JPH04109429A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、高分子材料よりなる長尺の基板−にに磁性層
を真空蒸着法によって連続的に形成する磁気記録媒体の
製造方法に関する。

従来の技術 現在、磁気記録媒体は高密度化の傾向にあり、従来の塗
布型磁気記録媒体の高密度化の限界を超えるものとして
金属薄膜型磁気記録媒体かγ王目されている。金属ＴＲ
膜梨型磁気記録媒体製造する方法には、メツキ法、スバ
、タリング法、真空茄着法等があるが、量産性を考慮す
ると真空蒸着法が最も優れている。真空蒸着法によって
生産性が良くかつ安定に金属薄膜型磁気記録媒体を形成
するには、従来から第４図に示すように、高分子材料よ
りなる基板１１を円筒状ローラ１２の周側面に沿わせて
矢印Ａの方向へ移動させつつ蒸着を行なえばよい。なお
、１３および１４はそれぞれ高分子基板１１の供給ロー
ルおよび巻取ロール、１５はガイドローラ、１６は蒸発
源を構成する坩堝、Ｉ７はその坩堝１６中の溶湯、１８
はその溶湯１７内の不純物および酸化物、１９は茄発源
上に配置された／−ルト十オである。

発明が解決Ｚようとする課題 しかじながら、上記の製造方法では、磁気記録媒体の長
尺にわたる記録再生特性の安定性という観点から様々な
問題点を好していた。記録再生特性の安定性を妨げてい
る原因の一つに、蒸着中に発生する芸発源の溶湯１７表
面の流れがある。

船釣に磁性層の形成を担う電子ビームは泉発源の溶湯１
７表面の中央付近に照射されるが、溶湯１７表面の坩堝
１６との境界近傍には不純物および酸化物１８が滞留し
、表面張力によって中央付近よりも高く盛り上がってい
る。この不純物および酸化物１８は、茅着中突如として
電子ビームが照射されている溶／ＩＪ１７表面の中央部
に流れ出し、蒸着レートなどの象徴な変化をもたらす。

すなわち磁性層の膜厚や飽和磁化が変化するため、これ
に対応して記録再生特性にも変化を生しるのである。特
に、チャンバー内に酸素を導入して反応蒸着を行う際に
は、溶４１７表面の酸化物が形成され易いために上記の
問題は深刻である。

本発明：よ上記の課題を解決し、長尺にわたって記録再
生特性の安定な磁気記録媒体の製造方法を提供すること
を目的としている。

課題を解決するだめの手段 上記の目的を達成するために本発明は、移動する長尺の
高分子基板上に磁性層を真空芸着法二二よって形成する
際に、茶発源の溶湯表面に照射する電子ビームを溶湯表
面の中央部に分布させるとともニこｆ４湯表面の坩堝と
の境界近傍部にもその境界線に沿って分布させるように
したものである。

作用 上記の本発明の製造方法が従来の方法と異なるのは、蒸
発源に照射する電子ビームを溶湯表面の中央部だけでな
く溶湯表面の坩堝との境界近傍部にもその境界線に沿っ
て分布させるという点である。電子ビームは蒸発源の溶
湯表面の坩堝との境界近傍部を走査する際、不純物およ
び酸化物を散乱させて滞留を防くことができる。これに
より、溶湯表面の流れを防ぎ、長尺にわたって蒸着レー
トなどの変化の少ない安定な芸着が可能となる。

この際電子ビームは、溶湯表面の中央部を囲む形で？’
８　？ＩＡ表面の坩堝との境界全てについてその近傍部
を走査する必要はない。例えば後に実施例において示す
ような一方向に長い坩堝を用いる場合には、その長手方
向の境界近傍のみを走査するように分布させれば充分に
本発明の効果を得ることができる。このような電子ビー
ムの分布は、ピアス式の電子銃を用いてその走査モード
を適切に設定すれば得ることができる。また複数の電子
銃を用いて溶湯表面の中央部を走査するものと溶湯表面
の坩堝との境界近傍部を走査するものとに役割分担させ
てもよい。また本発明においても従来の方法と同様に、
磁性層の形成を担うのは溶湯表面の中央部から蒸発する
原子である。溶湯表面の坩堝との境界近傍部には前述の
ように不純物および酸化物が混入しているため、この部
分より蒸発する原子が磁性層内に混入することは望まし
くない。

このため溶湯表面の坩堝との境界近傍部を操作する電子
ビームに関しては本発明の効果が得られる範囲で極力そ
のパワーをおとす必要がある。具体的には、前述のピア
ス式の電子銃を用いる場合にはその走査モートを設定す
る際に電子ビームが溶湯表面の坩堝との境界近傍部に滞
在する時間を溶湯表面の中央部に滞在する時間よりも短
く設定することによって実現できるし、複数の電子銃を
用いる場合にはｆ４ｉＪ％表面の坩堝との境界近傍部を
走査する電子ビームの投入電力を溶湯表面の中央部を走
査する電子ビームよりも微弱になるように設定すれば実
現できる。さらには蒸発源と高分子基板との間に適当な
ンールドを設けて溶湯表面の坩堝との境界近傍部より蒸
発する電子を遮ることもできる。

実施例 以下本発明の一実施例について第１図とともに第４図と
共通する部分については同番号を付し説明する。

第４図に示す連続蒸着装置を用い、チャンバー内に酸素
を導入して反応蒸着によりＣｏＯ垂直磁気記録媒体を作
製する場合についで説明する。本実施例においては３個
の電子銃を用いてｉ？Ｊ％１７表面の中央部１を走査す
るもの１個と溶湯１７表面の坩堝１６との境界近傍部２
を走査するもの２個とに役割分担させ、第１図に示すよ
うに溶湯１７表面の坩堝１６との境界近傍部２について
は一方向に長い坩堝１６の長手方向の境界のみを走査す
る構成とした。溶？１ｈ１１表面の坩堝１６との境界近
傍部２を走査する各電子ビーム３の投入電力は、溶湯１
７表面の中央部１を走査する電子ビーム３の投入電力の
１／３程度としたところ、溶湯１７表面の坩堝１６との
境界近傍部２から著発する原子が磁性層の形成に寄与し
ない電子ビーム分布が実現できた。このことは蒸着後の
組成分析。

膜厚、磁気特性の評価結果を蒸着レートと関連して考察
することによりより明らかになったものである。比較の
ために溶湯１７表面の坩堝１６との境界近傍部２を走査
する電子銃２個を用いない従来の方法によっても作製を
試みた。本実施例、従来例ともに蒸着速度は６００ｎｍ
／ｓｅｃ　、Ｃｏ。

磁性層の膜厚および飽和磁化はそれぞれ２００ｎｍ６０
０ｅｍｕ／ｃｃと設定した。蒸着中、原子吸光法を用い
て蒸着レートを観察し、その１寺間変化をペンレコーダ
に記録した。作製されたＣｏｏ垂直磁気記録媒体はテー
プ状Ｓこスリットして、リング型磁気ヘットを用いて再
生出力の変化を調べた。

まず？８湯表面の坩堝との境界近傍部２を走査する電子
銃２個を用いない従来の方法；こよって、作製したＣｏ
Ｏ垂直磁気テープの蒸着レートの変化およびそれに対応
する再生出力の変化を蕉着開始部からのテープ長に対し
て、記録したものを第３図に示す。第３図には１００ｍ
を超える長尺テプに対する記録の一部しか示していない
が、このように従来例においては、およそ１０ｍに一度
の割合で溶湯１７表面の流れに起因する蕉着レートの低
下およびそれに対応する再生出力の低下が観察される。

この再生出力の低下は、５Ｍ）（ｚ、６５ｋＦＲＰＩ記
録において最大８ｄＢにも達した。

また再生出力の測定後、振動試料型磁力計（Ｖ　Ｓ　Ｍ
）による測定から溶湯１７表面の流れが生した部分にお
いては膜厚および飽和磁化が設定値よりも２０〜４０％
も減少していることが確認された。

次に本実施例において本発明による方法を用いて作製し
たＣｏｏ垂直磁気テープの蒸着レートの変化およびそれ
に対応する再生出力の変化を蒸着開始部からのテープ長
に対して記録したものを第２図に示す。従来例と同等の
再生出力レベルを有する一方で、本発明による方法では
原子吸光法による蒸着レートの観察においても、肉眼で
の溶場１７表面の観察においても溶湯１７表面の流れは
確認されなかった。また５Ｍ）（ｚ、６５ｋＦＲＰ］記
録における再生出力の変化は２ｄＢの範囲に収まってお
り、従来例と比べるときわめて安定している。なお、本
実施例において、溶湯表面の坩堝との境界近傍部２を走
査する２個の電子ビームを配した他は、溶湯表面の中央
部１を走査する電子ビームの投入電力、高分子基板の搬
送速度、酸素導入量などの諸条件を従来例と同様に保っ
たのであるが、製膜後の組成分析結果から特に不純物の
混入などは認められなかった。

上記の実施例の他に、前述のピアス式の電子銃を用い、
その走査モードを適切に設定して本発明の電子ビーム分
布を実現する方法も試みたところ、上記の実施例とほぼ
同様の効果が得られた。

発明の効果 以上の結果に示されるように本発明による磁気記録媒体
の製造方法は、溶湯表面の流れを防ぐために極めて有効
な方法である。すなわち本発明の方法によれば、真空蒸
着法によって長尺にわたって安定な記録再生特性を有す
る金属薄膜型の磁気記録媒体を製造する方法を提供する
ことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）、　（ｂ）は本発明による磁気記録媒体の
製造方法を実施するために使用する芸発源および溶湯表
面に照射する電子ビームの分布を示す平面図および断面
図、第２図は本実施例において本発明による方法を用い
て作製したＣｏｏ垂直磁気テープの蒸着レートの変化お
よびそれに対応する再生出力の変化を示す図、第３図は
従来の方法によって作製したＣｏｏ垂直磁気テープの蒸
着レートの変化およびそれに対応する再生出力の変化を
示す図、第４図は従来の（一般の）連続蒸着装置の概略
構成図である。 １　・・・・ｌ８湯表面の中央部、２・・・・イ容湯表
面の坩堝との境界近傍部、３・・・・・電子ビーム、１
６・・・・坩堝、１７・・・・溶湯。 代理人の氏名　弁理士　粟野重孝　は力用名７゛長（ｒ
ｎ） 第 図 テープ長（ｒｎ　） 第 図

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）移動する長尺の高分子基板上に磁性層を真空蒸着
   法によって形成する際に、蒸発源の溶湯表面に照射する
   電子ビームを溶湯表面の中央部に分布させるとともに溶
   湯表面の坩堝との境界近傍部にもその境界線に沿って分
   布させることを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
2. （２）溶湯表面の坩堝との境界近傍部から蒸発する原子
   が磁性層の形成に寄与せず、溶湯表面の中央部より蒸発
   する原子が磁性層の形成を担うことを特徴とする請求項
   １記載の磁気記録媒体の製造方法。
3. （３）チャンバー内に酸素を導入して反応蒸着を行う過
   程を含むことを特徴とする請求項１または２記載の磁気
   記録媒体の製造方法。