の前端面20と対向し、
延設部材28の前壁面32と前面壁部16の前端面20との間
に、基板10の被塗布面と塗布液槽14の前面壁部16の前端
面20との間の隙間22から連続しその隙間22の寸法Ｇと同
一の寸法Ｇの隙間122が形成される。従って、基板10の
被塗布面と塗布液槽14の前面壁部16の前端面20との間の
隙間22に形成された液溜り54の塗布液は、前面壁部16の
前端面20が基板10の被塗布面下端から外れていく際に
も、その移動が基板10の下端で抑制されるようなことが
なく、塗布液槽14の前面壁部16の前端面20が基板10の被
塗布面下端を通過して隙間22が破壊されていっても、液
溜り54は、引き続き、延設部材28の前壁面32と塗布液槽
14の前面壁部16の前端面20との間に形成された隙間122
に移行して保持されることとなる。この結果、図１２に
示したように、隙間22から液溜り54の塗布液の一部が塗
布液槽14の前面壁部16の前端面20の上端を越えてはみ出
す、といったようなことは起こらない。そして、図１３
に示すように、液溜り54の上端が基板10の被塗布面終端
に到達するまで塗布液槽14を矢印ａの方向へ移動させる
ようにすれば、基板10の被塗布面の終端まで塗布液が塗
布され、基板10の被塗布面の終端まで均一な膜厚の塗布
液膜58が形成されることとなる。

【００６９】尚、図１ないし図４及び図１３に示した塗
布装置では、延設部材28の前壁面32が、ステージ12に保
持された基板10の被塗布面と同一平面内に配置されるよ
うに、すなわち、基板10の被塗布面を延長した平面によ
って延設部材28の前壁面32が構成されるようにしてお
り、このような態様が最良であるが、必ずしも延設部材
28の前壁面32と基板10の被塗布面とが同一平面内に配置
されなくてもよい。また、上記説明では、図１３に示し
たように、延設部材28の前壁面32と塗布液槽14の前面壁
部16の前端面20との間の隙間122に形成された液溜り54
の上端が基板10の被塗布面の終端に到達するまで塗布液
槽14を矢印ａの方向へ移動させて塗布液の塗布を行なう
ようにしているが、塗布液槽14の前面壁部16の前端面20
の下端が少なくとも基板10の被塗布面の終端を通過する
まで塗布液の塗布を行なう場合であれば、基板10の下端
で液溜り54の塗布液の移動が抑制されることによる塗布
液膜への影響を低減させることができる。

【００７０】また、図１３による説明では、図１ないし
図４に示す塗布装置を使用した場合を例にとったが、図
５、図６及び図７ないし図１０に示す各塗布装置を使用
した場合にも、同様の作用効果が得られることは勿論で
ある。

【００７１】上記したように基板10の被塗布面の終端近
傍における塗布液膜の膜厚の不具合を無くすためには、
図１４に塗布液塗布装置の塗布終端側の部分拡大縦断面
図を示したように、延設部材128の少なくとも前壁面132
をなす部位134を、塗布液に対する基板10の被塗布面の
濡れ性より良い濡れ性或いは基板10の被塗布面の濡れ性
と同等の濡れ性を有する材料によって形成し、或いは表
面処理による皮膜で形成するのが好ましいことになる。
但し、この場合には、延設部材128の前壁面132に塗布液
が、基板10の被塗布面と同等もしくはそれ以上に付着し
易くなって、延設部材128の前壁面132に塗布液が膜状態
に付着することになるので、延設部材128の前壁面132の
清掃に工夫が必要となる。

【００７２】一方、延設部材128の少なくとも前壁面132
をなす部位134を、塗布液に対する基板10の被塗布面の
濡れ性より悪い濡れ性を有する材料、例えばフッ化樹脂
によって形成し、或いは表面処理による皮膜で形成する
ようにしたときは、塗布液に対する基板10の被塗布面の
濡れ性と同等以上の濡れ性を有する材料を用いた場合に
比べると、基板10の被塗布面の終端近傍における塗布液
膜の膜厚の不具合の程度が多少大きくなるが、塗布終端
側に延設部材が配設されていない場合に比べると、上記
程度は小さくなる。そして、延設部材128の前壁面132に
塗布液が付着しにくくなり、延設部材128の前壁面132に
付着する塗布液は、膜状態とはならず液滴状態となるた
め、延設部材128の前壁面132から付着塗布液を容易に除
去することができ、その清掃作業が簡単になる。

【００７３】また、図１５に塗布終端側の部分拡大縦断
面図を示した塗布液塗布装置では、延設部材138の、少
なくともステージ12に保持された基板10の下端面に当接
又は近接する端面140をなす部位144を、塗布液に対する
基板10の被塗布面の濡れ性より悪い濡れ性を有する材
料、例えばフッ化樹脂によって形成し、或いは表面処理
による皮膜で形成するようにしている。このため、基板
10の被塗布面と塗布液槽14（図１ないし図４に示した実
施例）の前面壁部16の前端面20との間の隙間22に形成さ
れた液溜り54が、基板10の下端面と延設部材138の端面1
40との当接もしくは近接位置を通過する際、或いは、塗
布終了後においてステージ12から基板10を取り外すため
に、ステージ12に対し塗布液槽14を例えば水平方向へ移
動させて離間させる際などに、液溜り54から基板10の被
塗布面上を流下した一部の塗布液が基板10の下端面と延
設部材138の端面140との間の隙間へ流入する危険性を軽
減することができる。従って、基板10の下端面が塗布液
によって汚される、といった恐れが無くなり或いは減少
することとなる。尚、延設部材138の端面140をなす部位
144をフッ化樹脂等で形成した場合は、基板10がＬＣＤ
用等のガラス基板であるときに、基板10の欠け等の破損
の防止にも寄与することとなる。

【００７４】

【発明の効果】請求項１に記載の発明に係る塗布液塗布
装置を使用して基板に塗布液を塗布するようにすれば、
塗布液の有効利用が図られて塗布液使用量が少なくな
り、塗布液膜の膜厚均一性等の塗布品質の向上が図られ
る。また、この塗布装置は、小型化されて設置スペース
が少なくて済み、特に、近年において大型化する傾向に
あるＬＣＤ用ガラス基板に塗布液を塗布する場合などに
有利となり、また、構成も簡易で、塗布工程も比較的簡
便に行なうことができる。さらに、この塗布装置を使用
したときは、塗布液の汚れが生ぜず、またスピニング装
置におけるような基板表面上の塗布液の飛散もない。ま
た、この塗布装置では、被塗布基板の被塗布面に非接触
で塗布液の塗布が行なわれるため、基板の有効部分、例
えばＬＣＤ用ガラス基板では表示領域を形成する部分に
傷が付くことによって品質低下を来すといったような恐
れが無い。さらに、この塗布装置では、膜厚の薄い塗布
液膜を基板表面に形成したり、膜厚のむらを最小限に抑
えることができる。そして、この塗布装置では、基板保
持手段に保持された被塗布基板の落下や滑り落ちなどに
よる破損の危険性が無く、被塗布基板の厚みが増大した
場合などにおいて、基板保持手段による被塗布基板の保
持安定性にも優れている。

【００７５】請求項２に記載の発明に係る塗布装置を使
用すれば、請求項１に記載の発明による上記効果と同様
の効果が奏される。

【００７６】請求項３に記載の発明に係る塗布装置を使
用すれば、基板の被塗布面の塗布終端側において塗布液
膜の膜厚が許容範囲を外れる非有効領域が発生する、と
いったことを防止ないしは可能な限り少なくすることが
でき、基板を最大限に有効に使用することができること
となる。また、特に、請求項２に記載の発明に係る塗布
装置のように、塗布終端側において被塗布基板の被塗布
面と塗布液槽の前面壁部の前端面との間の隙間における
液溜りの塗布液が前面壁部の前端面の上端からはみ出し
易い構成の塗布装置では、その塗布液のはみ出しを有効
に防止して、被塗布面の塗布終端近傍における塗布液膜
の膜厚の不具合を防止ないしは可能な限り少なくするこ
とができる。

【００７７】請求項４に記載の発明に係る塗布装置を使
用すれば、請求項３に係る発明の上記効果が最良のかた
ちで得られる。

【００７８】請求項５に記載の発明に係る塗布装置を使
用すれば、延設部材の前壁面の清掃作業が簡単になる。

【００７９】請求項６に記載の発明に係る塗布装置を使
用すれば、被塗布基板の被塗布面の塗布終端近傍におけ
る塗布液膜の膜厚が許容範囲を外れて非有効領域が発生
する、といった問題を無くし、或いは、非有効領域を最
小限に抑えることができる。

【００８０】請求項７に記載の発明に係る塗布装置を使
用すれば、被塗布基板の下端面が塗布液によって汚され
る、といったことを防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】請求項１に係る発明の１実施例を示し、基板へ
の塗布液塗布装置の要部の構成を示す縦断面図である。

【図２】図１に示した装置の正面図である。

【図３】図１に示した装置の上面図である。

【図４】図１に示した装置の部分拡大縦断面図であっ
て、塗布途上の状態を示す図である。

【図５】請求項１に係る発明の別の実施例を示す部分拡
大縦断面図である。

【図６】請求項１に係る発明のさらに別の実施例を示す
部分拡大縦断面図である。

【図７】請求項２に係る発明の１実施例を示し、基板へ
の塗布液塗布装置の要部の構成を示す縦断面図である。

【図８】図７に示した装置の正面図である。

【図９】図７に示した装置の上面図である。

【図１０】図７に示した装置の部分拡大縦断面図であっ
て、塗布途上の状態を示す図である。

【図１１】図１ないし図４に示した構成と同様の装置に
おいて塗布終端側に延設部材を配設しない場合に、その
問題点を説明するための部分拡大縦断面図である。

【図１２】同じく、部分拡大縦断面図である。

【図１３】図１ないし図４に示した塗布液塗布装置にお
ける作用を説明するための部分拡大縦断面図である。

【図１４】請求項５、６に係る発明の１実施例を示す部
分拡大縦断面図である。

【図１５】請求項７に係る発明の１実施例を示す部分拡
大縦断面図である。

【符号の説明】

10 基板 12 ステージ 14、64、84、104 塗布液槽 16、66、86、106 前面壁部 18、68、88、108 塗布液流出路 20、110 前面壁部の前端面 22、112 隙間 28、128、138 延設部材 30、140 延設部材の端面 32、132 延設部材の前壁面 38 塗布液 54、78、98、118 塗布液の液溜り 58、120 塗布液膜 70ａ、90ａ 前面壁部の前端面下部 70ｂ、90ｂ 前面壁部の前端面上部 72ａ、92ａ 下部隙間 72ｂ、92ｂ 上部隙間 134 延設部材の前壁面をなす部位 144 延設部材の端面をなす部位

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被塗布基板を鉛直姿勢又は傾斜した姿勢
   に保持する基板保持手段と、 両端が閉塞され前記基板保持手段に保持された被塗布基
   板の幅方向に延在する筒状をなし、前面壁部にそれを貫
   通するように、多数の細管、多数の微小孔又はスリット
   状細溝ノズルからなる塗布液流出路が幅方向にわたって
   形成され、前記前面壁部の前端面が、基板保持手段に保
   持された被塗布基板の被塗布面に非接触でかつ近接する
   ように水平方向に配設され、前面壁部の前端面の上端
   が、基板保持手段に保持された被塗布基板の被塗布面と
   前面壁部の前端面との間の隙間を上方へ無限に延長させ
   たと仮定した場合に前面壁部に形成された塗布液流出路
   を通って流出し前記隙間内に流入した塗布液が少なくと
   も毛細管作用によって隙間内を上昇するときの到達高さ
   位置より上方に位置するように形成され、前面壁部の前
   端面と被塗布基板の被塗布面との間に隙間を保ったまま
   被塗布基板に対しその縦方向に相対的に移動自在に保持
   された塗布液槽と、 この塗布液槽と前記基板保持手段に保持された被塗布基
   板とを相対的に直線的に移動させる直動手段と、 塗布終端側に配設され、前記基板保持手段に保持された
   被塗布基板の下端面の少なくとも一部に当接し又は対向
   して近接する端面を有した延設部材とからなり、 前記塗布液槽内に塗布液を注入したときに、前記基板保
   持手段に保持された被塗布基板の被塗布面と塗布液槽の
   前面壁部の前端面との間の隙間に、前記塗布液流出路を
   通って流出した塗布液の液溜りが形成され、その液溜り
   の上方に塗布液が無い空間が形成された状態で液溜りの
   上端と被塗布基板の被塗布面とが相対的に移動しなが
   ら、前記隙間における液溜りの塗布液が被塗布基板の被
   塗布面に塗布されて消費される量に応じ、塗布液槽内の
   塗布液が塗布液流出路を通って供給されるようにした、
   基板への塗布液塗布装置。
2. 【請求項２】 被塗布基板を鉛直姿勢又は傾斜した姿勢
   に保持する基板保持手段と、 両端が閉塞され前記基板保持手段に保持された被塗布基
   板の幅方向に延在する筒状をなし、前面壁部にそれを貫
   通するように、多数の細管、多数の微小孔又はスリット
   状細溝ノズルからなる塗布液流出路が幅方向にわたって
   形成され、前記前面壁部の前端面が、基板保持手段に保
   持された被塗布基板の被塗布面に非接触でかつ近接する
   ように水平方向に配設され、前面壁部の前端面の上端
   が、基板保持手段に保持された被塗布基板の被塗布面と
   前面壁部の前端面との間の隙間を上方へ無限に延長させ
   たと仮定した場合に前記塗布液流出路を通って流出し前
   記隙間内に流入した塗布液が少なくとも毛細管作用によ
   って隙間内を上昇するときの到達高さ位置と塗布液流出
   路の前端面側出口との間に位置するように形成され、前
   面壁部の前端面と被塗布基板の被塗布面との間に隙間を
   保ったまま被塗布基板に対しその縦方向に相対的に移動
   自在に保持された塗布液槽と、 この塗布液槽と前記基板保持手段に保持された被塗布基
   板とを相対的に直線的に移動させる直動手段と、 塗布終端側に配設され、前記基板保持手段に保持された
   被塗布基板の下端面の少なくとも一部に当接し又は対向
   して近接する端面を有した延設部材とからなり、 前記塗布液槽内に塗布液を注入したときに、前記基板保
   持手段に保持された被塗布基板の被塗布面と塗布液槽の
   前面壁部の前端面との間の隙間に、前記塗布液流出路を
   通って流出した塗布液の液溜りが形成され、その液溜り
   の上端が前面壁部の前端面の上端によって規制された状
   態で液溜りの上端と被塗布基板の被塗布面とが相対的に
   移動しながら、前記隙間における液溜りの塗布液が被塗
   布基板の被塗布面に塗布されて消費される量に応じ、塗
   布液槽内の塗布液が塗布液流出路を通って供給されるよ
   うにした、基板への塗布液塗布装置。
3. 【請求項３】 延設部材が、 塗布液槽の前面壁部の前端面と対向し、前面壁部の前端
   面との間に、基板保持手段に保持された被塗布基板の被
   塗布面と前面壁部の前端面との間の隙間から連続した隙
   間が形成されるようにする前壁面を有し、 塗布終端側において、基板保持手段に保持された被塗布
   基板の被塗布面と前記塗布液槽の前面壁部の前端面との
   間の隙間に形成された液溜りが前面壁部の前端面の下端
   によって規制された状態で被塗布基板の被塗布面の下端
   を相対的に通過して少なくとも前記延設部材の前記前壁
   面に到達するまで、塗布液槽と被塗布基板との相対的移
   動を継続させるように、直動手段を制御する制御手段を
   備え、 塗布終端側において、基板保持手段に保持された被塗布
   基板の被塗布面と塗布液槽の前面壁部の前端面との間の
   隙間に形成された液溜りの塗布液の少なくとも一部が、
   前記延設部材の前記前壁面と塗布液槽の前面壁部の前端
   面との間の隙間に保持されるようにした請求項１又は請
   求項２記載の基板への塗布液塗布装置。
4. 【請求項４】 延設部材の前壁面と塗布液槽の前面壁部
   の前端面との間の隙間の寸法が、基板保持手段に保持さ
   れた被塗布基板の被塗布面と塗布液槽の前面壁部の前端
   面との間の隙間の寸法と等しくなるように、延設部材の
   前壁面が、基板保持手段に保持される被塗布基板の被塗
   布面と同一平面内に形成された請求項３記載の基板への
   塗布液塗布装置。
5. 【請求項５】 基板保持手段に保持された被塗布基板の
   被塗布面と塗布液槽の前面壁部の前端面との間の隙間に
   形成された液溜りの塗布液の少なくとも一部が、延設部
   材の前壁面と塗布液槽の前面壁部の前端面との間の隙間
   に保持された際に、延設部材の前壁面の、液溜りの塗布
   液と接触する部位が、塗布液に対する被塗布基板の被塗
   布面の濡れ性より悪い濡れ性を有する材料によって形成
   され又は表面処理された請求項３又は請求項４記載の基
   板への塗布液塗布装置。
6. 【請求項６】 基板保持手段に保持された被塗布基板の
   被塗布面と塗布液槽の前面壁部の前端面との間の隙間に
   形成された液溜りの塗布液の少なくとも一部が、延設部
   材の前壁面と塗布液槽の前面壁部の前端面との間の隙間
   に保持された際に、延設部材の前壁面の、液溜りの塗布
   液と接触する部位が、塗布液に対する被塗布基板の被塗
   布面の濡れ性より良い濡れ性又は被塗布基板の被塗布面
   の濡れ性と同等の濡れ性を有する材料によって形成され
   又は表面処理された請求項３又は請求項４記載の基板へ
   の塗布液塗布装置。
7. 【請求項７】 延設部材の端面の、基板保持手段に保持
   された被塗布基板の下端面に当接し又は対向して近接す
   る部位が、塗布液に対する被塗布基板の被塗布面の濡れ
   性より悪い濡れ性を有する材料によって形成され又は表
   面処理された請求項１ないし請求項６のいずれかに記載
   の基板への塗布液塗布装置。