JPH0792385B2 - 表面粗さ測定装置 - Google Patents
表面粗さ測定装置Info
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- JPH0792385B2 JPH0792385B2 JP27734191A JP27734191A JPH0792385B2 JP H0792385 B2 JPH0792385 B2 JP H0792385B2 JP 27734191 A JP27734191 A JP 27734191A JP 27734191 A JP27734191 A JP 27734191A JP H0792385 B2 JPH0792385 B2 JP H0792385B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は表面粗さ測定装置、特に
粗さパラメータの演算機構の改良に関する。
粗さパラメータの演算機構の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】被測定物の表面粗さを評価する装置とし
て表面粗さ測定装置が周知であり、該表面粗さ測定装置
は被測定物表面よりその凹凸を検出する検出手段と、該
検出手段より得られた凹凸情報に基づき表面粗さを適切
に表現するパラメータを出力するパラメータ演算手段と
を備えている。
て表面粗さ測定装置が周知であり、該表面粗さ測定装置
は被測定物表面よりその凹凸を検出する検出手段と、該
検出手段より得られた凹凸情報に基づき表面粗さを適切
に表現するパラメータを出力するパラメータ演算手段と
を備えている。
【０００３】すなわち、検出手段より得られた凹凸情報
をそのまま表示するのみでは、単に表面状態を示す粗さ
曲線が得られるのみであり、その表面粗さを適切に把握
することができない。
をそのまま表示するのみでは、単に表面状態を示す粗さ
曲線が得られるのみであり、その表面粗さを適切に把握
することができない。
【０００４】そこで、従来より粗さパラメータとして、
粗さ曲線とその中心線までの偏差の絶対値の平均である
中心線平均値、最も高い山頂から最も深い谷底までの高
さ方向の距離である最大高さなどを用い、被測定物の表
面粗さを適切に表現することが試みられていた。
粗さ曲線とその中心線までの偏差の絶対値の平均である
中心線平均値、最も高い山頂から最も深い谷底までの高
さ方向の距離である最大高さなどを用い、被測定物の表
面粗さを適切に表現することが試みられていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来の表面
粗さ測定装置は、検出した断面曲線もしくは粗さ曲線を
二次元データとして処理することを原則としており、し
かも粗さパラメータの演算に際しては曲線全区間を対象
とした唯一の値を出力するものである。しかし、現実の
測定対象面における粗さパラメータ値の分布は、通常そ
の評価領域の長さ、つまりいわゆるサンプルの大きさに
よって大きく変化することが知られており、この点に対
してより妥当な測定を行なうためには、この評価領域の
大きさと粗さパラメータの相関を考慮したデータ処理を
併用することが必要である。
粗さ測定装置は、検出した断面曲線もしくは粗さ曲線を
二次元データとして処理することを原則としており、し
かも粗さパラメータの演算に際しては曲線全区間を対象
とした唯一の値を出力するものである。しかし、現実の
測定対象面における粗さパラメータ値の分布は、通常そ
の評価領域の長さ、つまりいわゆるサンプルの大きさに
よって大きく変化することが知られており、この点に対
してより妥当な測定を行なうためには、この評価領域の
大きさと粗さパラメータの相関を考慮したデータ処理を
併用することが必要である。
【０００６】一方、近年三次元粗さ測定装置として断面
曲線もしくは粗さ曲線をそれらの抽出断面に垂直な方向
の配列として検出し得るものも見受けられ、その粗さパ
ラメータの演算機能は、配列曲線群を構成する各々を個
別的に扱って前記同様の処理を行なうものと、全曲線を
一群の三次元データとして統計的に処理するものがあ
る。
曲線もしくは粗さ曲線をそれらの抽出断面に垂直な方向
の配列として検出し得るものも見受けられ、その粗さパ
ラメータの演算機能は、配列曲線群を構成する各々を個
別的に扱って前記同様の処理を行なうものと、全曲線を
一群の三次元データとして統計的に処理するものがあ
る。
【０００７】しかしながら、三次元粗さ測定装置におい
ても断面曲線を二次元データとして処理する表面粗さ測
定装置と同様に、粗さパラメータの値は評価領域の面積
の大きさによって大きく変化し、この粗さパラメ−タの
値の変化を考慮したパラメータ演算が三次元パラメ−タ
に関しても行なわれていなかった。本発明は前記従来技
術の課題に鑑みなされたものであり、その目的は評価領
域の大きさを所望により拡大、縮小して粗さパラメータ
を得ることのできる表面粗さ測定装置を提供することに
ある。
ても断面曲線を二次元データとして処理する表面粗さ測
定装置と同様に、粗さパラメータの値は評価領域の面積
の大きさによって大きく変化し、この粗さパラメ−タの
値の変化を考慮したパラメータ演算が三次元パラメ−タ
に関しても行なわれていなかった。本発明は前記従来技
術の課題に鑑みなされたものであり、その目的は評価領
域の大きさを所望により拡大、縮小して粗さパラメータ
を得ることのできる表面粗さ測定装置を提供することに
ある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に本発明にかかる表面粗さ測定装置は、表面粗さ検出手
段と、検出位置制御手段と、検出信号記憶手段と、パラ
メータ演算表示手段とを備える。そして、表面粗さ検出
手段は、被測定物の表面粗さを検出する。また、検出位
置制御手段は、該表面粗さ検出手段の検出走査開始の位
置を被測定面の基準点に位置させ、該基準点より表面粗
さ検出手段を所定範囲で走査する。検出信号記憶手段
は、被測定面の特定の部位の位置とその部位における表
面粗さの検出デ−タを対応付けて記憶する。
に本発明にかかる表面粗さ測定装置は、表面粗さ検出手
段と、検出位置制御手段と、検出信号記憶手段と、パラ
メータ演算表示手段とを備える。そして、表面粗さ検出
手段は、被測定物の表面粗さを検出する。また、検出位
置制御手段は、該表面粗さ検出手段の検出走査開始の位
置を被測定面の基準点に位置させ、該基準点より表面粗
さ検出手段を所定範囲で走査する。検出信号記憶手段
は、被測定面の特定の部位の位置とその部位における表
面粗さの検出デ−タを対応付けて記憶する。
【０００９】パラメータ演算表示手段は、前記記憶手段
に記憶された表面粗さデータ及びその座標値に基づき、
前記表面粗さ検出手段の検出走査する全領域と同一もし
くは小さく設定された評価領域を、所望により拡張ない
し縮小し、それぞれの評価領域に対応する検出データ及
び必要に応じて該位置の座標値を演算し、評価領域毎の
パラメータ値を算出して表示する。
に記憶された表面粗さデータ及びその座標値に基づき、
前記表面粗さ検出手段の検出走査する全領域と同一もし
くは小さく設定された評価領域を、所望により拡張ない
し縮小し、それぞれの評価領域に対応する検出データ及
び必要に応じて該位置の座標値を演算し、評価領域毎の
パラメータ値を算出して表示する。
【００１０】
【作用】本発明にかかる表面粗さ測定装置は、表面粗さ
データを一時的にその位置と対応付けて、検出信号記憶
手段が記憶する。そして、パラメータ演算表示手段は、
検出走査範囲と同一もしくはそれより小さく設定された
評価領域を、拡大、または縮小して、その評価領域毎の
パラメータ値を求めるので、その拡大または縮小した評
価領域の大きさと粗さパラメータの相関関係を算出す
る。
データを一時的にその位置と対応付けて、検出信号記憶
手段が記憶する。そして、パラメータ演算表示手段は、
検出走査範囲と同一もしくはそれより小さく設定された
評価領域を、拡大、または縮小して、その評価領域毎の
パラメータ値を求めるので、その拡大または縮小した評
価領域の大きさと粗さパラメータの相関関係を算出す
る。
【００１１】
【実施例】以下、図面に基づき本発明の好適な実施例を
説明する。なお、本発明は実施例に限定されるものでは
ない。図１には本発明の一実施例にかかる表面粗さ測定
装置の概略構成が示されている。
説明する。なお、本発明は実施例に限定されるものでは
ない。図１には本発明の一実施例にかかる表面粗さ測定
装置の概略構成が示されている。
【００１２】同図に示す表面粗さ測定装置１０は、プロ
ーブを被測定物表面に移動させ、その表面粗さを検出す
る接触式表面粗さ測定装置であり、ベース１２上に立設
された支柱１４と、該支柱１４に支持された表面粗さ検
出手段１６とを備える。そして、前記支柱１４にはアー
ム１８が上下動可能に支持され、更にアーム１８には移
動部材２０がＸ方向に移動可能に支持されている。前記
表面粗さ検出手段１６は移動部材２０に固定され、モー
タ２２を駆動させて移動部材２０をＸ方向に移動させる
ことにより、該表面粗さ検出手段１６のＸ方向への移動
を可能としている。
ーブを被測定物表面に移動させ、その表面粗さを検出す
る接触式表面粗さ測定装置であり、ベース１２上に立設
された支柱１４と、該支柱１４に支持された表面粗さ検
出手段１６とを備える。そして、前記支柱１４にはアー
ム１８が上下動可能に支持され、更にアーム１８には移
動部材２０がＸ方向に移動可能に支持されている。前記
表面粗さ検出手段１６は移動部材２０に固定され、モー
タ２２を駆動させて移動部材２０をＸ方向に移動させる
ことにより、該表面粗さ検出手段１６のＸ方向への移動
を可能としている。
【００１３】また、アーム１８は支柱に平行に設置され
たボールネジ２４に螺合されており、モータ２６により
ボールネジ２４を回転駆動することにより、該アーム１
８（すなわち表面粗さ検出手段１６）をＺ方向に移動さ
せることができる。一方、ベース１２上にはＹ方向に移
動可能なテーブル２８が載置されており、該テーブル２
８はモータ３０の回転駆動によりＹ方向に移動する。こ
の結果、表面粗さ検出手段１６をＸないしＺ方向に移動
し、テーブル２８をＹ方向に移動させることで、テーブ
ル２８上に載置された被測定物３２と表面粗さ検出手段
１６との相対位置を三方向で設定することができる。
たボールネジ２４に螺合されており、モータ２６により
ボールネジ２４を回転駆動することにより、該アーム１
８（すなわち表面粗さ検出手段１６）をＺ方向に移動さ
せることができる。一方、ベース１２上にはＹ方向に移
動可能なテーブル２８が載置されており、該テーブル２
８はモータ３０の回転駆動によりＹ方向に移動する。こ
の結果、表面粗さ検出手段１６をＸないしＺ方向に移動
し、テーブル２８をＹ方向に移動させることで、テーブ
ル２８上に載置された被測定物３２と表面粗さ検出手段
１６との相対位置を三方向で設定することができる。
【００１４】前記各モータ２２，２６，３０は、それぞ
れドライバー４０，４２，４４を介して各軸方向駆動制
御部３４，３６，３８により駆動制御されている。ま
た、各モータ２２，２６，３０は、その駆動量を検出す
るロータリーエンコーダ２３，２７，３１を備えてお
り、各エンコーダ２３，２７，３１の出力は各軸方向駆
動制御部３４，３６，３８にフィードバックされる。従
って、検出位置制御手段４６が各駆動制御部３４，３
６，３８に指示することで、表面粗さ検出手段１６を所
望の位置に位置決めする。そして、例えばＹ方向の位置
及びＺ方向の位置を基準の位置に設定し、Ｘ方向に表面
粗さ検出手段１６をスライド移動することで、該Ｙ方向
の位置座標における表面粗さを測定し、更にＹ方向の位
置をずらして同様の操作を繰返すことで、被測定物３２
の被測定面の表面粗さ信号を得ることができる。
れドライバー４０，４２，４４を介して各軸方向駆動制
御部３４，３６，３８により駆動制御されている。ま
た、各モータ２２，２６，３０は、その駆動量を検出す
るロータリーエンコーダ２３，２７，３１を備えてお
り、各エンコーダ２３，２７，３１の出力は各軸方向駆
動制御部３４，３６，３８にフィードバックされる。従
って、検出位置制御手段４６が各駆動制御部３４，３
６，３８に指示することで、表面粗さ検出手段１６を所
望の位置に位置決めする。そして、例えばＹ方向の位置
及びＺ方向の位置を基準の位置に設定し、Ｘ方向に表面
粗さ検出手段１６をスライド移動することで、該Ｙ方向
の位置座標における表面粗さを測定し、更にＹ方向の位
置をずらして同様の操作を繰返すことで、被測定物３２
の被測定面の表面粗さ信号を得ることができる。
【００１５】この表面粗さ検出結果はＡ／Ｄ変換器４８
によりデジタル信号に変換され、その検出座標に対応し
て検出信号記憶手段５０に記憶される。ここで、記憶手
段５０はＲＡＭからなり、図２に模式的に示されるよう
に各デジタル信号はその信号の得られた座標（ｘ，ｙ）
に対応してＺxyの形態でマトリックス状に記憶される。
すなわち、一度目の走査Ｌに対応してＺ11，Ｚ21、…Ｚ
m1が得られ、さらに二度目の走査に対応してＺ12，
Ｚ22、…Ｚm2、…ｎ度目の走査に対応してＺ1n，Ｚ2n、
…Ｚmnが得られ、それぞれ被測定面の座標に対応した記
憶エリアに記憶される。なお、測定範囲が広い場合等デ
ータ量が著しく多い場合には、記憶手段５０としてフロ
ッピーディスク或いはハードディスク等の外部記憶装置
を用いることも可能である。そして、検出信号記憶手段
５０からの表面粗さ情報に基づき、パラメータ演算手段
５２がパラメータ演算を行ない、表示手段５４へ所望の
表示形式で表面粗さパラメータの表示を行なう。
によりデジタル信号に変換され、その検出座標に対応し
て検出信号記憶手段５０に記憶される。ここで、記憶手
段５０はＲＡＭからなり、図２に模式的に示されるよう
に各デジタル信号はその信号の得られた座標（ｘ，ｙ）
に対応してＺxyの形態でマトリックス状に記憶される。
すなわち、一度目の走査Ｌに対応してＺ11，Ｚ21、…Ｚ
m1が得られ、さらに二度目の走査に対応してＺ12，
Ｚ22、…Ｚm2、…ｎ度目の走査に対応してＺ1n，Ｚ2n、
…Ｚmnが得られ、それぞれ被測定面の座標に対応した記
憶エリアに記憶される。なお、測定範囲が広い場合等デ
ータ量が著しく多い場合には、記憶手段５０としてフロ
ッピーディスク或いはハードディスク等の外部記憶装置
を用いることも可能である。そして、検出信号記憶手段
５０からの表面粗さ情報に基づき、パラメータ演算手段
５２がパラメータ演算を行ない、表示手段５４へ所望の
表示形式で表面粗さパラメータの表示を行なう。
【００１６】次に本発明において特徴的なパラメータ演
算方式について説明する。まず、本実施例における最も
基本的な例として、一走査範囲（二次元）について順次
評価領域を変更する方式について説明する。図３に示す
ように、表面粗さ検出手段１６の触針５６は、所定Ｙ座
標上でＸ方向に一単位測定当たり被測定物３２の表面を
距離Ｌだけ走査する。従って、表面粗さデータとしては
図４に示すような断面曲線が得られる。
算方式について説明する。まず、本実施例における最も
基本的な例として、一走査範囲（二次元）について順次
評価領域を変更する方式について説明する。図３に示す
ように、表面粗さ検出手段１６の触針５６は、所定Ｙ座
標上でＸ方向に一単位測定当たり被測定物３２の表面を
距離Ｌだけ走査する。従って、表面粗さデータとしては
図４に示すような断面曲線が得られる。
【００１７】次に、測定者が任意に設定した評価領域Ｌ
v毎に表面粗さパラメータＲを算出する。すなわち、図
４において、基準点０を設定し、さらに該基準点０より
基準評価領域としてＬv0を設定する。そして、基準点０
を一端とした評価領域を順次延長し、評価領域Ｌv1、Ｌ
v2…Ｌvnを得る。ここで、評価領域Ｌv0で検出データＺ
11，Ｚ21，Ｚ31より粗さパラメータＲ0を算出した場
合、例えば評価領域Ｌv1では検出データＺ11，Ｚ21，Ｚ
31，Ｚ41より粗さパラメータＲ1を算出し、評価領域Ｌ
vnでは検出データＺ11，Ｚ21…Ｚn1より粗さパラメータ
Ｒnを得る。
v毎に表面粗さパラメータＲを算出する。すなわち、図
４において、基準点０を設定し、さらに該基準点０より
基準評価領域としてＬv0を設定する。そして、基準点０
を一端とした評価領域を順次延長し、評価領域Ｌv1、Ｌ
v2…Ｌvnを得る。ここで、評価領域Ｌv0で検出データＺ
11，Ｚ21，Ｚ31より粗さパラメータＲ0を算出した場
合、例えば評価領域Ｌv1では検出データＺ11，Ｚ21，Ｚ
31，Ｚ41より粗さパラメータＲ1を算出し、評価領域Ｌ
vnでは検出データＺ11，Ｚ21…Ｚn1より粗さパラメータ
Ｒnを得る。
【００１８】そして、この評価領域の大きさと粗さパラ
メータの相関は、例えば図５に示すように表示される。
また、本発明において評価領域を面状に設定、拡張する
ことも可能である。すなわち、一単位のＸ方向走査が終
了した後に、Ｙ座標を一単位移動し、更に同様に被測定
物３２の表面をＸ方向に距離Ｌだけ走査する操作を繰返
す。この結果、表面粗さデータとしては図６に示すよう
に、Ｘ−Ｙ面に対応した被測定面について、複数の断面
曲線を得ることができる。そして、評価領域を前記Ｌvn
に対応して、Ｘ，Ｙ座標で規定される平面評価領域
Ａv0，Ａv1…Ａvk…Ａnとして設定する。この結果、例
えばＡv0に対応して前記図２のＺ11，Ｚ21，Ｚ12，Ｚ22
を基にパラメータＲ0を算出し、さらにＡv1に対応して
Ｚ11，Ｚ21，Ｚ31，Ｚ12，Ｚ22，Ｚ32，Ｚ13，Ｚ23，Ｚ
33を基にパラメータＲ1を算出するように、順次パラメ
ータ算出の基となる検出データの採取域を拡大してい
く。このようにして、面状の評価領域の大きさとパラメ
ータの相関関係を算出することができる。図７，図８に
は本実施例にかかる表面粗さ測定装置の作動状態を示す
フローチャート図が示されている。同図に示すように、
まず触針５６のＸ軸方向測定距離Ｌを設定し、更に所定
Ｙ軸座標値でのＸ軸方向への走査が終了した後にＹ軸方
向へ移動させる駆動ピッチＰ及びＹ軸方向への駆動回数
Ｎ（被測定面上で何本の断面曲線を得るか）を設定す
る。
メータの相関は、例えば図５に示すように表示される。
また、本発明において評価領域を面状に設定、拡張する
ことも可能である。すなわち、一単位のＸ方向走査が終
了した後に、Ｙ座標を一単位移動し、更に同様に被測定
物３２の表面をＸ方向に距離Ｌだけ走査する操作を繰返
す。この結果、表面粗さデータとしては図６に示すよう
に、Ｘ−Ｙ面に対応した被測定面について、複数の断面
曲線を得ることができる。そして、評価領域を前記Ｌvn
に対応して、Ｘ，Ｙ座標で規定される平面評価領域
Ａv0，Ａv1…Ａvk…Ａnとして設定する。この結果、例
えばＡv0に対応して前記図２のＺ11，Ｚ21，Ｚ12，Ｚ22
を基にパラメータＲ0を算出し、さらにＡv1に対応して
Ｚ11，Ｚ21，Ｚ31，Ｚ12，Ｚ22，Ｚ32，Ｚ13，Ｚ23，Ｚ
33を基にパラメータＲ1を算出するように、順次パラメ
ータ算出の基となる検出データの採取域を拡大してい
く。このようにして、面状の評価領域の大きさとパラメ
ータの相関関係を算出することができる。図７，図８に
は本実施例にかかる表面粗さ測定装置の作動状態を示す
フローチャート図が示されている。同図に示すように、
まず触針５６のＸ軸方向測定距離Ｌを設定し、更に所定
Ｙ軸座標値でのＸ軸方向への走査が終了した後にＹ軸方
向へ移動させる駆動ピッチＰ及びＹ軸方向への駆動回数
Ｎ（被測定面上で何本の断面曲線を得るか）を設定す
る。
【００１９】そして測定開始スイッチをＯＮすると、検
出手段１６の触針５６がＺ軸方向に降下し、原点位置合
せを行なった後、第一回目のＸ軸方向走査が行なわれ
る。そして、検出手段１６からの信号Ｚijをピッチｐ毎
に採取して検出信号記憶手段５０に記憶し、距離Ｌの走
査が終了すると、検出手段１６をＸ方向原点位置に復帰
させる。
出手段１６の触針５６がＺ軸方向に降下し、原点位置合
せを行なった後、第一回目のＸ軸方向走査が行なわれ
る。そして、検出手段１６からの信号Ｚijをピッチｐ毎
に採取して検出信号記憶手段５０に記憶し、距離Ｌの走
査が終了すると、検出手段１６をＸ方向原点位置に復帰
させる。
【００２０】次に検出手段１６をＹ軸方向にピッチＰだ
け移動させ、同様の走査を繰返し、走査回数がＮとなっ
たらば測定走査を終了する。ここで必要により測定手段
１６の上昇、検出信号の表示を行なう。
け移動させ、同様の走査を繰返し、走査回数がＮとなっ
たらば測定走査を終了する。ここで必要により測定手段
１６の上昇、検出信号の表示を行なう。
【００２１】次に所望パラメータの演算を行なうため、
検出信号記憶手段５０内で最大評価領域（Ｌvn，
Ａvn）、評価領域設定の基準位置０、基準評価領域（Ｌ
v0，Ａv0）、評価領域の拡大・縮小方式ｆL(k)，ｆ
A(k)、及び目的とするパラメータＲを設定する。そし
て、パラメータ演算スイッチをＯＮにすると、順次評価
領域（Ｌk，Ａk）が算定され、該評価領域に対応する検
出データＺよりパラメータＲkが算出される。
検出信号記憶手段５０内で最大評価領域（Ｌvn，
Ａvn）、評価領域設定の基準位置０、基準評価領域（Ｌ
v0，Ａv0）、評価領域の拡大・縮小方式ｆL(k)，ｆ
A(k)、及び目的とするパラメータＲを設定する。そし
て、パラメータ演算スイッチをＯＮにすると、順次評価
領域（Ｌk，Ａk）が算定され、該評価領域に対応する検
出データＺよりパラメータＲkが算出される。
【００２２】全てのパラメータの演算が終了したらば、
各パラメータが得られた評価領域の長さ及び広さと対応
させて表示手段上にパラメータを二次元的ないし三次元
的に出力する。以上説明したように本実施例の表面粗さ
測定装置によれば、被測定物のＸ，Ｙ平面上の表面粗さ
と、その評価領域の大きさとの相関関係についての情報
を得ることが可能となる。
各パラメータが得られた評価領域の長さ及び広さと対応
させて表示手段上にパラメータを二次元的ないし三次元
的に出力する。以上説明したように本実施例の表面粗さ
測定装置によれば、被測定物のＸ，Ｙ平面上の表面粗さ
と、その評価領域の大きさとの相関関係についての情報
を得ることが可能となる。
【００２３】なお、本発明において図９ないし図１０に
示すように評価領域の基準点０を検出領域の中心点等に
置き、Ｘ，Ｙ各方向に評価領域を拡張するようにしても
よい。
示すように評価領域の基準点０を検出領域の中心点等に
置き、Ｘ，Ｙ各方向に評価領域を拡張するようにしても
よい。
【００２４】以上説明したように本発明によれば、被測
定面より検出した表面形状データ（二次元ないし三次
元）から粗さパラメータを求める場合に、その評価領域
（二次元ならば直線領域の区間、三次元なら平面領域）
の大きさを拡大ないし縮小させながら、その都度粗さパ
ラメータを求められるので、評価領域の大きさと粗さパ
ラメータの関係を明確にグラフ等の表示形態で提供する
ことができる。なお、評価領域の拡大又は縮小の割合
は、測定者が所望により決定する。
定面より検出した表面形状データ（二次元ないし三次
元）から粗さパラメータを求める場合に、その評価領域
（二次元ならば直線領域の区間、三次元なら平面領域）
の大きさを拡大ないし縮小させながら、その都度粗さパ
ラメータを求められるので、評価領域の大きさと粗さパ
ラメータの関係を明確にグラフ等の表示形態で提供する
ことができる。なお、評価領域の拡大又は縮小の割合
は、測定者が所望により決定する。
【００２５】
【発明の効果】以上説明したように本発明にかかる表面
粗さ測定装置によれば、被測定物の表面粗さデータをそ
の座標値と対応させて記憶する検出信号記憶手段、及び
検出信号記憶手段に記憶された表面粗さデータ及びその
座標値に基づき、所望の評価領域の大きさでパラメータ
値を求めるパラメータ演算表示手段を備えたので、評価
領域の大きさと粗さパラメータの相関関係を明確に把握
することが可能となり、これによって評価領域の大きさ
に影響の受けることがより少ない妥当な表面粗さ測定が
できるという効果が得られている。
粗さ測定装置によれば、被測定物の表面粗さデータをそ
の座標値と対応させて記憶する検出信号記憶手段、及び
検出信号記憶手段に記憶された表面粗さデータ及びその
座標値に基づき、所望の評価領域の大きさでパラメータ
値を求めるパラメータ演算表示手段を備えたので、評価
領域の大きさと粗さパラメータの相関関係を明確に把握
することが可能となり、これによって評価領域の大きさ
に影響の受けることがより少ない妥当な表面粗さ測定が
できるという効果が得られている。
【図１】本発明の一実施例にかかる表面粗さ測定装置の
概略構成の説明図である。
概略構成の説明図である。
【図２】図１に示した装置において、検出信号記憶手段
における信号記憶形態の説明図である。
における信号記憶形態の説明図である。
【図３】図１に示した装置において、表面粗さ検出手段
の作動状態の説明図である。
の作動状態の説明図である。
【図４】図１に示した装置において、二次元評価領域と
断面曲線の関係の一例の説明図である。
断面曲線の関係の一例の説明図である。
【図５】図４に示したデータに基づく粗さパラメータ分
布を示す説明図である。
布を示す説明図である。
【図６】図１に示した装置において、三次元評価領域と
断面曲線の関係の一例の説明図である。
断面曲線の関係の一例の説明図である。
【図７】，
【図８】図１に示した装置の作動状態を示すフローチャ
ート図である。
ート図である。
【図９】，
【図１０】図１に示した装置において、評価領域と断面
曲線の他の関係の説明図である。
曲線の他の関係の説明図である。
１０ 表面粗さ測定装置 １６ 表面粗さ検出手段 ４６ 検出位置制御手段 ５０ 検出信号記憶手段 ５２ パラメータ演算手段 ５４ 表示手段 ５８ パラメータ記憶手段
Claims (1)
- 【請求項１】 被測定物と相対移動してその被測定面の
表面粗さを走査検出する表面粗さ検出手段と、被測定物
が与えられた際に、その被測定面上の特定の点を基準点
として、その基準点から所望一定範囲で前記表面粗さ検
出手段を検出走査させるように、被測定物と表面粗さ検
出手段の相対移動を制御する検出位置制御手段と、被測
定物の表面粗さが得られる際に、被測定面の特定部位と
その特定部位に対応する検出デ−タを対応付けて記憶す
る検出信号記憶手段と、対応付けられて前記記憶手段に
記憶された表面粗さデ−タ及び部位の位置に基づき、前
記表面粗さ検出手段の検出走査する全領域と同一もしく
はそれより小さく設定された評価領域を、拡張又は／及
び縮小し、それぞれの評価領域に対応する検出デ−タ及
び必要に応じて該部位の位置の値を演算し、各評価領域
毎のパラメ−タ値を算出して表示するパラメ−タ演算表
示手段と、を備えたことを特徴とする表面粗さ測定装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27734191A JPH0792385B2 (ja) | 1991-09-27 | 1991-09-27 | 表面粗さ測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27734191A JPH0792385B2 (ja) | 1991-09-27 | 1991-09-27 | 表面粗さ測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0587562A JPH0587562A (ja) | 1993-04-06 |
| JPH0792385B2 true JPH0792385B2 (ja) | 1995-10-09 |
Family
ID=17582178
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27734191A Expired - Fee Related JPH0792385B2 (ja) | 1991-09-27 | 1991-09-27 | 表面粗さ測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0792385B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS51278U (ja) * | 1974-06-12 | 1976-01-05 | ||
| JP5350171B2 (ja) | 2009-10-13 | 2013-11-27 | 株式会社ミツトヨ | オフセット量校正方法および表面性状測定機 |
| JP5378940B2 (ja) * | 2009-10-13 | 2013-12-25 | 株式会社ミツトヨ | 表面性状測定機および表面性状測定方法 |
| JP5350169B2 (ja) | 2009-10-13 | 2013-11-27 | 株式会社ミツトヨ | オフセット量校正方法および表面性状測定機 |
| US8650939B2 (en) | 2009-10-13 | 2014-02-18 | Mitutoyo Corporation | Surface texture measuring machine and a surface texture measuring method |
-
1991
- 1991-09-27 JP JP27734191A patent/JPH0792385B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0587562A (ja) | 1993-04-06 |
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