JPH0798306B2

JPH0798306B2 - 研磨機のワーク保持装置

Info

Publication number: JPH0798306B2
Application number: JP61267019A
Authority: JP
Inventors: 一雄牛山; 弘伊藤; 久幸武井
Original assignee: Olympus Optic Co Ltd
Current assignee: Olympus Corp
Priority date: 1986-11-10
Filing date: 1986-11-10
Publication date: 1995-10-25
Anticipated expiration: 2010-10-25
Also published as: JPS63120069A

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は光学素子等の被加工物を研磨等の所要の加工を
施す際に使用する研磨機等の加工機における被加工物の
保持装置に関するものである。

〔従来の技術〕

この種のワーク保持装置として、本出願人は第７図に示
す、ワークの保持をエア吸引により行なわせるようにし
たものを開発した。かかる研磨機におけるリンク式ワー
ク保持装置は第７図に示すように、図示されない研磨機
上軸の揺動機構に連結したステー61の下端部に、１対の
コ字型の支持リンク63と64からなるリンク機構62を有し
ている。このリンク機構62は、支持リンク63と64とが互
いに直交するようにして両開放端を互いに回転自在に枢
軸65により枢着している。一方の支持リンク64の中心部
はステー61に回転自在に枢軸66により枢着され、他方の
支持リンク63の中心部には中空軸67が垂直に貫通して固
定され、同中空軸67の下端に軸受68を介してワークホル
ダー69が回転自在に取り付けられている。このリンク機
構62は上記両枢軸65の中心を通る線ａと、これに直交す
る上記枢軸66の中心を通る線ｂと、上記中空軸67の中心
を通る線ｃとの直交部に、ワークホルダー69の中心線が
位置し、各枢軸65,66を中心に回転自在になっている。

上記中空軸67の上端には同中空軸67の通気孔に連通する
テーパ穴が形成されているので、レンズ研磨に際して、
まず、この中空軸67の上方から吸引軸70が加工してその
下端のテーパ面が上記テーパ穴に嵌合すると、図示され
ないエアシリンダが作動して上記吸引軸70,中空軸67を
通じてエア吸引が行なわれ、ワークホルダー69に負圧が
導かれる。従って、図示されない手段によりワークホル
ダー69のレンズ着座部69aにワークである被加工レンズ7
1がセットされると、同レンズ71はワークホルダー69に
吸着して保持される。そして、このままステー61および
リンク機構62が下降し、ワークホルダー69の下方に配置
されている研磨皿72上に被加工レンズ71がセットされた
あと、エアシリンダによる吸引作動が停止し、上記吸引
軸70がリンク機構62から離脱してリンク機構62およびワ
ークホルダー69がフリーの状態となる。続いて、研磨皿
72が図示しないモータによって回転を開始し、同時に、
図示しない揺動機構によってステー61が揺動運動を開始
すると、研磨皿72に接触した上記レンズ71は研磨皿72に
よって研磨加工が行なわれる。

しかしながら、上記ワーク保持装置において、被加工レ
ンズ71はエア吸引によってワークホルダー69に保持され
ているので、このワーク保持時のエア吸引に伴い、研削
液も同時に吸い込み、軸受68に研削液が入り込むため、
軸受68に錆が発生したり、研磨液中のレンズのスラッジ
（切粉）によって軸受68の摩耗或いは回転不良を引き起
こす。これによって、ランニングコストの増加や、レン
ズの品質悪化を招くなどの問題点を有していた。さら
に、エア吸引による場合、リンク機構62も複雑化し、そ
の重量および機械コストの増大をもたらすものであっ
た。

本発明の目的は、上述したワーク保持装置の問題点に鑑
み、ワーク保持機構が単純でかつワーク回転部の軸受の
耐久性にも優れたワーク保持装置を提供するにある。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明は、ワークの被加工面と研磨皿の研磨面とが接触
し、相対移動することによりワーク研磨加工を施す研磨
機におけるワーク保持装置において、加工機に固定され
るステーと、このステーに第１の支軸を介して該第１の
支軸の軸回りに揺動自在に支持されるシーソー板と、こ
のシーソー板に前記第１の支軸の軸線と交叉する軸線を
有する第２の支軸を介して該第２の支軸の軸回りに揺動
自在に支持されるアッパーアームと、このアッパーアー
ムに前記第１および第２の支軸の各軸線と交叉する軸線
を有し該軸線回りに軸受を介して回動自在に保持された
ワーク支持部材と、このワーク支持部材の回動軸線方向
に磁力を作用させるとともに前記被加工面を下向きにし
てワークを貼付けた磁性体からなる貼付皿を磁力により
吸着して保持するため、前記ワーク支持部材、ステーあ
るいは加工機並びにこのステーあるいは加工機に固定さ
れた移動手段に設けた磁気吸着手段とから構成し、ワー
クをを３軸方向に回動可能にしたものである。

〔作用〕

本発明はワーク支持部材、ステーあるいは加工機並びに
このステーあるいは加工機に固定された移動手段に設け
た磁気吸着手段により、ワークを貼付けた磁性体からな
る貼付皿を吸着しワークをワーク支持部材により保持
し、ワームを３軸方向へ回動可能にする。

〔実施例〕

以下本発明ワーク保持装置の実施例を図面とともに説明
する。

（第１実施例）第１図および第２図は本発明ワーク保持装置の第１実施
例を示すもので、第１図は要部を断面にした正面図、第
２図はリク機構の分解斜視図である。

しかして、第１図において、研磨機上軸14の下端にステ
ー１がボルト15によって固定されるとともに当該ステー
１にはリンク機構２が連結されている。

前記リンク機構２は、第２図に示すように、アッパーア
ーム３とシーソー板４とからなり、アッパーアーム３と
シーソー板４は、開放端3aと4aおよび3bと4bが互いに回
転自在に支持軸５により支承されている。また前記シー
ソー板４はコ字型に形成されるとともに中心部が支軸６
によりステー１の下端部に揺動自在に支承されている。
前記アッパーアーム３は略コ字型に形成されるとともに
保持穴3cが形成されている。この保持穴3cの内壁下端に
は軸受８が抜止め部材13により固定されており、同軸受
８を介して円筒状保持筒７が回転自在に保持されてい
る。保持筒７は開口端を下方に向けて軸受８に下方から
嵌合され、軸受８の下端に開口端縁が当接した状態で、
軸受け８の上端で、Ｅ型止めリング10を外周に嵌合して
係止させることにより、回転自在に保持されている。さ
らに第１図に示す如くこの保持筒７の回転中心を通る線
ｃは前記支持軸５の中心を通る線ａと、また支軸６の中
心を通る線ｂとそれぞれ交叉するように構成されてい
る。

前記保持筒７内には第１図に示す如く保持筒７の回転軸
心方向に磁力を作用する永久磁石９が収納されてその上
端が保持筒７の底面に当接して固着されている。そし
て、この永久磁石９を有した保持筒７に被加工レンズ11
を直線貼り付けて保持するための貼付皿16が保持される
ようになっている。貼付皿16は鉄，ニッケルなどの磁性
体により形成され、その下端の中央部のレンズ貼付面16
aには被加工レンズ11がピッチ等により貼付けられてい
る。貼付皿16の上端の円柱部16bの外径は前記保持筒７
の開口部内径にガタを生ずることなく緊密にかつ円滑に
嵌合される寸法とされており、この保持筒７内に嵌合さ
れた貼付皿16は、そのフランジ部16cを軸受８の下端に
位置した、保持筒７の開口端縁に当接させ、その上方位
置で保持筒７に固定されている永久磁石９に接所或いは
近接し、貼付けた被加工レンズ11の被加工面を下向きに
した状態で永久磁石９の磁力によって保持されるように
なっている。

前記被加工レンズ11を貼付けた貼付皿16が前記永久磁石
９の磁力によって保持筒７に保持されると、研磨機上軸
14が下降して被加工ンズ11が研磨皿12の球面上に位置す
る。このあと、前記研磨機上軸14が図示されない揺動機
構によって揺動運動を行なうのでリング機構２が前記支
持軸５を中心に揺動しおよび支軸６を中心に適宜に揺動
し、また、研磨皿12が図示されないモータにより回転す
るために、被加工レンズ11,貼付皿16および保持筒７は
前記リンク機構２によって揺動しながら研磨皿12の回転
に従属した回転を行ない、これによって被加工レンズ11
が研磨され球面加工される。

このレンズ研磨加工には研削液が用いられるが、上述し
たように、被加工レンズ11に一体の貼付皿16は永久磁石
９の磁力によって保持筒７に保持されるようになてい
て、エア吸引による保持が行なわれないので、検査液は
軸受８に進入することがなく軸受８の耐久性が向上する
ことになる。また、負圧を導くための吸引孔が不要であ
れると共に軸受け８のシール構造の必要性も低く、構造
が簡単になるので、リンク機構２の重量低減および保持
装置のコスト低減が可能になる。

（第２実施例）第３図は本発明ワーク保持装置の第２実施例を示すもの
で、要部を断面にした正面図である。

しかして、当該実施例におけるワーク保持装置を示す第
３図において、第１図に示したワーク保持装置と同一の
部分については同一の符号を付し、その詳細な説明を省
略する。このワーク保持装置におけるリンク機構2Aは、
シーソー板４に対して揺動自在にアッパーアーム３を連
結するとともにこのアッパーアーム３には保持穴3cが形
成され、同保持穴3cに軸受８が嵌合して固定されてい
る。この軸受８の内周にはリング状の永久磁石32を外周
に固着した保持筒33が嵌合していて、同保持筒33はアッ
パーアーム３に対して回転自在とされている。この保持
筒33の中心を通る線ｃは前記線ａとｂの交点を通るよう
に構成されている。そして、この保持筒33には、前記磁
性体により形成された貼付皿16の円柱部16bが緊密かつ
円滑に嵌合されるように構成されている。

貼付皿16は円柱部16bが保持筒33に嵌合した状態では、
そのフランジ部16cが保持筒33の回転軸線方向に磁力が
作用する永久磁石32の一方の磁極面に接触或いは近接
し、貼付皿16に貼付けた被加工レンズ11の被加工面を下
向きに永久磁石32の磁力により保持筒33に保持される。
貼付皿16に貼付けられた被加工レンズ11は前記第１実施
例で述べたと同様のリンク2Aの揺動動作および研磨皿12
（第１図参照）の回転により研磨され球面加工が施され
る。

この第２実施例のワーク保持装置においては、前記第１
実施例のワーク保持装置と同様の効果を有すると共に、
永久磁石33は貼付皿16のフランジ部16cに接触或いは近
接できるように径が大きく形成されているので、永久磁
石33と貼付皿16の相互間で磁力の作用する面積が広くな
り、比較的重量の大きい被加工レンズ11の保持をも可能
になる。

（第３実施例）第４図は本発明ワーク保持装置の第３実施例を示すもの
で、要部を断面にした正面図である。この第４図に示す
ワーク保持装置は、前記第３図に示したワーク保持装置
におけるワークの磁気吸着手段としての永久磁石32の代
わりに保持筒33の回転軸線方向に磁力が作用する電磁石
40を適用して構成したものである。即ち、前記第３図に
示したワーク保持装置と同様のリンク機構2Aが構成され
ており、同リンク機構2Aの支持リンク３の保持穴3cに嵌
合して固定された軸受８の内周には、保持筒33の外周に
固着したリング状の電磁石40が嵌合して固定され、同電
磁石40を有した保持筒33はアッパーアーム３に対して回
動自在に構成されている。そして、この電磁石40のコイ
ル（図示されず）より引き出された可撓性を有するリー
ド線40a,40bは図示されない電気回路の制御部に接続さ
れている。

尚、この実施例のワーク保持装置の他の構成は第３図示
のワーク保持装置と同一構成から成り、同一構成部分に
は同一番号を付してその説明は省略する。

しかして前記実施例のワーク保持装置においては、被加
工レンズ11を貼付けた貼付皿16を被加工レンズ11の被加
工面が下向きの状態となるように保持筒33に保持させる
に際し、制御部から駆動信号を送出することにより電磁
石40を励磁して磁力を生じさせる。従って、電磁石40は
駆動信号が送られたときのみ貼付皿16のフランジ部16c
を吸着して同貼付皿16を保持する。貼付皿16の保持を解
除する場合は制御部からの駆動信号の送出を停止して電
磁石40の励磁を解除する。

従って、当該実施例に係るワーク保持装置では、特に、
重量の大きなワークの保持のために強大な磁力を必要と
するような場合に有効である。即ち、大きな磁力を必要
とする場合に、永久磁石のように常に磁力が働いている
状態では、保持筒33から貼付皿16を退避させるときに大
きな力が要求され、保持筒33とローディング装置（図示
されず）との間の貼付皿16の受け渡しが困難になるが、
この実施例のワーク保持装置においては、大きな磁力が
必要とされる場合でも、電気的に磁力を発生させたり、
消滅させたりすることにより保持筒33とローディング装
置との間のワークの授受が容易かつ安定して行われる。

（第４実施例）第５図は、本発明ワーク保持装置の第４実施例を示すも
のでワーク保持装置の要部を断面にした正面図である。

しかして、第５図において、軸受８の内輪には円筒状の
保持筒34が固定保持されている。

また、この保持筒34には磁性体からなる貼付皿16を嵌合
保持し得るように構成されている。すなわち、貼付皿16
の上端の円柱部16bの外径は、前記保持筒34の開口部内
径にガタを生ずることなく緊密にかつ円滑に嵌合し得る
寸法によって構成されている。さらにリンク機構2Bを連
結したステー１の上側には、エアシリンダ50が取付具5
1,51によって取付けられ、前記エアシリンダ50のピスト
ン軸52の下端の取付座53に、前記保持筒34の回転軸線方
向に磁力を作用させ前記磁性体からなる貼付皿16を吸着
保持するための永久磁石９が固着あるいは着脱可能に固
定されている。さらにエアシリンダ50には、図示しない
電磁弁を介してエア源に接続されたエアホース54,55が
接続されており、エア圧の切替えによって、永久磁石９
を昇降させることができるように構成されている。

なお、永久磁石９の中心軸線は、保持筒34の回転中心を
通る線ｃとほぼ一致させている。またピストン軸52の下
死点で、保持筒34に位置決めされた貼付皿16の上端と永
久磁石９の下端が当接するように、エアシリンダ50によ
る移動範囲が調整されている。

また、第５図において、前記した構成以外の構成につい
ては、前述してきた実施例と同一構成から成り、その同
一構成部分については、同一番号を付し、その説明を省
略する。

さて、以上の構成から成るワーク保持装置によるワーク
の研磨加工は以下のように行なわれる。

図示しない搬送手段によって、被加工レンズ11を貼った
貼付皿16が挟持され、リンク機構2Bに装着した保持筒34
の下方に搬送され、貼付皿16の円柱部16bが保持筒34に
挿入される。エアシリンダ50により、永久磁石９が下降
し、永久磁石９と貼付皿16の円柱部16bと当接して停止
する。これによって貼付皿16は被加工レンズ11の被加工
面を下向きにした状態で永久磁石９の磁力により保持筒
34内に保持される。次いで前記搬送手段は貼付皿16の挟
持を解放し、リンク機構2B部から退避する。図示しない
通常の昇降装置によって研磨機上軸14が下降し、被下降
レンズ11が研磨皿上にセットされ、第５図に図示しない
研磨皿とリンク機構2Bにより挟持される。次いでエアシ
リンダ50の作動により永久磁石９は上昇して貼付皿16か
ら離脱する。そして研磨機上軸14が図示しない揺動機構
によって揺動運動を行なうので、被加工レンズ11が研磨
され球面加工される。

研磨機上軸14の揺動が停止されるとともに被加工レンズ
11の研磨加工が終了した後、エアシリンダ50の作動によ
り永久磁石９が下降する。そして永久磁石９は貼付皿16
の円柱部16b上端に当接して貼付皿16を吸着保持する。
次いで図示しない通常の昇降装置によって研磨機上軸14
が上昇するので、被加工レンズ11は研磨皿から離れる。
次いで図示しない搬送手段がリンク機構2B部に進入し、
貼付皿16を挟持して（このとき永久磁石９はＡ位置に持
上げられて吸着を解除する）、貼付皿16の円柱部16bを
保持筒34から抜き出し、次工程に搬送する。

以上のワーク保持装置によれば、被加工レンズ11の研磨
加工中には、貼付皿16を吸着保持する永久磁石９とリン
ク機構2Bとは別体の構成であるから、リンク機構2bが軽
量化され、アッパーアームの慣性モーメントが低くなり
特に被加工レンズ11形状が小径（直径;D≦ψ15）かつ浅
面（曲率半径に対する直径の比;D/R≦１）のレンズにお
けるびびり現象の発生をなくし、自動研磨加工を精度よ
く行なうことができる。

（第５実施例）第６図は本発明ワーク保持装置の第５実施例を示すもの
で、第６図ａは要部の断面図、第６図ｂは貼付皿の吸着
状態を示す断面図である。

しかして、かかる実施例のワーク保持装置の構成中、基
本的な構成は前記第４実施例のワーク保持装置と同一構
成から成り、その構成についての具体的な図示は省略
し、特に相違する構成について、第６図a,bとともに以
下に説明をする。

すなわち、第６図示のワーク保持装置におけるピストン
軸52の下端に永久磁石９を固着あるいは着脱可能に固定
されている取付座53を係止部材56で下方へ落下しないよ
うに拘束しつつ構成している。また取付座53と永久磁石
９の間には間隙ｈのすきまを設けるとともに前記ピスト
ン軸52と取付座53の穴53aとの間にはd₁−d₂の間隙53bを
設けてある。

因って、これらの構成から成るワーク保持装置により、
ワークとしての被加工レンズ11を研磨加工するに当って
これを保持する際に、前記ピストン軸52と取付座53間に
設けた間隙ｈ、53bの存在によりピストン軸52の軸に対
して永久磁石９は回転かつ多少の上下動、場合によって
は少しの傾きをもつことができる。

従って、当該構成によって、貼付皿16を前記保持筒34
（第５図参照）の回転軸心方向に作用する永久磁石９の
磁力により吸着保持する際に貼付皿16に永久磁石９が当
接する時、両者の軸心が互いに傾いていたり、あるいは
貼付皿16の従属回転している場合でも貼付皿16には当接
のショックが直接伝わらず、間隙h,53bにより吸収され
て被加工レンズ11が研磨皿を損傷するのを防止すること
ができる。

前述してきた第５実施例におけるワーク保持装置の構成
中、第６図ｂに示す如く貼付皿16を吸着保持するに当っ
ては、第５図示のワーク保持装置におけるエアシリンダ
50の下死点を永久磁石９の下端面にアッパーアーム３の
ワーク保持部に供給される貼付皿16の上端面が直接当接
されて保持されるように構成したのであるが、これに換
えて、エアシリンダ50のピストン軸52の下死点を、アッ
パーアーム３のワーク保持部に供給される貼付皿16の上
端面に永久磁石９下端面が直接当接せずに、例えばピス
トン軸52に保持される取付座53に設けた永久磁石９の下
端面とアッパーアーム３のワーク保持部に供給される貼
付皿16の上端面間に0.2〜1mm程度の微小な間隙を生ずる
ように設定して、すなわち永久磁石９をアッパーアーム
３のワーク保持部に供給される貼付皿16の上端面に近接
せしめることによりその磁力の働きにより、アッパーア
ーム３のワーク保持部に貼付皿16を吸着保持し得る永久
磁石９の磁力が働き得る距離の範囲内に、前記エアシリ
ンダ50のピストン軸52の下死点を設定して実施すること
により前記永久磁石９と貼付皿16間に間隙を存して貼付
皿16を吸着保持し、永久磁石９と貼付皿16の相互間にお
ける当接せしめた場合の衝撃を回避することができると
ともに貼付皿16を従属回転させながら、研磨皿から被加
工レンズ11を離脱することが可能で、勢いこの種加工作
業中における加工後のロスタイムを無くすことができ、
かつ研磨キズ等の加工キズを防止し外観品質を向上し得
る利点を得られる。

（第６実施例）第５図および第６図示の第４および第５実施例のワーク
保持装置におけるワークの保持手段としての磁気吸着手
段となる永久磁石９に換えて、第４図示の第３実施例の
ワーク保持装置における電磁石の構成を適用することに
実施例を本発明ワーク保持装置の第６実施例として挙げ
ることができる。

但し、かゝる実施例においては第５図示のエアシリンダ
50については必ずしも必須の構成要件とならない。

また、かゝる実施例の具体的な構成を示す図面は第４お
よび第５実施例より容易に理解し得るので省略する。

さらに、前述した第４乃至第６実施例のワーク保持装置
における永久磁石９および電磁石の上下方向への昇降手
段としてのエアシリンダ50に換えて、その他の流体シリ
ンダあるいは電動シリンダを適用して実施することも可
能であるとともにこれらのシリンダに換えてラック・ピ
ニオン等の機械的商昇降手段により実施することも可能
である。

〔発明の効果〕

以上述べたように、本発明のワーク保持装置によれば、
ワークを磁力によって保持するもので、エア吸引による
保持を用いていないので、研削液が軸受に浸入すること
なく、このため、軸受の錆，摩耗，回転不良等が生じる
虞れがなく、ランニングコストの低減およびワークの品
質向上が可能になる。また、エア吸引による一連の機構
がなくなり、それに代わる磁力発生機構は単純であるの
で、リンク機構部の重量低減化を図ることができて、特
に小径の被研磨物等の被加工物の品質向上をもたらすと
共に、機械コストの低減にもつながる等の優れた効果を
発揮する。

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図は本発明ワーク保持装置の第１実施
例を示し、第１図は要部を断面にした正面図、第２図は
リンク機構の分解斜視図、第３図は本発明ワーク保持装
置の第２実施例を示す、要部を断面にした正面図、第４図は本発明ワーク保持装置の第３実施例を示す要部
を断面にした正面図、第５図は、本発明ワーク保持装置
の第４実施例を示す要部を断面にした正面図、第６図は
本発明ワーク保持装置の第５実施例を示し、第６図ａは
要部の断面図、第６図ｂは貼付皿の吸着状態を示す断面
図、第７図は従来技術の説明図である。１……ステー２……リンク機構３……アッパーアーム４……シーソー板５……支持軸６……支軸７……保持筒８……軸受９……永久磁石 40……電磁石 50……エアシリンダ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者武井久幸東京都渋谷区幡ヶ谷２丁目43番２号オリンパス光学工業株式会社内 (56)参考文献特開昭55−125958（ＪＰ，Ａ)

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ワークの被加工面と研磨皿の研磨面とが接
触し、相対移動することによりワークに研磨加工を施す
研磨機におけるワーク保持装置において、加工機に固定されるステーと、このステーに第１の支軸を介して該第１の支軸の軸回り
に揺動自在に支持されるシーソー板と、このシーソー板に前記第１の支軸の軸線と交叉する自薦
を有する第２の支軸を介して該第２の支軸の軸回りに揺
動自在に支持されるアッパアームと、このアッパアームに前記第１および第２の支軸の角軸線
と交叉とする軸線を有し該軸線回りに軸受を介して回動
自在に保持されたワーク支持部材と、このワーク支持部材の回動軸線方向に磁力を作用させる
とともに前記被加工面を下向きにしてワークを貼付けた
磁性体からなる貼付皿を磁力により吸着して保持するた
めにワーク支持部材あるいは前記アッパアームに設けた
磁気吸着手段と、から構成し、ワークを３軸方向に回動可能にしたこと特
徴とする研磨機のワーク保持装置。
【請求項２】ワークの被加工面と研磨皿の研磨面とが接
触し、相対移動することによりワークに研磨加工を施す
研磨機におけるワーク保持装置において、加工機に固定されるステーと、このステーに第１の支軸を介して該第１の支軸の軸回り
に揺動自在に支持されるシーソー板と、このシーソー板に前記第１の支軸の軸線と交叉する軸線
を有する第２の支軸を介して該第２の支軸の軸回りに揺
動自在に支持されるアッパーアームと、このアッパーアームに前記第１および第２の支軸の角軸
線と交叉する軸線を有し該軸線回りに軸受を介して回動
自在に保持されたワーク支持部材と、このワーク支持部材の回動軸線方向に磁力を作用させこ
のワーク支持部材に前記被加工面を下向きにしてワーク
を貼付けた磁性体からなる貼付皿を磁力により吸着して
保持するため、前記ステーあるいは加工機に設けた磁気
吸着手段と、から構成し、ワークを３軸方向に回動可能にしたことを
特徴とする研磨機のワーク保持装置。
【請求項３】ワークの被加工面と研磨皿の研磨面とが接
触し、相対移動することによりワークに研磨加工を施す
研磨機におけるワーク保持装置において、加工機に固定されるとステーと、このステーに第１の支軸を介して該第１の支軸の軸回り
に揺動自在に支持されるシーソー板と、このシーソー板に前記第１の支軸の軸線と交叉する軸線
を有する第２の支軸を介して該第２の支軸の軸回りに揺
動自在に支持されるアッパーアームと、このアッパーアームに前記第１および第２の支軸の角軸
線と交叉する軸線を有し該軸線回りに軸受を介して回動
自在に保持されたワーク支持部材と、このワーク支持部材の回動軸線方向に磁力を作用させこ
のワーク支持部材に前記被加工面を下向きにしてワーク
を貼付けた磁性体からなる貼付皿を磁力により吸着して
保持するため、前記ステーあるいは加工機に固定された
移動手段に設けた磁気吸着手段と、から構成し、ワークを３軸方向に回動可能にしたことを
特徴とする研磨機のワーク保持装置。