JPH0794963B2 - 非接触変位測定システム - Google Patents
非接触変位測定システムInfo
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- JPH0794963B2 JPH0794963B2 JP2502546A JP50254690A JPH0794963B2 JP H0794963 B2 JPH0794963 B2 JP H0794963B2 JP 2502546 A JP2502546 A JP 2502546A JP 50254690 A JP50254690 A JP 50254690A JP H0794963 B2 JPH0794963 B2 JP H0794963B2
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- sensor
- shield
- measurement
- measuring system
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/02—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness
- G01B7/023—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring distance between sensor and object
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/14—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring distance or clearance between spaced objects or spaced apertures
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 本発明は、交流で作動し、測定側と接続側を有するセン
サー、電源／評価ユニット、センサーから電源／評価ユ
ニットに通じ好ましくは２つの内部導線を有するケーブ
ルを具えた非接触変位測定システムに関するもので、前
記センサーは、ハウジングと、ハウジング内の少なくと
も１つのコイルと、ケーブルの内部の導線からコイルへ
又は各々のコイルに通じる接続線、そして必要ならば、
コイル又は各々のコイル及び接続線を固定する埋め込み
物質を有している。
サー、電源／評価ユニット、センサーから電源／評価ユ
ニットに通じ好ましくは２つの内部導線を有するケーブ
ルを具えた非接触変位測定システムに関するもので、前
記センサーは、ハウジングと、ハウジング内の少なくと
も１つのコイルと、ケーブルの内部の導線からコイルへ
又は各々のコイルに通じる接続線、そして必要ならば、
コイル又は各々のコイル及び接続線を固定する埋め込み
物質を有している。
長年にわたり、様々な形式の非接触変位測定システムが
知られていた。これらは、作動の基本的な形式により、
第一に、渦巻き電流を基礎とした変位測定システムと、
誘導性（inductive）で容量性（capacitative）の変位
測定システム、第二、に光学的又は音響学的変位測定シ
ステムに分類されうる。
知られていた。これらは、作動の基本的な形式により、
第一に、渦巻き電流を基礎とした変位測定システムと、
誘導性（inductive）で容量性（capacitative）の変位
測定システム、第二、に光学的又は音響学的変位測定シ
ステムに分類されうる。
本発明は、少なくとも１つのコイルを具えたセンサーか
らなる非接触変位測定システム、すなわち、渦巻き電流
又は誘導（induction）を基礎にした変位測定システム
に関するものである。
らなる非接触変位測定システム、すなわち、渦巻き電流
又は誘導（induction）を基礎にした変位測定システム
に関するものである。
渦巻き電流測定法により作動する変位測定システムにお
いては、高周波数の交流電流は、通常ハウジング内にあ
るコイルを流れ、これは、コンデンサーの並列接続によ
り振動回路を形成する。この過程で、コイルから電磁場
が発生する。この場は、電導性の物体中に渦巻き電流
（eddy current）を惹起し、これは、振動回路からエネ
ルギーを引き出す。主として、比較的高い作動周波数で
は、誘導された渦巻き電流の反作用が生じ、これは、バ
ック誘導として、コイルのインピーダンスの実部を変化
させる。コイルのインピーダンスの虚部に対する影響
は、この過程において、磁気的特性と作動周波数に依存
する。非磁性の測定物は、コイルに近づくと、コイルの
インダクタンスを減少させる。
いては、高周波数の交流電流は、通常ハウジング内にあ
るコイルを流れ、これは、コンデンサーの並列接続によ
り振動回路を形成する。この過程で、コイルから電磁場
が発生する。この場は、電導性の物体中に渦巻き電流
（eddy current）を惹起し、これは、振動回路からエネ
ルギーを引き出す。主として、比較的高い作動周波数で
は、誘導された渦巻き電流の反作用が生じ、これは、バ
ック誘導として、コイルのインピーダンスの実部を変化
させる。コイルのインピーダンスの虚部に対する影響
は、この過程において、磁気的特性と作動周波数に依存
する。非磁性の測定物は、コイルに近づくと、コイルの
インダクタンスを減少させる。
振動回路の振幅は、間隔の関数として変化する。復調さ
れ、線形にされ、且つ、必要に応じて増幅されると、振
幅における変化は、センサーと測定目的物の間隔に比例
して変化する電圧をもたらす。
れ、線形にされ、且つ、必要に応じて増幅されると、振
幅における変化は、センサーと測定目的物の間隔に比例
して変化する電圧をもたらす。
誘導（inductive）測定法の場合、センサーに設けられ
ているコイルは、さらに振動回路の一部でもある。電導
性の測定物が近づくと、コイルのインピーダンスの虚部
が主として変化する。このことは、主として低い作動周
波数、すなわち、数100kHzまでの作動周波数の場合に当
てはまる。磁性の対象物はコイルに近づくにつれてイン
ダクタンスを増し、非磁性対象物はインダクタンスを減
らす。またここで、復調された出力信号は、センサーと
測定物の間の距離に比例する。
ているコイルは、さらに振動回路の一部でもある。電導
性の測定物が近づくと、コイルのインピーダンスの虚部
が主として変化する。このことは、主として低い作動周
波数、すなわち、数100kHzまでの作動周波数の場合に当
てはまる。磁性の対象物はコイルに近づくにつれてイン
ダクタンスを増し、非磁性対象物はインダクタンスを減
らす。またここで、復調された出力信号は、センサーと
測定物の間の距離に比例する。
渦巻き電流測定法の場合及び誘導測定法のいずれにおい
ても、電気的に、及び／又は磁気的に伝導性の測定物が
近づく場合に、センサーに設けられている測定コイルの
インピーダンスの変化が測定される。このようにして、
測定信号は、測定すべき距離と対応することになる。
ても、電気的に、及び／又は磁気的に伝導性の測定物が
近づく場合に、センサーに設けられている測定コイルの
インピーダンスの変化が測定される。このようにして、
測定信号は、測定すべき距離と対応することになる。
センサーと測定すべき対象物の間隔の変化により起こる
インピーダンスの変化は、このように、一方ではコイル
のインダクタンスの変化、他方ではコイルの実抵抗の変
化に起因する。従って、コイルのインピーダンスの虚部
は、とりわけ、測定コイルの自己静電容量、そしてこの
ようにセンサーの全体的形状により、あらかじめ決まっ
てくる。従って、測定の間にセンサーから発する電気力
線も、センサーの自己静電容量に対して決定的である。
電導性の測定物がセンサーに近づくと、センサーから発
する電場もそれによって影響される。このことは、相対
的に高い誘電率の対象物が近づくときにも同様に当ては
まる。その結果、センサーと実際の測定物の間に置かれ
る高い誘電率の物質は、自己静電容量及び測定コイルの
総静電容量に変化を生じさせる。
インピーダンスの変化は、このように、一方ではコイル
のインダクタンスの変化、他方ではコイルの実抵抗の変
化に起因する。従って、コイルのインピーダンスの虚部
は、とりわけ、測定コイルの自己静電容量、そしてこの
ようにセンサーの全体的形状により、あらかじめ決まっ
てくる。従って、測定の間にセンサーから発する電気力
線も、センサーの自己静電容量に対して決定的である。
電導性の測定物がセンサーに近づくと、センサーから発
する電場もそれによって影響される。このことは、相対
的に高い誘電率の対象物が近づくときにも同様に当ては
まる。その結果、センサーと実際の測定物の間に置かれ
る高い誘電率の物質は、自己静電容量及び測定コイルの
総静電容量に変化を生じさせる。
例えば、水（∈ｒ80）がセンサーと測定の対象物の間
に入り込むと、測定コイルの自己静電容量は影響を受け
るであろう。従来のセンサーの場合、静電容量の変化
は、わずか数pFである。水又は他の高誘電率の物質が継
続的に存在している場合には、測定システムの較正（ca
librating）において、コイルの自己静電容量に対する
水の影響を考慮することができるであろう。しかしなが
ら、センサーと測定物の隙間が、例えば、水滴に対して
防水になっていない場合、すなわち、外部から水がコン
トロールされずに一時的に測定域に入り込んだ場合、距
離の測定に誤差が生じるであろうし、これはセンサーと
測定物の距離の増大に従って増加する。この理由は、セ
ンサーと測定物の間の距離が大きくなると、測定物が動
くことによるコイルのインピーダンスの変化はわずかな
ものでしかなくなるためである。
に入り込むと、測定コイルの自己静電容量は影響を受け
るであろう。従来のセンサーの場合、静電容量の変化
は、わずか数pFである。水又は他の高誘電率の物質が継
続的に存在している場合には、測定システムの較正（ca
librating）において、コイルの自己静電容量に対する
水の影響を考慮することができるであろう。しかしなが
ら、センサーと測定物の隙間が、例えば、水滴に対して
防水になっていない場合、すなわち、外部から水がコン
トロールされずに一時的に測定域に入り込んだ場合、距
離の測定に誤差が生じるであろうし、これはセンサーと
測定物の距離の増大に従って増加する。この理由は、セ
ンサーと測定物の間の距離が大きくなると、測定物が動
くことによるコイルのインピーダンスの変化はわずかな
ものでしかなくなるためである。
作動周波数、すなわち、各共振周波数は、既知の次の公
式によって算出される。
式によって算出される。
ここでCSpuleはセンサーのコイルの自己静電容量、そし
てCErgは所望の周波数のための補充的（supplemental）
静電容量を示している。
てCErgは所望の周波数のための補充的（supplemental）
静電容量を示している。
静電容量CErgはコイルの自己静電容量よりもかなり大き
いため、低周波数では、所与のインダクタンスＬにおい
て、共振周波数の変化率はごくわずかである。しかし、
CErgが相応して減少するため、共振周波数の変化率は周
波数の自乗に比例して増加する。このことは、1MHzにお
ける影響は、100kHzの場合よりも100倍大きいことを示
している。
いため、低周波数では、所与のインダクタンスＬにおい
て、共振周波数の変化率はごくわずかである。しかし、
CErgが相応して減少するため、共振周波数の変化率は周
波数の自乗に比例して増加する。このことは、1MHzにお
ける影響は、100kHzの場合よりも100倍大きいことを示
している。
従って、高誘導率の流体又は固体が測定値に及ぼす影響
が殆ど解消されるような非接触変位測定システムを提供
することが本発明の目的である。
が殆ど解消されるような非接触変位測定システムを提供
することが本発明の目的である。
本発明による非接触変位測定システムでは、センサーの
測定側にシールドが配されていることにより上記のよう
な課題が解決され、前記シールドは、一方では、コイル
から発する電気力線を少なくとも殆ど通さず、他方で
は、コイルから発する電磁力線を少なくとも殆ど通す。
測定側にシールドが配されていることにより上記のよう
な課題が解決され、前記シールドは、一方では、コイル
から発する電気力線を少なくとも殆ど通さず、他方で
は、コイルから発する電磁力線を少なくとも殆ど通す。
本発明よれば、センサーから通常発する電気力線が外方
向にシールドされているとき、すなわち、電場が全方向
にシールドされているとき、測定域に位置する高誘導率
の流体又は固体が測定値に及ぼす影響はなくすることが
できることがわかった。電場をシールドするために使用
される物質は、測定のため必要な電磁場に殆ど影響を与
えないか、又はごくわずかしか影響を与えない。
向にシールドされているとき、すなわち、電場が全方向
にシールドされているとき、測定域に位置する高誘導率
の流体又は固体が測定値に及ぼす影響はなくすることが
できることがわかった。電場をシールドするために使用
される物質は、測定のため必要な電磁場に殆ど影響を与
えないか、又はごくわずかしか影響を与えない。
本発明の教示をさらに拡張し発展させる多様な可能性が
ある。この目的のため、第１に請求の範囲第１項とそれ
に続く従属項、そして第２に、図面を参照してなされる
実施例の説明を参照されたい。図面を参照してなされる
好適実施例の説明に関連して、一般的な好適実施例及び
教示のさらなる発展性が説明されるであろう。図面に例
示されているものは、次のとおりである。
ある。この目的のため、第１に請求の範囲第１項とそれ
に続く従属項、そして第２に、図面を参照してなされる
実施例の説明を参照されたい。図面を参照してなされる
好適実施例の説明に関連して、一般的な好適実施例及び
教示のさらなる発展性が説明されるであろう。図面に例
示されているものは、次のとおりである。
第１図は、非接触変位測定の基礎となる測定原理の概要
図である。
図である。
第２図は、第１図の測定原理に従って作動する、典型的
なセンサーの概要図である。
なセンサーの概要図である。
第３図は、第２図のセンサーの拡大された部分的概要図
であるとともに、センサーから発する電気力線の図であ
る。
であるとともに、センサーから発する電気力線の図であ
る。
第４図は、本発明の非接触変位システムによる、シール
ドを具えたセンサーの概要図である。
ドを具えたセンサーの概要図である。
第１図には、渦巻き電流測定法に従い、また誘導測定法
に従った、非接触変位測定の基礎となる既知の測定原理
が描かれている。簡単のため、コイル１だけによって示
されているセンサー２は、ケーブル６の内部の導線５を
通って電源／評価ユニット７に通じる接続線４により接
続側３につながれている。コイル１、すなわち、各セン
サー２から、電磁場が広がり、すなわち、電磁力線９が
測定物10の方に広がり、そこで閉じる。測定物10が電導
性である場合、一方では測定物10内に渦巻き電流が誘導
され、他方ではコイルのインダクタンスが変化する。測
定物10が鉄性であれば、コイルのインダクタンスの変化
が見られるであろう。
に従った、非接触変位測定の基礎となる既知の測定原理
が描かれている。簡単のため、コイル１だけによって示
されているセンサー２は、ケーブル６の内部の導線５を
通って電源／評価ユニット７に通じる接続線４により接
続側３につながれている。コイル１、すなわち、各セン
サー２から、電磁場が広がり、すなわち、電磁力線９が
測定物10の方に広がり、そこで閉じる。測定物10が電導
性である場合、一方では測定物10内に渦巻き電流が誘導
され、他方ではコイルのインダクタンスが変化する。測
定物10が鉄性であれば、コイルのインダクタンスの変化
が見られるであろう。
第２図には、渦巻き電流測定法又は誘導測定法により作
動する。既知の非接触センサー２の基本的な構成が描か
れている。センサー２は、実質的にハウジング11、その
中に収められているコイル１、ケーブル６、すなわち、
ケーブル６の内部の導線５に通じる接続線４、及びセン
サーのハウジング11の内部にコイル１を固定するための
埋め込み物質13を含んでいる。第２図には図示されてい
ない、電源／評価ユニット７につながっているケーブル
６は、電場と電磁場に対してシールドされていることが
好ましく、同軸ケーブルが好適である。
動する。既知の非接触センサー２の基本的な構成が描か
れている。センサー２は、実質的にハウジング11、その
中に収められているコイル１、ケーブル６、すなわち、
ケーブル６の内部の導線５に通じる接続線４、及びセン
サーのハウジング11の内部にコイル１を固定するための
埋め込み物質13を含んでいる。第２図には図示されてい
ない、電源／評価ユニット７につながっているケーブル
６は、電場と電磁場に対してシールドされていることが
好ましく、同軸ケーブルが好適である。
第２図に示されているセンサーの作動においては、既に
知られているように、変位測定に必要な電磁力線と電気
力線は測定物の存在する外方向に出る。第３図では、セ
ンサー２と実際の測定の対象物10の間の測定区域に置か
れている相対的に高い誘電率∈ｒの物体14が及ぼす影響
が明瞭に示されている。そこから生じる電気力線12への
影響は、コイル１の自己静電容量の変化をもたらす。
知られているように、変位測定に必要な電磁力線と電気
力線は測定物の存在する外方向に出る。第３図では、セ
ンサー２と実際の測定の対象物10の間の測定区域に置か
れている相対的に高い誘電率∈ｒの物体14が及ぼす影響
が明瞭に示されている。そこから生じる電気力線12への
影響は、コイル１の自己静電容量の変化をもたらす。
第４図は、本発明による非接触変位測定システムの、セ
ンサー２の部分図である。第１図及び第２図に示されて
いるように、このような変位測定システムは、実質的に
測定側８及び接続側３、電源／評価ユニット７、及びセ
ンサーから電源／評価ユニット７に通じる２つの内部導
線５を含むケーブル６からなる。簡単のため、第４図の
説明図では、センサー２の測定側８だけが示されてい
る。
ンサー２の部分図である。第１図及び第２図に示されて
いるように、このような変位測定システムは、実質的に
測定側８及び接続側３、電源／評価ユニット７、及びセ
ンサーから電源／評価ユニット７に通じる２つの内部導
線５を含むケーブル６からなる。簡単のため、第４図の
説明図では、センサー２の測定側８だけが示されてい
る。
センサー２はハウジング11、センサーのハウジング11中
に配されているコイル１、ケーブル６の２つの内部導線
５からコイル１に通じる２つの接続線４、及びコイル１
と接続線４を固定するための埋め込み物質13を含んでい
る。付加的コイル、例えば、温度の補正のための参照コ
イルを、センサーハウジングの内部に配することも可能
である。同様に、センサーハウジングの中で測定コイル
として作動する数本のコイルを設けることも可能であ
る。
に配されているコイル１、ケーブル６の２つの内部導線
５からコイル１に通じる２つの接続線４、及びコイル１
と接続線４を固定するための埋め込み物質13を含んでい
る。付加的コイル、例えば、温度の補正のための参照コ
イルを、センサーハウジングの内部に配することも可能
である。同様に、センサーハウジングの中で測定コイル
として作動する数本のコイルを設けることも可能であ
る。
埋め込み物質に関しては、この目的に使われる物質は、
センサーの場の状態、すなわち、高温度下であるか否
か、かなりの圧力の変動下であるか否か、有害な雰囲気
中であるか否か等に依存して選択されるということを指
摘すべきであろう。
センサーの場の状態、すなわち、高温度下であるか否
か、かなりの圧力の変動下であるか否か、有害な雰囲気
中であるか否か等に依存して選択されるということを指
摘すべきであろう。
第４図には、シールド15がセンサー２の測定側に設けら
れていることが明瞭に示されている。このシールド15
は、コイル１から発する電気力線12の大部分を通さない
反面、第４図には示されていないが、コイル１から発す
る電磁力線の大部分は通す。
れていることが明瞭に示されている。このシールド15
は、コイル１から発する電気力線12の大部分を通さない
反面、第４図には示されていないが、コイル１から発す
る電磁力線の大部分は通す。
本発明の非接触変位測定システムの好適実施例におい
て、上記シールドは、コイルにじかに装着することがで
きる。そうする場合、コイルを取り囲むものとして電気
力線のためのシールドをつくると、特に有利である。例
えば、ワニスをコーティングするというように、製造の
見地からは単純な方法で、シールドはコイルを取り囲む
ことが可能である。同様に、コイルの上にシールドを蒸
着させることも考えられ、それによって特に薄い層をつ
くることもできる。このようなシールドの構成によっ
て、ハウジングの内部のコイルとともに、シールドは埋
め込み物質によって保護されるであろう。
て、上記シールドは、コイルにじかに装着することがで
きる。そうする場合、コイルを取り囲むものとして電気
力線のためのシールドをつくると、特に有利である。例
えば、ワニスをコーティングするというように、製造の
見地からは単純な方法で、シールドはコイルを取り囲む
ことが可能である。同様に、コイルの上にシールドを蒸
着させることも考えられ、それによって特に薄い層をつ
くることもできる。このようなシールドの構成によっ
て、ハウジングの内部のコイルとともに、シールドは埋
め込み物質によって保護されるであろう。
第４図の実施例によれば、シールド15はセンサー２の測
定側８に配されるカバー16として設計されている。カバ
ー16は、同時に測定側でセンサー２のハウジング11をふ
さいでおり、そのため、攻撃的（agressive）な媒体、
温度、又は圧力に対して、コイル１又は埋め込み物質13
を保護することにも役立つ。
定側８に配されるカバー16として設計されている。カバ
ー16は、同時に測定側でセンサー２のハウジング11をふ
さいでおり、そのため、攻撃的（agressive）な媒体、
温度、又は圧力に対して、コイル１又は埋め込み物質13
を保護することにも役立つ。
カバーは、他の方法でセンサーに取付けることもでき
る。例えば、測定側のセンサーのハウジング上に、構成
上簡単な方法で、カバーを滑らせることができる。同様
に、カバーのねじ込み方式も考えられる。上記のような
カバーの取り付け方式の可能性によって、例えば、破損
の結果、必要が生じた場合に、カバーを容易に交換でき
るという利点がある。
る。例えば、測定側のセンサーのハウジング上に、構成
上簡単な方法で、カバーを滑らせることができる。同様
に、カバーのねじ込み方式も考えられる。上記のような
カバーの取り付け方式の可能性によって、例えば、破損
の結果、必要が生じた場合に、カバーを容易に交換でき
るという利点がある。
同様に、例えば接着により、カバーをセンサーのハウジ
ング、又は埋め込み物質に接合することも考えられる。
最後に、センサーのハウジングの材料と一体的にカバー
を取り付けることもできる。上記の除去可能なカバーと
異なり、センサーのハウジングに固定されているカバー
は、センサーが有害な雰囲気中で使用されたとき、特に
有益な、センサーハウジングの効果的なシールを形成す
る。
ング、又は埋め込み物質に接合することも考えられる。
最後に、センサーのハウジングの材料と一体的にカバー
を取り付けることもできる。上記の除去可能なカバーと
異なり、センサーのハウジングに固定されているカバー
は、センサーが有害な雰囲気中で使用されたとき、特に
有益な、センサーハウジングの効果的なシールを形成す
る。
これから後は、センサーから発する電気力線をシールド
するために考えられる物質について述べることとする。
例えば、適当な電気力線のシールドは電導性の物質によ
って達成される。しかし、測定に必要な電磁場は、同時
にシールドすることは不可能であるため、このようなシ
ールドは薄い層で設けることが必要となる。従って、シ
ールドは、電導性のプラスティック、又は黒鉛からなっ
ていてもよい。電導性の物質によって、センサーから発
する電場をシールドするのに重要なことは、シールドが
ともかく薄い層でつくられていなければならないこと
と、さらに電磁場の浸透の深さに応じて、電磁場が減衰
することは殆どないということである。
するために考えられる物質について述べることとする。
例えば、適当な電気力線のシールドは電導性の物質によ
って達成される。しかし、測定に必要な電磁場は、同時
にシールドすることは不可能であるため、このようなシ
ールドは薄い層で設けることが必要となる。従って、シ
ールドは、電導性のプラスティック、又は黒鉛からなっ
ていてもよい。電導性の物質によって、センサーから発
する電場をシールドするのに重要なことは、シールドが
ともかく薄い層でつくられていなければならないこと
と、さらに電磁場の浸透の深さに応じて、電磁場が減衰
することは殆どないということである。
しかし、シールドが特に有利な方法でセラミックでつく
られているとき、電磁場に関しては、殆ど減衰の問題は
生じない。セラミックのシールドが使われた場合、例え
ば、多数の層のコンデンサー、すなわち、誘電率が∈ｒ
≧1000のシールドの場合、電磁場の減衰は殆ど生じない
のに対し、電場は殆どシールドされる。
られているとき、電磁場に関しては、殆ど減衰の問題は
生じない。セラミックのシールドが使われた場合、例え
ば、多数の層のコンデンサー、すなわち、誘電率が∈ｒ
≧1000のシールドの場合、電磁場の減衰は殆ど生じない
のに対し、電場は殆どシールドされる。
結論として、本発明の要旨、すなわち、電場はシールド
され、そして非接触センサーの電磁場は通過させられる
ということが、渦巻き測定法、又は誘導測定法によって
作動する、既知のすべての変位測定システムにおいて実
現されたことを指摘すべきであろう。
され、そして非接触センサーの電磁場は通過させられる
ということが、渦巻き測定法、又は誘導測定法によって
作動する、既知のすべての変位測定システムにおいて実
現されたことを指摘すべきであろう。
Claims (4)
- 【請求項１】交流電流で作動し、測定側（８）と接続側
（３）を有するセンサー（２）、電源／評価ユニット
（７）、及び２つの内部導線（５）を具えて前記センサ
ー（２）から延び前記電源／評価ユニット（７）に接続
されたケーブル（６）を具え、前記センサー（２）は、
ハウジング（11）、該ハウジングに収められ電気的に絶
縁されて巻かれた少なくとも１つのコイル（１）、前記
ケーブル（６）の内部の導線（５）から前記コイル
（１）にいたる接続線（４）、及び、前記コイル（１）
及び接続線（４）を固定するための埋め込み物質（13）
を含む非接触変位測定システムであって、一方で、前記
コイル（１）から発する電気力線（12）の少なくとも大
部分を通さず、他方で、前記コイル（１）から発する電
磁力線の少なくとも大部分を通すシールド（15）が前記
センサー（２）の測定側（８）に設けられ、且つ、前記
シールドが前記コイルに直接設けられていることを特徴
とする、非接触変位測定システム。 - 【請求項２】前記シールドが前記コイルを囲むように設
けられていることを特徴とする、請求の範囲第１項の変
位測定システム。 - 【請求項３】前記シールドが、前記コイルを包むワニス
の層として設けられていることを特徴とする、請求の範
囲第２項の変位測定システム。 - 【請求項４】前記シールドが前記コイルの上に蒸着され
ていることを特徴とする、請求の範囲第２項の変位測定
システム。
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE3910297.1 | 1989-03-30 | ||
| DE3910297A DE3910297A1 (de) | 1989-03-30 | 1989-03-30 | Beruehrungslos arbeitendes wegmesssystem |
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