JPH08110205A - 回転体上の異物の位置座標測定装置 - Google Patents
回転体上の異物の位置座標測定装置Info
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- JPH08110205A JPH08110205A JP6244260A JP24426094A JPH08110205A JP H08110205 A JPH08110205 A JP H08110205A JP 6244260 A JP6244260 A JP 6244260A JP 24426094 A JP24426094 A JP 24426094A JP H08110205 A JPH08110205 A JP H08110205A
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 20
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 4
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- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 206010061274 Malocclusion Diseases 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
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- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
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- G01N21/94—Investigating contamination, e.g. dust
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- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 回路構成が簡易で製造コストが低いにもかか
わらず高精度の測定ができる回転体上異物の位置座標測
定装置を提供すること 【構成】 水平移動する垂直回転軸線を中心に回転する
回転体と、上記垂直回転軸線の移動量を検出して水平移
動量信号を出力する水平移動量検出部と、上記回転体の
回転角度位置を検出する角度位置検出部と、上記回転体
の対象面の測定光を照射する照射光学系と、上記測定光
の上記対象面による反射光を受光する受光系と、クロッ
ク信号を発生するクロック信号発生器と、上記角度位置
検出部の角度位置出力信号を入力される毎に上記受光系
の出力信号の最大値をその角度位置における代表値とし
て決定する代表値決定部と、上記水平移動量信号、上記
角度位置出力信号、及び上記クロック信号から上記代表
値が出力された位置を決定する位置決定部と、上記代表
値から一定値以上のものを異物として検出する異物検出
部とを有することを特徴とする回転体上の異物の位置座
標測定装置。
わらず高精度の測定ができる回転体上異物の位置座標測
定装置を提供すること 【構成】 水平移動する垂直回転軸線を中心に回転する
回転体と、上記垂直回転軸線の移動量を検出して水平移
動量信号を出力する水平移動量検出部と、上記回転体の
回転角度位置を検出する角度位置検出部と、上記回転体
の対象面の測定光を照射する照射光学系と、上記測定光
の上記対象面による反射光を受光する受光系と、クロッ
ク信号を発生するクロック信号発生器と、上記角度位置
検出部の角度位置出力信号を入力される毎に上記受光系
の出力信号の最大値をその角度位置における代表値とし
て決定する代表値決定部と、上記水平移動量信号、上記
角度位置出力信号、及び上記クロック信号から上記代表
値が出力された位置を決定する位置決定部と、上記代表
値から一定値以上のものを異物として検出する異物検出
部とを有することを特徴とする回転体上の異物の位置座
標測定装置。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、回転体上異物の位置座
標測定装置、さらに詳しくは、例えば回転するウエーハ
の上に存在する塵等のパーテイクルの位置座標を高精度
に検出し、視野の極めて狭い電子顕微鏡によるパーテイ
クルの観察や処理を効率的に行うための装置に関する。
標測定装置、さらに詳しくは、例えば回転するウエーハ
の上に存在する塵等のパーテイクルの位置座標を高精度
に検出し、視野の極めて狭い電子顕微鏡によるパーテイ
クルの観察や処理を効率的に行うための装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のウエーハ上のパーテイクルの位置
座標検出装置の第１例としては、特公平３ー７５０５５
号公報に開示された異物検出装置、特開昭６０ー１５９
３９号公報に開示された異物検査装置、特開昭５７ー１
０８６０６号公報に開示された自動外観検査装置等に包
含されている。これらの装置においては、移動載置台に
載置されたウエーハ等を移動させて異物を高倍率の顕微
鏡や光電式検出器によって検出し、その時の移動載置台
の基準位置からの移動量をエンコーダ等によって検出し
て異物位置座標を測定するものである。従来のウエーハ
上のパーテイクルの位置座標検出装置の第２例として
は、ウエーハ上を一定面積の矩形ピクセルに分割し、そ
れぞれのピクセルの散乱光量を測定し、一定値より高い
散乱光量が測定された時、そのピクセルにパーテイクル
が存在すると認定し、そのピクセルの座標を検出・記憶
するものである。
座標検出装置の第１例としては、特公平３ー７５０５５
号公報に開示された異物検出装置、特開昭６０ー１５９
３９号公報に開示された異物検査装置、特開昭５７ー１
０８６０６号公報に開示された自動外観検査装置等に包
含されている。これらの装置においては、移動載置台に
載置されたウエーハ等を移動させて異物を高倍率の顕微
鏡や光電式検出器によって検出し、その時の移動載置台
の基準位置からの移動量をエンコーダ等によって検出し
て異物位置座標を測定するものである。従来のウエーハ
上のパーテイクルの位置座標検出装置の第２例として
は、ウエーハ上を一定面積の矩形ピクセルに分割し、そ
れぞれのピクセルの散乱光量を測定し、一定値より高い
散乱光量が測定された時、そのピクセルにパーテイクル
が存在すると認定し、そのピクセルの座標を検出・記憶
するものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記第１例のパーテイ
クルの位置座標検出装置においては、検出される座標は
回転体を分割したピクセルのデータ（代表値）であるか
ら、座標測定精度がピクセルの大きさによって制限され
たしまうという問題があった。また、上記第２例のパー
テイクルの位置座標検出装置においては、位置検出分解
能（空間分解能）がピクセルの面積に限定されてしま
い、電子顕微鏡等の分析機器が必要とする高精度の測定
をすることができないという問題があった。
クルの位置座標検出装置においては、検出される座標は
回転体を分割したピクセルのデータ（代表値）であるか
ら、座標測定精度がピクセルの大きさによって制限され
たしまうという問題があった。また、上記第２例のパー
テイクルの位置座標検出装置においては、位置検出分解
能（空間分解能）がピクセルの面積に限定されてしま
い、電子顕微鏡等の分析機器が必要とする高精度の測定
をすることができないという問題があった。
【０００４】
【発明の目的】本発明は、上述した従来の回転体上異物
の位置座標測定装置の問題点に鑑みてなされたものであ
って、回路構成が簡易で製造コストが低いにもかかわら
ず高精度の測定ができる回転体上異物の位置座標測定装
置を提供することを目的とする。本発明はまた、エンコ
ーダ等の角度位置検出部の検出分解能を超えた角度検出
分解能をもった回転体上異物の位置座標測定装置を提供
することを目的とする。本発明はさらに、エンコーダ等
の角度位置検出部において、クロックパルスの計時誤差
が累積することがなく、各角度検出区分毎に等しく高精
度の角度位置検出を行うことができる回転体上異物の位
置座標測定装置を提供することを目的とする。
の位置座標測定装置の問題点に鑑みてなされたものであ
って、回路構成が簡易で製造コストが低いにもかかわら
ず高精度の測定ができる回転体上異物の位置座標測定装
置を提供することを目的とする。本発明はまた、エンコ
ーダ等の角度位置検出部の検出分解能を超えた角度検出
分解能をもった回転体上異物の位置座標測定装置を提供
することを目的とする。本発明はさらに、エンコーダ等
の角度位置検出部において、クロックパルスの計時誤差
が累積することがなく、各角度検出区分毎に等しく高精
度の角度位置検出を行うことができる回転体上異物の位
置座標測定装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【発明の構成】本願の第１発明は、水平移動する垂直回
転軸線を中心に回転する回転体と、上記垂直回転軸線の
移動量を検出して水平移動量信号を出力する水平移動量
検出部と、上記回転体の回転角度位置を検出する角度位
置検出部と、上記回転体の対象面の測定光を照射する照
射光学系と、上記測定光の上記対象面による反射光を受
光する受光系と、クロック信号を発生するクロック信号
発生器と、上記角度位置検出部の角度位置出力信号を入
力される毎に上記受光系の出力信号の最大値をその角度
位置における代表値として決定する代表値決定部と、上
記水平移動量信号、上記角度位置出力信号、及び上記ク
ロック信号から上記代表値が出力された位置を決定する
位置決定部と、上記代表値から一定値以上のものを異物
として検出する異物検出部とを有することを特徴とする
回転体上異物の位置座標測定装置である。
転軸線を中心に回転する回転体と、上記垂直回転軸線の
移動量を検出して水平移動量信号を出力する水平移動量
検出部と、上記回転体の回転角度位置を検出する角度位
置検出部と、上記回転体の対象面の測定光を照射する照
射光学系と、上記測定光の上記対象面による反射光を受
光する受光系と、クロック信号を発生するクロック信号
発生器と、上記角度位置検出部の角度位置出力信号を入
力される毎に上記受光系の出力信号の最大値をその角度
位置における代表値として決定する代表値決定部と、上
記水平移動量信号、上記角度位置出力信号、及び上記ク
ロック信号から上記代表値が出力された位置を決定する
位置決定部と、上記代表値から一定値以上のものを異物
として検出する異物検出部とを有することを特徴とする
回転体上異物の位置座標測定装置である。
【０００６】本願の第２発明は、上記回転体の回転数を
１秒Ｍ回転、上記角度位置検出部の１回転の検出分割数
をＮ分割とするとき、上記クロック信号発生器のクロッ
ク周波数が、Ｍ×Ｎ ( Hz ) より高いことを特徴とする
請求項１記載の回転体上異物の位置座標測定装置であ
る。本願の第３発明は、上記位置決定部が、上記角度位
置検出部によって検出される角度区分毎に上記クロック
信号の計数を開始することを特徴とする請求項１記載の
回転体上の異物の位置座標測定装置である。
１秒Ｍ回転、上記角度位置検出部の１回転の検出分割数
をＮ分割とするとき、上記クロック信号発生器のクロッ
ク周波数が、Ｍ×Ｎ ( Hz ) より高いことを特徴とする
請求項１記載の回転体上異物の位置座標測定装置であ
る。本願の第３発明は、上記位置決定部が、上記角度位
置検出部によって検出される角度区分毎に上記クロック
信号の計数を開始することを特徴とする請求項１記載の
回転体上の異物の位置座標測定装置である。
【０００７】
【作用】予め定めた値より大きい受光系の出力は異物の
存在によって得られたと判断し、その時の水平移動量検
出部の出力と角度位置検出部の出力にさらにクロック信
号を加えて異物の座標信号を得ることによって、異物の
座標を高精度に測定する。
存在によって得られたと判断し、その時の水平移動量検
出部の出力と角度位置検出部の出力にさらにクロック信
号を加えて異物の座標信号を得ることによって、異物の
座標を高精度に測定する。
【０００８】
【実施例】以下に本発明の実施例の基準方向線設定装置
を図に基づいて説明する。実施例の回転体上の異物の位
置座標測定装置は、図１の構成説明図に示すように、モ
ータ２によって垂直な回転軸線Ｏを中心に回転させられ
る回転テーブル４に、測定対象の回転体Ｒを載置する。
回転テーブル４の回転数Ｍは、例えば毎秒５０回転であ
る。モータ２にはエンコーダ６が組み合わされて、モー
タ２の回転角度を検出し、エンコーダ６の出力は制御演
算部１０に送られる。エンコーダ６の分割数Ｎは、例え
ば１回転６０００分割であり、分割された角度範囲を
「角度区分」という。制御演算部１０の制御出力がモー
タ２に入力する。モータ２とエンコーダ６は、水平移動
測定台１２に載置されており、これによってモータ２と
エンコーダ６が水平方向に移動されまたその移動量が測
定され、移動量測定値の出力は制御演算部１０に送られ
る。
を図に基づいて説明する。実施例の回転体上の異物の位
置座標測定装置は、図１の構成説明図に示すように、モ
ータ２によって垂直な回転軸線Ｏを中心に回転させられ
る回転テーブル４に、測定対象の回転体Ｒを載置する。
回転テーブル４の回転数Ｍは、例えば毎秒５０回転であ
る。モータ２にはエンコーダ６が組み合わされて、モー
タ２の回転角度を検出し、エンコーダ６の出力は制御演
算部１０に送られる。エンコーダ６の分割数Ｎは、例え
ば１回転６０００分割であり、分割された角度範囲を
「角度区分」という。制御演算部１０の制御出力がモー
タ２に入力する。モータ２とエンコーダ６は、水平移動
測定台１２に載置されており、これによってモータ２と
エンコーダ６が水平方向に移動されまたその移動量が測
定され、移動量測定値の出力は制御演算部１０に送られ
る。
【０００９】回転テーブル４に載置された回転体Ｒの斜
め上方には、レーザ光源である発光素子２０が配置さ
れ、また回転体Ｒの上方にはフォトマル２２が配置さ
れ、発光素子２０によって照明された回転体Ｒの反射光
量がフォトマル２２によって検出される。制御演算部１
０は、図２の処理回路ブロック図に示すように、フォト
マル２２の出力がＡ／Ｄ変換部３０に入力し、エンコー
ダ６及び水平移動測定台１２の出力は座標生成部３２及
び制御演算回路３４に入力する。Ａ／Ｄ変換部３０は、
フォトマル２２の出力をクロックパルスのタイミングで
Ａ／Ｄ変換する。制御演算回路３４の演算処理について
は後述する。エンコーダ６の出力とは独立のクロックパ
ルスを発生するクロックパルス発生器３６の出力は、Ａ
／Ｄ変換部３０及び座標生成部３２に入力し、Ａ／Ｄ変
換部３０の出力は、データ比較回路４０を介して制御演
算回路３４及び座標生成部３２に入力する。データ比較
回路４０は、それまでの最大値と新たに測定されたデー
タとを比較して、その大きい方の値を出力する。座標生
成部３２及びデータ比較回路４０の出力は、制御演算回
路３４に入力する。
め上方には、レーザ光源である発光素子２０が配置さ
れ、また回転体Ｒの上方にはフォトマル２２が配置さ
れ、発光素子２０によって照明された回転体Ｒの反射光
量がフォトマル２２によって検出される。制御演算部１
０は、図２の処理回路ブロック図に示すように、フォト
マル２２の出力がＡ／Ｄ変換部３０に入力し、エンコー
ダ６及び水平移動測定台１２の出力は座標生成部３２及
び制御演算回路３４に入力する。Ａ／Ｄ変換部３０は、
フォトマル２２の出力をクロックパルスのタイミングで
Ａ／Ｄ変換する。制御演算回路３４の演算処理について
は後述する。エンコーダ６の出力とは独立のクロックパ
ルスを発生するクロックパルス発生器３６の出力は、Ａ
／Ｄ変換部３０及び座標生成部３２に入力し、Ａ／Ｄ変
換部３０の出力は、データ比較回路４０を介して制御演
算回路３４及び座標生成部３２に入力する。データ比較
回路４０は、それまでの最大値と新たに測定されたデー
タとを比較して、その大きい方の値を出力する。座標生
成部３２及びデータ比較回路４０の出力は、制御演算回
路３４に入力する。
【００１０】制御演算回路３４は、その制御信号出力を
モータ２及び発光素子２０に入力し、演算信号出力を表
示部４２及びメモリ４４に入力する。メモリ４４は、制
御演算回路３４によって出力された各角度区分内におけ
るフォトマル２２の最大受光量とその座標値を記憶する
が、各角度区分内におけるフォトマル２２のすべての受
光量とその座標値を記憶するように構成してもよい。ク
ロックパルス発生器３６が発生するクロックパルスは、
エンコーダ６の出力の周波数よりも高くなるように設定
される。上述した例では、 回転テーブル４の回転数Ｍ ＝毎秒５０回転 エンコーダ６の分割数Ｎ ＝１回転６０００分割 エンコーダ６の出力の周波数＝Ｍ×Ｎ＝３００KHz となるから、クロックパルス発生器３６が発生するクロ
ックパルスは、３００KHz より大きい数MHz から数１０
MHz 程度に設定される。
モータ２及び発光素子２０に入力し、演算信号出力を表
示部４２及びメモリ４４に入力する。メモリ４４は、制
御演算回路３４によって出力された各角度区分内におけ
るフォトマル２２の最大受光量とその座標値を記憶する
が、各角度区分内におけるフォトマル２２のすべての受
光量とその座標値を記憶するように構成してもよい。ク
ロックパルス発生器３６が発生するクロックパルスは、
エンコーダ６の出力の周波数よりも高くなるように設定
される。上述した例では、 回転テーブル４の回転数Ｍ ＝毎秒５０回転 エンコーダ６の分割数Ｎ ＝１回転６０００分割 エンコーダ６の出力の周波数＝Ｍ×Ｎ＝３００KHz となるから、クロックパルス発生器３６が発生するクロ
ックパルスは、３００KHz より大きい数MHz から数１０
MHz 程度に設定される。
【００１１】第１実施例の制御演算回路３４の演算は、
一つの円周領域において、図３のフローチャート図に示
すように、ステップＳ１において、回転テーブル４を回
転させてこれに載置された回転体Ｒを回転させる。ステ
ップＳ２において、発光素子２０を発光させて回転体Ｒ
を照射する。ステップＳ３において、一つの角度区分内
におけるフォトマル２２の受光量とその座標値を読み込
む。ステップＳ４において、その角度区分内におけるす
べての位置におけるフォトマル２２の受光量とその座標
値の読み込みが終了したか否かを判別する。ステップＳ
４において読み込みが終了していないと判別した場合
は、ステップＳ３へ戻る。ステップＳ４において読み込
みが終了したと判別した場合に進むステップＳ５におい
て、その角度区分におけるフォトマル２２の最大受光量
とその座標値を読み込み、メモリ４４に記憶する。
一つの円周領域において、図３のフローチャート図に示
すように、ステップＳ１において、回転テーブル４を回
転させてこれに載置された回転体Ｒを回転させる。ステ
ップＳ２において、発光素子２０を発光させて回転体Ｒ
を照射する。ステップＳ３において、一つの角度区分内
におけるフォトマル２２の受光量とその座標値を読み込
む。ステップＳ４において、その角度区分内におけるす
べての位置におけるフォトマル２２の受光量とその座標
値の読み込みが終了したか否かを判別する。ステップＳ
４において読み込みが終了していないと判別した場合
は、ステップＳ３へ戻る。ステップＳ４において読み込
みが終了したと判別した場合に進むステップＳ５におい
て、その角度区分におけるフォトマル２２の最大受光量
とその座標値を読み込み、メモリ４４に記憶する。
【００１２】ステップＳ８において、その角度区分内が
１回転の最終角度区分であるか否かを判別する。ステッ
プＳ８においてその角度区分内が１回転の最終角度区分
でないと判別した場合、ステップＳ７において、クロッ
クパルスのカウンタ（図示せず）をリセットして、ステ
ップＳ３へ戻る。ステップＳ８においてその角度区分内
が１回転の最終角度区分であると判別した場合進むステ
ップＳ９において、各角度区分の最大受光量が予め定め
た値より大きいものを異物と判断することによって、異
物を検出する。ステップＳ１０において、ステップＳ９
において検出した異物の角度区分及びその座標を表示す
る。
１回転の最終角度区分であるか否かを判別する。ステッ
プＳ８においてその角度区分内が１回転の最終角度区分
でないと判別した場合、ステップＳ７において、クロッ
クパルスのカウンタ（図示せず）をリセットして、ステ
ップＳ３へ戻る。ステップＳ８においてその角度区分内
が１回転の最終角度区分であると判別した場合進むステ
ップＳ９において、各角度区分の最大受光量が予め定め
た値より大きいものを異物と判断することによって、異
物を検出する。ステップＳ１０において、ステップＳ９
において検出した異物の角度区分及びその座標を表示す
る。
【００１３】ステップＳ１１において、測定終了するか
否かを判別する。測定終了でなければステップＳ３に戻
り、例えば次の円周領域において上述した処理を行う。
第１実施例の制御演算回路３４の演算結果が記憶される
メモリ４４においては、図５の記憶模式図に示すよう
に、Ｘ軸に時間、Ｙ軸に円周領域、Ｚ軸に最大受光量を
とると、例えば、第ｎ円周領域：Ｙ( n ) 、第( ｎ＋5
) 円周領域：Ｙ(n ＋5 ) にそれぞれ強度Ｚ Ｚ、Ｚ’
Ｚ’の異物が記憶される。
否かを判別する。測定終了でなければステップＳ３に戻
り、例えば次の円周領域において上述した処理を行う。
第１実施例の制御演算回路３４の演算結果が記憶される
メモリ４４においては、図５の記憶模式図に示すよう
に、Ｘ軸に時間、Ｙ軸に円周領域、Ｚ軸に最大受光量を
とると、例えば、第ｎ円周領域：Ｙ( n ) 、第( ｎ＋5
) 円周領域：Ｙ(n ＋5 ) にそれぞれ強度Ｚ Ｚ、Ｚ’
Ｚ’の異物が記憶される。
【００１４】第２実施例の制御演算回路３４の演算は、
図４のフローチャート図に示されるが、第１実施例の制
御演算回路３４のステップと同一のステップについては
同一のステップ符号を付して、その説明を省略する。ス
テップＳ５から進むステップＳ６において、ステップＳ
３ないしステップＳ５までの処理がｎ角度区分（ｎ：複
数）について終了したか否かを判別する。ステップＳ６
においてｎ角度区分内が終了していないと判別した場
合、ステップＳ７において、クロックパルスのカウンタ
（図示せず）をリセットして、ステップＳ３へ戻る。ス
テップＳ６においてｎ角度区分内が終了していると判別
した場合、ステップＳ８に進む。
図４のフローチャート図に示されるが、第１実施例の制
御演算回路３４のステップと同一のステップについては
同一のステップ符号を付して、その説明を省略する。ス
テップＳ５から進むステップＳ６において、ステップＳ
３ないしステップＳ５までの処理がｎ角度区分（ｎ：複
数）について終了したか否かを判別する。ステップＳ６
においてｎ角度区分内が終了していないと判別した場
合、ステップＳ７において、クロックパルスのカウンタ
（図示せず）をリセットして、ステップＳ３へ戻る。ス
テップＳ６においてｎ角度区分内が終了していると判別
した場合、ステップＳ８に進む。
【００１５】
【発明の効果】請求項１に記載の回転体上の異物の位置
座標測定装置によれば、回路構成が簡易で製造コストが
低いにもかかわらず高精度の測定ができる効果を有す
る。請求項２に記載の回転体上の異物の位置座標測定装
置によれば、クロック信号の周波数を角度位置検出部の
出力の周波数よりも高く設定するから、角度区分より細
かい座標測定を行うことができる効果を有する。請求項
３に記載の回転体上の異物の位置座標測定装置によれ
ば、角度位置検出部によって検出される一定角度区分毎
にクロック信号の計数を開始するから、クロック信号の
誤差を累積させることない効果を有する。
座標測定装置によれば、回路構成が簡易で製造コストが
低いにもかかわらず高精度の測定ができる効果を有す
る。請求項２に記載の回転体上の異物の位置座標測定装
置によれば、クロック信号の周波数を角度位置検出部の
出力の周波数よりも高く設定するから、角度区分より細
かい座標測定を行うことができる効果を有する。請求項
３に記載の回転体上の異物の位置座標測定装置によれ
ば、角度位置検出部によって検出される一定角度区分毎
にクロック信号の計数を開始するから、クロック信号の
誤差を累積させることない効果を有する。
【００１６】
【図１】本発明の実施例の回転体上の異物の位置座標測
定装置の構成説明図である。
定装置の構成説明図である。
【図２】図１の制御演算部の処理回路ブロック図であ
る。
る。
【図３】第１実施例の制御演算回路のフローチャート図
である。
である。
【図４】第２実施例の制御演算回路のフローチャート図
である。
である。
【図５】メモリの記憶模式図である。
Ｒ 回転体 ２ モータ ４ 回転テーブル ６ エンコーダ １０ 制御演算部 １２ 水平移動測定台 ２０ 発光素子 ２２ フォトマル ３０ Ａ／Ｄ変換部 ３２ 座標生成部 ３４ 制御演算回路 ３６ クロックパルス発生器 ４０ データ比較回路
Claims (3)
- 【請求項１】 水平移動する垂直回転軸線を中心に回転
する回転体と、 上記垂直回転軸線の移動量を検出して水平移動量信号を
出力する水平移動量検出部と、 上記回転体の回転角度位置を検出する角度位置検出部
と、 上記回転体の対象面の測定光を照射する照射光学系と、 上記測定光の上記対象面による反射光を受光する受光系
と、 クロック信号を発生するクロック信号発生器と、 上記角度位置検出部の角度位置出力信号を入力される毎
に上記受光系の出力信号の最大値をその角度位置におけ
る代表値として決定する代表値決定部と、 上記水平移動量信号、上記角度位置出力信号、及び上記
クロック信号から上記代表値が出力された位置を決定す
る位置決定部と、 上記代表値から一定値以上のものを異物として検出する
異物検出部とを有することを特徴とする回転体上の異物
の位置座標測定装置。 - 【請求項２】 上記回転体の回転数を１秒Ｍ回転、上記
角度位置検出部の１回転の検出分割数をＮ分割とすると
き、上記クロック信号発生器のクロック周波数が、Ｍ×
Ｎ ( Hz ) より高いことを特徴とする請求項１記載の回
転体上の異物の位置座標測定装置。 - 【請求項３】 上記位置決定部が、上記角度位置検出部
によって検出される角度区分毎に上記クロック信号の計
数を開始することを特徴とする請求項１記載の回転体上
の異物の位置座標測定装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24426094A JP3584066B2 (ja) | 1994-10-07 | 1994-10-07 | 回転体上の異物の位置座標測定装置 |
| US08/538,821 US5814828A (en) | 1994-10-07 | 1995-10-05 | Apparatus for defining the location of a foreign object on a rotary body in terms of a coordinate system |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24426094A JP3584066B2 (ja) | 1994-10-07 | 1994-10-07 | 回転体上の異物の位置座標測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08110205A true JPH08110205A (ja) | 1996-04-30 |
| JP3584066B2 JP3584066B2 (ja) | 2004-11-04 |
Family
ID=17116113
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24426094A Expired - Lifetime JP3584066B2 (ja) | 1994-10-07 | 1994-10-07 | 回転体上の異物の位置座標測定装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5814828A (ja) |
| JP (1) | JP3584066B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007225480A (ja) * | 2006-02-24 | 2007-09-06 | Hitachi High-Technologies Corp | 表面検査装置 |
| JP2008032582A (ja) * | 2006-07-31 | 2008-02-14 | Hitachi High-Technologies Corp | 異物・欠陥検査装置および異物欠陥・検査方法 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JP2822221B2 (ja) * | 1989-08-15 | 1998-11-11 | アース製薬株式会社 | 患部用粘着性防水シート |
| US5377002A (en) * | 1991-07-20 | 1994-12-27 | Tet Techno Trust Investment Settlement | Apparatus for surface inspections |
-
1994
- 1994-10-07 JP JP24426094A patent/JP3584066B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1995
- 1995-10-05 US US08/538,821 patent/US5814828A/en not_active Expired - Lifetime
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007225480A (ja) * | 2006-02-24 | 2007-09-06 | Hitachi High-Technologies Corp | 表面検査装置 |
| JP4668809B2 (ja) * | 2006-02-24 | 2011-04-13 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 表面検査装置 |
| JP2008032582A (ja) * | 2006-07-31 | 2008-02-14 | Hitachi High-Technologies Corp | 異物・欠陥検査装置および異物欠陥・検査方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5814828A (en) | 1998-09-29 |
| JP3584066B2 (ja) | 2004-11-04 |
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