JPH0794988A - Mos型半導体クランプ回路 - Google Patents

Mos型半導体クランプ回路

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JPH0794988A
JPH0794988A JP5234554A JP23455493A JPH0794988A JP H0794988 A JPH0794988 A JP H0794988A JP 5234554 A JP5234554 A JP 5234554A JP 23455493 A JP23455493 A JP 23455493A JP H0794988 A JPH0794988 A JP H0794988A
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JP
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well
substrate
clamp circuit
clamp
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JP5234554A
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Mikio Sakurai
幹夫 桜井
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Mitsubishi Electric Corp
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Mitsubishi Electric Corp
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Publication date
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    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05FSYSTEMS FOR REGULATING ELECTRIC OR MAGNETIC VARIABLES
    • G05F3/00Non-retroactive systems for regulating electric variables by using an uncontrolled element, or an uncontrolled combination of elements, such element or such combination having self-regulating properties
    • G05F3/02Regulating voltage or current
    • G05F3/08Regulating voltage or current wherein the variable is dc
    • G05F3/10Regulating voltage or current wherein the variable is dc using uncontrolled devices with non-linear characteristics
    • G05F3/16Regulating voltage or current wherein the variable is dc using uncontrolled devices with non-linear characteristics being semiconductor devices
    • G05F3/20Regulating voltage or current wherein the variable is dc using uncontrolled devices with non-linear characteristics being semiconductor devices using diode- transistor combinations
    • G05F3/24Regulating voltage or current wherein the variable is dc using uncontrolled devices with non-linear characteristics being semiconductor devices using diode- transistor combinations wherein the transistors are of the field-effect type only
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/0001Technical content checked by a classifier
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    • Y10S257/928Active solid-state devices, e.g. transistors, solid-state diodes with shorted PN or schottky junction other than emitter junction

Abstract

(57)【要約】 【目的】 MOS型半導体クランプ回路のクランプレベ
ルの安定性を改善する。 【構成】 MOS型半導体クランプ回路は、基板電位が
印加される半導体基板(1)と、基板電位から電気的に
分離されたウェル(3)と、そのウェル内に形成された
MOS型トランジスタ(5a,5b,6)を備え、それ
らのトランジスタは互いに直列に接続されかつ各トラン
ジスタのゲートがドレインに接続されており、ウェル
(3)には基板電位と異なる安定電位が印加される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は半導体クランプ回路に関
し、特に、MOS型半導体クランプ回路におけるクラン
プ電位の安定性の完全に関するものである。
【0002】
【従来の技術】図9を参照して、Nチャネル型のMOS
トランジスタ(以下、N−MOSトランジスタと称す)
の回路図が示されている。MOSトランジスタは、ソー
ス端子S,ゲート端子G,およびドレイン端子Dを含ん
でいる。ソースとドレインとの間のチャネル領域の下の
部分はバックゲートBGと呼ばれる。このバックゲート
領域の電位はいわゆるバルク電位になっており、通常は
バルク電位として基板電位Vbbが印加される。
【0003】図10においては、図9の回路図に示され
ているようなN−MOSトランジスタの構造の一例が概
略的な断面図で示されている。図10の構造において
は、P - 型半導体基板1が用いられている。基板1内に
はPウェル3が形成され、Pウェル3内にはN+ 型のソ
ース5aとドレイン5bが形成されている。ソース5a
とドレイン5bの間において、ゲート電極6が設けられ
ている。このようなN−MOSトランジスタにおいて
は、負の基板バイアス電位VbbがP+ 接続領域1aを
介して基板1に印加され、その基板電位VbbはP+
続領域3aを介してPウェル3へも印加される。すなわ
ち、図10のN−MOSトランジスタのバックゲート電
位VBGとして、基板電位Vbbが印加されることにな
る。
【0004】図11は、MOSトランジスタのバックゲ
ート電位VBGの絶対値としきい値電圧Vthとの関係を
概略的に示すグラフである。すなわち、しきい値電圧V
thのバックゲート電位VBG依存性は次式で現わされ
る。
【0005】
【数1】
【0006】ここで、Vthφは定数を表わし、Kは基
板効果定数を表わし、そしてφFPはフェルミレベルを表
わす。
【0007】基板効果定数Kはトランジスタの製造プロ
セスに依存して多少変動するが、概略的にはバックゲー
ト電位VBGが1Vだけ変動したときにしきい値電圧Vt
hが0.1Vだけ変化するような数値を有していると考
えてよい。バックゲート電位VBGに対するこのようなし
きい値電圧Vthの依存性は、決して無視できるもので
はない。
【0008】図12において、互いに直列接続されたm
個のN−MOSトランジスタを含むクランプ回路の一例
が回路図で示されている。このクランプ回路において、
各トランジスタのゲートはドレインに接続されており、
バックゲート電位として基板電位Vbbが印加されてい
る。このクランプ回路によって、ノードAが一定電位に
クランプされる。
【0009】たとえば、各トランジスタがしきい値電圧
Vthを有するとすれば、ノードAの電位がVth×m
を超えたときに、直列接続されたトランジスタがノード
AからアースGNDへ電流を流す。すなわちそのクラン
プ回路は、ノードAをVth×mの電位に維持するよう
に動作する。
【0010】ここで、各N−MOSトランジスタのバル
ク電位VBGがΔVBGだけ変化した場合を考える。具体例
として、δVth/δVBG=0.1,m=15,および
ΔV BG=2Vであると仮定すれば、ノードAのクランプ
レベルVA の変化量ΔVA は次式で表わされる。
【0011】 ΔVA =(δVth/δVBG)・ΔVBG・m=0.1×2×15=3(V) すなわち、ノードAのクランプレベルVA が設計値から
3Vもずれてしまう結果となる。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】以上のように、従来の
MOS型半導体クランプ回路においては、各MOSトラ
ンジスタのバックゲート電位VBGとして基板電位Vbb
が印加されるので、基板電位Vbbの変動によってMO
Sトランジスタのしきい値Vthが変動し、その結果と
してクランプレベルが設計値に対して変動するという問
題がある。
【0013】このような課題に鑑み、本発明は、クラン
プレベルの変動を最小にし得る安定なMOS型半導体ク
ランプ回路を提供することを目的としている。
【0014】
【課題を解決するための手段】本発明によるMOS型半
導体クランプ回路は、基板電位が印加される半導体基板
と、その半導体基板内に形成されかつ基板電位から電気
的に分離された少なくとも1つの第1導電型ウェルと、
そのウェル内に形成された第2導電型のソースとドレイ
ンを含む複数のMOS型トランジスタを備え、それらの
トランジスタは互いに直列に接続されて、各トランジス
タのゲートはドレインに接続されており、そしてウェル
には基板電位と異なる安定電位が印加されることを特徴
としている。
【0015】
【作用】本発明によるMOS型半導体クランプ回路にお
いては、ウェルが基板電位から電気的に分離されている
ので、各MOSトランジスタのバックゲート電位VBG
して基板電位Vbbと異なる安定電位を印加することが
できる。したがって、クランプ回路中のMOSトランジ
スタのしきい値電圧Vthがバックゲート電位V BGの変
動によって変化することがなく、クランプレベルの安定
性が著しく改善されることになる。
【0016】
【実施例】図1を参照して、本発明の一実施例によるM
OS型半導体クランプ回路の回路図が示されている。図
1のクランプ回路は、図面の簡略のために、わずか3つ
のN−MOSトランジスタを含んでいる。これらのN−
MOSトランジスタは互いに直列に接続されており、各
トランジスタのゲートはドレインに接続されている。右
端のトランジスタのドレインはクランプノードAに接続
されている。他方、左端のトランジスタのソースは、通
常は接地電位GNDである安定な低電源レベルVssに
接続されている。
【0017】図1のクランプ回路の特徴は、各N−MO
Sトランジスタのバックゲート電位VBGとして、安定な
低電源レベルVssが印加されていることであり、その
安定な低電源レベルVssは接地電位GNDであり得
る。このようなクランプ回路においては、すべてのN−
MOSトランジスタのバックゲート電位VBGが安定な接
地電位GNDに維持されるので、すべてのN−MOSト
ランジスタのしきい値電圧Vthが安定に維持され、そ
の結果としてノードAにおけるクランプ電位VAの変動
が防止される。
【0018】図2においては、図1の回路図に従って実
現されたクランプ回路の構造の一例が概略的な断面図で
示されている。図2の構造においては、N型半導体基板
1内にP型ウェル3が形成されている。P型ウェル3内
には、3つのN−MOSトランジスタが直列接続されて
形成されている。各N−MOSトランジスタは、N+
ース5a,N+ ドレイン5b,およびそれらの間に設け
られたゲート電極6を含んでいる。各トランジスタのゲ
ート電極6はドレイン5bに接続されている。左端のト
ランジスタのソース5aは、通常は接地電位GNDであ
る低電源レベルVssに接続されており、右端のトラン
ジスタのドレイン5bはクランプノードAに接続されて
いる。
【0019】Pウェル3はP+ 接続領域3aを介して低
電源レベルVssに接続されており、その低電源レベル
Vssは接地電位GNDであり得る。他方、N基板1
は、N + 接続領域1aを介して基板電位Vbbに接続さ
れている。すなわち、図2のクランプ回路においては、
N−MOSトランジスタの各々のバックゲート電位VBG
として、基板電位Vbbと異なる安定な接地電位GND
がPウェル3を介して印加され得る。したがって、N−
MOSトランジスタのしきい値電圧Vthが安定化さ
れ、その結果としてノードAにおけるクランプレベルV
A が安定化される。
【0020】なお、N−MOSトランジスタのバックゲ
ート電位VBGとして基板電位Vbbと異なる安定な接地
電位GNDを印加するためには、Pウェル3がN基板1
から電気的に分離されていなければならない。すなわ
ち、Pウェル3とN基板1はそれらの間のPN接合によ
って分離されなければならない。したがって、図2のク
ランプ回路においては、基板電位Vbbとして正の電位
が印加されていなければならない。このような正の基板
電位Vbbとして、安定な高電源レベルVccが用いら
れ得る。
【0021】図3において、図1の回路図に従って実現
されたもう1つのクランプ回路の構造が断面図で示され
ている。図3のクランプ回路は図2のものに類似してい
るが、基板とウェルの構造において異なっている。すな
わち、図3においては、P-基板1内にNウェル2が形
成され、そのNウェル2内にPウェル3が形成されてい
る。すなわち、P- 基板1とPウェル3との間には、互
いに逆極性を有する2つのPN接合が存在している。し
たがって、基板電位Vbbの符号にかかわらず、N−M
OSトランジスタのバックゲート電位VBGとして安定な
接地電位GNDがPウェル3を介して印加され得る。
【0022】図4においては、図1の回路図に従って実
現されたさらにもう1つのクランプ回路の構造が断面図
で示されている。図4のクランプ回路は図3のものに類
似しているが、図4のクランプ回路は互いに分離された
複数のPウェル3を含んでいる。すなわち、N−MOS
トランジスタの各々は、対応する1つのPウェル3内に
形成されている。このようなクランプ回路においては、
すべてのN−MOSトランジスタに接地電位GNDをバ
ックゲート電位Vbbとして印加することはもちろん可
能であるが、ノードAのクランプレベルを微妙に調節す
るために望まれる場合には、一部のトランジスタのバッ
クゲート電位VBGとして他のものと異なる安定な電位を
印加することも可能である。
【0023】図5を参照して、本発明のもう1つの実施
例によるクランプ回路の回路図が示されている。このク
ランプ回路においては、3つのP−MOSトランジスタ
が互いに直列に接続されている。これらのトランジスタ
の各々のゲートはドレインに接続されている。左端のト
ランジスタのソースはクランプノードAに接続され、右
端のトランジスタのドレインは通常は接地電位GNDで
ある低電源レベルVssに接続されている。このクラン
プ回路の特徴は、P−MOSトランジスタの各々のバッ
クゲート電位VBGとして、安定な高電源レベルVccが
印加されていることである。すなわち、安定な高電源レ
ベルVccであるバックゲート電位VBGによってP−M
OSトランジスタのしきい値電圧Vthの変動が抑制さ
れ、ノードAにおけるクランプレベルVA が安定にな
る。
【0024】図6を参照して、図5の回路図に従って実
現されたクランプ回路の構造が概略的な断面図で示され
ている。この構造においては、P型半導体基板1内にN
型ウェル3が形成されている。P型ウェル3内には3つ
のP−MOSトランジスタが直列接続されて形成されて
いる。P−MOSトランジスタの各々は、P+ ソース5
a,P+ ドレイン5b,およびそれらの間に設けられた
ゲート電極6を含んでいる。また、各トランジスタのゲ
ート電極6はドレイン5bに接続されている。左端のト
ランジスタのソース5aはクランプノードAに接続さ
れ、右端のトランジスタのドレイン5bは接地電位GN
Dに接続されている。
【0025】P基板1には、P+ 接続領域1aを介して
基板電位Vbbが印加されている。他方、Nウェル3に
は、基板電位Vbbと異なる安定な高電源レベルVcc
がN + 接続領域3aを介して印加されている。すなわ
ち、このクランプ回路におけるP−MOSトランジスタ
のバックゲート電位VBGとして、基板電位Vbbと異な
る安定な高電源レベルVccが印加される。その結果、
P−MOSトランジスタのしきい値電圧Vthの変動が
抑制され、ノードAにおけるクランプレベルVAが安定
化される。
【0026】ところで、基板電位Vbbと異なる高電源
レベルVccをNウェル3に印加するためには、Nウェ
ル3とP基板1とが電気的に分離されていなければなら
ない。すなわち、P基板1とNウェル3との間のPN接
合には逆バイアス電圧が印加されなければならない。し
たがって、図6の構造のクランプ回路が実現され得るた
めには少なくとも基板電位Vbbが高電源レベルVcc
より低くなければならず、通常は基板電位Vbbとして
接地電位GNDまたは負の電位が印加される。
【0027】図7を参照して、図5の回路図に従って実
現されたもう1つのクランプ回路の構造が断面図で示さ
れている。図7のクランプ回路は図6のものに類似して
いるが、基板とウェルの構造において異なっている。す
なわち、図7の構造においては、N- 基板1内にPウェ
ル2が形成され、そのPウェル2内にNウェル3が形成
されている。したがって、図7のクランプ回路において
は、図3の場合と同様に、基板1とウェル3との間に互
いに逆極性を有する2つのPN接合が存在している。そ
の結果、基板電位Vbbのいかんにかかわらず安定な高
電源レベルVccがNウェル3に印加され得る。
【0028】図8を参照して、図5の回路に従って実現
されたさらにもう1つのクランプ回路の構造が断面図で
示されている。図8のクランプ回路は図7のものに類似
しているが、P−MOSトランジスタの各々が個別のN
ウェル3内に形成されている。したがって、望まれる場
合には、複数のP−MOSトランジスタのうち、いくつ
かのトランジスタのバックゲート電位VBGとして、他の
ものと異なる安定電位を印加することも可能である。
【0029】
【発明の効果】以上ように、本発明によるMOS型半導
体クランプ回路においては、基板電位から電気的に分離
されたウェル内にMOSトランジスタが形成されている
ので、MOSトランジスタのバックゲート電位VBGとし
て基板電位Vbbと異なる安定な電位を印加することが
できる。その結果、MOSトランジスタのしきい値電圧
Vthの変動が防止され、クランプノードAにおけるク
ランプレベルVA がさらに安定になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例によるN−MOSトランジス
タにより構成されたクランプ回路を示す回路図である。
【図2】図1の回路図に従って実現されたクランプ回路
の構造を示す概略的な断面図である。
【図3】図1の回路図に従って実現されたもう1つのク
ランプ回路の構造を示す断面図である。
【図4】図1の回路図に従って実現されたさらにもう1
つのクランプ回路の構造を示す断面図である。
【図5】本発明のもう1つの実施例によるP−MOSト
ランジスタによって構成されたクランプ回路を示す回路
図である。
【図6】図5の回路図に従って実現されたクランプ回路
の構造を示す概略的な断面図である。
【図7】図5の回路図に従って実現されたもう1つのク
ランプ回路の構造を示す断面図である。
【図8】図5の回路図に従って実現されたさらにもう1
つのクランプ回路の構造を示す断面図である。
【図9】N−MOSトランジスタを示す回路図である。
【図10】図9の回路図に従って実現されたN−MOS
トランジスタの構造を示す概略的な断面図である。
【図11】MOSトランジスタのバックゲート電位VBG
としきい値電圧Vthとの関係を示す概略的なグラフで
ある。
【図12】先行技術によるクランプ回路の一例を示す回
路図である。
【符号の説明】
1 半導体基板 1a 基板電位の接続領域 2,3 半導体ウェル 3a バックゲート電位の接続領域 5a ソース領域 5b ドレイン領域 6 ゲート電極

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 MOS型半導体クランプ回路であって、 基板電位が印加される半導体基板と、 前記半導体基板内に形成されかつ前記基板電位から電気
    的に分離された少なくとも1つの第1導電型ウェルと、 前記ウェル内に形成された第2導電型のソースとドレイ
    ンを含む複数のMOS型トランジスタとを備え、 前記複数のトランジスタの各々のゲートがドレインに接
    続され、それらのトランジスタは互いに直列に接続され
    ており、そして前記ウェルには前記基板電位と異なる安
    定電位が印加されることを特徴とするMOS型半導体ク
    ランプ回路。
  2. 【請求項2】 前記基板は第1導電型であり、前記第1
    導電型ウェルは前記基板内に形成された第2導電型ウェ
    ル内に形成されていることを特徴とする請求項1のクラ
    ンプ回路。
  3. 【請求項3】 前記トランジスタの各々のために個別の
    ウェルが設けられていることを特徴とする請求項1また
    は2のクランプ回路。
  4. 【請求項4】 前記第1と第2の導電型はそれぞれP型
    とN型であり、前記ウェルには接地電位が印加されるこ
    とを特徴とする請求項1ないし3のいずれかの項のクラ
    ンプ回路。
  5. 【請求項5】 前記第1と第2の導電型はそれぞれN型
    とP型であり、前記ウェルには安定な高レベル電源電位
    が印加されることを特徴とする請求項1ないし3のいず
    れかの項のクランプ回路。
JP5234554A 1993-09-21 1993-09-21 Mos型半導体クランプ回路 Withdrawn JPH0794988A (ja)

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US08/277,817 US5488247A (en) 1993-09-21 1994-07-20 MOS-type semiconductor clamping circuit
DE4430350A DE4430350C2 (de) 1993-09-21 1994-08-26 Halbleiterklemmschaltung zur Aufrechterhaltung eines festgelegten Potentials an einem Knoten vom MOS-Typ

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DE4430350C2 (de) 1995-11-02

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