JPH08101128A

JPH08101128A - 観察、撮像装置の照明装置

Info

Publication number: JPH08101128A
Application number: JP6259794A
Authority: JP
Inventors: Hajime Murakami; 一村上
Original assignee: Mitsubishi Chemical Corp
Current assignee: Mitsubishi Chemical Corp
Priority date: 1994-09-30
Filing date: 1994-09-30
Publication date: 1996-04-16

Abstract

(57)【要約】（修正有）【目的】観察目的に対応して全外周上の側斜光と一部
外周上の偏斜光との各照明、同軸上の落射光の照明、側
斜光と落射光との合成光による照明の各照明像の選択的
な観察を行ない得る。【構成】ハーフミラー部材１４を包括する中心光軸Ａ
上の外周囲に照明切替え筒体３１を可回動的に配設さ
せ、ハーフミラー部材１４の下部側にハーフミラー部１
６に対応させた撮像光学系１７、及び環状ミラー部１５
に対応させた環状集光レンズ１８を配設させ、その下部
側に被験体試料Ｂの被観察部表面に対面させる対物開口
部２０を開口し、且つ環状集光レンズ１８に対応させる
集光ガイド部材１９を配設させ、照明切替え筒体３１に
照明光を側斜光用、偏斜光用、落射光用、及び側斜光・
落射光合成用の何れかに変換する複数種類の照明制御ス
リット部材を配する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、任意の各種被験体試料
（以下、単に被験体試料という）の表面像を観察、もし
くは撮像するために適用する観察、撮像装置の照明装置
に関し、さらに詳しくは、観察対象としての被験体試料
の被観察部表面の照明を、必要に応じて、側射光照明、
落射光照明の何れか一方、もしくは双方によって行ない
得るようにした観察、撮像装置の照明装置に係るもので
ある。

【０００２】

【従来の技術】従来から、この種の観察対象としての被
験体試料における被観察部の表面に対面させた状態で、
例えば、それぞれに投光照明手段を内蔵する照明ヘッ
ド、もしくは撮像ヘッドを臨ませて配置し、当該被観察
部を照明することによって、その表面像、ないしは拡大
された表面像を直接的に観察する観察装置、もしくはモ
ニタテレビの画面上に表示させて間接的に観察する撮像
装置にあっては、該被験体試料の被観察部表面に対し
て、これに斜行する側面側から斜め方向に向う斜行光線
のみを照射する照明、いわゆる側射光を主体とする照明
を行うようにするか、あるいは該被観察部表面に対し
て、これに正対する平面側から垂直方向に向う平行光線
のみを照射する照明、いわゆる落射光を主体とする照明
を行なうようにしているのが一般的である。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の側射光を主体とする照明手法、もしくは落射光を主
体とする照明手法においては、例えば、観察対象となる
被験体試料の平面部が比較的微細な凹凸のある形状であ
る場合には、これらの各照明手法を個別に実行しても、
該表面部の微細な凹凸形状を必ずしも精緻には観察でき
ないという不利があり、また、これらの各照明手法を同
時に実行する方法も考えられるが、装置自体の構成が徒
らに複雑化するという問題点があった。

【０００４】本発明は、従来のこのような問題点を解消
するためになされたもので、その目的とするところは、
観察対象としての被験体試料における被観察部表面が、
たとえ、比較的微細な凹凸を有する平面形状であって
も、該被観察部表面の個々の観察目的に対応して、全外
周上の側斜光と一部外周上の偏斜光とを主体とする各照
明、または同軸上の落射光を主体とする照明、ないしは
側斜光と落射光との合成光による照明の各照明像の観察
のそれぞれを合わせて、簡略化された同一構成内で有効
かつ適切に行ない得るようにした、同一視野で各照明像
を観察しうる観察、撮像装置の照明装置を提供すること
である。

【０００５】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明に係る観察、撮像装置の照明装置は、次のよ
うに構成したものである

【０００６】即ち、本発明は、筒状胴部の外周面一側部
に照明光を導光する照明光導入部を配した本体鏡筒を有
し、前記筒状胴部内には、中心光軸上で前記照明光導入
部に対して所定角度で対面させると共に、下面側の周囲
部分に環状ミラー部、中心部分にハーフミラー部を形成
したハーフミラー部材を設け、且つ該ハーフミラー部材
を包括する前記中心光軸上の外周囲に照明切替え筒体を
可回動的に配設させ、また、前記ハーフミラー部材の下
部側には、中心光軸上でハーフミラー部に対応させた対
物レンズを含む撮像光学系、及び該撮像光学系の外側周
囲部分を占めて環状ミラー部に対応させた環状集光レン
ズを配設させ、その下部側に、前記中心光軸上で観察対
象としての被験体試料の被観察部表面に対面させる対物
開口部を開口し、且つ前記環状集光レンズに対応させる
集光ガイド部材を配設させ、さらに、前記照明切替え筒
体の周壁部分には、前記照明光導入部を通して導光され
る照明光を少なくとも側斜光用、偏斜光用、落射光用、
及び側斜光・落射光合成用の何れかに変換する複数種類
の照明制御スリット部材を配して構成し、必要に応じ
て、前記各照明制御スリット部材の何れかを前記照明光
導入部に選択的に対面させ得るようにしたことを特徴と
する観察、撮像装置の照明装置である。

【０００７】また、前記観察、撮像装置の照明装置の構
成において、前記各照明制御スリット部材が、前記照明
光導入部を通して導光される照明光を平行光束にする集
束光学系を内蔵していることを特徴とするものである。

【０００８】

【作用】本発明においては、前記側斜光用、偏斜光用、
落射光用、及び側斜光・落射光合成用の何れかの照明制
御スリット部材を照明光導入部に選択的に対面させるこ
とにより、該照明光導入部に導光される照明光を該当す
る側斜光、偏斜光、落射光、及び側斜光・落射光の合成
光に変換して前記被験体試料の被観察部表面を照明し得
る。

【０００９】また、前記各照明制御スリット部材に対し
て、前記照明光導入部を通して導光される照明光を平行
光束にする集束光学系を内蔵させるときは、選択された
側斜光、偏斜光、落射光、及び側斜光・落射光の合成光
を平行光束にでき、前記被験体試料の被観察部表面を一
層、効果的に照明し得る。

【００１０】

【実施例】以下、本発明に係る観察、撮像装置の照明装
置の一実施例につき、図１ないし図３、図４ないし図７
を参照して詳細に説明する。本実施例は、撮像装置に対
して本照明装置を使用する場合であり、観察装置の照明
装置としても適用可能なことは勿論である。

【００１１】最初に、図１ないし図３に示す本実施例の
撮像装置における照明装置の構成について述べる。

【００１２】図１は、本発明の一実施例による照明装置
を適用した撮像装置の概要構成を模式的に示す縦断面
図、図２は、同上照明装置における照明切替え筒体を取
り出して模式的に示す拡大横断面図である。

【００１３】また、図３（ａ）ないし（ｄ）は、同実施
例の照明切替え筒体における集束光学系内蔵型の各照明
制御部材をそれぞれに展開して模式的に示すもので、同
図３（ａ）は、側斜光用の照明制御スリット部材（以
下、側斜光用スリット部材という）の正面説明図、同図
３（ｂ）は、偏斜光用の照明制御スリット部材（以下、
偏斜光用スリット部材という）の正面説明図、同図３
（ｃ）は、落射光用の照明制御スリット部材（以下、落
射光用スリット部材という）の正面説明図、同図３
（ｄ）は、側斜光と落射光との合成光用の照明制御スリ
ット部材（以下、側斜光・落射光の合成光用スリット部
材という）の正面説明図である。

【００１４】即ち、これらの図１ないし図３に示す実施
例装置の構成において、撮像装置の本体鏡筒１１は、外
周面一側部の所定位置に光ファイバー束１３ａを通して
照明光を導光する照明光導入部１３を配した筒状胴部１
２を有しており、該筒状胴部１２内には、中心光軸Ａ上
で、前記照明光導入部１３に対して４５°の角度で対面
し、且つ下面側の外側周囲部分に対して別に蒸着された
環状ミラー部１５、中心部分にハーフミラー部１６をそ
れぞれに形成したハーフミラー部材１４を設けると共
に、該ハーフミラー部材１４を包括する外周囲にあっ
て、詳細については後述する切替え操作リング３２付き
の照明切替え筒体３１を中心光軸Ａ上で可回動的に配設
してある。

【００１５】また、前記ハーフミラー部材１４の下部側
には、中心光軸Ａ上で、前記ハーフミラー部材１４のハ
ーフミラー部１６に対応させた対物レンズを含む撮像光
学系１７、該撮像光学系１７の外側周囲部分を占めて前
記環状ミラー部１５に対応させた環状集光レンズ１８を
それぞれに設け、さらに、その下部側にあって、観察対
象としての被験体試料Ｂの被観察部表面に対面させる対
物開口部２０を開口すると共に、前記環状集光レンズ１
８に対応させた内側周囲部分に集光段部２１を形成した
集光ガイド部材１９を設けてある。

【００１６】一方、前記ハーフミラー部材１４の上部側
には、同様に中心光軸Ａ上で、フォーカス操作リング２
３によってフォーカス作動されるフォーカス機構（公知
態様のものであってよいので、詳細については省略す
る）２２を介し、可変倍率機構（ここでも、公知態様の
ものであってよいので、詳細については省略する）２５
を有するＣＣＤ素子２４を配設してある。

【００１７】さらに、前記切替え操作リング３２付きの
照明切替え筒体３１は、図２、図３（ａ）ないし（ｄ）
から明らかなように、前記ハーフミラー部材１４の周囲
を切替え操作リング３２によって中心光軸Ａ上で回動可
能にした保持筒、この場合、好ましくは、直角（９０
°）の角度範囲毎に節度的に回動し得るようにされた保
持筒３３を有しており、該保持筒３３の同様に該当角度
範囲毎に４分割した各周壁部分にあって、前記照明光導
入部１３を通して導光される照明光を平行光束にするた
めの集束光学系をそれぞれに内蔵した側斜光用スリット
部材４１、偏斜光用スリット部材５１、落射光用スリッ
ト部材６１、及び側斜光・落射光合成用スリット部材７
１を個別に嵌設したもので、これらの各照明制御スリッ
ト部材４１、５１、６１、及び７１は、切替え操作リン
グ３２の選択的な切替え操作で照明光導入部１３に対面
させ得るようになっている。

【００１８】ここで、前記側斜光用スリット部材４１に
ついては、図３（ａ）に示した如く、前記ハーフミラー
部材１４での環状ミラー部１５の全周囲に対応する部分
においてのみ光透過部としての環状をした照明光束の集
束レンズ４２を設け、且つ他の部分を非光透過部４３と
してある。

【００１９】前記偏斜光用スリット部材５１について
は、図３（ｂ）に示した如く、前記ハーフミラー部材１
４での環状ミラー部１５の一部周囲、この場合は、右半
部に対応する部分においてのみ光透過部としての半環状
をした照明光束の集束レンズ５２を設け、且つ他の部分
を非光透過部５３としてある。

【００２０】前記落射光用スリット部材６１について
は、図３（ｃ）に示した如く、前記ハーフミラー部材１
４でのハーフミラー部１６に対応する部分においてのみ
光透過部としての照明光束の集束レンズ６２を設け、且
つ他の部分を非光透過部６３としてある。

【００２１】前記側斜光・落射光の合成光用スリット部
材７１については、図３（ｄ）に示した如く、前記ハー
フミラー部材１４での環状ミラー部１５とハーフミラー
部１６の全周囲とに対応する部分においてのみ光透過部
としての照明光束の集束レンズ７２を設け、且つ他の部
分を非光透過部７３としてある。

【００２２】次に、上記実施例構成による照明装置を用
い、図４ないし図７の各照明態様で被験体試料Ｂを観察
する場合の作用について順次に述べる。

【００２３】そして、この場合には、これらの各照明形
態により、本体鏡筒１１対物開口部２０を対面させる被
験体試料Ｂに対して、予め、フォーカス操作リング２３
によるフォーカス機構２２のフォーカス作動Ｃと可変倍
率機構２５の変倍作動Ｄとがそれぞれになされているも
のとし、ここでは、該各照明形態によって被験体試料Ｂ
を照明したときの撮像光ｂが、適正にＣＣＤ素子２４へ
入射するように設定されているものとする。

【００２４】図４（ａ）、（ｂ）は、同上実施例による
撮像装置を側斜光主体の照明形態（以下、第１の照明形
態という）で使用する場合の照明光と撮像光との光路態
様を示す縦断面説明図、同上第１の照明形態で選択され
た側斜光用スリット部材と被験体試料に対する照明光、
及び撮像光との関係を示す説明図である。

【００２５】本第１の照明形態では、同図４（ａ）、
（ｂ）に見られるように、切替え操作リング３２の選択
切替え操作により、照明切替え筒体３１の側斜光用スリ
ット部材４１を照明光導入部１３に対面させて使用す
る。

【００２６】即ち、本第１の照明形態による場合、照明
光導入部１３に導光される照明光ａは、先ず、側斜光用
スリット部材４１の環状に形成した集束レンズ４２のみ
を通して、平行光束にされた上で、ハーフミラー部材１
４の全周囲に亘って形成した環状ミラー部１５により、
中心光軸Ａ上で下方へ向けて反射され、且つ環状集光レ
ンズ１８を経た後に、集光段部２１から集光ガイド部材
１９内に導入されると共に、該集光ガイド部材１９で集
光ガイドされ、対物開口部２０の全内周面から全周囲に
亘る側斜光ａ₁ として被験体試料Ｂの被観察部に照射さ
れるもので、この場合には、該被験体試料Ｂの被観察部
に対して、全周囲方向からの側斜光ａ₁を用いた照明が
独立的になされる。

【００２７】次いで、被験体試料Ｂの被観察部で反射さ
れた撮像光ｂ₁ は、対物開口部２０から撮像光学系１７
を通して導光され、ハーフミラー部材１４のハーフミラ
ー部１６を経た後に、ＣＣＤ素子２４に入射されると共
に、該ＣＣＤ素子２４により撮像光ｂ₁ が電気信号に変
換され、且つこれを図示しないモニタテレビの画面上に
表示させることによって、所期通りの側斜光ａ₁ による
被観察部の照明像（観察像）、つまりは、第２の照明形
態で照明された照明像を容易にしかも効果的に観察し得
るのである。

【００２８】図５（ａ）、（ｂ）は、同上実施例による
撮像装置を偏斜光主体の照明形態（以下、第２の照明形
態という）で使用する場合の照明光と撮像光との光路態
様を示す縦断面説明図、同第２の照明形態で選択された
偏斜光用スリット部材と被験体試料に対する照明光、及
び撮像光との関係を示す説明図である。

【００２９】本第２の照明形態では、同図５（ａ）、
（ｂ）に見られるように、切替え操作リング３２の選択
切替え操作により、照明切替え筒体３１の偏斜光用スリ
ット部材５１を照明光導入部１３に対面させて使用す
る。

【００３０】即ち、本第２の照明形態による場合にも、
照明光導入部１３に導光される照明光ａは、先ず、偏斜
光用スリット部材５１の右半部に相当する半環状に形成
した集束レンズ５２のみを通して平行光束にされた上
で、ハーフミラー部材１４の環状ミラー部１５の内の該
当する右半部により、中心光軸Ａ上で下方へ向けて反射
され、且つ同様に環状集光レンズ１８の右半部を経た後
に、対応する集光段部２１から集光ガイド部材１９内に
導入されると共に、該集光ガイド部材１９で集光ガイド
され、対物開口部２０の右半部該当の内周面から半周囲
に亘る偏斜光ａ₂として被験体試料Ｂの被観察部に照射
されるもので、この場合には、該被験体試料Ｂの被観察
部に対して、半周囲方向からの偏斜光ａ₂ を用いた照明
が独立的になされる。

【００３１】次いで、被験体試料Ｂの被観察部で反射さ
れた撮像光ｂ₂ は、ここでも、対物開口部２０から撮像
光学系１７を通して導光され、ハーフミラー部材１４の
ハーフミラー部１６を経た後に、ＣＣＤ素子２４に入射
されると共に、該ＣＣＤ素子２４により撮像光ｂ₂ が電
気信号に変換され、且つこれを図示しないモニタテレビ
の画面上に表示させることによって、所期通りの偏斜光
ａ₂ による被観察部の照明像（観察像）、つまりは、第
２の照明形態で照明された照明像を容易にしかも効果的
に観察し得るのである。

【００３２】図６（ａ）、（ｂ）は、同実施例による撮
像装置を落射光照明（以下、第３の照明形態という）で
使用する場合の照明光と撮像光との光路態様を示す縦断
面説明図、同第３の照明形態で選択された落射光用スリ
ット部材と被験体試料に対する照明光、及び撮像光との
関係を示す説明図である。

【００３３】本第３の照明形態では、同図６（ａ）、
（ｂ）に見られるように、切替え操作リング３２の選択
切替え操作により、照明切替え筒体３１の落射光用スリ
ット部材６１を照明光導入部１３に対面させて使用す
る。

【００３４】即ち、本第３の照明形態による場合にも、
照明光導入部１３に導光される照明光ａは、先ず、落射
光用スリット部材６１の中心部に相当して形成した集束
レンズ６２のみを通して平行光束にされた上で、ハーフ
ミラー部材１４のハーフミラー部１６により、中心光軸
Ａ上で下方に向けて反射され、且つ撮像光学系１７を経
た後に、対物開口部２０から落射光ａ₃ として被験体試
料Ｂの被観察部に照射されるもので、この場合には、該
被験体試料Ｂの被観察部に対して、垂直方向からの落射
光ａ₃ を用いた照明が独立的になされる。

【００３５】次いで、被験体試料Ｂの被観察部で反射さ
れた撮像光ｂ₃ は、再度、対物開口部２０から撮像光学
系１７を通して導光され、ハーフミラー部材１４のハー
フミラー部１６を経た後に、ＣＣＤ素子２４に入射され
ると共に、該ＣＣＤ素子２４により撮像光ｂ₃ が電気信
号に変換され、且つこれを図示しないモニタテレビの画
面上に表示させることによって、所期通りの落射光ａ₃
による被観察部の照明像（観察像）、つまりは、第３の
照明形態で照明された照明像を容易にしかも効果的に観
察し得るのである。

【００３６】図７（ａ）、（ｂ）は、同実施例による撮
像装置を側斜光と落射光の合成光照明（以下、第４の照
明形態という）で使用する場合の照明光と撮像光との光
路態様を示す縦断面説明図、同第４の照明形態で選択さ
れた落射光用スリット部材と被験体試料に対する照明
光、及び撮像光との関係を示す説明図である。

【００３７】本第３の照明形態では、同図６（ａ）、
（ｂ）に見られるように、切替え操作リング３２の選択
切替え操作により、照明切替え筒体３１の側斜光・落射
光合成用スリット部材７１を照明光導入部１３に対面さ
せて使用する。

【００３８】即ち、本第１の照明形態による場合、照明
光導入部１３に導光される照明光ａは、先ず、側斜光用
スリット部材７１の集束レンズ４２のみを通して、平行
光束にされた上で、ハーフミラー部材１４の全周囲に亘
って形成した環状ミラー部１５により、中心光軸Ａ上で
下方へ向けて反射され、且つ環状集光レンズ１８を経た
後に、集光段部２１から集光ガイド部材１９内に導入さ
れると共に、該集光ガイド部材１９で集光ガイドされ、
対物開口部２０の全内周面から全周囲に亘る側斜光ａ₁
として被験体試料Ｂの被観察部に照射されるもので、こ
の場合には、該被験体試料Ｂの被観察部に対して、全周
囲方向からの側斜光ａ₁ を用いた照明が独立的になされ
る。

【００３９】即ち、本第４の照明形態による場合、照明
光導入部１３に導光される照明光ａは、先ず、一方にお
いて、前記第１の照明形態による場合と同様に、側斜光
・落射光合成用スリット部材７１の集束レンズ７２の内
で、周囲相当の環状部分のみを通して、平行光束にされ
た上で、ハーフミラー部材１４の全周囲に亘って形成し
た環状ミラー部１５により、中心光軸Ａ上で下方へ向け
側斜光ａ_4aとして反射され、また、他方において、前記
第３の照明形態による場合と同様に、前記側斜光・落射
光合成用スリット部材７１の集束レンズ７２の内で、中
心部分のみを通して平行光束にされた上で、ハーフミラ
ー部材１４の中心部分に形成したハーフミラー部１６に
より、中心光軸Ａ上で下方に向け落射光ａ_4bとして反射
されることになる。

【００４０】そして、前記前者相当の一方の側斜光ａ_4a
については、環状集光レンズ１８を経た後に、集光段部
２１から集光ガイド部材１９内に導入されると共に、該
集光ガイド部材１９で集光ガイドされ、対物開口部２０
の全内周面から全周囲に亘って被験体試料Ｂの被観察部
に照射され、また、前記後者相当の他方の落射光ａ_4bに
ついては、撮像光学系１７を経た後に、対物開口部２０
を通して垂直方向から被験体試料Ｂの被観察部に照射さ
れることになり、この場合には、該被験体試料Ｂの被観
察部に対して、全周囲方向からの側斜光ａ_4aを用いた照
明と、垂直方向からの落射光ａ_4bとの両者、つまり、こ
れらの側斜光ａ_4aと落射光ａ_4bとの合成光ａ₄ を用いた
照明が独立的になされる。

【００４１】次いで、被験体試料Ｂの被観察部で反射さ
れた撮像光ｂ₄ は、再度、対物開口部２０から撮像光学
系１７を通して導光され、ハーフミラー部材１４のハー
フミラー部１６を経た後に、ＣＣＤ素子２４に入射され
ると共に、該ＣＣＤ素子２４により撮像光ｂ₄ が電気信
号に変換され、且つこれを図示しないモニタテレビの画
面上に表示させることによって、所期通りの側斜光ａ_4a
と落射光ａ_4bとの合成光ａ₄ による被観察部の照明像
（観察像）、つまりは、第４の照明形態で照明された照
明像を容易にしかも効果的に観察し得るのである。

【００４２】なお、前記実施例においては、各照明制御
スリット部材に平行光束を得るための集光レンズを設け
ているが、照明光導入部との間にあって、照明光を平行
光束にする光学系を介在させることにより、該集光レン
ズに代えて単なる導光スリットを設けるようにしてもよ
い。

【００４３】

【発明の効果】以上、実施例、及び各使用形態例によっ
て詳述したように、本発明によれば、筒状胴部の外周面
一側部に照明光を導光する照明光導入部を配した本体鏡
筒を設けて、筒状胴部内には、中心光軸上で照明光導入
部に対し所定角度で対面させると共に、下面側の周囲部
分に環状ミラー部、中心部分にハーフミラー部を形成し
たハーフミラー部材を設け、且つハーフミラー部材を包
括する中心光軸上の外周囲に照明切替え筒体を可回動的
に配設させ、ハーフミラー部材の下部側には、中心光軸
上でハーフミラー部に対応させた対物レンズを含む撮像
光学系、及び該撮像光学系の外側周囲部分を占めて環状
ミラー部に対応させた環状集光レンズを配設させ、その
下部側に、中心光軸上で観察対象としての被験体試料の
被観察部表面に対面させる対物開口部を開口し、且つ環
状集光レンズに対応させる集光ガイド部材を配設させ、
照明切替え筒体の周壁部分には、照明光導入部を通して
導光される照明光を少なくとも側斜光用、偏斜光用、落
射光用、及び側斜光・落射光合成用の何れかに変換する
複数種類の照明制御スリット部材を配して構成し、必要
に応じて、各照明制御スリット部材の何れかを照明光導
入部に選択的に対面させ得るようにしたから、観察目的
に対応して、側斜光用、偏斜光用、落射光用、及び側斜
光・落射光合成用の何れかの照明制御スリット部材を照
明光導入部に選択的に対面させるだけの簡単な操作で、
照明光導入部に導光される照明光を該当する側斜光、偏
斜光、落射光、及び側斜光・落射光の合成光の何れかに
変換して被験体試料の被観察部表面をそれぞれの目的に
相応して効果的に照明できるのであり、しかも装置構成
自体も比較的簡単で容易に実施し得る等の優れた特長が
ある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例による照明装置を適用した撮
像装置の概要構成を模式的に示す縦断面図である。

【図２】同上実施例の照明装置における照明切替え筒体
を取り出して模式的に示す拡大横断面図である。

【図３】同上実施例の照明切替え筒体における集束光学
系内蔵型の各照明制御部材をそれぞれに展開して模式的
に示すもので、（ａ）は、側斜光用の照明制御スリット
部材の正面説明図、（ｂ）は、偏斜光用の照明制御スリ
ット部材の正面説明図、（ｃ）は、落射光用の照明制御
スリット部材の正面説明図、（ｄ）は、側斜光と落射光
との合成光用照明制御スリット部材の正面説明図であ
る。

【図４】（ａ）は、同上実施例による撮像装置を側斜光
照明形態で使用する場合の照明光と撮像光との光路態様
を示す縦断面説明図、（ｂ）は、同上照明形態で選択さ
れた側斜光用スリット部材と被験体試料に対する照明
光、及び撮像光との関係を示す説明図である。

【図５】（ａ）は、同上実施例による撮像装置を偏斜光
照明形態で使用する場合の照明光と撮像光との光路態様
を示す縦断面説明図、（ｂ）は、同上照明形態で選択さ
れた偏斜光用スリット部材と被験体試料に対する照明
光、及び撮像光との関係を示す説明図である。

【図６】（ａ）は、同上実施例による撮像装置を落射光
照明形態で使用する場合の照明光と撮像光との光路態様
を示す縦断面説明図、（ｂ）は、同上照明形態で選択さ
れた落射光用スリット部材と被験体試料に対する照明
光、及び撮像光との関係を示す説明図である。

【図７】（ａ）は、同上実施例による撮像装置を側斜光
と落射光の合成光照明形態で使用する場合の照明光と撮
像光との光路態様を示す縦断面説明図、（ｂ）は、同上
照明形態で選択された側斜光・落射光の合成光用スリッ
ト部材と被験体試料に対する照明光、及び撮像光との関
係を示す説明図である。

【符号の説明】

１１本体鏡筒１２筒状胴部１３照明光導入部１３ａ光ファイバー束１４ハーフミラー部材１５環状ミラー部１６ハーフミラー部１７撮像光学系１８環状集光レンズ１９集光ガイド部材２０対物開口部２１集光段部２２フォーカス機構２３フォーカス操作リング２４ＣＣＤ素子２５可変倍率機構３１照明切替え筒体３２切替え操作リング３３スリット保持筒４１側斜光用の照明制御スリット部材（側斜光用スリ
ット部材）４２照明光束の集束レンズ４３非光透過部５１偏斜光用の照明制御スリット部材（偏斜光用スリ
ット部材）５２照明光束の集束レンズ５３非光透過部６１落射光用の照明制御スリット部材（落射光用スリ
ット部材）６２照明光束の集束レンズ６３非光透過部７１側斜光と落射光の合成光用の照明制御スリット部
材（側斜光・落射光の合成光用スリット部材）７２照明光束の集束レンズ７３非光透過部Ａ中心光軸Ｂ被験体試料ａ照明光ａ₁ 、ａ_4a 側斜光ａ₂ 偏斜光ａ₃ 、ａ_4b 落射光ａ₄ 側斜光と落射光の合成光ｂ₁ 、ｂ₂ 、ｂ₃ 、ｂ₄ 反射光

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】筒状胴部の外周面一側部に照明光を導光
する照明光導入部を配した本体鏡筒を有し、前記筒状胴
部内には、中心光軸上で前記照明光導入部に対して所定
角度で対面させると共に、下面側の周囲部分に環状ミラ
ー部、中心部分にハーフミラー部を形成したハーフミラ
ー部材を設け、且つ該ハーフミラー部材を包括する中心
光軸上の外周囲に照明切替え筒体を可回動的に配設さ
せ、また、前記ハーフミラー部材の下部側には、中心光軸上
でハーフミラー部に対応させた対物レンズを含む撮像光
学系、及び該撮像光学系の外側周囲部分を占めて環状ミ
ラー部に対応させた環状集光レンズを配設させ、その下
部側に、前記中心光軸上で観察対象としての被験体試料
の被観察部表面に対面させる対物開口部を開口し、且つ
前記環状集光レンズに対応させる集光ガイド部材を配設
させ、さらに、前記照明切替え筒体の周壁部分には、前記照明
光導入部を通して導光される照明光を少なくとも側斜光
用、偏斜光用、落射光用、及び側斜光・落射光合成用の
何れかに変換する複数種類の照明制御スリット部材を配
して構成し、必要に応じて、前記各照明制御スリット部材の何れかを
前記照明光導入部に選択的に対面させ得るようにしたこ
とを特徴とする観察、撮像装置の照明装置。
【請求項２】前記各照明制御スリット部材が、前記照
明光導入部を通して導光される照明光を平行光束にする
集束光学系を内蔵していることを特徴とする請求項１に
記載の観察、撮像装置の照明装置。
【請求項３】前記側斜光用の照明制御スリット部材
が、前記環状ミラー部に対応する部分にのみ光透過部と
しての集束レンズを有していることを特徴とする請求項
１及び２に記載の観察、撮像装置の照明装置。
【請求項４】前記偏斜光用の照明制御スリット部材
が、前記環状ミラー部の一部に対応する部分にのみ光透
過部としての集束レンズを有していることを特徴とする
請求項１及び２に記載の観察、撮像装置の照明装置。
【請求項５】前記落射光用の照明制御スリット部材
が、前記ハーフミラー部に対応する部分にのみ光透過部
としての集束レンズを有していることを特徴とする請求
項１及び２に記載の観察、撮像装置の照明装置。
【請求項６】前記側斜光・落射光合成用の照明制御ス
リット部材が、前記環状ミラー部とハーフミラー部とに
対応する部分にのみ光透過部としての集束レンズを有し
ていることを特徴とする請求項１及び２に記載の観察、
撮像装置の照明装置。