JPH0812365A - 光ファイバ用母材の製造装置 - Google Patents
光ファイバ用母材の製造装置Info
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- JPH0812365A JPH0812365A JP15366294A JP15366294A JPH0812365A JP H0812365 A JPH0812365 A JP H0812365A JP 15366294 A JP15366294 A JP 15366294A JP 15366294 A JP15366294 A JP 15366294A JP H0812365 A JPH0812365 A JP H0812365A
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- gas
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01446—Thermal after-treatment of preforms, e.g. dehydrating, consolidating, sintering
- C03B37/0146—Furnaces therefor, e.g. muffle tubes, furnace linings
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- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 シール蓋を炉心管から離して上方に引き上げ
る際に、シールガス配管をその都度取り外す必要がな
く、また、シールガス配管の長さを短くすることができ
る光ファイバ用母材の製造装置を提供する。 【構成】 光ファイバ用多孔質母材１０を脱水、焼結し
て透明化する加熱炉１と、該加熱炉１の内部を貫通する
炉心管２と、該炉心管２の内部に回転しながら挿入され
る前記光ファイバ用多孔質母材１０を支持する母材支持
棒３と、前記炉心管２の上端フランジ部に接触して設け
られた炉心管２と前記母材支持棒３との間をガスシール
するシール蓋４とを備えた光ファイバ用母材の製造装置
において、前記炉心管２の上端フランジ部にガスシール
用のシールガス入口孔２ｄを設け、また、前記シール蓋
４にシールガス流通路４ｅ、４ｃ、４ｄを設け、シール
ガスを前記シールガス入口孔２ｄからシールガス流通路
４ｅ、４ｃ、４ｄを通って前記炉心管２と前記母材支持
棒３との間に流出させる。
る際に、シールガス配管をその都度取り外す必要がな
く、また、シールガス配管の長さを短くすることができ
る光ファイバ用母材の製造装置を提供する。 【構成】 光ファイバ用多孔質母材１０を脱水、焼結し
て透明化する加熱炉１と、該加熱炉１の内部を貫通する
炉心管２と、該炉心管２の内部に回転しながら挿入され
る前記光ファイバ用多孔質母材１０を支持する母材支持
棒３と、前記炉心管２の上端フランジ部に接触して設け
られた炉心管２と前記母材支持棒３との間をガスシール
するシール蓋４とを備えた光ファイバ用母材の製造装置
において、前記炉心管２の上端フランジ部にガスシール
用のシールガス入口孔２ｄを設け、また、前記シール蓋
４にシールガス流通路４ｅ、４ｃ、４ｄを設け、シール
ガスを前記シールガス入口孔２ｄからシールガス流通路
４ｅ、４ｃ、４ｄを通って前記炉心管２と前記母材支持
棒３との間に流出させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ガラス微粒子を堆積し
て作製された光ファイバ用多孔質母材を脱水、焼結して
透明化する光ファイバ用母材の製造装置に関する。
て作製された光ファイバ用多孔質母材を脱水、焼結して
透明化する光ファイバ用母材の製造装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】光ファイバ用母材の製造装置として、ガ
ラス微粒子を堆積して作製された光ファイバ用多孔質母
材を炉心管内で回転させながら加熱し、脱水、焼結して
透明化する装置がある。従来の上記装置の概略構成を図
２に示す。図中、符号１は光ファイバ用多孔質母材１０
を脱水、焼結して透明化する加熱炉、符号２は該加熱炉
１の内部を貫通する炉心管、符号３は該炉心管２の内部
に回転しながら挿入される光ファイバ用多孔質母材１０
を吊り下げ支持する母材支持棒である。上記装置におい
て、炉心管２の下部２ａより塩素ガスなどの雰囲気ガス
が導入され、炉心管２の内部が加熱炉１により加熱され
る。一方、母材支持棒３の下部に保持された光ファイバ
用多孔質母材１０は、回転しながら炉心管２内に挿入さ
れ、脱水、焼結して透明化され、線引きに供される光フ
ァイバ用母材となる。
ラス微粒子を堆積して作製された光ファイバ用多孔質母
材を炉心管内で回転させながら加熱し、脱水、焼結して
透明化する装置がある。従来の上記装置の概略構成を図
２に示す。図中、符号１は光ファイバ用多孔質母材１０
を脱水、焼結して透明化する加熱炉、符号２は該加熱炉
１の内部を貫通する炉心管、符号３は該炉心管２の内部
に回転しながら挿入される光ファイバ用多孔質母材１０
を吊り下げ支持する母材支持棒である。上記装置におい
て、炉心管２の下部２ａより塩素ガスなどの雰囲気ガス
が導入され、炉心管２の内部が加熱炉１により加熱され
る。一方、母材支持棒３の下部に保持された光ファイバ
用多孔質母材１０は、回転しながら炉心管２内に挿入さ
れ、脱水、焼結して透明化され、線引きに供される光フ
ァイバ用母材となる。
【０００３】この際、炉心管２の雰囲気ガスおよび反応
生成ガスは、炉心管２上部側面に設けてある排気口２ｂ
より排気されるが、一部の雰囲気ガスは炉心管２内の上
昇気流に乗って、母材支持棒３に沿って流出しようとす
るので、その流出部分をシールする必要がある。ところ
が、前記流出部分は加熱炉１からの輻射熱を受けて４０
０℃以上の高温になり、また、雰囲気ガスおよび反応生
成ガス中に腐食ガスが含まれるので、炉心管２の上部
に、図３に詳細を示すような構造のシール蓋４を設け、
炉心管２と母材支持棒３間の隙間をガスシールしてい
る。このシール蓋４は、中心部に母材支持棒３を通すた
めに、母材支持棒３の外径よりも約２ｍｍ程度大きい内
径の貫通孔４ａを有する２重筒体で構成されている。シ
ールガスとなるＮ2 ガスは、前記２重筒体の外壁に設け
られたガス入口孔４ｂから２重筒体内部の環状空間４ｃ
内に供給された後、内壁に設けられた内径約０．５ｍｍ
のガス吹き出し孔４ｄから貫通孔４ａ内へ吹き出される
ようになっている。なお、前記シール蓋４の外壁に設け
られたガス入口孔４ｂには、シールガスを供給するシー
ルガス供給管５が接続されている。
生成ガスは、炉心管２上部側面に設けてある排気口２ｂ
より排気されるが、一部の雰囲気ガスは炉心管２内の上
昇気流に乗って、母材支持棒３に沿って流出しようとす
るので、その流出部分をシールする必要がある。ところ
が、前記流出部分は加熱炉１からの輻射熱を受けて４０
０℃以上の高温になり、また、雰囲気ガスおよび反応生
成ガス中に腐食ガスが含まれるので、炉心管２の上部
に、図３に詳細を示すような構造のシール蓋４を設け、
炉心管２と母材支持棒３間の隙間をガスシールしてい
る。このシール蓋４は、中心部に母材支持棒３を通すた
めに、母材支持棒３の外径よりも約２ｍｍ程度大きい内
径の貫通孔４ａを有する２重筒体で構成されている。シ
ールガスとなるＮ2 ガスは、前記２重筒体の外壁に設け
られたガス入口孔４ｂから２重筒体内部の環状空間４ｃ
内に供給された後、内壁に設けられた内径約０．５ｍｍ
のガス吹き出し孔４ｄから貫通孔４ａ内へ吹き出される
ようになっている。なお、前記シール蓋４の外壁に設け
られたガス入口孔４ｂには、シールガスを供給するシー
ルガス供給管５が接続されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、脱水、焼結
処理後には、処理された母材１０を炉心管２の上部から
取り出すために、シール蓋４を母材支持棒３とともに上
方に引き上げることになる。そのため、光ファイバ用多
孔質母材１０の処理が終了し、シール蓋４が母材支持棒
３とともに上方に引き上げられるたびに、シールガス供
給管５をガス入口孔４ｂから取り外すか、もしくはその
長さをシール蓋４等の移動距離に相当するような非常に
長いものにしなけらばならないという問題があった。
処理後には、処理された母材１０を炉心管２の上部から
取り出すために、シール蓋４を母材支持棒３とともに上
方に引き上げることになる。そのため、光ファイバ用多
孔質母材１０の処理が終了し、シール蓋４が母材支持棒
３とともに上方に引き上げられるたびに、シールガス供
給管５をガス入口孔４ｂから取り外すか、もしくはその
長さをシール蓋４等の移動距離に相当するような非常に
長いものにしなけらばならないという問題があった。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は上記問題点を解
決した光ファイバ用母材の製造装置を提供するもので、
光ファイバ用多孔質母材を脱水、焼結して透明化する加
熱炉と、該加熱炉の内部を貫通する炉心管と、該炉心管
の内部に回転しながら挿入される前記光ファイバ用多孔
質母材を支持する母材支持棒と、前記炉心管の上端フラ
ンジ部に接触して設けられた炉心管と前記母材支持棒と
の間をガスシールするシール蓋とを備えた光ファイバ用
母材の製造装置において、前記炉心管の上端フランジ部
にガスシール用のシールガス入口孔を設け、また、前記
シール蓋にシールガス流通路を設け、シールガスは前記
シールガス入口孔からシールガス流通路を通って前記炉
心管と前記母材支持棒との間に流出することを特徴とす
るものである。
決した光ファイバ用母材の製造装置を提供するもので、
光ファイバ用多孔質母材を脱水、焼結して透明化する加
熱炉と、該加熱炉の内部を貫通する炉心管と、該炉心管
の内部に回転しながら挿入される前記光ファイバ用多孔
質母材を支持する母材支持棒と、前記炉心管の上端フラ
ンジ部に接触して設けられた炉心管と前記母材支持棒と
の間をガスシールするシール蓋とを備えた光ファイバ用
母材の製造装置において、前記炉心管の上端フランジ部
にガスシール用のシールガス入口孔を設け、また、前記
シール蓋にシールガス流通路を設け、シールガスは前記
シールガス入口孔からシールガス流通路を通って前記炉
心管と前記母材支持棒との間に流出することを特徴とす
るものである。
【０００６】
【作用】上述のように、炉心管の上端フランジ部にガス
シール用のシールガス入口孔を設けると、炉心管の上端
フランジ部はシール蓋とともに上方に引き上げられるこ
とはないから、シールガス供給管を移動することのない
前記シールガス入口孔に取り付けることができる。従っ
て、シール蓋を炉心管から離して上方に引き上げる場合
に、シールガス供給管をその都度取り外す必要はなくな
る。また、当然のことながら、続けて透明化を行う際に
は、シールガス供給管は既に取り付けられているから、
従来のようにシールガス供給管を取り付ける作業も必要
なくなる。なお、このようなことを従来の炉心管で行お
うとすると、シールガス供給管を前記シール蓋の移動距
離に相当する長さとしなければならない。即ち、従来の
シールガス供給管よりも長くしなければならない。しか
しながら、本発明によれば、従来よりもシールガス供給
管を長くする必要はない。
シール用のシールガス入口孔を設けると、炉心管の上端
フランジ部はシール蓋とともに上方に引き上げられるこ
とはないから、シールガス供給管を移動することのない
前記シールガス入口孔に取り付けることができる。従っ
て、シール蓋を炉心管から離して上方に引き上げる場合
に、シールガス供給管をその都度取り外す必要はなくな
る。また、当然のことながら、続けて透明化を行う際に
は、シールガス供給管は既に取り付けられているから、
従来のようにシールガス供給管を取り付ける作業も必要
なくなる。なお、このようなことを従来の炉心管で行お
うとすると、シールガス供給管を前記シール蓋の移動距
離に相当する長さとしなければならない。即ち、従来の
シールガス供給管よりも長くしなければならない。しか
しながら、本発明によれば、従来よりもシールガス供給
管を長くする必要はない。
【０００７】
【実施例】以下、図面に示した実施例に基づいて本発明
を詳細に説明する。図１は本発明にかかる光ファイバ用
母材の製造装置の一実施例の部分断面図である。図中、
従来と同一構成部分には図２および図３と同一符号を用
いた。図１において、炉心管２は石英製であり、その上
端部には同じく石英製のシール蓋４が取り付けられてい
る。炉心管２の上部フランジ部分には、全周にわたって
炉心管フランジ部に溝２ｃが加工されており、その溝２
ｃには数箇所に炉心管ガス入口孔２ｄが空けられてい
る。シールガスはこれらガス入口孔２ｄより導入され
る。シール蓋４は、母材支持棒３を炉心管２内に挿入で
きるように、中心部に母材支持棒３の外径より約２ｍｍ
程大きな内径の貫通孔４ａが設けられた２重筒体で構成
されており、この２重筒体は環状空間４ｃを形成してい
る。この環状空間４ｃの内筒部には、シールガスを貫通
孔４ａ内に吹き出すために、ガス吹き出し孔４ｄが設け
られている。このようにして、シールガスをガス取入れ
孔４ｅから取り入れて、ガス吹き出し孔４ｄから流出さ
せるシールガス流通路をシール蓋４に設ける。
を詳細に説明する。図１は本発明にかかる光ファイバ用
母材の製造装置の一実施例の部分断面図である。図中、
従来と同一構成部分には図２および図３と同一符号を用
いた。図１において、炉心管２は石英製であり、その上
端部には同じく石英製のシール蓋４が取り付けられてい
る。炉心管２の上部フランジ部分には、全周にわたって
炉心管フランジ部に溝２ｃが加工されており、その溝２
ｃには数箇所に炉心管ガス入口孔２ｄが空けられてい
る。シールガスはこれらガス入口孔２ｄより導入され
る。シール蓋４は、母材支持棒３を炉心管２内に挿入で
きるように、中心部に母材支持棒３の外径より約２ｍｍ
程大きな内径の貫通孔４ａが設けられた２重筒体で構成
されており、この２重筒体は環状空間４ｃを形成してい
る。この環状空間４ｃの内筒部には、シールガスを貫通
孔４ａ内に吹き出すために、ガス吹き出し孔４ｄが設け
られている。このようにして、シールガスをガス取入れ
孔４ｅから取り入れて、ガス吹き出し孔４ｄから流出さ
せるシールガス流通路をシール蓋４に設ける。
【０００８】上記実施例の装置を用いて、光ファイバ用
母材の製造は以下のようにして行う。即ち、先ず、光フ
ァイバ用多孔質母材１０とシール蓋４を一緒に所定の位
置まで降下させる。その後、既に接続されているシール
ガス供給管５から、シールガスの供給を開始し、ガス取
入れ孔４ｅからシールガスを流出させて、環状空間４ｃ
内及びガス吹き出し孔４ｄを経て、貫通孔４ａをシール
ガスで満たす。次いで、炉心管２内を加熱し、所定の温
度に到達した時点で雰囲気ガスを炉心管２の下部の供給
口から供給し、該炉心管２内が雰囲気ガスで満たされた
後、光ファイバ用多孔質母材１０を徐々に回転させつつ
下降させながら、脱水、焼結させて、透明化した光ファ
イバ用母材を得る。このようにして透明化が終了する
と、シール蓋４とともに母材支持棒３を引き上げて光フ
ァイバ用母材を取り出す。この際、シールガス供給管５
は炉心管２に固定されている部分に接続されているた
め、ガス入口孔２ｄから取り外す必要はない。なお、シ
ール蓋４に設けるシールガス流通路の形状は、上記実施
例に限定されることはない。
母材の製造は以下のようにして行う。即ち、先ず、光フ
ァイバ用多孔質母材１０とシール蓋４を一緒に所定の位
置まで降下させる。その後、既に接続されているシール
ガス供給管５から、シールガスの供給を開始し、ガス取
入れ孔４ｅからシールガスを流出させて、環状空間４ｃ
内及びガス吹き出し孔４ｄを経て、貫通孔４ａをシール
ガスで満たす。次いで、炉心管２内を加熱し、所定の温
度に到達した時点で雰囲気ガスを炉心管２の下部の供給
口から供給し、該炉心管２内が雰囲気ガスで満たされた
後、光ファイバ用多孔質母材１０を徐々に回転させつつ
下降させながら、脱水、焼結させて、透明化した光ファ
イバ用母材を得る。このようにして透明化が終了する
と、シール蓋４とともに母材支持棒３を引き上げて光フ
ァイバ用母材を取り出す。この際、シールガス供給管５
は炉心管２に固定されている部分に接続されているた
め、ガス入口孔２ｄから取り外す必要はない。なお、シ
ール蓋４に設けるシールガス流通路の形状は、上記実施
例に限定されることはない。
【０００９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
光ファイバの多孔質母材を脱水、焼結して透明化する加
熱炉と、該加熱炉の内部を貫通する炉心管と、該炉心管
の内部に回転しながら挿入される前記光ファイバ用多孔
質母材を支持する母材支持棒と、前記炉心管の上端フラ
ンジ部に接触するように設けられて、前記炉心管と前記
母材支持棒との間をガスシールするためのシール蓋を備
えた光ファイバ用母材の製造装置において、前記炉心管
の上端フランジ部にガスシール用のシールガス入口孔
を、また、前記シール蓋にシールガス流通路を設けてい
るので、シールガスは前記シールガス入口孔からシール
ガス流通路を通って前記炉心管と前記母材支持棒との間
に流出する。従って、シール蓋を炉心管から離して上方
に引上げる場合にも、シールガス供給管はシール蓋とは
独立したシールガス入口孔に接続されているため、取り
外す必要はない。即ち、シールガス供給管を取り外す手
間を、その長さを従来よりも長くすることなく、削減す
ることができる。
光ファイバの多孔質母材を脱水、焼結して透明化する加
熱炉と、該加熱炉の内部を貫通する炉心管と、該炉心管
の内部に回転しながら挿入される前記光ファイバ用多孔
質母材を支持する母材支持棒と、前記炉心管の上端フラ
ンジ部に接触するように設けられて、前記炉心管と前記
母材支持棒との間をガスシールするためのシール蓋を備
えた光ファイバ用母材の製造装置において、前記炉心管
の上端フランジ部にガスシール用のシールガス入口孔
を、また、前記シール蓋にシールガス流通路を設けてい
るので、シールガスは前記シールガス入口孔からシール
ガス流通路を通って前記炉心管と前記母材支持棒との間
に流出する。従って、シール蓋を炉心管から離して上方
に引上げる場合にも、シールガス供給管はシール蓋とは
独立したシールガス入口孔に接続されているため、取り
外す必要はない。即ち、シールガス供給管を取り外す手
間を、その長さを従来よりも長くすることなく、削減す
ることができる。
【図１】本発明にかかる光ファイバ用母材の製造装置の
一実施例の部分断面図である。
一実施例の部分断面図である。
【図２】光ファイバ用母材の製造装置の概略構成説明図
である。
である。
【図３】従来の光ファイバ用母材の製造装置の部分断面
図である。
図である。
１ 加熱炉 ２ 炉心管 ２ａ 下部 ２ｂ 排気口 ２ｃ 溝 ２ｄ、４ｂ ガス入口孔 ３ 母材支持棒 ４ シール蓋 ４ａ 貫通孔 ４ｃ 環状空間 ４ｄ ガス吹き出し孔 ４ｅ ガス取入れ孔 ５ シールガス供給管 １０ 光ファイバ用多孔質母材
Claims (1)
- 【請求項１】 光ファイバ用多孔質母材を脱水、焼結し
て透明化する加熱炉と、該加熱炉の内部を貫通する炉心
管と、該炉心管の内部に回転しながら挿入される前記光
ファイバ用多孔質母材を支持する母材支持棒と、前記炉
心管の上端フランジ部に接触して設けられた炉心管と前
記母材支持棒との間をガスシールするシール蓋とを備え
た光ファイバ用母材の製造装置において、前記炉心管の
上端フランジ部にガスシール用のシールガス入口孔を設
け、また、前記シール蓋にシールガス流通路を設け、シ
ールガスは前記シールガス入口孔からシールガス流通路
を通って前記炉心管と前記母材支持棒との間に流出する
ことを特徴とする光ファイバ用母材の製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15366294A JP2686044B2 (ja) | 1994-07-05 | 1994-07-05 | 光ファイバ用母材の製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15366294A JP2686044B2 (ja) | 1994-07-05 | 1994-07-05 | 光ファイバ用母材の製造装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0812365A true JPH0812365A (ja) | 1996-01-16 |
| JP2686044B2 JP2686044B2 (ja) | 1997-12-08 |
Family
ID=15567447
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15366294A Expired - Lifetime JP2686044B2 (ja) | 1994-07-05 | 1994-07-05 | 光ファイバ用母材の製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2686044B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1036772A3 (en) * | 1999-03-17 | 2001-03-21 | Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG | Method for producing optical quartz glass for excimer lasers and vertical-type heating furnace |
| KR100334763B1 (ko) * | 2000-04-18 | 2002-05-03 | 윤종용 | 다공 구조 광섬유의 제조 방법 및 제조 장치 |
| KR100921313B1 (ko) * | 2003-04-08 | 2009-10-13 | 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 | 광파이버 모재 제조 장치의 상부 밀봉 구조 및 상부 밀봉방법 |
-
1994
- 1994-07-05 JP JP15366294A patent/JP2686044B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1036772A3 (en) * | 1999-03-17 | 2001-03-21 | Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG | Method for producing optical quartz glass for excimer lasers and vertical-type heating furnace |
| US6508084B1 (en) | 1999-03-17 | 2003-01-21 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Method for producing optical quartz glass for excimer lasers and vertical-type heating furnace |
| KR100334763B1 (ko) * | 2000-04-18 | 2002-05-03 | 윤종용 | 다공 구조 광섬유의 제조 방법 및 제조 장치 |
| KR100921313B1 (ko) * | 2003-04-08 | 2009-10-13 | 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 | 광파이버 모재 제조 장치의 상부 밀봉 구조 및 상부 밀봉방법 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2686044B2 (ja) | 1997-12-08 |
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