JPH08104027A - Ledプリントヘッド - Google Patents

Ledプリントヘッド

Info

Publication number
JPH08104027A
JPH08104027A JP6240986A JP24098694A JPH08104027A JP H08104027 A JPH08104027 A JP H08104027A JP 6240986 A JP6240986 A JP 6240986A JP 24098694 A JP24098694 A JP 24098694A JP H08104027 A JPH08104027 A JP H08104027A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
led
led array
array
leds
row
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP6240986A
Other languages
English (en)
Inventor
Hideo Taniguchi
秀夫 谷口
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Rohm Co Ltd
Original Assignee
Rohm Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Rohm Co Ltd filed Critical Rohm Co Ltd
Priority to JP6240986A priority Critical patent/JPH08104027A/ja
Priority to PCT/JP1995/002037 priority patent/WO1996011110A1/ja
Priority to DE69529417T priority patent/DE69529417T2/de
Priority to EP95933619A priority patent/EP0786353B1/en
Priority to CN95195493A priority patent/CN1073511C/zh
Priority to KR1019970702199A priority patent/KR100314425B1/ko
Priority to US08/809,670 priority patent/US5896162A/en
Publication of JPH08104027A publication Critical patent/JPH08104027A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
    • H01L2224/4809Loop shape
    • H01L2224/48091Arched
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48135Connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip
    • H01L2224/48137Connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip the bodies being arranged next to each other, e.g. on a common substrate

Landscapes

  • Printers Or Recording Devices Using Electromagnetic And Radiation Means (AREA)
  • Facsimile Heads (AREA)
  • Led Device Packages (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 LEDプリントヘッドの解像度を比較的簡易
な方法で向上させる。 【構成】 LEDプリントヘッドのLEDアレイを複数
列のアレイで構成し、各LEDアレイを駆動用ICによ
り時分割駆動させて画素潜像を合成状にけいせいする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、LEDから発生された
光信号を利用して画像形成用の潜像を形成するためのL
EDプリントヘッドに関する。
【0002】
【従来の技術】従来、発光ダイオード(LED)や半導
体レーザを備えたLEDヘッドやレーザヘッド等から発
生された光信号を感光性物質の表面に照射して静電潜像
を形成し、この静電潜像を介して被印刷体上に印刷画像
を形成するLEDヘッドプリンタやレーザプリンタが知
られている。とりわけLEDプリンタはレーザプリンタ
に比べて装置全体のサイズの小型化が可能なことや、製
造に要するコストが比較的安価に抑えることが可能であ
る等の利点から、最近広く注目を集めている。
【0003】この種のLEDプリンタは、図7に示すよ
うに、回動可能に設けられた感光性ドラム21の外周に
沿ってその表面を帯電させる帯電器22と、帯電された
感光性ドラム21表面に入力信号としての電気信号に応
じて光信号を照射することにより静電潜像を形成するL
EDプリントヘッド23と、形成された静電潜像を現像
処理する現像器24と、感光性ドラム21の回動に伴い
移動される被印刷体25上に画像形成媒体としてのトナ
ーを転写する転写器26と、被印刷体25上に転写され
たトナーを加熱等により定着させる図示しない定着器
と、感光性ドラム21表面をクリーニングするクリーナ
ー27と、から成っている。
【0004】このようなLEDプリンタに使用されてい
るLEDヘッド23は、絶縁性基板上に電気回路が形成
された回路基板28と、回路基板上に列設され印加され
た電気信号に応じて光信号を発生する複数のLEDから
成るLEDアレイ29と、LEDアレイ29から選択的
に発生された信号光を感光性ドラム21上に集光させる
円筒状の複数のレンズが列設されたロッドレンズアレイ
30とから成り、電気回路を介した電気信号によりLE
Dアレイ29から発生された信号光をレンズアレイ30
を介して帯電された感光性ドラム21表面に集光し、被
印刷体25のへの画像形成のための潜像を形成するよう
に構成されている。
【0005】LEDヘッド23のLEDアレイ29は、
図2に示すように、LEDが一定のピッチPで形成され
たLEDアレイチップ31を一定の間隔l離間させて形
成されている。LEDアレイチップ31は、チップ基板
32、とチップ基板32の表面に形成された複数の拡散
層33から成り、拡散層33の表面には導電性の金属か
ら成り他端に回路基板28上に搭載された図示しない駆
動用ICとの間で図示しないワイヤを介して電気的に接
続されるパッド電極34から成る電極35が形成されて
いる。これらの拡散層33は発光素子としてのLEDを
構成し、チップ基板32に一定のピッチPで形成されて
いる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】他方、近年、各種OA
機器の発達に伴い、LEDプリントヘッドにおいても、
一層の高性能化、とりわけ、解像度向上の要請が一段と
高まっている。この解像度は、被印刷体に印刷される画
像の画像を形成する画素の密度(dpi)、即ち発光素
子としてのLEDの形成密度、により規定されるのだ
が、一定の解像度、例えば480dpi、以上の解像度
のLEDプリントヘッドを得ることは、後述の加工精度
上の限界等により実際の製造が極めて困難である。
【0007】即ち、LEDプリントヘッド23を、例え
ば、600dpiの解像度若しくは画素密度に形成する
場合、LEDアレイチップ31上での発光領域33の列
方向幅Wを20μに形成する場合、発光領域33のピッ
チPは約42μとなり、チップ端辺とこれに隣接する発
光領域33との間を、例えば、加工精度上でのほぼ限界
である約8μに設定すると、LEDアレイチップ31間
の間隔lは約4μとなってしまう。
【0008】しかるに、発光領域が形成された棒状チッ
プ基板体からの個別LEDアレイチップへの切断に要す
る切断精度は、一般に、±5μ程度は必要であり、ま
た、個別に切断したLEDアレイチップの回路基板上へ
の搭載に際してのダイボンデイング精度として少なくと
も±10μ程度を考慮しなければならず、これらの加工
精度に鑑みた場合、600dpiの解像度を得るのは困
難であることが理解される。
【0009】このように、一定以上の高解像度のLED
プリントヘッドを製造する場合、LEDアレイチップの
切断時の寸法誤差や回路基板上へのダイボンデイングの
誤差が工程上不可避的に介入し、特に、LEDアレイチ
ップの端部側の発光領域とこれと隣接するLEDアレイ
チップの隣接発光領域との間を他の発光領域間と同一の
間隔またはピッチに配列させること、即ちLEDアレイ
の発光領域を一定ピッチで高密度に形成すること、は工
程上極めて困難であり、高解像度のLEDヘッドを安価
に提供するという要求に十分に応えることができなかっ
た。
【0010】従って、本発明の目的はは、比較的簡易な
方法で解像度を実質的に向上させたLEDプリントヘッ
ドを提供することである。
【0011】
【課題を解決するための手段】上記課題を達成するた
め、本発明によれば、第1列と第2列の少なくとも2列
に列設されたLEDから成るLEDアレイと、第1列と
第2列のLEDに対応して電気的に接続された駆動用I
Cと、駆動用ICからの電気信号に応じてLEDから発
生された信号光を感光面上に集光するように列設された
レンズから成るレンズアレイと、第1のLEDアレイの
共通電気配線と前記第2のLEDアレイの共通電気配線
との間に設けられた切替えスイッチと、から成ることを
特徴とするLEDプリントヘッド。
【0012】上記のLEDプリントヘッドは、第1のL
EDアレイのLEDと第2のLEDアレイを、それぞれ
のLEDが実質的に同一のピッチで且つ主走査方向にず
れた位置に列設されるように設けて構成できる。
【0013】
【作用および効果】感光性ドラムの回動と共に、駆動用
ICからの電気信号及びこれに同期したスイッチによ
り、第2LEDアレイを非導通にした状態で、第1のL
EDアレイのLEDを選択的に導通させて信号光を発生
させると、該信号光はレンズアレイを介して感光性ドラ
ムの感光表面上に集光されて走査ライン上に一定ピッチ
で画素潜像が形成される。次いで、感光性ドラムの回動
に同期して切替えスイッチを第2LEDアレイ側に切替
えて第1LEDアレイ2のLEDが非導通の状態にする
と共に第2LEDアレイをLEDが選択的に導通する
と、これらのLEDから発生された信号光により一定ピ
ッチの画素潜像が上述の画素潜像の間に形成される。
【0014】この場合、第1LEDアレイと第2LED
アレイは、X軸方向に各LEDアレイのLEDピッチに
対して、例えば、半ピッチ(P/2)分ずれた位置関係
に設けることにより、両LEDアレイによる画素潜像が
合成状に形成されて高解像度の画像潜像が形成される。
従って、LEDアレイのLEDの形成密度を変更するこ
となく、解像度を大幅に向上させることができる。
【0015】
【実施例】次に、本発明によるLEDプリントヘッドに
ついて実施例に従い図面を参照しながら詳細に説明す
る。本発明の実施例によるLEDプリントヘッドの要部
の概略断面を図1に示す。同図中符号1はガラスエポキ
シ系の材料から成る回路基板であり、該回路基板1の表
面には導電体から成る回路配線が所要のパターンに形成
されている。回路基板1上には後述するLEDが一定の
ピッチで形成された複数のLEDアレイチップ2a及び
3aが相互に距離L離間された状態で列設され、平行な
LED列、即ち第1及び第2LEDアレイ2、3を形成
している。
【0016】第1及び第2のLEDアレイ2、3は、図
2に示すように、発光素子としての複数のLED4が主
走査方向(X軸方向)に一定ピッチPで形成されたLE
Dアレイチップ2a,3aを相互に半ピッチ(P/2)
ずれた状態で配列することにより、それぞれ連続状に形
成されている。各LEDアレイチップ2a、3aはそれ
ぞれ、図3に詳細を示すように、例えばN型のGaAs
系の基板5から成り、該基板5には複数のLED4が列
状に形成されている。即ち、各LED4はGaAs系基
板5の表面に例えばZnを不純物として拡散させて形成
した発光領域としてのP型拡散層6と、導電体材料から
形成され一端にて拡散層6の表面に電気的に接続され他
端にて回路基板1の回路配線にワイヤリードを介して接
続可能なボンデイング用のパッド7aが設けられた電極
7と、から成り、列方向に隣接するLEDアレイチップ
との間で相互に距離l離間された状態で回路基板状に配
置されている。
【0017】LEDアレイ2、3の各LEDと駆動用I
C10との間の電気的接続は、図4に示すように、第1
LEDアレイ2の各LEDのアノードは駆動用ICの対
応する電極パッドに電気接続され、カソードは共通電気
配線としての第1カソードライン11に接続されてい
る。また、第2LEDアレイ3の各LEDのアノードは
第1LEDアレイ2の対応するLEDのカソードに接続
され、カソードは共通電気配線としての第2カソードラ
イン12に接続されている。これらの第1及び第2カソ
ードライン11、12は選択的に切替え可能なように各
一端にて切替えスイッチ14の端子に電気接続されてい
る。
【0018】他方、再び図1を参照して、第1及び第2
LEDアレイ2、3の上方には、これらのLEDから発
生された信号光が照射される感光面8aから成る円筒状
の感光性ドラム8が、X方向の軸を中心に回転可能に設
けられている。感光性ドラム8の感光面8aとLEDア
レイ2、3との間は、各LEDからの光が感光面8a上
に結像されるような焦点距離を有する複数の円筒状のロ
ッドレンズ9aから成るレンズアレイ9を介してX軸に
直角を成すY軸方向に距離Dだけ離間されて設けられて
いる。レンズアレイ9は、その支持部材9b間にX軸方
向に並設状に固定されたロッドレンズ9aから成り、回
路基板1と共に樹脂から成るケース10に挿着されてい
る。
【0019】次に、上述のように構成された本実施例の
LEDプリントヘッドを使用した行方向(X軸方向)の
画像形成について説明する。感光性ドラム8の回動と共
に、駆動用ICからの電気信号及びこれに同期した切替
えスイッチ14により、第1のLEDアレイ2のLED
を選択的に導通して信号光を発生すると、該信号光はレ
ンズアレイ9を介して感光性ドラム8の感光表面8a上
の位置Aに集光されて走査ライン上に画素潜像が形成さ
れる。このとき、第2LEDアレイ3のLEDは非導通
の状態に置かれている。次いで、形成された画素潜像の
位置がAからBへ回動した時点で、感光性ドラム8の回
動に同期して切替えスイッチ14を第2LEDアレイ3
側に切替えて第1LEDアレイ2のLEDを非導通の状
態にすると共に、第2LEDアレイ3のLEDを選択的
に導通すると、これらのLEDから信号光が発生されて
感光表面8aの位置B上に一定ピッチの画素潜像が形成
される。このとき、第1LEDアレイ2と第2LEDア
レイ3のLEDは、上述したように、X軸方向に半ピッ
チ(P/2)ずれた状態で設けられているので、第2L
EDアレイ3による画素潜像は第1LEDアレイ2によ
る画素潜像の中間位置に一定且つ同一のピッチで形成さ
れ、両画素潜像が合成状に形成されて画像形成の潜像が
形成される。
【0020】ここで、前述の図1に示したように、本実
施例のLEDアレイ2、3は2列に列設したLEDから
成っているので、例えば、ロッドレンズ9aを1列状
(千鳥状の配列等であってもよい)に列設した一本のレ
ンズアレイ9で構成した場合、LEDアレイ2、3のL
EDの位置は、各寸法の設定によっては、各レンズの中
心光軸からX軸及びY軸に直角なZ軸方向に若干ずれた
位置に設けなければならない場合が生じ、レンズアレイ
9を通過する光量が不足するおそれが生じる。一般に市
販されているロッドレンズのレンズアレイでは、レンズ
の中心光軸から±0.4mm程度のズレでは光量変化は
ほとんど生じることなく、また、両LEDアレイをこの
寸法間隔で列設することは加工精度上でも問題はほとん
どない。しかし、レンズアレイ複数本並列状に配置した
レンズアレイを使用すれば上述の問題は確実に解消でき
る。
【0021】本発明に使用可能なレンズアレイとして
は、例えば、日本板硝子(株)からSLAー20の商標
名のレンズアレイが販売されているが、これによれば、
レンズアレイの中心線から±4mm程度の範囲で光量が
ほとんど一定しており、この種のレンズアレイを単数本
若しくは複数本並列状に配置して本発明に使用するのが
望ましい。
【0022】LEDプリントヘッドを上述のように構成
することにより各LEDアレイ、即ち第1LEDアレイ
及び第2LEDアレイ、の画素密度を通常の程度、例え
ば300dpi、に形成しても、上述のような画素潜像
の合成により、実質上2倍の解像度の画像を得ることが
できる。上述の実施例では、第1及び第2LEDアレイ
から成る2列のLEDアレイを使用した例について説明
したが、本発明はこれに代えて、更に、図6に示すよう
に、第3のLEDアレイ15を設けて構成することも可
能である。
【0023】即ち、第3LEDアレイ15の各LEDの
アノードを第2LEDアレイ3の対応するLEDのアノ
ードに電気接続し、カソードを共通電気配線としての第
3カソードライン13に接続し、及び第1乃至第3カソ
ードラインの一端を切替えスイッチ16の端子にそれぞ
れ電気接続する以外は、図4に示した実施例と同様であ
る。
【0024】LEDプリントをこのように形成すること
により、同等の画素密度の単一なLEDアレイに対して
実質上3倍の解像度の画像を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例によるLEDプリントヘッドの
断面説明図である。
【図2】図1のLEDプリントヘッドのLEDアレイチ
ップ及び駆動用ICの配列状態を示す平面図である。
【図3】LEDアレイチップの列設状態を示す要部平面
図である。
【図4】図1のLEDプリントヘッドのLEDアレイと
駆動用ICの電気的接続を示す回路図である。
【図5】図1のLEDプリントヘッドの作用を示す説明
図である。
【図6】本発明の他の実施例によるLEDアレイと駆動
用ICの電気的接続を示す回路図である。
【図7】LEDプリンタの構成を示す概略図である。
【符号の説明】
1 回路基板 2 LEDアレイ 3 LEDアレイ 4 LED 5 チップ基板 6 発光領域 7 電極 8 感光性ドラム 9 レンズアレイ 10 ケース 11 第1カソードライン 12 第2カソードライン 13 第3カソードライン 14 スイッチ
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H04N 1/036 A

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】第1列と第2列の少なくとも2列に列設さ
    れたLEDから成るLEDアレイと、前記第1列と前記
    第2列のLEDに対応して電気的に接続された駆動用I
    Cと、前記駆動用ICからの電気信号に応じてLEDか
    ら発生された信号光を感光面上に集光するように列設さ
    れたレンズから成るレンズアレイと、前記第1のLED
    アレイの共通電気配線と前記第2のLEDアレイの共通
    電気配線との間に設けられた切替えスイッチと、から成
    ることを特徴とするLEDプリントヘッド。
  2. 【請求項2】前記第1のLEDアレイのLEDと前記第
    2のLEDアレイは、それぞれのLEDが実質的に同一
    のピッチで且つ主走査方向にずれた位置に列設されるよ
    うに設けられた請求項1に記載のLEDプリントヘッ
    ド。
JP6240986A 1994-10-05 1994-10-05 Ledプリントヘッド Pending JPH08104027A (ja)

Priority Applications (7)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6240986A JPH08104027A (ja) 1994-10-05 1994-10-05 Ledプリントヘッド
PCT/JP1995/002037 WO1996011110A1 (fr) 1994-10-05 1995-10-05 Tete d'impression a del
DE69529417T DE69529417T2 (de) 1994-10-05 1995-10-05 Led-druckkopf
EP95933619A EP0786353B1 (en) 1994-10-05 1995-10-05 Led printing head
CN95195493A CN1073511C (zh) 1994-10-05 1995-10-05 一种发光二极管印刷头
KR1019970702199A KR100314425B1 (ko) 1994-10-05 1995-10-05 Led프린트헤드
US08/809,670 US5896162A (en) 1994-10-05 1995-10-05 Led printing head

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6240986A JPH08104027A (ja) 1994-10-05 1994-10-05 Ledプリントヘッド

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH08104027A true JPH08104027A (ja) 1996-04-23

Family

ID=17067622

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP6240986A Pending JPH08104027A (ja) 1994-10-05 1994-10-05 Ledプリントヘッド

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH08104027A (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001260411A (ja) * 2000-03-16 2001-09-25 Nippon Sheet Glass Co Ltd 光プリンタヘッドおよびその点灯方法
JP2003202516A (ja) * 2001-12-28 2003-07-18 Nippon Sheet Glass Co Ltd 画像形成装置
JP2006130663A (ja) * 2004-11-02 2006-05-25 Seiko Epson Corp 光ラインヘッド
US7425971B2 (en) 2003-09-22 2008-09-16 Seiko Epson Corporation Line head and image forming apparatus incorporating the same

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001260411A (ja) * 2000-03-16 2001-09-25 Nippon Sheet Glass Co Ltd 光プリンタヘッドおよびその点灯方法
JP2003202516A (ja) * 2001-12-28 2003-07-18 Nippon Sheet Glass Co Ltd 画像形成装置
US7145590B2 (en) 2001-12-28 2006-12-05 Nippon Sheet Glass Co., Ltd. Apparatus with offset light source for forming images on photosensitive surface
US7425971B2 (en) 2003-09-22 2008-09-16 Seiko Epson Corporation Line head and image forming apparatus incorporating the same
US7538784B2 (en) 2003-09-22 2009-05-26 Seiko Epson Corporation Line head and image forming apparatus incorporating the same
US7719555B2 (en) 2003-09-22 2010-05-18 Seiko Epson Corporation Line head and image forming apparatus incorporating the same
US7719554B2 (en) 2003-09-22 2010-05-18 Seiko Epson Corporation Line head and image forming apparatus incorporating the same
US7733360B2 (en) 2003-09-22 2010-06-08 Seiko Epson Corporation Line head and image forming apparatus incorporating the same
US8031214B2 (en) 2003-09-22 2011-10-04 Seiko Epson Corporation Line head and image forming apparatus incorporating the same
JP2006130663A (ja) * 2004-11-02 2006-05-25 Seiko Epson Corp 光ラインヘッド
JP4508831B2 (ja) * 2004-11-02 2010-07-21 セイコーエプソン株式会社 光ラインヘッド

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CA1203840A (en) Recording apparatus for linewise recording information upon a moving photoreceptor
CA1228633A (en) Recording apparatus for linewise recording information on a moving photoreceptor
US5896162A (en) Led printing head
US4929965A (en) Optical writing head
EP0098382B1 (en) Uniformly intense imaging by close-packed lens array
US4524372A (en) Recording apparatus
US4916464A (en) Light emitting diode array print head having no bonding wire connections
WO1991010211A1 (en) A light emitting diode printhead having improved signal distribution apparatus
JP2008030481A (ja) 統合型有機発光ダイオードプリントヘッド
CN102315377B (zh) 发光装置、打印头和图像形成装置
JPH08174898A (ja) 露光装置
GB2099221A (en) Light emitting diode array devices and image transfer systems
JPH10211732A (ja) ヘッド及びその実装方法
JPH08104027A (ja) Ledプリントヘッド
JPH09246602A (ja) 発光ダイオード整列光源
JP2001130051A (ja) 露光装置および画像形成装置
JPH08104028A (ja) Ledプリントヘッド
JPS59184681A (ja) 光プリントヘツド
JPS63173670A (ja) 光書き込みヘッド
JP4295411B2 (ja) 光プリンタヘッド
JPH08192534A (ja) Ledプリントヘッド
JPH0557956A (ja) プリントヘツドおよびこれを利用したプリンタ
JPH0318193Y2 (ja)
JPH0220360A (ja) Ledプリントヘッド
JP2004291435A (ja) 有機elアレイ露光ヘッドチップ及びそれを用いた有機elアレイ露光ヘッド

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees