JPH0797262A - 磁気ヘッド用非磁性セラミックス - Google Patents
磁気ヘッド用非磁性セラミックスInfo
- Publication number
- JPH0797262A JPH0797262A JP5264122A JP26412293A JPH0797262A JP H0797262 A JPH0797262 A JP H0797262A JP 5264122 A JP5264122 A JP 5264122A JP 26412293 A JP26412293 A JP 26412293A JP H0797262 A JPH0797262 A JP H0797262A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mol
- ceramics
- nio
- mole
- magnetic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
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Landscapes
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 空気浮揚性の良好なヘッドスライダー材用
非磁性セラミックスの提供。 【構成】組成式（ＮｉＯ）x （ＭｎＯ）Y （ＴｉＯ2 )
z （ＣａＯ) W （ただしＸ＋Ｙ＋Ｚ＋Ｗ＝１００ｍｏｌ％、５≦Ｘ≦５
０、３０≦Ｙ≦７０、０．０５≦Ｚ≦３０、０．０５≦
Ｗ≦３０（いずれもｍｏｌ％）を有することを特徴とす
る磁気ヘッドスライダー用セラミックス。
非磁性セラミックスの提供。 【構成】組成式（ＮｉＯ）x （ＭｎＯ）Y （ＴｉＯ2 )
z （ＣａＯ) W （ただしＸ＋Ｙ＋Ｚ＋Ｗ＝１００ｍｏｌ％、５≦Ｘ≦５
０、３０≦Ｙ≦７０、０．０５≦Ｚ≦３０、０．０５≦
Ｗ≦３０（いずれもｍｏｌ％）を有することを特徴とす
る磁気ヘッドスライダー用セラミックス。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】ＶＴＲ、ＦＤＤ、ＨＤＤ用ヘッド
には一般にヘッドスライダー材が使用されている。ヘッ
ドスライダー材とは、磁気ヘッドを構成する高飽和磁束
密度及び高透磁率の金属磁性膜または磁性酸化物膜（ま
たは薄板）を支持する非磁性基板であり、磁気記録媒体
の表面に繰り返し接触するいわゆるＣＳＳ（コンタクト
スタートストップ）方式で使用される。
には一般にヘッドスライダー材が使用されている。ヘッ
ドスライダー材とは、磁気ヘッドを構成する高飽和磁束
密度及び高透磁率の金属磁性膜または磁性酸化物膜（ま
たは薄板）を支持する非磁性基板であり、磁気記録媒体
の表面に繰り返し接触するいわゆるＣＳＳ（コンタクト
スタートストップ）方式で使用される。
【０００２】
【従来の技術】従来、ヘッドスライダー材としては、Ｔ
ｉ−Ｃａ系、Ｔｉ−Ｂａ系が使用されてきたが、熱膨張
係数（α）、加工性、焼結性、スライダ表面特性などさ
まざまな不具合が生じていた。まず熱膨張係数（α）に
ついてであるが、最近の高保磁力磁気記録媒体用ヘッド
に使用される磁性膜は、熱膨張係数が１２０×１０-7〜
１５０×１０-7／℃のように大きいという特徴があるた
め、磁性膜を支持するための非磁性ヘッドスライダー材
の熱膨張係数αもこれにできるだけ接近させる必要があ
り１２０×１０-7〜１４０×１０-7／℃と大きくするこ
とが必要となってきた。しかし、熱膨張係数αを大きく
することにより、焼結性の問題が新たに発生している。
焼結性とは理論密度に対する密度であるが、研削時の加
工性及び使用時の摩耗を生じない十分な緻密性と高硬度
を有するように、一般に理論密度の９９％の密度を有す
る必要がある。例えば特公平３−２９７３９号によれ
ば、α値は要求値を満足しているが、焼結性が良くない
問題が残されている。そこで最近では、これらの不具合
に対し、特開平３−１４６４５６（Ｍｎ−Ｎｉ系）、特
開平２−２９６７６５（Ｍｎ−Ｎｉ−Ａｌ系）、特開平
２−９４４０８（Ｃｏ−Ｎｉ系）などのスライダー材が
開発、開示されている。
ｉ−Ｃａ系、Ｔｉ−Ｂａ系が使用されてきたが、熱膨張
係数（α）、加工性、焼結性、スライダ表面特性などさ
まざまな不具合が生じていた。まず熱膨張係数（α）に
ついてであるが、最近の高保磁力磁気記録媒体用ヘッド
に使用される磁性膜は、熱膨張係数が１２０×１０-7〜
１５０×１０-7／℃のように大きいという特徴があるた
め、磁性膜を支持するための非磁性ヘッドスライダー材
の熱膨張係数αもこれにできるだけ接近させる必要があ
り１２０×１０-7〜１４０×１０-7／℃と大きくするこ
とが必要となってきた。しかし、熱膨張係数αを大きく
することにより、焼結性の問題が新たに発生している。
焼結性とは理論密度に対する密度であるが、研削時の加
工性及び使用時の摩耗を生じない十分な緻密性と高硬度
を有するように、一般に理論密度の９９％の密度を有す
る必要がある。例えば特公平３−２９７３９号によれ
ば、α値は要求値を満足しているが、焼結性が良くない
問題が残されている。そこで最近では、これらの不具合
に対し、特開平３−１４６４５６（Ｍｎ−Ｎｉ系）、特
開平２−２９６７６５（Ｍｎ−Ｎｉ−Ａｌ系）、特開平
２−９４４０８（Ｃｏ−Ｎｉ系）などのスライダー材が
開発、開示されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、これらのスラ
イダー材では、全ての不具合を同時に解決しうるには至
っていない。例えばＣｏ−Ｎｉ系、Ｍｎ−Ｎｉ系ではス
ライダー表面特性（ある程度表面粗度が大きく、ＣＳＳ
方式での磁気記録媒体に対する摺動特性が適当であるこ
と）が満足できず、Ｍｎ−Ｎｉ−Ａｌ系では焼結性は良
いが加工性やα特性を満足出来ない。スライダー表面特
性が悪いと磁気ヘッドが浮揚しにくくなり走行性を損な
い、磁気記録媒体の表面を損傷する。したがって、本発
明の目的は、磁気ヘッド用の非磁性スライダー材の熱膨
張係数並びに焼結性を改善するのみならず、更にスライ
ダー表面特性を向上させることである。
イダー材では、全ての不具合を同時に解決しうるには至
っていない。例えばＣｏ−Ｎｉ系、Ｍｎ−Ｎｉ系ではス
ライダー表面特性（ある程度表面粗度が大きく、ＣＳＳ
方式での磁気記録媒体に対する摺動特性が適当であるこ
と）が満足できず、Ｍｎ−Ｎｉ−Ａｌ系では焼結性は良
いが加工性やα特性を満足出来ない。スライダー表面特
性が悪いと磁気ヘッドが浮揚しにくくなり走行性を損な
い、磁気記録媒体の表面を損傷する。したがって、本発
明の目的は、磁気ヘッド用の非磁性スライダー材の熱膨
張係数並びに焼結性を改善するのみならず、更にスライ
ダー表面特性を向上させることである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、組成式 （ＮｉＯ）x （ＭｎＯ）Y （ＴｉＯ2 ) z （ＣａＯ) W （ここに Ｘ＋Ｙ＋Ｚ＋Ｗ＝１００ｍｏｌ％ ５≦Ｘ≦５０ ３０≦Ｙ≦７０ ０．０５≦Ｚ≦３０ ０．０５≦Ｗ≦３０（いずれもｍｏｌ％）を満足する） を有することを特徴とする磁気ヘッドスライダー用セラ
ミックスにより課題を解決する。好ましくは、上記の基
本組成に、ＺｒＯ2 、Ｙ2 Ｏ3 、ＳｉＯ2 、Ａｌ2
Ｏ3、ＭｇＯのうち、少なくとも１種の元素を０．０５
〜１２ｍｏｌ％添加する。
ミックスにより課題を解決する。好ましくは、上記の基
本組成に、ＺｒＯ2 、Ｙ2 Ｏ3 、ＳｉＯ2 、Ａｌ2
Ｏ3、ＭｇＯのうち、少なくとも１種の元素を０．０５
〜１２ｍｏｌ％添加する。
【０００５】
【作用】次に数値限定の理由を説明するに、ＭｎＯが３
０ｍｏｌ％よりも少なくなると硬度が高くなり過ぎて、
磁気記録媒体との摺動性に不具合が生じ、又、加工性が
悪くなり、生産の効率が下がる。又、７０ｍｏｌ％を超
えると、焼結密度が理論密度が小さくなり気孔を減らす
ことができない。ＮｉＯが５ｍｏｌ％よりも少なくなる
と、αが１２０×１０-7／℃よりも小さくなり、発明の
効果が期待できない。逆に５０ｍｏｌ％を超えると前述
の通り、硬度が大きくなり過ぎ、又、焼結性も悪くな
る。さらにＴｉＯ2 が０．０５ｍｏｌ％以下であると十
分な凹凸面が得られず摺動特性が阻害される。ＴｉＯ2
が３０ｍｏｌ％以上ではα値が小さくなりまた硬さが増
す。ＣａＯが０．０５ｍｏｌ％以下であると、スライダ
ー表面の摺動特性に必要な凹凸が得られない。これが３
０ｍｏｌ％以上であると、相対的にＣａＯが解離して、
耐水性に不具合が生じる。
０ｍｏｌ％よりも少なくなると硬度が高くなり過ぎて、
磁気記録媒体との摺動性に不具合が生じ、又、加工性が
悪くなり、生産の効率が下がる。又、７０ｍｏｌ％を超
えると、焼結密度が理論密度が小さくなり気孔を減らす
ことができない。ＮｉＯが５ｍｏｌ％よりも少なくなる
と、αが１２０×１０-7／℃よりも小さくなり、発明の
効果が期待できない。逆に５０ｍｏｌ％を超えると前述
の通り、硬度が大きくなり過ぎ、又、焼結性も悪くな
る。さらにＴｉＯ2 が０．０５ｍｏｌ％以下であると十
分な凹凸面が得られず摺動特性が阻害される。ＴｉＯ2
が３０ｍｏｌ％以上ではα値が小さくなりまた硬さが増
す。ＣａＯが０．０５ｍｏｌ％以下であると、スライダ
ー表面の摺動特性に必要な凹凸が得られない。これが３
０ｍｏｌ％以上であると、相対的にＣａＯが解離して、
耐水性に不具合が生じる。
【０００６】本発明の範囲内にあると、α、焼結性、表
面性（表面粗さ及びＣＳＳ（コンタクトスタートストッ
プ）方式での静止摩擦係数）がいずれも良好となる。次
に、ＺｒＯ2 、Ｙ2 Ｏ3 、ＳｉＯ2 、Ａｌ2 Ｏ3 、Ｍｇ
Ｏのうち、少なくとも１種の元素を０．０５〜１２ｍｏ
ｌ％添加するのは、材料の焼結性を高め結晶粒成長を抑
制し気孔率を減じる作用を有することがわかった。ただ
し、この範囲外では却って焼結性が阻害されたり、摺動
性が阻害されて静止摩擦が大きくなり過ぎたりして逆効
果である。
面性（表面粗さ及びＣＳＳ（コンタクトスタートストッ
プ）方式での静止摩擦係数）がいずれも良好となる。次
に、ＺｒＯ2 、Ｙ2 Ｏ3 、ＳｉＯ2 、Ａｌ2 Ｏ3 、Ｍｇ
Ｏのうち、少なくとも１種の元素を０．０５〜１２ｍｏ
ｌ％添加するのは、材料の焼結性を高め結晶粒成長を抑
制し気孔率を減じる作用を有することがわかった。ただ
し、この範囲外では却って焼結性が阻害されたり、摺動
性が阻害されて静止摩擦が大きくなり過ぎたりして逆効
果である。
【０００７】
【実施例】ＭｎＯ−ＮｉＯ系に対し、ＣａＴｉＯ3 を生
成させるためにＴｉＯ2 、ＣａＯを加え、Ｍｎ−Ｎｉ−
Ｔｉ−Ｃａ系材料とする。さらにＺｒＯ2 、Ｙ2 Ｏ3 、
ＳｉＯ2 、Ａｌ2 Ｏ3 、ＭｇＯを０．０５〜１２ｍｏｌ
％添加することで、焼結性、粒成長の抑制を促進させて
いる。市販のＭｎＣＯ3 、ＮｉＯ、ＴｉＯ2 、ＣａＣＯ
3 及びＺｒＯ2 、Ｙ2 Ｏ3 、ＳｉＯ2 、Ａｌ2 Ｏ3 、Ｍ
ｇＯを、表１の通り秤量し、純水又はアセトン、アルコ
ールを用いて、ボールミル中で、２４ｈｒ混合し、乾燥
させた後、Ｎ2 又はＡｒ雰囲気中にて８５０〜１０００
℃で仮焼し、得られた仮焼粉末をボールミル中で２４〜
４８ｈｒ粉砕した。平均粒径は０．８〜１．５μｍと成
る。濾過乾燥後造粒し３ton/cm2 にてＣＩＰ（クールア
イソスタティックプレス）成形し、Ｎ2（又はＡｒガ
ス）雰囲気中で１２５０〜１３８０℃で焼成する。さら
に、Ａｒガス中（８００℃〜１２００℃ １０００atm
）にてＨＩＰ（ホットアイソスタティックプレス）処
理を施した。
成させるためにＴｉＯ2 、ＣａＯを加え、Ｍｎ−Ｎｉ−
Ｔｉ−Ｃａ系材料とする。さらにＺｒＯ2 、Ｙ2 Ｏ3 、
ＳｉＯ2 、Ａｌ2 Ｏ3 、ＭｇＯを０．０５〜１２ｍｏｌ
％添加することで、焼結性、粒成長の抑制を促進させて
いる。市販のＭｎＣＯ3 、ＮｉＯ、ＴｉＯ2 、ＣａＣＯ
3 及びＺｒＯ2 、Ｙ2 Ｏ3 、ＳｉＯ2 、Ａｌ2 Ｏ3 、Ｍ
ｇＯを、表１の通り秤量し、純水又はアセトン、アルコ
ールを用いて、ボールミル中で、２４ｈｒ混合し、乾燥
させた後、Ｎ2 又はＡｒ雰囲気中にて８５０〜１０００
℃で仮焼し、得られた仮焼粉末をボールミル中で２４〜
４８ｈｒ粉砕した。平均粒径は０．８〜１．５μｍと成
る。濾過乾燥後造粒し３ton/cm2 にてＣＩＰ（クールア
イソスタティックプレス）成形し、Ｎ2（又はＡｒガ
ス）雰囲気中で１２５０〜１３８０℃で焼成する。さら
に、Ａｒガス中（８００℃〜１２００℃ １０００atm
）にてＨＩＰ（ホットアイソスタティックプレス）処
理を施した。
【０００８】こうして得られた焼結体を研磨して成形し
たのち各種特性を評価し、表１に示した。なお、表１の
評価項目の測定は次の通りである。熱膨張係数（α）は
１００℃〜４００℃の値である。焼結性は理論密度の９
９％以上を◎、９６〜９９％未満を○、９３〜９６％未
満を△、９３％未満を×とした。面粗さは光干渉式表面
粗さ計にて測定したＲP-P 値を示した。摺動特性はＣＳ
Ｓ（コンタクトスタートストップ）方式にて５０，００
０回実施した後の静止摩擦係数値を示す。本発明のセラ
ミックスは、すべての評価においてスライダー材として
の特性を満たしている。
たのち各種特性を評価し、表１に示した。なお、表１の
評価項目の測定は次の通りである。熱膨張係数（α）は
１００℃〜４００℃の値である。焼結性は理論密度の９
９％以上を◎、９６〜９９％未満を○、９３〜９６％未
満を△、９３％未満を×とした。面粗さは光干渉式表面
粗さ計にて測定したＲP-P 値を示した。摺動特性はＣＳ
Ｓ（コンタクトスタートストップ）方式にて５０，００
０回実施した後の静止摩擦係数値を示す。本発明のセラ
ミックスは、すべての評価においてスライダー材として
の特性を満たしている。
【０００９】表１から、ＭｎＯが３０ｍｏｌ％よりも少
なくなると相対的にＣａＴｉＯ3 及びＮｉＯが多く硬度
が高くなり過ぎて、磁気記録媒体との摺動性に不具合が
生じ、又、加工性が悪くなり、生産の効率が下がる。
又、７０ｍｏｌ％を超えると、焼結密度が理論密度の９
３％以下となり、ＨＩＰ処理等でも気孔を減らすことが
できなくなる。ＮｉＯが５ｍｏｌ％よりも少なくなる
と、αが１２０×１０-7／℃よりも小さくなり、発明の
効果が期待できない。逆に５０ｍｏｌ％を超えると前述
の通り、硬度が大きくなり過ぎ、又、焼結性も悪くな
る。さらにＴｉＯ2 が０．０５ｍｏｌ％以下であると十
分な凹凸面が得られず摺動特性が阻害される（表１の面
粗さ４０Å以下で不適）、３０ｍｏｌ％以上ではα値が
小さくなる事と硬さが増す。ＣａＯが０．０５ｍｏｌ％
以下であると、ＣａＴｉＯ3 の生成が不十分で、スライ
ダー表面の摺動特性に必要な凹凸が得られない。これが
３０ｍｏｌ％以上であると、相対的にＣａＯが解離し
て、耐水性に不具合が生じる。ＺｒＯ2 、Ｙ2 Ｏ3 、Ｓ
ｉＯ2 、Ａｌ2 Ｏ3 、ＭｇＯの添加は、緻密化のため硬
度を増し焼結性を向上させ、表面粗さ、静止摩擦を増す
傾向が見られるが、１２ｍｏｌ％以下なら問題がない。
この量が多過ぎると焼結性が阻害される、粗面となるな
どのの問題が生じ、総合的に不適当となる。
なくなると相対的にＣａＴｉＯ3 及びＮｉＯが多く硬度
が高くなり過ぎて、磁気記録媒体との摺動性に不具合が
生じ、又、加工性が悪くなり、生産の効率が下がる。
又、７０ｍｏｌ％を超えると、焼結密度が理論密度の９
３％以下となり、ＨＩＰ処理等でも気孔を減らすことが
できなくなる。ＮｉＯが５ｍｏｌ％よりも少なくなる
と、αが１２０×１０-7／℃よりも小さくなり、発明の
効果が期待できない。逆に５０ｍｏｌ％を超えると前述
の通り、硬度が大きくなり過ぎ、又、焼結性も悪くな
る。さらにＴｉＯ2 が０．０５ｍｏｌ％以下であると十
分な凹凸面が得られず摺動特性が阻害される（表１の面
粗さ４０Å以下で不適）、３０ｍｏｌ％以上ではα値が
小さくなる事と硬さが増す。ＣａＯが０．０５ｍｏｌ％
以下であると、ＣａＴｉＯ3 の生成が不十分で、スライ
ダー表面の摺動特性に必要な凹凸が得られない。これが
３０ｍｏｌ％以上であると、相対的にＣａＯが解離し
て、耐水性に不具合が生じる。ＺｒＯ2 、Ｙ2 Ｏ3 、Ｓ
ｉＯ2 、Ａｌ2 Ｏ3 、ＭｇＯの添加は、緻密化のため硬
度を増し焼結性を向上させ、表面粗さ、静止摩擦を増す
傾向が見られるが、１２ｍｏｌ％以下なら問題がない。
この量が多過ぎると焼結性が阻害される、粗面となるな
どのの問題が生じ、総合的に不適当となる。
【００１０】
【発明の効果】表１に関連して検討したことから明らか
なように、本発明によると、磁性膜の熱膨張率に整合し
た１２０≦α≦１４０が得られ、さらに、浮上特性を向
上させるセラミックス表面特性（表面粗さＲａ＝０．４
〜１．７ｎｍ）を得られる。また、さらに、加工性に優
れ、低温焼成を可能にした磁気ヘッド用セラミックスを
安定生産出来るようになった。
なように、本発明によると、磁性膜の熱膨張率に整合し
た１２０≦α≦１４０が得られ、さらに、浮上特性を向
上させるセラミックス表面特性（表面粗さＲａ＝０．４
〜１．７ｎｍ）を得られる。また、さらに、加工性に優
れ、低温焼成を可能にした磁気ヘッド用セラミックスを
安定生産出来るようになった。
【００１１】
【表１】
【００１２】
【表２】
Claims (2)
- 【請求項１】 組成式 （ＮｉＯ）x （ＭｎＯ）Y （ＴｉＯ2 ) z （ＣａＯ) W 但し Ｘ＋Ｙ＋Ｚ＋Ｗ＝１００ｍｏｌ％ ５≦Ｘ≦５０ ３０≦Ｙ≦７０ ０．０５≦Ｚ≦３０ ０．０５≦Ｗ≦３０（いずれもｍｏｌ％） を有することを特徴とする磁気ヘッドスライダー用セラ
ミックス。 - 【請求項２】 ＺｒＯ2 、Ｙ2 Ｏ3 、ＳｉＯ2 、Ａｌ2
Ｏ3 、ＭｇＯのうち、少なくとも１種の元素を１２ｍｏ
ｌ％以下添加（但し０．０５ｍｏｌ％以上）したことを
特徴とする請求項１の磁気ヘッドスライダー用セラミッ
クス。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5264122A JPH0797262A (ja) | 1993-09-29 | 1993-09-29 | 磁気ヘッド用非磁性セラミックス |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5264122A JPH0797262A (ja) | 1993-09-29 | 1993-09-29 | 磁気ヘッド用非磁性セラミックス |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0797262A true JPH0797262A (ja) | 1995-04-11 |
Family
ID=17398790
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5264122A Withdrawn JPH0797262A (ja) | 1993-09-29 | 1993-09-29 | 磁気ヘッド用非磁性セラミックス |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0797262A (ja) |
-
1993
- 1993-09-29 JP JP5264122A patent/JPH0797262A/ja not_active Withdrawn
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20001226 |