JPH0798854A - 磁気記録媒体の製造装置 - Google Patents
磁気記録媒体の製造装置Info
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- JPH0798854A JPH0798854A JP5244681A JP24468193A JPH0798854A JP H0798854 A JPH0798854 A JP H0798854A JP 5244681 A JP5244681 A JP 5244681A JP 24468193 A JP24468193 A JP 24468193A JP H0798854 A JPH0798854 A JP H0798854A
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- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
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- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
- C23C14/562—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks for coating elongated substrates
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- G—PHYSICS
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- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/84—Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
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- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 良質の磁気記録媒体を製造することができる
と共に、製造効率の向上した磁気記録媒体の製造装置を
提供すること。 【構成】 本装置は、真空容器と、該真空容器内のバッ
クコート層形成室、磁性層形成室、潤滑層形成室、及び
スリッター室を有し、バックコート層形成室は、被蒸着
材下方の金属材料用ルツボと、電子ビーム発生装置と、
反転案内ロールとを含み、磁性層形成室は、被蒸着材下
方の磁性材料用ルツボと、電子ビーム発生装置と、酸化
性ガス供給装置とを含み、潤滑層形成室は、被蒸着材下
方の潤滑材供給手段を含み、スリッター室は、巻取手段
と、スリッターと、酸化性ガス供給手段とを備えること
を特徴とする。
と共に、製造効率の向上した磁気記録媒体の製造装置を
提供すること。 【構成】 本装置は、真空容器と、該真空容器内のバッ
クコート層形成室、磁性層形成室、潤滑層形成室、及び
スリッター室を有し、バックコート層形成室は、被蒸着
材下方の金属材料用ルツボと、電子ビーム発生装置と、
反転案内ロールとを含み、磁性層形成室は、被蒸着材下
方の磁性材料用ルツボと、電子ビーム発生装置と、酸化
性ガス供給装置とを含み、潤滑層形成室は、被蒸着材下
方の潤滑材供給手段を含み、スリッター室は、巻取手段
と、スリッターと、酸化性ガス供給手段とを備えること
を特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は磁気記録媒体の製造装置
に関し、特に共通の真空容器内で連続してバックコート
層、磁性層、及び潤滑層を形成することができ、かつこ
のようにして各層が形成された被蒸着材を同一容器内で
スリットできるものに関する。
に関し、特に共通の真空容器内で連続してバックコート
層、磁性層、及び潤滑層を形成することができ、かつこ
のようにして各層が形成された被蒸着材を同一容器内で
スリットできるものに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来知られている磁気記録媒体として、
磁性金属材料と結合剤を主成分とする磁性塗料を非磁性
体に塗布して磁性層を形成するいわゆる塗布型の磁気記
録媒体と、磁性金属材料を被蒸着材に蒸着させて磁性層
を形成するいわゆる蒸着型の磁気記録媒体がある。
磁性金属材料と結合剤を主成分とする磁性塗料を非磁性
体に塗布して磁性層を形成するいわゆる塗布型の磁気記
録媒体と、磁性金属材料を被蒸着材に蒸着させて磁性層
を形成するいわゆる蒸着型の磁気記録媒体がある。
【０００３】蒸着型の磁気記録媒体の一つである蒸着テ
ープは、鉄、ニッケル、コバルトなどの強磁性体の蒸気
をフィルムベース面に付着させて作ったテープである。
このようにして作られた蒸着テープは、塗布型のテープ
に必要とされるバインダを要しないので、薄膜の磁性層
を高充填度で生成することができ、高域特性の改善とテ
ープの薄形化が達せられる。
ープは、鉄、ニッケル、コバルトなどの強磁性体の蒸気
をフィルムベース面に付着させて作ったテープである。
このようにして作られた蒸着テープは、塗布型のテープ
に必要とされるバインダを要しないので、薄膜の磁性層
を高充填度で生成することができ、高域特性の改善とテ
ープの薄形化が達せられる。
【０００４】この蒸着テープにおけるバックコート層
は、テープ裏面の摩擦係数を低減するためのもので、こ
れによりテープの乱巻の防止等に効果がある。
は、テープ裏面の摩擦係数を低減するためのもので、こ
れによりテープの乱巻の防止等に効果がある。
【０００５】従来においては、蒸着テープにおいても、
バックコート層は、金属粉、バインダーレジン、微量添
加物などからなる塗料を塗布して形成される。この場
合、バックコート層を先に塗布してから、磁性層を真空
蒸着すると、真空容器内でバックコート層からの脱ガス
（バインダーレジンから発生する）を生じ、真空度が落
ちる結果、蒸着がうまくいかない。
バックコート層は、金属粉、バインダーレジン、微量添
加物などからなる塗料を塗布して形成される。この場
合、バックコート層を先に塗布してから、磁性層を真空
蒸着すると、真空容器内でバックコート層からの脱ガス
（バインダーレジンから発生する）を生じ、真空度が落
ちる結果、蒸着がうまくいかない。
【０００６】そこで、従来においては、先に真空中で磁
性層を蒸着したのち、大気中にテープを取出してから、
バックコート層を塗布している。
性層を蒸着したのち、大気中にテープを取出してから、
バックコート層を塗布している。
【０００７】また、潤滑層に関し、塗布型の磁気記録媒
体では、磁気記録媒体とヘッドとの摩擦係数を下げて走
行性を良くする目的で、磁性塗料中に潤滑剤が配合さ
れ、潤滑剤は磁性層中に保持されるような形態をとって
いる。また、蒸着型の磁気記録媒体では、磁気記録媒体
とヘッドとの摩擦係数を下げて走行性を良くしまた磁性
層を保護する目的で、潤滑剤をローラー転写等の方法に
より磁性層上に塗布して、あるいは潤滑剤溶液中に非磁
性体を含浸して潤滑層（オーバーコート層）が磁性層の
上に形成される。
体では、磁気記録媒体とヘッドとの摩擦係数を下げて走
行性を良くする目的で、磁性塗料中に潤滑剤が配合さ
れ、潤滑剤は磁性層中に保持されるような形態をとって
いる。また、蒸着型の磁気記録媒体では、磁気記録媒体
とヘッドとの摩擦係数を下げて走行性を良くしまた磁性
層を保護する目的で、潤滑剤をローラー転写等の方法に
より磁性層上に塗布して、あるいは潤滑剤溶液中に非磁
性体を含浸して潤滑層（オーバーコート層）が磁性層の
上に形成される。
【０００８】更に、酸化層に関し、蒸着型の磁気記録媒
体では、塗布型のバインダに代り、磁性層の上に酸化物
の保護層、すなわち酸化層を形成することで、磁性層の
耐久性を維持している。従来においては、成膜後、被蒸
着材は真空容器から取り出され、その後種々の処理が施
された後、スリッターにかけられ、所定幅に切断され
る。規定の寸法に切断された被蒸着材は、例えばカセッ
トに組み込まれ製品として出荷される。
体では、塗布型のバインダに代り、磁性層の上に酸化物
の保護層、すなわち酸化層を形成することで、磁性層の
耐久性を維持している。従来においては、成膜後、被蒸
着材は真空容器から取り出され、その後種々の処理が施
された後、スリッターにかけられ、所定幅に切断され
る。規定の寸法に切断された被蒸着材は、例えばカセッ
トに組み込まれ製品として出荷される。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】バックコート層の形成
に関し、真空中で磁性層を蒸着したのち、大気中にテー
プを取出してから、バックコート層を塗布する従来の方
法では、バックコート層を塗布する工程で、磁性層が汚
れたり、バックコート層にゴミが付着したりして、ドロ
ップアウト検査（磁気テープを検査用のカセットデッキ
に入れて一定の信号を記録しつつ再生し、テープ表面の
傷や異物の付着などによる再生信号の欠落であるところ
のドロップアウトを検出する検査）において、ドロップ
アウト数を増加させるという問題点がある。
に関し、真空中で磁性層を蒸着したのち、大気中にテー
プを取出してから、バックコート層を塗布する従来の方
法では、バックコート層を塗布する工程で、磁性層が汚
れたり、バックコート層にゴミが付着したりして、ドロ
ップアウト検査（磁気テープを検査用のカセットデッキ
に入れて一定の信号を記録しつつ再生し、テープ表面の
傷や異物の付着などによる再生信号の欠落であるところ
のドロップアウトを検出する検査）において、ドロップ
アウト数を増加させるという問題点がある。
【００１０】また、バックコート層に含まれるカーボン
は導電性は良好であるが、塗布型において必要なバイン
ダーを入れるため、導電性が低下してしまい、帯電防止
効果が低下するという問題点がある。
は導電性は良好であるが、塗布型において必要なバイン
ダーを入れるため、導電性が低下してしまい、帯電防止
効果が低下するという問題点がある。
【００１１】更に、磁性層とバックコート層の形成を連
続して行なえないため、生産効率が甚だ悪い。
続して行なえないため、生産効率が甚だ悪い。
【００１２】潤滑層の形成に関し、磁性層中に潤滑剤を
保持する形態では磁性層中に均一に潤滑剤を分散させる
には限界があり、期待された潤滑性能が十分に発揮され
ない場合がある。また、蒸着型の磁気記録媒体のように
磁性層上に潤滑剤を塗布する方法ではより均一な表面状
態の潤滑層を得ることが困難であり、十分な潤滑性能が
発揮されない。その上、蒸着型の磁気記録媒体でローラ
ー転写により潤滑層を形成するには一旦非磁性体の巻取
りを行なった後、別途設けられた生産ラインに移行して
行なう必要があり、生産性が非常に悪い。
保持する形態では磁性層中に均一に潤滑剤を分散させる
には限界があり、期待された潤滑性能が十分に発揮され
ない場合がある。また、蒸着型の磁気記録媒体のように
磁性層上に潤滑剤を塗布する方法ではより均一な表面状
態の潤滑層を得ることが困難であり、十分な潤滑性能が
発揮されない。その上、蒸着型の磁気記録媒体でローラ
ー転写により潤滑層を形成するには一旦非磁性体の巻取
りを行なった後、別途設けられた生産ラインに移行して
行なう必要があり、生産性が非常に悪い。
【００１３】酸化層（保護層）の形成に関し、スリッタ
ーによる切断工程は、磁気記録媒体製造工程の最後にあ
るために、その切断面は、何の処理も施されないまま製
品となってしまう。すなわち、切断により磁性層の切断
面は外気に晒される結果となる。そのため、切断面より
短期間で磁気記録媒体の性能の劣化が始る虞がある。
ーによる切断工程は、磁気記録媒体製造工程の最後にあ
るために、その切断面は、何の処理も施されないまま製
品となってしまう。すなわち、切断により磁性層の切断
面は外気に晒される結果となる。そのため、切断面より
短期間で磁気記録媒体の性能の劣化が始る虞がある。
【００１４】よって、本発明は、このような従来技術の
有する問題点を解消する新規な磁気記録媒体の製造装置
を提供することを目的とする。
有する問題点を解消する新規な磁気記録媒体の製造装置
を提供することを目的とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】本発明の磁気記録媒体の
製造装置は、真空容器と、該真空容器内に各独立して配
設されたバックコート層形成室、磁性層形成室、潤滑層
形成室、及びスリッター室を有し、前記各室は、一連の
被蒸着材を走行させる走行装置を備えると共に、隣接す
る各室間にこの被蒸着材が通過する連絡孔を有し、前記
バックコート層形成室は、被蒸着材の下方に配設され金
属材料の融解槽を有するルツボと、該ルツボの金属材料
に電子ビームを照射するための電子ビーム発生装置と、
被蒸着材の面を反転させる案内ロールとを含み、前記磁
性層形成室は、被蒸着材の下方に配設され磁性材料の融
解槽を有するルツボと、該ルツボの磁性材料に電子ビー
ムを照射するための電子ビーム発生装置と、蒸着領域の
終端に配設され酸化性ガスを供給する酸化性ガス供給装
置とを含み、前記潤滑層形成室は、被蒸着材の下方に配
設され微粒化した潤滑剤を被蒸着材に向け供給する供給
手段を含み、前記スリッター室は、被蒸着材を巻取る巻
取手段と、被蒸着材の走行方向に関し該巻取手段の上流
側に配設されるスリッターと、該スリッターにより切断
される被蒸着材の切断面に加熱した酸化性ガスを供給す
るべく備る酸化性ガス供給手段とを備えることを特徴と
する。
製造装置は、真空容器と、該真空容器内に各独立して配
設されたバックコート層形成室、磁性層形成室、潤滑層
形成室、及びスリッター室を有し、前記各室は、一連の
被蒸着材を走行させる走行装置を備えると共に、隣接す
る各室間にこの被蒸着材が通過する連絡孔を有し、前記
バックコート層形成室は、被蒸着材の下方に配設され金
属材料の融解槽を有するルツボと、該ルツボの金属材料
に電子ビームを照射するための電子ビーム発生装置と、
被蒸着材の面を反転させる案内ロールとを含み、前記磁
性層形成室は、被蒸着材の下方に配設され磁性材料の融
解槽を有するルツボと、該ルツボの磁性材料に電子ビー
ムを照射するための電子ビーム発生装置と、蒸着領域の
終端に配設され酸化性ガスを供給する酸化性ガス供給装
置とを含み、前記潤滑層形成室は、被蒸着材の下方に配
設され微粒化した潤滑剤を被蒸着材に向け供給する供給
手段を含み、前記スリッター室は、被蒸着材を巻取る巻
取手段と、被蒸着材の走行方向に関し該巻取手段の上流
側に配設されるスリッターと、該スリッターにより切断
される被蒸着材の切断面に加熱した酸化性ガスを供給す
るべく備る酸化性ガス供給手段とを備えることを特徴と
する。
【００１６】本発明によれば、真空容器内に各独立して
バックコート層形成室、磁性層形成室、潤滑層形成室、
及びスリッター室が配設される。これら各室は、一連の
被蒸着材を走行させる走行装置を備えると共に、隣接す
る各室間にこの被蒸着材が通過する連絡孔を有する。
バックコート層形成室、磁性層形成室、潤滑層形成室、
及びスリッター室が配設される。これら各室は、一連の
被蒸着材を走行させる走行装置を備えると共に、隣接す
る各室間にこの被蒸着材が通過する連絡孔を有する。
【００１７】そして、バックコート層形成室は、バック
コート層を形成するための蒸着手段、すなわち金属材料
の融解槽を有するルツボと、このルツボの金属材料に電
子ビームを照射するための電子ビーム発生装置とを含
む。また、バックコート層は、磁性層などと表裏反対に
なるため、被蒸着材の面を反転させる案内ロールをバッ
クコート層形成室は含む。
コート層を形成するための蒸着手段、すなわち金属材料
の融解槽を有するルツボと、このルツボの金属材料に電
子ビームを照射するための電子ビーム発生装置とを含
む。また、バックコート層は、磁性層などと表裏反対に
なるため、被蒸着材の面を反転させる案内ロールをバッ
クコート層形成室は含む。
【００１８】また、磁性層形成室は、磁性層を形成する
ための蒸着手段、すなわち磁性材料の融解槽を有するル
ツボと、このルツボの磁性材料に電子ビームを照射する
ための電子ビーム発生装置とを含み、更に、磁性層の上
に保護層として酸化層を形成するべく、蒸着領域の終端
に配設された酸化性ガス供給装置を含むものである。更
に、潤滑層形成室は、被蒸着材の下方に配設され微粒化
した潤滑剤を被蒸着材に向け供給する供給手段を含むも
のである。
ための蒸着手段、すなわち磁性材料の融解槽を有するル
ツボと、このルツボの磁性材料に電子ビームを照射する
ための電子ビーム発生装置とを含み、更に、磁性層の上
に保護層として酸化層を形成するべく、蒸着領域の終端
に配設された酸化性ガス供給装置を含むものである。更
に、潤滑層形成室は、被蒸着材の下方に配設され微粒化
した潤滑剤を被蒸着材に向け供給する供給手段を含むも
のである。
【００１９】各室の配列順序は、被蒸着材の走行方向に
関し、バックコート層形成室を最初にして順次、磁性層
形成室、潤滑層形成室の順番でもよいし、またバックコ
ート層形成室を最後にして磁性層形成室、潤滑層形成
室、そしてバックコート層形成室としてもよい。
関し、バックコート層形成室を最初にして順次、磁性層
形成室、潤滑層形成室の順番でもよいし、またバックコ
ート層形成室を最後にして磁性層形成室、潤滑層形成
室、そしてバックコート層形成室としてもよい。
【００２０】微粒化した潤滑剤を供給する供給手段は、
以下のようにすることができる。
以下のようにすることができる。
【００２１】例えば、超音波発振器と噴霧ノズルにより
供給手段を構成し、潤滑剤に超音波を印加して霧化した
潤滑剤を噴霧するようにすることができる。あるいは、
この供給手段を、回転体と上方が開放した容器より構成
し、容器内に供給される潤滑剤に回転体を接触させるこ
とにより、霧化された潤滑剤を噴霧するようにすること
もできる。
供給手段を構成し、潤滑剤に超音波を印加して霧化した
潤滑剤を噴霧するようにすることができる。あるいは、
この供給手段を、回転体と上方が開放した容器より構成
し、容器内に供給される潤滑剤に回転体を接触させるこ
とにより、霧化された潤滑剤を噴霧するようにすること
もできる。
【００２２】スリッター室は、スリッターと、酸化性ガ
ス供給手段とを備える。スリッターは、被蒸着材を所定
の幅に走行方向に切断する。また、酸化性ガス供給手段
は、スリッターにより切断された被蒸着材の切断面に加
熱した酸化性ガスを供給するように備る。すなわち、磁
性層形成室で形成された磁性層の切断面に加熱した酸化
性ガスを供給してその切断面に酸化層を形成するように
備る。
ス供給手段とを備える。スリッターは、被蒸着材を所定
の幅に走行方向に切断する。また、酸化性ガス供給手段
は、スリッターにより切断された被蒸着材の切断面に加
熱した酸化性ガスを供給するように備る。すなわち、磁
性層形成室で形成された磁性層の切断面に加熱した酸化
性ガスを供給してその切断面に酸化層を形成するように
備る。
【００２３】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づき説明
する。
する。
【００２４】図１は、本発明による磁気記録媒体の製造
装置の構成図である。本装置は、真空容器１と、この真
空容器１内に各独立して配設されたバックコート層形成
室２、磁性層形成室３、潤滑層形成室４、及びスリッタ
ー室５を有し、これら各室は、一連の被蒸着材、すなわ
ち合成樹脂製テープ６を走行させる走行装置を備えると
共に、隣接する各室間にこのテープ６が通過する連絡孔
７を有している。
装置の構成図である。本装置は、真空容器１と、この真
空容器１内に各独立して配設されたバックコート層形成
室２、磁性層形成室３、潤滑層形成室４、及びスリッタ
ー室５を有し、これら各室は、一連の被蒸着材、すなわ
ち合成樹脂製テープ６を走行させる走行装置を備えると
共に、隣接する各室間にこのテープ６が通過する連絡孔
７を有している。
【００２５】バックコート層形成室２は、走行装置１２
と、テープ６の下方に配設されるルツボ９と、このルツ
ボ９の融解槽８内の金属材料１１に電子ビームを照射す
るための電子ビーム発生装置１０とを含んでいる。走行
装置１２は、送りロール１３と、冷却ロール１４と、そ
して案内ロール２６からなっている。案内ロール２６
は、テープ６の面を反転させるためのものである。電子
ビーム発生装置１０は電子銃１５を備え、この電子銃１
５から電子ビームを発射し、この電子ビームを融解槽８
の金属材料１１に照射するようになっている。なお、こ
のバックコート層形成室内に酸化性ガス供給装置を配設
することができる。これにより、蒸着時に酸化性ガスを
供給してバックコート層の摩擦係数をコントロールする
ことにより、テープの走行安定性を維持できる。しか
も、酸化性ガスを導入することにより、耐食性も向上で
きる。
と、テープ６の下方に配設されるルツボ９と、このルツ
ボ９の融解槽８内の金属材料１１に電子ビームを照射す
るための電子ビーム発生装置１０とを含んでいる。走行
装置１２は、送りロール１３と、冷却ロール１４と、そ
して案内ロール２６からなっている。案内ロール２６
は、テープ６の面を反転させるためのものである。電子
ビーム発生装置１０は電子銃１５を備え、この電子銃１
５から電子ビームを発射し、この電子ビームを融解槽８
の金属材料１１に照射するようになっている。なお、こ
のバックコート層形成室内に酸化性ガス供給装置を配設
することができる。これにより、蒸着時に酸化性ガスを
供給してバックコート層の摩擦係数をコントロールする
ことにより、テープの走行安定性を維持できる。しか
も、酸化性ガスを導入することにより、耐食性も向上で
きる。
【００２６】磁性層形成室３は、走行装置２０と、テー
プ６の下方、図面左寄りの位置に配設されたルツボ１６
と、このルツボ１６の融解槽１７内の磁性材料１８に電
子ビームを照射するための電子ビーム発生装置１９と、
蒸着領域の終端に配設され酸化性ガスを供給する酸化性
ガス供給装置、すなわち酸素ガス供給管２５とを含んで
いる。走行装置２０は、一対の案内ロール２１と、冷却
ロール２２とからなっている。電子ビーム発生装置１９
は電子銃２３を備え、この電子銃２３から電子ビームを
発射し、この電子ビームを融解槽１７内の磁性金属１８
に照射するようになっている。遮蔽板２４は、磁性金属
蒸気のテープ６への蒸着領域を規制している。酸素ガス
供給管２５は、図示しない酸素ガス供給源に接続され、
磁性層の上に酸化層を形成するべく、その先端が蒸着領
域の終端に位置している。テープ６の面は、案内ロール
２６と案内ロール２１により、バックコート層形成室２
と磁性層形成室３とでは、反転している。
プ６の下方、図面左寄りの位置に配設されたルツボ１６
と、このルツボ１６の融解槽１７内の磁性材料１８に電
子ビームを照射するための電子ビーム発生装置１９と、
蒸着領域の終端に配設され酸化性ガスを供給する酸化性
ガス供給装置、すなわち酸素ガス供給管２５とを含んで
いる。走行装置２０は、一対の案内ロール２１と、冷却
ロール２２とからなっている。電子ビーム発生装置１９
は電子銃２３を備え、この電子銃２３から電子ビームを
発射し、この電子ビームを融解槽１７内の磁性金属１８
に照射するようになっている。遮蔽板２４は、磁性金属
蒸気のテープ６への蒸着領域を規制している。酸素ガス
供給管２５は、図示しない酸素ガス供給源に接続され、
磁性層の上に酸化層を形成するべく、その先端が蒸着領
域の終端に位置している。テープ６の面は、案内ロール
２６と案内ロール２１により、バックコート層形成室２
と磁性層形成室３とでは、反転している。
【００２７】潤滑層形成室４は、走行装置２７と、微粒
化した潤滑剤を供給する供給手段３０とを含んでいる。
走行装置２７は、一対の案内ロール２８と、加熱キャン
２９からなっている。供給手段３０は、超音波噴霧装置
３１と、噴霧ノズル３２からなり、加熱キャン２９の下
方、図面左寄りの位置に配設されている。潤滑剤は超音
波により微粒化され、噴霧ノズル３２からテープ６に向
け噴霧され、酸化層の上に潤滑層を形成する。赤外線ラ
ンプ３３は、潤滑層を加熱してその乾燥を促進して金属
表面との固着力を向上させている。
化した潤滑剤を供給する供給手段３０とを含んでいる。
走行装置２７は、一対の案内ロール２８と、加熱キャン
２９からなっている。供給手段３０は、超音波噴霧装置
３１と、噴霧ノズル３２からなり、加熱キャン２９の下
方、図面左寄りの位置に配設されている。潤滑剤は超音
波により微粒化され、噴霧ノズル３２からテープ６に向
け噴霧され、酸化層の上に潤滑層を形成する。赤外線ラ
ンプ３３は、潤滑層を加熱してその乾燥を促進して金属
表面との固着力を向上させている。
【００２８】最後に、スリッター室５は、走行装置、す
なわち弾性ロール３４と、テープ６を巻取る巻取手段、
すなわち一対の巻取リール群３５と、テープ６の走行方
向に関し巻取リール群３５の上流側に配設されるスリッ
ター３６と、このスリッター３６により切断されるテー
プ６の切断面に酸化性ガスを供給するべく備る酸化性ガ
ス供給手段、すなわち酸素ガス供給管３７とを備えてい
る。
なわち弾性ロール３４と、テープ６を巻取る巻取手段、
すなわち一対の巻取リール群３５と、テープ６の走行方
向に関し巻取リール群３５の上流側に配設されるスリッ
ター３６と、このスリッター３６により切断されるテー
プ６の切断面に酸化性ガスを供給するべく備る酸化性ガ
ス供給手段、すなわち酸素ガス供給管３７とを備えてい
る。
【００２９】スリッター３６は、左右の丸刃よりなって
いる。左刃３８は、所定の間隔を置いて回転軸に多数並
置されている。また右刃３９も、左刃３８と同様に、所
定の間隔を置いて別の回転軸に多数並置されている。左
刃３８と右刃３９は、動力源によりそれぞれの回転軸を
介して、双方の刃が互に逆方向に回転することにより、
両刃は、はさみ合い、このようにしてテープ６の原反を
切断するようになっている。刃の位置を移動させること
により、容易に切断幅を変えることができる。テープ６
は、このスリッター３６により所定の幅に走行方向に切
断される。
いる。左刃３８は、所定の間隔を置いて回転軸に多数並
置されている。また右刃３９も、左刃３８と同様に、所
定の間隔を置いて別の回転軸に多数並置されている。左
刃３８と右刃３９は、動力源によりそれぞれの回転軸を
介して、双方の刃が互に逆方向に回転することにより、
両刃は、はさみ合い、このようにしてテープ６の原反を
切断するようになっている。刃の位置を移動させること
により、容易に切断幅を変えることができる。テープ６
は、このスリッター３６により所定の幅に走行方向に切
断される。
【００３０】弾性ロール３４に２つの巻取リール群３５
が当接し、偶数列のテープは１つの巻取りロール３５に
より巻取られ、また奇数列のテープはもう１つの巻取り
ロール３５により巻取られるようになっている。
が当接し、偶数列のテープは１つの巻取りロール３５に
より巻取られ、また奇数列のテープはもう１つの巻取り
ロール３５により巻取られるようになっている。
【００３１】酸素ガス供給管３７は、図示しない酸素ガ
ス供給源に接続され、磁性層の切断面の上に酸化層を形
成するべく、その先端がスリッター３６の近傍に位置し
ており、スリッターの刃先に約１００℃に加熱した酸素
ガスを吹き付けるようになっている。
ス供給源に接続され、磁性層の切断面の上に酸化層を形
成するべく、その先端がスリッター３６の近傍に位置し
ており、スリッターの刃先に約１００℃に加熱した酸素
ガスを吹き付けるようになっている。
【００３２】このように構成された本発明装置におい
て、バックコート層形成室２の送りロール１３より繰り
出されたテープ６は、バックコート層形成室２におい
て、金属材料１１蒸気の蒸着をうけてバックコート層が
テープ６の一面に形成され、次にこのテープ６は、案内
ロール２６により反転されて連絡孔７を通り磁性層形成
室３内に入り、そこではテープ６の他面側、すなわちバ
ックコート層が形成された面と反対側の面に磁性金属１
８蒸気により磁性層が形成される。また、酸素ガス供給
管２５により、磁性層の上に酸化層が形成される。磁性
層と酸化層が形成されたテープ６は、次に連絡孔７を通
って潤滑層形成室４内に入り、そこでは微粒化した潤滑
剤をテープ６に向け供給する供給手段３０により、酸化
層の上に潤滑層が形成される。バックコート層、磁性
層、酸化層、そして潤滑層と順次各層が形成されたテー
プ６は、最後にスリッター室５内に入り、そこでスリッ
ター３６により所定幅に切断され、巻取リール群３５に
より巻取られる。酸素ガス供給管３７は、スリッター３
６により切断された磁性層の切断面に酸素ガスを供給し
て、その切断面の上に酸化層を形成するように作用す
る。
て、バックコート層形成室２の送りロール１３より繰り
出されたテープ６は、バックコート層形成室２におい
て、金属材料１１蒸気の蒸着をうけてバックコート層が
テープ６の一面に形成され、次にこのテープ６は、案内
ロール２６により反転されて連絡孔７を通り磁性層形成
室３内に入り、そこではテープ６の他面側、すなわちバ
ックコート層が形成された面と反対側の面に磁性金属１
８蒸気により磁性層が形成される。また、酸素ガス供給
管２５により、磁性層の上に酸化層が形成される。磁性
層と酸化層が形成されたテープ６は、次に連絡孔７を通
って潤滑層形成室４内に入り、そこでは微粒化した潤滑
剤をテープ６に向け供給する供給手段３０により、酸化
層の上に潤滑層が形成される。バックコート層、磁性
層、酸化層、そして潤滑層と順次各層が形成されたテー
プ６は、最後にスリッター室５内に入り、そこでスリッ
ター３６により所定幅に切断され、巻取リール群３５に
より巻取られる。酸素ガス供給管３７は、スリッター３
６により切断された磁性層の切断面に酸素ガスを供給し
て、その切断面の上に酸化層を形成するように作用す
る。
【００３３】（実施例）本発明装置を用いて成膜したフ
ィルムＡと、同一条件の下で従来装置を用いて成膜した
後、大気中でスリットしたフィルムＢとを、それぞれ、
８ｍｍカセットに入れ、このカセットを４０℃、相対湿
度８０％の恒温恒湿槽に入れて加速劣化試験を行ない、
４週間後の両者の飽和磁束密度（Ｂｓ）を比較した。そ
の結果、本発明装置のフィルムＡのＢｓ保持率は、９１
％、従来装置のフィルムＢのＢｓ保持率は、 ７７％、
であった。この結果をみると、本装置を使用して成膜し
たものは、従来のものに比べ、酸化層が保護層として良
く機能していることがわかる。
ィルムＡと、同一条件の下で従来装置を用いて成膜した
後、大気中でスリットしたフィルムＢとを、それぞれ、
８ｍｍカセットに入れ、このカセットを４０℃、相対湿
度８０％の恒温恒湿槽に入れて加速劣化試験を行ない、
４週間後の両者の飽和磁束密度（Ｂｓ）を比較した。そ
の結果、本発明装置のフィルムＡのＢｓ保持率は、９１
％、従来装置のフィルムＢのＢｓ保持率は、 ７７％、
であった。この結果をみると、本装置を使用して成膜し
たものは、従来のものに比べ、酸化層が保護層として良
く機能していることがわかる。
【００３４】
【発明の効果】本発明装置は、以上説明した通り構成さ
れているので、以下に述べる効果を奏する。
れているので、以下に述べる効果を奏する。
【００３５】ａ）バックコート層、磁性層、酸化層、そ
して潤滑層を連続して、しかも共通の真空容器で形成す
ることができる。更に、このようにして各層が形成され
た被蒸着材を同一の真空容器内で切断することができ
る。その結果、製造設備の集約化並びに縮小化が果せ、
また製造工程数の削減が実現でき、更に生産効率を向上
させることができる。更にまた、製造コストも下げるこ
とができる。
して潤滑層を連続して、しかも共通の真空容器で形成す
ることができる。更に、このようにして各層が形成され
た被蒸着材を同一の真空容器内で切断することができ
る。その結果、製造設備の集約化並びに縮小化が果せ、
また製造工程数の削減が実現でき、更に生産効率を向上
させることができる。更にまた、製造コストも下げるこ
とができる。
【００３６】ｂ）バックコート層を真空中にて蒸着によ
り形成するため、ゴミの付着等の問題が解決される。ま
た、バインダーを必要としないため、バックコート層の
導電性を低下させる虞もない。
り形成するため、ゴミの付着等の問題が解決される。ま
た、バインダーを必要としないため、バックコート層の
導電性を低下させる虞もない。
【００３７】ｃ）本発明装置によれば、潤滑剤が均一に
付着できるから、表面状態の良好な潤滑層が形成でき、
そのため磁気記録媒体の走行性が向上する。また、真空
中で潤滑剤を供給できるため、被蒸着材へのゴミの付着
が防止できる。
付着できるから、表面状態の良好な潤滑層が形成でき、
そのため磁気記録媒体の走行性が向上する。また、真空
中で潤滑剤を供給できるため、被蒸着材へのゴミの付着
が防止できる。
【００３８】ｄ）本発明装置に備るスリッター室の構成
により、磁性層の切断面を含め磁性層全体が酸化層によ
り保護されるようになる。その結果、磁気記録媒体の性
能の劣化を阻止することができ、従って本製造装置によ
り製造される磁気記録媒体は、長期間にわたってその初
期の性能が維持できるものである。
により、磁性層の切断面を含め磁性層全体が酸化層によ
り保護されるようになる。その結果、磁気記録媒体の性
能の劣化を阻止することができ、従って本製造装置によ
り製造される磁気記録媒体は、長期間にわたってその初
期の性能が維持できるものである。
【図１】本発明による磁気記録媒体の製造装置の構成
図。
図。
１ 真空容器 ２ バックコート層形成室 ３ 磁性層形成室 ４ 潤滑層形成室 ５ スリッター室 ６ テープ ７ 連絡孔 ９ ルツボ １０ 電子ビーム発生装置 １１ 金属材料 １２ 走行装置 １６ ルツボ １８ 磁性材料 １９ 電子ビーム発生装置 ２０ 走行装置 ２５ 酸素ガス供給管 ２６ 案内ロール ２７ 走行装置 ３０ 供給手段 ３４ 弾性ロール ３５ 巻取ロール ３６ スリッター ３７ 酸素ガス供給管
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 志賀 章 栃木県芳賀郡市貝町大字赤羽2606番地 花 王株式会社情報科学研究所内
Claims (1)
- 【請求項１】真空容器と、該真空容器内に各独立して配
設されたバックコート層形成室、磁性層形成室、潤滑層
形成室、及びスリッター室を有し、前記各室は、一連の
被蒸着材を走行させる走行装置を備えると共に、隣接す
る各室間にこの被蒸着材が通過する連絡孔を有し、 前記バックコート層形成室は、被蒸着材の下方に配設さ
れ金属材料の融解槽を有するルツボと、該ルツボの金属
材料に電子ビームを照射するための電子ビーム発生装置
と、被蒸着材の面を反転させる案内ロールとを含み、 前記磁性層形成室は、被蒸着材の下方に配設され磁性材
料の融解槽を有するルツボと、該ルツボの磁性材料に電
子ビームを照射するための電子ビーム発生装置と、蒸着
領域の終端に配設され酸化性ガスを供給する酸化性ガス
供給装置とを含み、 前記潤滑層形成室は、被蒸着材の下方に配設され微粒化
した潤滑剤を被蒸着材に向け供給する供給手段を含み、 前記スリッター室は、被蒸着材を巻取る巻取手段と、被
蒸着材の走行方向に関し該巻取手段の上流側に配設され
るスリッターと、該スリッターにより切断される被蒸着
材の切断面に加熱した酸化性ガスを供給するべく備る酸
化性ガス供給手段とを備えることを特徴とする磁気記録
媒体の製造装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5244681A JPH0798854A (ja) | 1993-09-30 | 1993-09-30 | 磁気記録媒体の製造装置 |
| US08/299,102 US5447748A (en) | 1993-09-30 | 1994-09-02 | Method and apparatus for producing magnetic recording medium |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5244681A JPH0798854A (ja) | 1993-09-30 | 1993-09-30 | 磁気記録媒体の製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0798854A true JPH0798854A (ja) | 1995-04-11 |
Family
ID=17122366
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5244681A Pending JPH0798854A (ja) | 1993-09-30 | 1993-09-30 | 磁気記録媒体の製造装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5447748A (ja) |
| JP (1) | JPH0798854A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100701641B1 (ko) * | 2004-08-02 | 2007-03-30 | 도레이새한 주식회사 | 진공증착에 의해 구리도금층을 형성하는 연성회로기판용 적층구조체의 제조방법 및 그 장치 |
| JP2007186774A (ja) * | 2006-01-16 | 2007-07-26 | Bridgestone Corp | 成膜方法及び装置 |
| KR20120122966A (ko) | 2011-04-28 | 2012-11-07 | 닛토덴코 가부시키가이샤 | 진공성막 방법 및 이 방법에 따라 얻을 수 있는 적층체 |
| EP2551372A1 (en) | 2011-07-29 | 2013-01-30 | Nitto Denko Corporation | Method for double-side vacuum film formation and laminate obtainable by the method |
| EP2551373A1 (en) | 2011-07-29 | 2013-01-30 | Nitto Denko Corporation | Method for double-side vacuum film formation and laminate obtainable by the method |
| EP2551371A1 (en) | 2011-07-29 | 2013-01-30 | Nitto Denko Corporation | Method for double-side vacuum film formation and laminate obtainable by the method |
| US9206505B2 (en) | 2011-04-28 | 2015-12-08 | Nitto Denko Corporation | Vacuum film formation method and laminate obtained by the method |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6183831B1 (en) * | 1998-08-20 | 2001-02-06 | Intevac, Inc. | Hard disk vapor lube |
| JP4268303B2 (ja) * | 2000-02-01 | 2009-05-27 | キヤノンアネルバ株式会社 | インライン型基板処理装置 |
| DE502004009821D1 (de) * | 2004-04-13 | 2009-09-10 | Applied Materials Gmbh & Co Kg | Führungsanordnung mit mindestens einer Führungswalze für die Führung von Bändern in Bandbehandlungsanlagen |
| EP1607492B1 (de) * | 2004-06-02 | 2007-09-12 | Applied Materials GmbH & Co. KG | Bandbehandlungsanlage mit mindestens einer Vakuumkammer |
| EP1988186A1 (en) * | 2007-04-24 | 2008-11-05 | Galileo Vacuum Systems S.p.A. | Multichamber vacuum deposition system |
| WO2019043424A1 (en) * | 2017-08-30 | 2019-03-07 | Arcelormittal | COATED METALLIC SUBSTRATE |
-
1993
- 1993-09-30 JP JP5244681A patent/JPH0798854A/ja active Pending
-
1994
- 1994-09-02 US US08/299,102 patent/US5447748A/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100701641B1 (ko) * | 2004-08-02 | 2007-03-30 | 도레이새한 주식회사 | 진공증착에 의해 구리도금층을 형성하는 연성회로기판용 적층구조체의 제조방법 및 그 장치 |
| JP2007186774A (ja) * | 2006-01-16 | 2007-07-26 | Bridgestone Corp | 成膜方法及び装置 |
| KR20120122966A (ko) | 2011-04-28 | 2012-11-07 | 닛토덴코 가부시키가이샤 | 진공성막 방법 및 이 방법에 따라 얻을 수 있는 적층체 |
| US9523147B2 (en) | 2011-04-28 | 2016-12-20 | Nitto Denko Corporation | Vacuum film formation method and laminate obtained by the method |
| US9206505B2 (en) | 2011-04-28 | 2015-12-08 | Nitto Denko Corporation | Vacuum film formation method and laminate obtained by the method |
| KR20130014411A (ko) | 2011-07-29 | 2013-02-07 | 닛토덴코 가부시키가이샤 | 양면 진공 성막 방법 및 이 방법에 의해 얻을 수 있는 적층체 |
| EP2551371A1 (en) | 2011-07-29 | 2013-01-30 | Nitto Denko Corporation | Method for double-side vacuum film formation and laminate obtainable by the method |
| EP2551373A1 (en) | 2011-07-29 | 2013-01-30 | Nitto Denko Corporation | Method for double-side vacuum film formation and laminate obtainable by the method |
| US9243320B2 (en) | 2011-07-29 | 2016-01-26 | Nitto Denko Corporation | Method for double-side vacuum film formation and laminate obtainable by the method |
| US9249503B2 (en) | 2011-07-29 | 2016-02-02 | Nitto Denko Corporation | Method for double-side vacuum film formation and laminate obtainable by the method |
| US9297066B2 (en) | 2011-07-29 | 2016-03-29 | Nitto Denko Corporation | Method for double-side vacuum film formation and laminate obtainable by the method |
| EP2551372A1 (en) | 2011-07-29 | 2013-01-30 | Nitto Denko Corporation | Method for double-side vacuum film formation and laminate obtainable by the method |
| KR20190082723A (ko) | 2011-07-29 | 2019-07-10 | 닛토덴코 가부시키가이샤 | 양면 진공 성막 방법 및 이 방법에 의해 얻을 수 있는 적층체 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5447748A (en) | 1995-09-05 |
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