JPH08118279A - 基板搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 複数の基板処理部の間で基板を搬送する基板
搬送装置において、ハンドと基板とが相対的にスライド
させられてもそれによって基板の下面が傷つかないよう
にする。 【構成】 基板搬送ロボットは、複数の処理部の間で基
板Ｗを搬送する装置において、基板Ｗを支持するための
ハンド４３と、搬送されるべき基板Ｗの下方にハンド４
３を移動させるＸ，Ｙ，Ｚ軸移動機構と、ハンド４３上
面から上方に突出し、その頂部において基板Ｗを下方か
ら支持する基板支持ピン６０と、ハンド４３に対する基
板Ｗの水平方向の相対的な移動に追随するように、基板
支持ピン６０をハンド４３に対して保持するピン保持部
６２とを備えている。ピン保持部６２は、１対の磁石６
５，６６によってハンド４３に弾性的に支持されてい
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、基板搬送装置、特に、
半導体製造装置及び液晶表示装置等に用いられ、洗浄，
塗布、加熱、冷却、現像等の複数の処理部の間で半導体
用ウエハ，液晶用ガラス角型基板，カラーフィルタ用基
板等の基板を搬送する基板搬送装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体や液晶表示装置の製造工程におい
て、半導体用ウエハ，液晶用ガラス角型基板，カラーフ
ィルタ用基板等の基板を１枚ずつ処理する枚葉式の基板
処理装置が用いられている。この基板処理装置は、一般
に、基板に１枚ずつ洗浄，塗布，加熱，冷却，現像等の
処理を施す複数の基板処理部と、各基板処理部間で基板
を搬送する基板搬送装置とを備えている。この種の基板
搬送装置として、特開平５−２９４３８号公報及び特開
平５−１００１９９号公報に開示された装置が知られて
いる。

【０００３】前者の公報に開示された基板搬送装置は、
基板としての半導体用ウエハを各基板処理部間で搬送可
能な搬送ロボットを備えている。搬送ロボットは、それ
ぞれ半導体用ウエハが載置される２つのハンドを有して
いる。各ハンドは、平面状のハンド本体と、ハンド本体
上に突出して半導体用ウエハを下方から支持する３つの
支点と、それらの支点によって支持された基板の水平方
向の位置決めを行うガイド部材及びストッパ部材とを有
している。この搬送ロボットでは、半導体用ウエハをハ
ンド本体上の所定位置に位置決めするために、３つの支
点によって支持された半導体用ウエハの周縁をストッパ
部材によって押圧してガイド部材に当接させている。

【０００４】後者の公報に開示された基板搬送装置は、
角型基板を各基板処理部間で搬送可能なスカラ型の搬送
ロボットを備えている。スカラ型の搬送ロボットは、角
型基板が水平に載置されるハンドを有している。ハンド
上には１対のストッパが固定されているとともに、ハン
ド上に載置された角型基板の一側面をストッパに向けて
押圧する押圧具が設けられている。後者の搬送ロボット
では、基板搬送時の基板のずれを防止するために、基板
搬送時にストッパと押圧具とによって角型基板の対向二
側面を挟んで保持している。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】前者の公報に開示され
た構成では、基板の位置決め時に３つの支点によって支
持された基板がこの３つの支点上をスライドすることに
なるので、支点の基板の下面とが擦れて基板の下面が傷
つきやすい。さらに、後者の公報に開示された構成で
も、ハンド上の所定位置に基板が載置されていない場合
には、押圧具によって基板が押圧されてハンド上をスラ
イドすることになり、基板の下面とハンドとが擦れて、
前者と同様に基板の下面が傷つきやすい。

【０００６】本発明の目的は、複数の基板処理部の間で
基板を搬送する基板搬送装置において、ハンドと基板と
が相対的に移動させられても基板の下面を傷つけにくい
基板搬送装置を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】請求項１に係る基板搬送
装置は、複数の基板処理部の間で基板を搬送する基板搬
送装置において、基板を支持するためのハンドと、搬送
されるべき基板の下方にハンドを移動させる移動手段
と、ハンド上面から上方に突出し、その頂部において基
板を下方から支持する基板支持ピンと、ハンドに対する
基板の水平方向の相対的な移動に追随するように、基板
支持ピンをハンドに対して保持するピン保持手段とを備
えることを特徴とする。

【０００８】請求項２に係る基板搬送装置は、請求項１
記載の基板搬送装置において、基板支持ピンに支持され
た基板の、ハンドに対する水平方向の位置決めを行う位
置決め手段をさらに備えることを特徴とする。請求項３
に係る基板搬送装置は、請求項１または請求項２記載の
基板搬送装置において、ピン保持手段が、ハンドに対し
て基板支持ピンを弾性的に支持する弾性支持手段を有す
るものである。

【０００９】請求項４に係る基板搬送装置は、請求項３
記載の基板搬送装置において、弾性支持手段が、基板支
持ピンとハンドとにそれぞれ固定され、その磁力によっ
てハンドに対して基板支持ピンを弾性的に支持する１対
の磁石を有するものである。請求項５に係る基板搬送装
置は、請求項３記載の基板搬送装置において、弾性支持
手段が、基板支持ピンとハンドとにそれぞれ連結され、
その弾性力によってハンドに対して基板支持ピンを弾性
的に支持する弾性ヒンジを有するものである。

【００１０】

【作用】請求項１に記載の基板搬送装置では、ハンドが
移動手段によって搬送されるべき基板の下方に移動させ
られると、ハンド上面から上方に突出した基板支持ピン
の頂部において基板が下方から支持される。そして、基
板とハンドとが相対的に移動すると、ピン保持部材によ
って、ハンドに対する基板の水平方向の相対的な移動に
追随するように基板支持ピンが移動する。ここでは、基
板支持ピンがハンドに対する基板の水平方向の相対的な
移動に追随するように保持されているので、基板支持ピ
ンと基板とが相対移動しにくくなり、基板の下面が傷つ
きにくい。

【００１１】請求項２に記載の基板搬送装置では、基板
支持ピンに支持された基板に対して位置決め手段がハン
ドに対する水平方向の位置決めを行う。ここでは、位置
決め手段が基板をハンドに対して水平方向に移動させて
位置決めを行っても、それに追随して基板支持ピンが移
動するので、位置決め動作を行っても基板の下面が傷つ
きにくい。

【００１２】請求項３に記載の基板搬送装置では、ピン
保持手段において、弾性支持手段によってハンドに対し
て基板支持ピンが弾性的に支持される。ここでは、基板
支持ピンが弾性的に支持されるので、ハンド上を基板支
持ピンが移動しても所定位置に復帰できる。請求項４に
記載の基板搬送装置では、弾性支持手段において、１対
の磁石の磁力によってハンドに対して基板支持ピンが弾
性的に支持される。ここでは、磁石の磁力によって、ハ
ンドの所定位置に基板支持ピンを復帰できる。

【００１３】請求項５に記載の基板搬送装置では、弾性
支持手段において、弾性ヒンジの弾性力よってハンドに
対して基板支持ピンが弾性的に支持される。ここでは、
弾性ヒンジの弾性力によって、ハンドの所定位置に基板
支持ピンを復帰できる。

【００１４】

【実施例】図１及び図２において、本発明の一実施例を
採用した基板処理装置１は、多数の角型基板Ｗを収納可
能な２つのカセットＣ１，Ｃ２が載置される基板搬入・
搬出部２と、基板Ｗに一連の処理を行う処理ユニット部
３と、基板搬入・搬出部２と処理ユニット部３との間で
基板Ｗを搬送する基板搬送部４とを有している。

【００１５】基板搬入・搬出部２は、カセットＣ１，Ｃ
２が載置されるカセット載置台ＩＤと、カセットＣ１，
Ｃ２と基板搬送部４の基板搬入・搬出位置との間で基板
Ｗを１枚ずつ搬送するインデクサロボットＲＢ１とで構
成されている。カセットＣ１，Ｃ２には、たとえば１０
枚の基板Ｗが収納可能である。インデクサロボットＲＢ
１は、Ｙ方向（図１の奥行き方向）に延びるレール５上
を移動可能である。インデクサロボットＲＢ１は、スカ
ラ型のロボットであり、Ｚ方向（図１の上下方向）と、
Ｘ方向（図１の左右方向）と、θ方向（垂直軸回りの回
転方向）とにも移動可能である。

【００１６】処理ユニット部３には、各処理部が上下２
段に分けて配列されており、その下段には、基板Ｗを洗
浄するスピンスクラバーＳＳと、洗浄された基板Ｗにフ
ォトレジスト液を塗布するスピンコーターＳＣとが配置
されている。また上段には、ホットプレートＨＰ１，Ｈ
Ｐ２とクールプレートＣＰ１，ＣＰ２とが配置されてい
る。ホットプレートＨＰ１は、スピンスクラバーＳＳで
洗浄された基板Ｗを脱水ベークするものであり、ホット
プレートＨＰ２は、フォトレジスト液が塗布された基板
Ｗをプリベークするものである。クールプレートＣＰ
１，ＣＰ２は、それぞれホットプレートＨＰ１，ＨＰ２
で加熱された基板Ｗを冷却するものである。

【００１７】基板搬送部４は、Ｘ方向に延びるレール６
と、レール６上を移動可能な基板搬送ロボットＲＢ２と
を有している。基板搬送ロボットＲＢ２は、スカラ型の
ロボットであり、Ｚ方向とＹ方向とにも移動可能であ
る。基板搬送ロボットＲＢ２は、図３に示すように、レ
ール６に沿って移動するＸ軸移動機構２０と、Ｘ軸移動
機構２０上に配置された１対のＺ軸移動機構２１と、１
対のＺ軸移動機構２１間に配置されたＹ軸移動機構２２
とを有している。

【００１８】Ｘ軸移動機構２０は、レール６に移動可能
に支持された移動フレーム２３を有している。移動フレ
ーム２３内には、移動フレーム２３をＸ方向に移動させ
るためのＸ軸駆動モータ（図示せず）と、基板搬送ロボ
ットＲＢ２に支持された基板をＺ方向に移動させるため
のＺ軸駆動モータＺＭとが配置されている。移動フレー
ム２３の上部には、Ｚ軸移動機構２１の固定フレーム２
４が立設されている。固定フレーム２４の上端内側に
は、第１昇降アーム２５が回転軸を介して連結されてい
る。第１昇降アーム２５の先端には、第２昇降アーム２
６が回転軸を介して連結されている。第２昇降アーム２
６の先端には、Ｙ軸移動機構２２のハウジング２７が回
転軸を介して連結されている。Ｚ軸駆動モータＺＭの駆
動力は、固定フレーム２４内に配置されたリンク（図示
せず）により第１昇降アーム２５に伝達される。第１昇
降アーム２５及び第２昇降アーム２６内には、多数のギ
ア（図示せず）が配置されており、これらのギアによ
り、第１昇降アーム２５と第２昇降アーム２６とハウジ
ング２７とが連動して回動するようになっている。この
結果、第１昇降アーム２５及び第２昇降アーム２６の回
動によりハウジング２７が同じ姿勢を維持しつつ昇降す
る。

【００１９】ハウジング２７内のＹ軸移動機構２２は、
図４に示すように、ハウジング２７の下面手前側（図４
下側）に配置されたＹ軸駆動モータＹＭと、Ｙ軸駆動モ
ータＹＭに連結されかつハウジング２７に回動可能に支
持された第１移動アーム４０と、第１移動アーム４０に
回転軸を介して連結された第２移動アーム４１と、第２
移動アーム４１の先端に回転軸を介して連結された基板
保持部４２とを有している。

【００２０】基板保持部４２は、上下に１組間隔を隔て
て配置された左右１対のハンド４３と、上下の１組のハ
ンド４３を互いに接近・離反する方向に移動可能に支持
する保持部本体４４とを有している。ハンド４３は、図
５に示すように、その側面を張り合わせた２本の角パイ
プ４５ａ，４５ｂで構成された基板支持部４５を先端に
有している。角パイプ４５ａ，４５ｂの基端には排気用
の継手４６ａと給気用の継手４６ｂとを介して排気配管
４７ａ及び給気配管４７ｂが接続されている。排気配管
４７ａの端部には真空ポンプ（図示せず）が接続されて
いる。角パイプ４５ａ，４５ｂの内部は先端で連通孔４
８（図７）によって連通している。従って、角パイプ４
５ａ，４５ｂの内部は常に排気され、汚染した空気を外
部に排出しないようになっている。

【００２１】また、ハンド４３を上下に１組設けたの
は、処理済の基板Ｗと処理前の基板Ｗとを処理部内で一
度に交換するためである。ここでは、第１移動アーム４
０、第２移動アーム４１及び基板保持部４２は図示しな
いギヤ列で連結されて同期して回動し、ハンド４３がＹ
方向に同じ姿勢で進退する。ハウジング２７の図４上側
の内壁には、平面視Ｌ字状の押圧部５０が取り付けられ
ている。また保持部本体４４の上面及び下面（図示せ
ず）には、押圧部５０に当接し得るプッシャー５１が取
り付けられている。

【００２２】押圧部５０は、基部がハウジング２７に固
定されかつＸ方向に延びる押圧板バネ５２と、押圧板バ
ネ５２の先端からＹ方向（図４の下方）に延びる当接板
５３とを有している。プッシャー５１は、基部が保持部
本体４４に固定されかつＹ方向に延びる板バネ５４と、
板バネ５４の先端に基部が固定された支持部材５５と、
支持部材５５の中間部分からＹ方向に延びるプッシャー
本体５６とを有している。

【００２３】支持部材５５はＸ方向に延びており、図４
のハンド退避状態では、その先端が当接板５３に当接し
ている。板バネ５４は、自由状態ではその先端が当接板
５３側に湾曲しており、図４の状態では当接板５３が支
持部材５５に当接することによって伸ばされている。こ
の構成によって、ハンド４３がハウジング２７に収納さ
れた退避位置に配置されたとき（図４の状態のとき）、
プッシャー本体５６の先端がハンド４３に保持された基
板ＷをＹ方向に押圧し、ハンド４３がハウジング２７に
収納されていない進出位置に配置されたとき（図３及び
図９の状態のとき）、プッシャー本体５６の先端が板バ
ネ５４により基板Ｗに当接しない位置に退避する。

【００２４】ハンド４３の基部（図４上側部分）におい
て、プッシャー本体５６の先端に隣接する位置には、１
対の基板載置部５７が取り付けられている。基板載置部
５７は、図６に示すように、側面が略三角形のくさび型
の載置部本体５８と、載置部本体５８を上下動可能に支
持する板バネ５９とを有している。載置部本体５８の載
置面（図６右側の三角形斜辺）には、約１ｍｍ間隔で階
段状の溝５８ａが形成されている。溝５８ａは、Ｘ方向
に延びる溝である。板バネ５９は、概ねＹ方向に延びて
おり、その一端は載置部本体５８の背面（図６の左側
面）に固定されている。板バネ５９の他端は、ハンド４
３の内壁に取り付けられている。板バネ５９のバネ定数
は、ハンド４３に基板Ｗが載置されたときに、基板Ｗの
重量によって載置部本体５８が下方に移動し得る程度に
小さく設定されている。

【００２５】ハンド４３において、基板支持部４５の外
側の角パイプ４５ａには、図５に示すように、複数の基
板支持ピン６０が同一高さで角パイプ４５ａの長手方向
に並べて設けられている。基板支持ピン６０は、角パイ
プ４５ａの上面から上方に突出し、その頂部において基
板Ｗを下方から支持する。基板支持ピン６０は、図７及
び図８に示すように、ピン保持部６２上に立設されてお
り、ピン保持部６２の中心より僅かに偏芯して保持され
ている。ピン保持部６２の下面には、リテーナ６３が取
り付けられており、リテーナ６３には、ボール軸受６４
が保持されている。このボール軸受６４によってピン保
持部６２は、角パイプ４５ａの内部において角パイプ４
５ａに水平移動自在に支持されている。ピン保持部６２
の下面には、磁石６５が埋め込まれている。また、角パ
イプ４５ａの底面には磁石６５に対向して磁石６６が埋
め込まれている。磁石６５，６６は対向面が互いに吸引
するように逆極性となっており、ピン保持部６２を角パ
イプ４５ａに対して弾性的に支持する。したがって、ピ
ン保持部６２は、外力が作用しないときには、磁石６
５，６６が対向する中立位置に配置される。

【００２６】角パイプ４５ａ，４５ｂの先端には、当接
部材６１が取り付けられている。当接部材６１は、基板
Ｗを位置決めするためのものであり、プッシャー本体５
６で押圧された基板Ｗを受け止めるようになっている。
次に、上述の実施例の動作について説明する。基板Ｗを
収納したカセットＣ１もしくはＣ２が基板搬入・搬出部
に載置されると、インデクサロボットＲＢ１が基板を１
枚ずつ取り出し、基板搬送ロボットＲＢ２に渡す。基板
搬送ロボットＲＢ２は、受け取った基板Ｗをスピンスク
ラバーＳＳに対向する位置に搬送する。スピンスクラバ
ーＳＳでは、受け取った基板Ｗを洗浄処理する。洗浄処
理が終了した基板Ｗは、ホットプレートＨＰ１に搬送さ
れて、加熱乾燥される。

【００２７】ホットプレートＨＰ１で乾燥された基板Ｗ
はクールプレートＣＰ１に搬送され、冷却される。冷却
された基板ＷはスピンコーターＳＣに搬送される。スピ
ンコーターＳＣでは、基板Ｗ上にフォトレジスト液が塗
布される。フォトレジスト液が塗布された基板Ｗは２つ
のホットプレートＨＰ２のいずれかに搬送され、加熱乾
燥され、さらに２つのクールプレートＣＰ２のいずれか
に搬送され、冷却される。

【００２８】冷却が終了した基板Ｗは、基板搬送ロボッ
トＲＢ２により基板搬入・搬出部２のインデクサロボッ
トＲＢ１に渡される。インデクサロボットＲＢ１は、受
け取った基板ＷをカセットＣ１，Ｃ２に戻す。上述の動
作において、基板受け渡し時に基板搬送ロボットＲＢ２
は、図４のハンド退避位置と図９のハンド進出位置との
間で、ハンド４３を伸縮させる。このハンド４３の伸縮
動作は、Ｙ軸駆動モータＹＭの駆動によって実現され
る。

【００２９】基板を支持していない状態で、図４の退避
位置から図９の進出位置へとハンド４３が進出すると、
押圧部５０からプッシャー５１が離れ、プッシャー５１
のプッシャー本体５６が板バネ５４により後方に退避す
る。そして、基板Ｗを受け取る前には、図１０（Ａ）に
示すように、基板支持ピン６０が磁石６５，６６が対向
する中立位置に配置されている。また、載置部本体５８
が板バネ５９により上方に位置している。そして基板Ｗ
を受け取ると、図１０（Ｂ）に示すように、基板Ｗが基
板支持ピン６０上に載置される。このとき、基板載置部
５７の載置部本体５８の斜辺の溝５８ａに基板Ｗの一辺
が乗り、板バネ５９が撓んで載置部本体５８が下方に移
動する。この状態では、プッシャー本体５６は退避して
いるので、プッシャー本体５６と基板Ｗとは干渉しな
い。

【００３０】次に、ハンド４３が進出位置から退避して
ハウジング２７内の退避位置に入り込むと、プッシャー
５１の支持部材５５の先端が押圧部５０の当接板５３に
当接し、板バネ５４に抗してプッシャー本体５６が図１
０（Ｃ）に示すように、基板Ｗを前方（図１０の右方）
に押す。この結果、ピン保持部６２に保持された基板支
持ピン６０が基板Ｗの移動に追随して前方に移動し、基
板Ｗの前端が当接部材６１に当接し、基板Ｗが位置決め
される。このとき、プッシャー本体５６による基板Ｗの
移動に伴って、載置部本体５８が板バネ５９の付勢力に
より上昇するので、基板載置部本体５８が基板Ｗの後端
に接触した状態が常に維持される。そして、基板Ｗが当
接部材６１に当接して基板Ｗが位置決めされた段階で、
載置部本体５８と当接部材６１との間で基板Ｗが挟持さ
れる。ここでは、基板Ｗの移動に追随して基板支持ピン
６０が移動するので基板Ｗの下面が傷つきにくい。

【００３１】載置部本体５８と当接部材６１との間で基
板Ｗが挟持された状態において、図４の退避位置から図
９の進出位置へと基板を挟持したハンド４３が進出する
と、図１０（Ｄ）に示すように、押圧部５０からプッシ
ャー５１が離れ、プッシャー本体５６が板バネ５４によ
り後方に退避する。しかし、板バネ５９はＹ方向には弾
性を示さないので、載置部本体５８と当接部材６１とに
よる基板Ｗの挟持は維持される。また、基板支持ピン６
０は、前方に移動した状態に維持される。

【００３２】次に、基板Ｗが処理部に渡されると、図１
０（Ｅ）に示すように、基板支持ピン６０が磁石６５，
６６の磁力により磁石６５，６６が対向する中立位置に
復帰する。この実施例では、基板搬送ロボットＲＢ２に
よる基板搬送時に、載置部本体５８と当接部材６１との
間で基板Ｗが挟持された状態が維持されるので、搬送速
度を高速化できる。また、基板Ｗがハンド４３に支持さ
れたときに、板バネ５９により上下方向のみ弾性的に支
持された載置部本体５８がテーパ面で基板Ｗを受けるの
で、基板支持動作が回転部分の無い簡素な構造で実現さ
れる。さらに、Ｙ軸移動機構２２が固定フレーム２７内
に退避し、板バネ５２に付勢されたプッシャー本体５６
が基板Ｗに当接して基板Ｗを当接部材６１に当接させる
位置決め時に、基板支持ピン６０が基板Ｗに追随して移
動するので、基板の下面が傷つきにくい。また、角パイ
プ４５ａ，４５ｂ内が排気されるので、ボール軸受６４
から磨耗粉等の塵埃が発生しても、それが角パイプ４５
ａ，４５ｂ外に流出されず、基板Ｗを汚染しにくい。

【００３３】〔他の実施例〕磁石６５，６６の代わり
に、図１１に示すように、ピン保持部６２と角パイプ４
５ａとを弾性的に連結するバネヒンジ６７等の他の弾性
支持手段を用いてもよい。このバネヒンジ６７は、基板
支持ピン６０を介してピン保持部６２に外力が加わらな
いときは垂直姿勢を維持し、外力が加わると外力に応じ
て撓む。

【００３４】

【発明の効果】請求項１に記載の基板搬送装置では、基
板支持ピンがハンドに対する基板の水平方向の相対的な
移動に追随するように保持されているので、基板支持ピ
ンと基板とが相対移動しにくくなり、基板の下面が傷つ
きにくい。請求項２に記載の基板搬送装置では、位置決
め手段が基板をハンドに対して水平方向に移動させて位
置決めを行っても、それに追随して基板支持ピンが移動
するので、位置決め動作を行っても基板の下面が傷つき
にくい。

【００３５】請求項３に記載の基板搬送装置では、基板
支持ピンが弾性的に支持されるので、ハンド上を基板支
持ピンが移動してもハンドの所定位置に基板支持ピンを
復帰できる。請求項４に記載の基板搬送装置では、磁石
の磁力によって、ハンドの所定位置に基板支持ピンを復
帰できる。

【００３６】請求項５に記載の基板搬送装置では、弾性
ヒンジの弾性力によって、ハンドの所定位置に基板支持
ピンを復帰できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例が採用された基板処理装置の
側面模式図。

【図２】その平面模式図。

【図３】基板搬送ロボットの斜視図。

【図４】ハウジング内のＹ軸移動機構の横断平面図。

【図５】ハンドの平面部分図。

【図６】基板載置部の側面部分図。

【図７】図５のVII 部の部分拡大図。

【図８】図７のVIII線の断面部分図。

【図９】Ｙ軸移動機構が進出した状態を示す横断平面
図。

【図１０】プッシャーの動作を示す側面部分図。

【図１１】他の実施例の図８に相当する図。

【符号の説明】

２０ Ｘ軸移動機構 ２１ Ｚ軸移動機構 ２２ Ｙ軸移動機構 ４３ ハンド ４５ 基板支持部 ４５ａ 角パイプ ５６ プッシャー本体 ６０ 基板支持ピン ６１ 当接部材 ６２ ピン保持部 ６４ ボール軸受 ６７ バネヒンジ ＲＢ２ 基板搬送ロボット Ｗ 基板

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】複数の基板処理部の間で基板を搬送する基
   板搬送装置において、 基板を支持するためのハンドと、 搬送されるべき前記基板の下方に前記ハンドを移動させ
   る移動手段と、 前記ハンド上面から上方に突出し、その頂部において前
   記基板を下方から支持する基板支持ピンと、 前記ハンドに対する前記基板の水平方向の相対的な移動
   に追随するように、前記基板支持ピンをハンドに対して
   保持するピン保持手段と、を備えることを特徴とする基
   板搬送装置。
2. 【請求項２】前記基板支持ピンに支持された基板の、前
   記ハンドに対する水平方向の位置決めを行う位置決め手
   段をさらに備えることを特徴とする請求項１記載の基板
   搬送装置。
3. 【請求項３】前記ピン保持手段は、前記ハンドに対して
   前記基板支持ピンを弾性的に支持する弾性支持手段を有
   する、請求項１または請求項２記載の基板搬送装置。
4. 【請求項４】前記弾性支持手段は、前記基板支持ピンと
   前記ハンドとにそれぞれ固定され、その磁力によって前
   記ハンドに対して前記基板支持ピンを弾性的に支持する
   １対の磁石を有する、請求項３記載の基板搬送装置。
5. 【請求項５】前記弾性支持手段は、前記基板支持ピンと
   前記ハンドとにそれぞれ連結され、その弾性力によって
   前記ハンドに対して前記基板支持ピンを弾性的に支持す
   る弾性ヒンジを有する、請求項３記載の基板搬送装置。