JPH0793827A - 光ディスク原盤露光装置 - Google Patents
光ディスク原盤露光装置Info
- Publication number
- JPH0793827A JPH0793827A JP5235095A JP23509593A JPH0793827A JP H0793827 A JPH0793827 A JP H0793827A JP 5235095 A JP5235095 A JP 5235095A JP 23509593 A JP23509593 A JP 23509593A JP H0793827 A JPH0793827 A JP H0793827A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- signal
- laser beam
- groove
- pit
- processing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 同一螺旋上のトラックに２種類の特性の異な
った信号パターンであるピット及び、溝を有する光ディ
スク原盤のピット及び、溝の適正な電気特性を容易に得
ることができ且つ、ピットと溝をそれぞれ独立に制御す
ることを可能とする。 【構成】 音響光学光偏向器により、ピットを加工する
レーザービームと、溝を加工するレーザービームをガラ
ス原盤上で同一の位置に集光、落射させ、同一の１経路
から出力されるピット信号及び、溝信号を２つの経路に
分離する。分離されたピット信号と溝信号を、ピットを
加工するレーザービームに対応する音響光学光変調器
と、溝を加工するレーザービームに対応する音響光学光
変調器にそれぞれ独立に入力させ、ピットと溝を加工す
るのに２つのレーザービームを用い、独立に変調を行い
また、独立にレーザービームのビーム径を設定し、独立
にレーザーパワーを設定する。
った信号パターンであるピット及び、溝を有する光ディ
スク原盤のピット及び、溝の適正な電気特性を容易に得
ることができ且つ、ピットと溝をそれぞれ独立に制御す
ることを可能とする。 【構成】 音響光学光偏向器により、ピットを加工する
レーザービームと、溝を加工するレーザービームをガラ
ス原盤上で同一の位置に集光、落射させ、同一の１経路
から出力されるピット信号及び、溝信号を２つの経路に
分離する。分離されたピット信号と溝信号を、ピットを
加工するレーザービームに対応する音響光学光変調器
と、溝を加工するレーザービームに対応する音響光学光
変調器にそれぞれ独立に入力させ、ピットと溝を加工す
るのに２つのレーザービームを用い、独立に変調を行い
また、独立にレーザービームのビーム径を設定し、独立
にレーザーパワーを設定する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、同一螺旋上のトラック
に特性の異なった２種類の信号パターンを有する光ディ
スク原盤の製造工程における光ディスク原盤露光装置に
関する。
に特性の異なった２種類の信号パターンを有する光ディ
スク原盤の製造工程における光ディスク原盤露光装置に
関する。
【０００２】
【従来の技術】同一螺旋上のトラックに２種類の特性の
異なった信号パターンであるピットと溝を有する光ディ
スクの光ディスク原盤露光装置では、２種類の特性の異
なった信号パターンであるピットと溝を同一のレーザー
ビームで加工を施す光ディスク原盤露光装置であった。
その装置は、２種類の特性の異なった信号パターンで
あるピットと溝、両者の電気特性を満足させるために、
それぞれを加工するレーザービームのレーザーパワーを
変更させる装置。に加え、特に溝を加工する際、デ
ータをもつ蛇行した溝を加工する低周波信号と溝幅を広
げるための高周波信号を重畳させた信号を音響光学光偏
光器に印加し特に溝の電気特性を満足させる為の装置。
の２つであった。
異なった信号パターンであるピットと溝を有する光ディ
スクの光ディスク原盤露光装置では、２種類の特性の異
なった信号パターンであるピットと溝を同一のレーザー
ビームで加工を施す光ディスク原盤露光装置であった。
その装置は、２種類の特性の異なった信号パターンで
あるピットと溝、両者の電気特性を満足させるために、
それぞれを加工するレーザービームのレーザーパワーを
変更させる装置。に加え、特に溝を加工する際、デ
ータをもつ蛇行した溝を加工する低周波信号と溝幅を広
げるための高周波信号を重畳させた信号を音響光学光偏
光器に印加し特に溝の電気特性を満足させる為の装置。
の２つであった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術では、
２種類に特性の異なった信号パターンであるピット及
び、溝の加工に同一のレーザービームを使用するため、
基本的にパワーを変更してもレーザービーム径は同一に
なる。従って、同一の深さで、幅のみを変えるのは、レ
ーザーパワーの変更だけでは不可能であるため、２種類
の特性の異なった信号パターンであるピット及び、溝両
者の電気特性を満足させるのは、非常に困難であった。
また、従来技術では、より適正な電気特性を得易い
が、とくに、溝幅を広げる為の高周波信号の成分によ
り、キャリア／ノイズ比が非常に悪くなりまた、適正な
電気特性を得る溝幅にするための高周波信号の振幅制御
が非常に困難になるといった課題を有する。その為、２
種類の特性の異なった信号パターンであるピット及び溝
を加工するのに２つのレーザービームを用い、その２つ
のレーザービーム径を、２種類の特性の異なった信号パ
ターンであるピット及び溝の電気特性が十分得られる条
件に独立に形成し更に、溝を加工するレーザービームを
形成する光路上に音響光学光偏向器を設置する。そし
て、ガラス原盤上で２つのレーザービームの集光、落射
位置を一致させるよう更に、溝がデータに応じて蛇行す
るよう音響光学光偏向器により制御する。また、それぞ
れ２つのレーザービームは、音響光学光変調器により変
調される。これにより、同一螺旋上のトラックに存在す
る２種類の特性の異なった信号パターンであるピットお
よび溝を容易に適正な電気特性が得られる事を実現する
装置の提供を目的とする。
２種類に特性の異なった信号パターンであるピット及
び、溝の加工に同一のレーザービームを使用するため、
基本的にパワーを変更してもレーザービーム径は同一に
なる。従って、同一の深さで、幅のみを変えるのは、レ
ーザーパワーの変更だけでは不可能であるため、２種類
の特性の異なった信号パターンであるピット及び、溝両
者の電気特性を満足させるのは、非常に困難であった。
また、従来技術では、より適正な電気特性を得易い
が、とくに、溝幅を広げる為の高周波信号の成分によ
り、キャリア／ノイズ比が非常に悪くなりまた、適正な
電気特性を得る溝幅にするための高周波信号の振幅制御
が非常に困難になるといった課題を有する。その為、２
種類の特性の異なった信号パターンであるピット及び溝
を加工するのに２つのレーザービームを用い、その２つ
のレーザービーム径を、２種類の特性の異なった信号パ
ターンであるピット及び溝の電気特性が十分得られる条
件に独立に形成し更に、溝を加工するレーザービームを
形成する光路上に音響光学光偏向器を設置する。そし
て、ガラス原盤上で２つのレーザービームの集光、落射
位置を一致させるよう更に、溝がデータに応じて蛇行す
るよう音響光学光偏向器により制御する。また、それぞ
れ２つのレーザービームは、音響光学光変調器により変
調される。これにより、同一螺旋上のトラックに存在す
る２種類の特性の異なった信号パターンであるピットお
よび溝を容易に適正な電気特性が得られる事を実現する
装置の提供を目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明の光ディスク原盤
露光装置は、感光材料が均一に塗布されたガラス原盤に
レーザービームを集光、落射させ光学的に加工し製作す
る光ディスク原盤の製造工程において特に、同一螺旋上
のトラックに特性の異なった２種類の信号パターンを有
する光ディスク原盤の製造工程に関するもので、１つめ
の信号パターンを加工するレーザービームと特性の異な
ったもう１つの信号パターンを加工するレーザービーム
を音響光学光偏向器によりガラス原盤上での集光、落射
位置を一致させ更に、フォーマット用信号発生器の一経
路から出力される１つめのパターン信号と特性の異なる
もう１つのパターン信号を分離し、それぞれ２つのレー
ザービームに対応した音響光学光変調器により変調する
機能を備えたことを特徴とする。
露光装置は、感光材料が均一に塗布されたガラス原盤に
レーザービームを集光、落射させ光学的に加工し製作す
る光ディスク原盤の製造工程において特に、同一螺旋上
のトラックに特性の異なった２種類の信号パターンを有
する光ディスク原盤の製造工程に関するもので、１つめ
の信号パターンを加工するレーザービームと特性の異な
ったもう１つの信号パターンを加工するレーザービーム
を音響光学光偏向器によりガラス原盤上での集光、落射
位置を一致させ更に、フォーマット用信号発生器の一経
路から出力される１つめのパターン信号と特性の異なる
もう１つのパターン信号を分離し、それぞれ２つのレー
ザービームに対応した音響光学光変調器により変調する
機能を備えたことを特徴とする。
【０００５】
【実施例】図１は、本発明の光ディスク原盤露光装置の
ブロック図である。図１に示す光ディスク原盤露光装置
は、レーザー装置１と、レーザー装置１より発振された
レーザービームのノイズ減衰及びレーザーパワーコント
ロールを行うレーザーパワー制御部２と、レーザービー
ムを２つに分けるビームスプリッター３と、ビームスプ
リッター３により２つに分けられたレーザービーム４、
５をそれぞれ光変調及び、レーザーパワーコントロール
をする音響光学光変調器６、７と、シリンドリカルレン
ズ８、１０及び、音響光学光偏向器９とからなる光偏向
部と、レーザービーム４、５を同一光路上に合成するビ
ームスプリッター１１と、光路をガラス原盤１４に落射
させるため９０゜曲げるミラー１２及び、ガラス原盤１
４にレーザービームを集光、落射させる光ヘッド１３に
より構成される。光ヘッドは、公知のオートフォーカス
手段によりフォーカシングされる。光偏向、光変調制御
部１８より信号２２を音響光学光偏向器ドライバー１５
へ信号を出力する。音響光学光偏向器ドライバー１５で
は、光偏向、光変調制御部１８から入力される信号２２
の電圧を周波数に変換し、高周波信号２３を発生させ音
響光学光偏向器９に印可する。印可された高周波信号２
３は更に、トランスデュサーにより音響光学光偏向器９
の結晶を伝播する音波に変換される。この時、音響光学
光偏向器９の結晶に入射したレーザービームは、音波の
周波数に応じて偏向される為、光偏向、光変調制御部１
８より出力される信号２２を制御することによりレーザ
ービームの偏向角を制御することが可能となる。これを
利用して、ピットを加工するレーザービームと、溝を加
工するレーザービームのガラス原盤１４上での集光、落
射位置を一致させることが可能となる。また、ピットを
加工するレーザービームと溝を加工するレーザービーム
に対応する音響光学光変調器６、７の回折効率を独立に
制御するための可変抵抗器２０、２１を有する。これに
よりそれぞれのレーザービームのレーザーパワーを独立
に制御することが可能となる。更に、それぞれのレーザ
ービームのガラス原盤１４上での集光、落射位置をモニ
ターする撮像カメラ３３を有する。１９は、同一螺旋上
のトラックにピットと溝を有する光ディスク原盤のフォ
ーマットを行う為の信号発生器である。この信号発生器
１９からは、データをもつ蛇行溝を加工する為の蛇行信
号２３と、ピット及び、溝信号２４と、レーザーパワー
信号２５が出力される。
ブロック図である。図１に示す光ディスク原盤露光装置
は、レーザー装置１と、レーザー装置１より発振された
レーザービームのノイズ減衰及びレーザーパワーコント
ロールを行うレーザーパワー制御部２と、レーザービー
ムを２つに分けるビームスプリッター３と、ビームスプ
リッター３により２つに分けられたレーザービーム４、
５をそれぞれ光変調及び、レーザーパワーコントロール
をする音響光学光変調器６、７と、シリンドリカルレン
ズ８、１０及び、音響光学光偏向器９とからなる光偏向
部と、レーザービーム４、５を同一光路上に合成するビ
ームスプリッター１１と、光路をガラス原盤１４に落射
させるため９０゜曲げるミラー１２及び、ガラス原盤１
４にレーザービームを集光、落射させる光ヘッド１３に
より構成される。光ヘッドは、公知のオートフォーカス
手段によりフォーカシングされる。光偏向、光変調制御
部１８より信号２２を音響光学光偏向器ドライバー１５
へ信号を出力する。音響光学光偏向器ドライバー１５で
は、光偏向、光変調制御部１８から入力される信号２２
の電圧を周波数に変換し、高周波信号２３を発生させ音
響光学光偏向器９に印可する。印可された高周波信号２
３は更に、トランスデュサーにより音響光学光偏向器９
の結晶を伝播する音波に変換される。この時、音響光学
光偏向器９の結晶に入射したレーザービームは、音波の
周波数に応じて偏向される為、光偏向、光変調制御部１
８より出力される信号２２を制御することによりレーザ
ービームの偏向角を制御することが可能となる。これを
利用して、ピットを加工するレーザービームと、溝を加
工するレーザービームのガラス原盤１４上での集光、落
射位置を一致させることが可能となる。また、ピットを
加工するレーザービームと溝を加工するレーザービーム
に対応する音響光学光変調器６、７の回折効率を独立に
制御するための可変抵抗器２０、２１を有する。これに
よりそれぞれのレーザービームのレーザーパワーを独立
に制御することが可能となる。更に、それぞれのレーザ
ービームのガラス原盤１４上での集光、落射位置をモニ
ターする撮像カメラ３３を有する。１９は、同一螺旋上
のトラックにピットと溝を有する光ディスク原盤のフォ
ーマットを行う為の信号発生器である。この信号発生器
１９からは、データをもつ蛇行溝を加工する為の蛇行信
号２３と、ピット及び、溝信号２４と、レーザーパワー
信号２５が出力される。
【０００６】図２は、本光ディスク原盤露光装置の特徴
である光偏向、光変調制御部１８と、同一螺旋上のトラ
ックにピットと溝を有する光ディスク原盤のフォーマッ
トを行う為の信号発生器１９のブロック図である。信号
発生器１９から出力される溝をデータをもつ蛇行溝にす
るための信号２３と、光偏向光変調制御部１８内の加算
部２８によりピットを加工するレーザービームと溝を加
工するレーザービームをガラス原盤１４上での集光、落
射位置を一致させる為の可変抵抗器３７により調整され
たオフセット電圧を重畳させる。このオフセット電圧
は、図１に示してある撮像カメラ３３によりモニターし
ながら設定することができる。３０は、音響光学光偏向
器ドライバー１５を駆動できるレベルの信号２２にする
ためのアンプ部である。また、信号発生器１９から、ピ
ット信号及び溝信号２４は同一の１経路で出力される。
ピットを加工するレーザービームと溝を加工するレーザ
ービームを独立させる為には、信号発生器１９から出力
されるピット信号及び溝信号２４をそれぞれ独立した２
経路に分離する必要がある。その為更に、信号発生器１
９から出力されるレーザーパワー信号２５を利用してあ
る。本来このレーザーパワー信号２５はピットと溝を同
一のレーザービームで加工する際、ピット加工時は弱い
レーザーパワーでまた、溝加工時は強いレーザーパワー
で加工を行う為のレーザーパワー制御信号として使用し
ていたものである。しかし、本光ディスク原盤露光装置
では、信号発生器１９より出力されるピット信号及び溝
信号２４を信号分離部２９に於いて、分離化する為に使
用している。信号分離部２９では、レーザーパワー信号
２５を電圧比較器３４で論理化し、ピット信号及び溝信
号２４のゲート３５、３６の条件にしている。これによ
り、同一の１経路で信号発生器１９から入力されるピッ
ト信号及び溝信号２４を、ピット信号２６と、溝信号２
７に分離された２経路で出力させる動作を行っている。
３１、３２は、音響光学光変調器ドライバー１６、１７
を駆動できるレベルの信号２６、２７にする為のアンプ
部である。そして、ピットを加工するレーザービームに
対応する音響光学光変調器６の音響光学光変調器ドライ
バー１６にピット信号２６を入力しまた、溝を加工する
レーザービームに対応する音響光学光変調器７の音響光
学光変調器ドライバー１７に溝信号２７をそれぞれ独立
に入力することが可能となる。
である光偏向、光変調制御部１８と、同一螺旋上のトラ
ックにピットと溝を有する光ディスク原盤のフォーマッ
トを行う為の信号発生器１９のブロック図である。信号
発生器１９から出力される溝をデータをもつ蛇行溝にす
るための信号２３と、光偏向光変調制御部１８内の加算
部２８によりピットを加工するレーザービームと溝を加
工するレーザービームをガラス原盤１４上での集光、落
射位置を一致させる為の可変抵抗器３７により調整され
たオフセット電圧を重畳させる。このオフセット電圧
は、図１に示してある撮像カメラ３３によりモニターし
ながら設定することができる。３０は、音響光学光偏向
器ドライバー１５を駆動できるレベルの信号２２にする
ためのアンプ部である。また、信号発生器１９から、ピ
ット信号及び溝信号２４は同一の１経路で出力される。
ピットを加工するレーザービームと溝を加工するレーザ
ービームを独立させる為には、信号発生器１９から出力
されるピット信号及び溝信号２４をそれぞれ独立した２
経路に分離する必要がある。その為更に、信号発生器１
９から出力されるレーザーパワー信号２５を利用してあ
る。本来このレーザーパワー信号２５はピットと溝を同
一のレーザービームで加工する際、ピット加工時は弱い
レーザーパワーでまた、溝加工時は強いレーザーパワー
で加工を行う為のレーザーパワー制御信号として使用し
ていたものである。しかし、本光ディスク原盤露光装置
では、信号発生器１９より出力されるピット信号及び溝
信号２４を信号分離部２９に於いて、分離化する為に使
用している。信号分離部２９では、レーザーパワー信号
２５を電圧比較器３４で論理化し、ピット信号及び溝信
号２４のゲート３５、３６の条件にしている。これによ
り、同一の１経路で信号発生器１９から入力されるピッ
ト信号及び溝信号２４を、ピット信号２６と、溝信号２
７に分離された２経路で出力させる動作を行っている。
３１、３２は、音響光学光変調器ドライバー１６、１７
を駆動できるレベルの信号２６、２７にする為のアンプ
部である。そして、ピットを加工するレーザービームに
対応する音響光学光変調器６の音響光学光変調器ドライ
バー１６にピット信号２６を入力しまた、溝を加工する
レーザービームに対応する音響光学光変調器７の音響光
学光変調器ドライバー１７に溝信号２７をそれぞれ独立
に入力することが可能となる。
【０００７】図３は、ピット信号及び、溝信号２４と、
分離されたピット信号２６と、分離された溝信号２７
と、データを持つ蛇行溝を加工するための蛇行信号２３
と、レーザーパワー信号２５を論理化した信号３８に関
するタイミングチャートである。まず、ピットを加工す
るレーザービームと、溝を加工するレーザービームをガ
ラス原盤１４上での集光、落射位置を一致させるよう
に、撮像カメラ３３でモニターしながら光偏向、光変調
制御部１８内の加算部２８の可変抵抗器３７により調整
を行う。ピット部分を加工する際、信号分離部２９に於
いて、信号発生器１９から出力されるレーザーパワー信
号２５を論理化した信号３８は「０」になる。そして、
インバーター３９を介して分離されたピット信号２６の
ゲート３５を開とさせ、アンプ部３１からは信号発生器
１９から出力される信号と同じパターンの信号を出力す
る。その時、分離された溝信号２７のゲート３６は閉と
なり、分離された溝信号２７はアンプ部３２から出力さ
れない。従って、ピットを加工するレーザービームは、
音響光学光変調器６により信号発生器１９から出力され
る信号に応じて変調される。一方、溝を加工するレーザ
ービームは、音響光学光変調器７によりオフされる。そ
の為、ガラス原盤１４へはピットを加工するレーザービ
ームのみが集光、落射され、溝を加工するレーザービー
ムは落射されない。引きつづき、溝部分を加工する際、
レーザーパワー信号２５を論理化した信号３８は「１」
になる。そして、インバーターを介して分離されたピッ
ト信号２６のゲート３５を閉とさせ、分離されたピット
信号２６は、アンプ部３１から出力されない。その時、
分離された溝信号２７のゲート３６は、開となり信号発
生器１９から出力される信号と同じパターンの信号をア
ンプ部３２から出力する。従って、ピットを加工するレ
ーザービームは、音響光学光変調器６によりオフされ
る。一方、溝を加工するレーザービームは、音響光学光
変調器７により信号発生器１９から出力される信号に応
じて変調される。その為、ガラス原盤１４へは、溝を加
工するレーザービームのみが集光、落射され、ピットを
加工するレーザービームは落射されない。更に、信号発
生器１９から、溝をデータを持つ蛇行溝にする為の蛇行
信号２３も、溝を加工すると同時に出力される。従っ
て、光偏向、光変調部１８内の加算部２８に入力され
る。加算部２８により、ガラス原盤１４上でピットを加
工するレーザービームと集光、落射位置を一致させた溝
を加工するレーザービームは、集光、落射位置を中心に
信号発生器１９から出力される蛇行信号２３に応じて音
響光学光偏向器９により光偏向され、データに応じた蛇
行溝の加工を施す事となる。尚、本実施例では音響光学
光偏向器を含む光偏向部を溝を加工するレーザービーム
の光路上に１つ設置してあるだけであるが、ピットを加
工するレーザービームの光路上も含め２つのレーザービ
ームの光路上に設置する事も可能である。
分離されたピット信号２６と、分離された溝信号２７
と、データを持つ蛇行溝を加工するための蛇行信号２３
と、レーザーパワー信号２５を論理化した信号３８に関
するタイミングチャートである。まず、ピットを加工す
るレーザービームと、溝を加工するレーザービームをガ
ラス原盤１４上での集光、落射位置を一致させるよう
に、撮像カメラ３３でモニターしながら光偏向、光変調
制御部１８内の加算部２８の可変抵抗器３７により調整
を行う。ピット部分を加工する際、信号分離部２９に於
いて、信号発生器１９から出力されるレーザーパワー信
号２５を論理化した信号３８は「０」になる。そして、
インバーター３９を介して分離されたピット信号２６の
ゲート３５を開とさせ、アンプ部３１からは信号発生器
１９から出力される信号と同じパターンの信号を出力す
る。その時、分離された溝信号２７のゲート３６は閉と
なり、分離された溝信号２７はアンプ部３２から出力さ
れない。従って、ピットを加工するレーザービームは、
音響光学光変調器６により信号発生器１９から出力され
る信号に応じて変調される。一方、溝を加工するレーザ
ービームは、音響光学光変調器７によりオフされる。そ
の為、ガラス原盤１４へはピットを加工するレーザービ
ームのみが集光、落射され、溝を加工するレーザービー
ムは落射されない。引きつづき、溝部分を加工する際、
レーザーパワー信号２５を論理化した信号３８は「１」
になる。そして、インバーターを介して分離されたピッ
ト信号２６のゲート３５を閉とさせ、分離されたピット
信号２６は、アンプ部３１から出力されない。その時、
分離された溝信号２７のゲート３６は、開となり信号発
生器１９から出力される信号と同じパターンの信号をア
ンプ部３２から出力する。従って、ピットを加工するレ
ーザービームは、音響光学光変調器６によりオフされ
る。一方、溝を加工するレーザービームは、音響光学光
変調器７により信号発生器１９から出力される信号に応
じて変調される。その為、ガラス原盤１４へは、溝を加
工するレーザービームのみが集光、落射され、ピットを
加工するレーザービームは落射されない。更に、信号発
生器１９から、溝をデータを持つ蛇行溝にする為の蛇行
信号２３も、溝を加工すると同時に出力される。従っ
て、光偏向、光変調部１８内の加算部２８に入力され
る。加算部２８により、ガラス原盤１４上でピットを加
工するレーザービームと集光、落射位置を一致させた溝
を加工するレーザービームは、集光、落射位置を中心に
信号発生器１９から出力される蛇行信号２３に応じて音
響光学光偏向器９により光偏向され、データに応じた蛇
行溝の加工を施す事となる。尚、本実施例では音響光学
光偏向器を含む光偏向部を溝を加工するレーザービーム
の光路上に１つ設置してあるだけであるが、ピットを加
工するレーザービームの光路上も含め２つのレーザービ
ームの光路上に設置する事も可能である。
【０００８】
【発明の効果】本発明の光ディスク原盤露光装置は、同
一螺旋上のトラックに特性の異なった２種類の信号パタ
ーンであるピットと溝を有する光ディスク原盤を、レー
ザービームにより光学的に加工する工程に於いて、ピッ
トを加工するレーザービームと溝を加工するレーザービ
ームの２つのレーザービームを用いそれぞれ独立に光学
変調を行い更に、ピットと溝を同一トラック上に存在さ
せるため、音響光学光偏向器を用いて、２つのレーザー
ビームをガラス原盤上で集光、落射位置を一致させるこ
とにより、ピット及び溝の適正な電気特性を非常に容易
に得ることができるといった効果がある装置である。ま
た、２つのレーザービーム径及び、レーザーパワーを独
立に制御することによりピットと溝の電気特性を互いに
影響することなく制御できるといった効果がある装置で
ある。更に、２つのレーザービームをガラス原盤上で集
光、落射位置を一致させる為に音響光学光偏向器を用い
ることにより、光学治具の機械的な調整によりガラス原
盤上で集光、落射位置を一致させるより高精度で容易に
かつ安全に調整が行えるといった効果がある装置であ
る。
一螺旋上のトラックに特性の異なった２種類の信号パタ
ーンであるピットと溝を有する光ディスク原盤を、レー
ザービームにより光学的に加工する工程に於いて、ピッ
トを加工するレーザービームと溝を加工するレーザービ
ームの２つのレーザービームを用いそれぞれ独立に光学
変調を行い更に、ピットと溝を同一トラック上に存在さ
せるため、音響光学光偏向器を用いて、２つのレーザー
ビームをガラス原盤上で集光、落射位置を一致させるこ
とにより、ピット及び溝の適正な電気特性を非常に容易
に得ることができるといった効果がある装置である。ま
た、２つのレーザービーム径及び、レーザーパワーを独
立に制御することによりピットと溝の電気特性を互いに
影響することなく制御できるといった効果がある装置で
ある。更に、２つのレーザービームをガラス原盤上で集
光、落射位置を一致させる為に音響光学光偏向器を用い
ることにより、光学治具の機械的な調整によりガラス原
盤上で集光、落射位置を一致させるより高精度で容易に
かつ安全に調整が行えるといった効果がある装置であ
る。
【図１】 本発明の光ディスク原盤露光装置を示すブロ
ック図。
ック図。
【図２】 本発明の光偏向、光変調部と信号発生器を示
すブロック図。
すブロック図。
【図３】 本発明の各信号のタイミングチャート。
【符号の説明】 １ レーザー装置 ２ レーザーパワー制御部 ３ ビームスプリッター ４ レーザービーム ５ レーザービーム ６ 音響光学光変調器 ７ 音響光学光変調器 ８ シリンドリカルレンズ ９ 音響光学光偏向器 １０ シリンドリカルレンズ １１ ビームスプリッター １２ ミラー １３ 光ヘッド １４ ガラス原盤 １５ 音響光学光偏向器ドライバー １６ 音響光学光変調器ドライバー １７ 音響光学光変調器ドライバー １８ 光偏向、光変調制御部 １９ 信号発生器 ２０ 可変抵抗器 ２１ 可変抵抗器 ２２ 音響光学光偏向器ドライバー駆動信号 ２３ 蛇行信号 ２４ ピット及び、溝信号 ２５ レーザーパワー信号 ２６ 分離されたピット信号 ２７ 分離された溝信号 ２８ 加算部 ２９ 信号分離部 ３０ アンプ部 ３１ アンプ部 ３２ アンプ部 ３３ 撮像カメラ ３４ 電圧比較器 ３５ ピット信号ゲート ３６ 溝信号ゲート ３７ 可変抵抗器 ３８ レーザーパワー信号論理化信号 ３９ インバーター
Claims (1)
- 【請求項１】 感光材料が均一に塗布されたガラス原盤
にレーザービームを集光、落射させ光学的に加工し製作
する光ディスク原盤露光装置において、特に同一螺旋上
のトラックに特性の異なった２種類の信号パターンを有
する光ディスク原盤露光装置に関するもので、１つめの
信号パターンを加工するレーザービームと、特性の異な
ったもう１つの信号パターンを加工するレーザービーム
を音響光学光偏向器によりガラス原盤上での集光、落射
位置を一致させ更に、フォーマット用の信号発生器の一
経路から出力される１つめのパターン信号と特性の異な
るもう１つのパターン信号を分離し、それぞれ２つのレ
ーザービームに対応した音響光学光変調器により変調す
る機能を備えたことを特徴とする光ディスク原盤露光装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5235095A JPH0793827A (ja) | 1993-09-21 | 1993-09-21 | 光ディスク原盤露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5235095A JPH0793827A (ja) | 1993-09-21 | 1993-09-21 | 光ディスク原盤露光装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0793827A true JPH0793827A (ja) | 1995-04-07 |
Family
ID=16980991
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5235095A Pending JPH0793827A (ja) | 1993-09-21 | 1993-09-21 | 光ディスク原盤露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0793827A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010224544A (ja) * | 2005-11-04 | 2010-10-07 | Orc Mfg Co Ltd | レーザビーム露光装置およびその方法 |
-
1993
- 1993-09-21 JP JP5235095A patent/JPH0793827A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010224544A (ja) * | 2005-11-04 | 2010-10-07 | Orc Mfg Co Ltd | レーザビーム露光装置およびその方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3150850B2 (ja) | 光磁気ディスク原盤の製造方法 | |
| CN111958108A (zh) | 一种用于激光加工的声光双焦点镜头及激光加工系统 | |
| JPH0793827A (ja) | 光ディスク原盤露光装置 | |
| BR9605836A (pt) | Processo para controlar um feixe de energia radiante que é dirigido sobre um suporte aparelho para controlar um ponto focal de um feixe de luz focalizado | |
| JPH10308033A (ja) | 光ディスク原盤の露光方法 | |
| JP2540582B2 (ja) | 光ディスク用マスタ―原盤の作成方法 | |
| JPH0447535A (ja) | 光学的記録方法 | |
| JPS6348085B2 (ja) | ||
| JP2001138077A (ja) | 自由曲面加工方法および装置および光学素子 | |
| JPS6114575B2 (ja) | ||
| JPS59178635A (ja) | 光学的記録装置 | |
| JPH04195937A (ja) | 光学式記録装置 | |
| JPH0785508A (ja) | 光ディスク原盤の製造方法及びその露光装置 | |
| JP2748894B2 (ja) | 露光装置 | |
| JPH10334503A (ja) | 光ディスク原盤の露光装置 | |
| JPH0676389A (ja) | 円盤状記録媒体及びその製造方法 | |
| JPH0793828A (ja) | 光ディスク原盤露光方法 | |
| KR100186292B1 (ko) | 광디스크 스탬퍼 제조를 위한 노광방법 및 그 장치 | |
| JPH05159402A (ja) | 光学式記録装置 | |
| JPH10293931A (ja) | 露光装置 | |
| JPH02252133A (ja) | サンプルサーボ方式の光ディスク原盤露光装置 | |
| JPH058498B2 (ja) | ||
| JPS63191319A (ja) | 光学式記録再生装置 | |
| JPH04362549A (ja) | 光ディスク原盤露光装置 | |
| JPH04163742A (ja) | 光ディスク原盤露光装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 4 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071205 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 5 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081205 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091205 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091205 Year of fee payment: 6 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 6 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091205 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 7 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101205 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 7 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101205 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111205 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 9 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121205 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |