JP3064111B2 - 比較判別装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、予め測定・記憶されて
いるモデル測定対象物（通常マスターと称される）の測
定データ（基準データ）と、各測定対象物の測定データ
とを比較して、その測定対象物の良否を判別する比較判
別装置に係り、特に、測定子を有するプローブを移動制
御するための構成を改良するとともに、測定対象物の良
否を判別するための判別方法をより簡単にしたものに関
する。

【０００２】

【従来の技術】三次元比較測定装置としては、例えば、
実願平１−２５７５１０号の願書に添付した明細書及び
図面に記載されているようなものがある。これを図８及
び図９を参照して説明する。図８は三次元比較測定装置
の正面図であり、又、図９は同上の側面図である。ま
ず、ベース１０１があり、このベース１０１上には第１
レール１０３、１０３’が設けられていて、これら第１
レール１０３、１０３’上には、Ｘ軸スライダとしての
テーブル１０５が往復動可能に配置されている。テーブ
ル１０５の下面には、図９に示すように、直動ブロック
１０７、１０７’が取付けられていて、これら直動ブロ
ック１０７、１０７’が、上記第１レール１０３、１０
３’に移動可能に係合している。

【０００３】テーブル１０５にはＸ軸駆動装置１０９が
連結されていて、このＸ軸駆動装置１０９を駆動するこ
とにより、テーブル１０５を上記第１レール１０３、１
０３’に沿って往復動させる。テーブル１０５には定盤
１１１が固定されている。この定盤１１１上に測定対象
物１１３、モデル測定対象物１１３’が固定される。ベ
ース１０１上には固定台１１５が取付けられている。固
定台１１５上には直動ブロック１１７、１１７’が設置
されている。これら直動ブロック１１７、１１７’上に
は第２レール１１９、１１９’が係合・配置されてい
る。第２レール１１９、１１９’上には、Ｙ軸スライダ
１２１が固定されていて、このＹ軸スライダ１２１は、
第２レール１１９、１１９’を介して、Ｘ軸に直交する
Ｙ軸方向に往復動する。上記Ｙ軸スライダ１２１を往復
動させるのはＹ軸駆動装置１２３である。

【０００４】Ｙ軸スライダ１２１の前部には、支持台１
２５が固定されていて、この支持台１２５には保持体１
２７を介して、Ｚ軸スライダ１２９がＸ軸及びＹ軸に直
交するＺ軸に往復動可能に取付けられている。上記保持
体１２７には第３レール１３１、１３１’が設けられて
いて、上記Ｚ軸スライダ１２９はこれら第３レール１３
１、１３１’に沿って往復動する。そして、Ｚ軸スライ
ダ１２９を往復動させるのがＺ軸駆動装置１３３であ
る。Ｚ軸スライダ１２９の下端には、プローブ１３５が
取付けられていて、このプローブ１３５は測定子１３７
を備えている。

【０００５】以上の構成を基にその作用を説明する。ま
ず、モデル測定対象物１１３’をテーブル１０５上の定
盤１１１上に載置・固定する。その状態でサンプリング
が行なわれる。すなわち、載置・固定されているモデル
測定対象物１１３’の予め設定されている複数個の測定
点において、プローブ１３５の測定子１３７を複数回当
接させて、そのときの（Ｘ、Ｙ、Ｚ）座標値を読み取る
とともに、それらを平均して基準データを採取する。採
取した基準データは記憶される。

【０００６】次に、測定対象物１１３の測定を開始す
る。まず、測定対象物１１３をテーブル１０５上の定盤
１１１上に載置・固定する。その状態で測定動作をスタ
ートさせて、プローピングと称される動作が行なわれ
る。すなわち、モデル測定対象物１１３’に対して行な
ったサンプリングに相当するものであり、測定対象物１
１３の各測定点において測定子１３７を当接させて、そ
のときの（Ｘ、Ｙ、Ｚ）座標値を読み取り測定データを
採取する。後は、その測定データと予め採取・記憶され
ている基準データとを比較して、測定対象物１１３の良
否を判別していくものである。尚、比較・判別の方法と
しては、採取された測定データと基準データとの差を算
出して、それが予め設定された公差内に有るか否かによ
って良否を判別するものである。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】上記従来の構成による
と次のような問題があった。まず、測定作業に長時間を
要してしまうという問題があった。これは、測定子１３
７を備えたプローブ１３５を移動させるための駆動手段
として、一軸方向に往復動させるＸ軸スライダ機構、Ｙ
軸スライダ機構、Ｚ軸スライダ機構を使用していて、そ
れらを適宜組み合わせることにより、測定子１３７を備
えたプローブ１３５を任意の測定位置に移動させる構成
になっているからであり、測定子１３７を所望の場所ま
で移動させるのに長時間を要してしまうからである。
又、それと同時に、Ｘ軸スライダ機構、Ｙ軸スライダ機
構、Ｚ軸スライダ機構を組み合わせた移動手段の設置ス
ペースとして大きなスペースを必要とするとともに移動
スペースも大きく確保しておく必要があり、省スペース
化を図る上で問題があった。

【０００８】又、従来の場合には、測定対象物１１３の
良否を判別する判別方法として、絶対値データとしての
測定データと基準データとを比較してその差が予め設定
されている公差内に有るか否かによって良否を判別する
方法を採用している。これに対しては、より簡単な方法
で測定対象物１１３の良否を判別したいという要求があ
り、特に、測定対象物１１３がそれ程高い寸法精度を要
しないようなものである場合に顕著であった。

【０００９】本発明はこのような点に基づいてなされた
ものでその目的とするところは、設置スペース及び移動
スペースが小さくて済むとともに測定子を短い時間で所
望の場所まで移動させることができる移動手段を備えて
いて、又、できるだけ簡単な処理で測定対象物の良否を
判別することを可能にした比較判別装置を提供すること
にある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するべく
本願発明による比較判別装置は、モデル測定対象物を所
定の測定位置に載置・固定して該モデル測定対象物にお
ける所定箇所に測定子を当接させて基準データを採取
し、次に、測定対象物を上記所定の測定位置に載置・固
定して該測定対象物における所定箇所に測定子を当接さ
せて測定データを採取し、上記測定データと基準データ
とから測定対象物の良否を判別するように構成した比較
判別装置において、上記測定子を関節型アクチュエータ
に取付けてこの関節型アクチュエータを制御手段によっ
て制御することにより測定子を所望の場所に位置させる
ようにし、上記モデル測定対象物は上限モデル測定対象
物と下限モデル測定対象物の二つであって、これら上限
モデル測定対象物と下限モデル測定対象物を使用して上
限基準データと下限基準データを採取し、測定対象物に
関する測定データが上記上限基準データと下限基準デー
タとの間に有るか否かによって測定対象物の良否を判別
するようにしたことを特徴とするものである。又、請求
項２による比較判別装置は、請求項１記載の比較判別装
置において、関節型アクチュエータに取付けられている
各駆動用サーボモータにはそれぞれの旋回部や揺動部の
旋回角度や揺動角度を検出する専用エンコーダが取付け
られていて、該専用エンコーダの検出値を測定子のモデ
ル測定対象物又は測定対象物に対する当接信号により制
御して、所定の測定位置における旋回角度データや揺動
角度データを採取し、それをそのまま基準データ或いは
測定データとするようにしたことを特徴とするものであ
る。

【００１１】

【作用】本発明による比較判別装置の場合には、測定子
を移動させるための移動手段として関節型アクチュエー
タを使用したものである。関節型アクチュエータの場合
には、従来のＸ−Ｙ−Ｚスライダ機構に比べて少ないス
ペースで設置することができるとともに移動スペースも
小さくてすみ、又、測定子を所望の位置まで移動させる
のに要する時間も短いものである。又、判別方法として
は、上限モデル測定対象物と下限モデル測定対象物の二
つについて上限基準データと下限基準データをとり、測
定データがそれら上限基準データと下限基準データの間
に有るか否かによって良否を判別するようにしている。
この場合には、良否の判別が簡単であるのでそれに要す
るシステムの構築も簡単である。又、データとしては、
関節型アクチュエータの各駆動用サーボモータに旋回部
や揺動部の変位角度を検出するための専用エンコーダを
それぞれ取付けて、それら専用エンコーダからの検出信
号を測定子からの当接信号により制御し、所定の測定位
置における旋回角度データや揺動角度データとして採取
することが考えられる。この場合には、位置データとし
ての絶対値データ、すなわち、（Ｘ、Ｙ、Ｚ）座標値を
算出して比較判別する場合に比べて処理が簡単になり、
それによっても、必要なシステムの構築が簡単になる。

【００１２】

【実施例】以下、図１乃至図５を参照して本発明の一実
施例を説明する。図１乃至図３は本実施例による比較判
別装置の外観及び動作を示す図である。本実施例の場合
には、関節型アクチュエータの一種である水平関節型ア
クチュエータ１を使用して、プローブ３を所望の位置ま
で移動させるように構成している。上記プローブ３には
測定子５が着脱可能に取付けられていて、この測定子５
の先端を測定対象物７、上限モデル測定対象物７’、下
限モデル測定対象物７”における所定の測定位置に当接
させる。

【００１３】上記水平関節型アクチュエータ１は基台９
上に固定されている。以下、この水平関節型アクチュエ
ータ１の構成を詳細に説明する。まず、基台９上にはコ
ラム１１が立設されており、このコラム１１の上端には
第１アーム１３が旋回可能に連結されている。上記第１
アーム１３を旋回させるのが第１サーボモータ１５であ
る。上記第１アーム１３は略Ｌ字状をしていて、その先
端部の下面には旋回ブロック１７が旋回可能に連結され
ている。この旋回ブロック１７を旋回させるのが第２サ
ーボモータ１９である。

【００１４】上記旋回ブロック１７の下側には第２アー
ム２１が揺動可能に取付けられている。この第２アーム
２１を揺動させるのが第３サーボモータ２３である。上
記第２アーム２１の先端には揺動ブロック２５が揺動可
能に連結されている。さらに、上記揺動ブロック２５の
下端には手首筒２７が旋回可能に取付けられている。こ
の手首筒２７を旋回させるのが第４サーボモータ２９で
ある。上記手首筒２７の下端にはプローブヘッド３１が
取付けられていて、このプローブヘッド３１に既に述べ
たプローブ３が着脱可能に取付けられている。

【００１５】上記構成によると、図２にも示すように、
第１アーム１３は第１サーボモータ１５によって、矢印
ａ方向に旋回する。又、旋回ブロック１７は第２サーボ
モータ１９によって、矢印ｂ方向に旋回する。又、第２
アーム２１は第３サーボモータ２３によって矢印ｃ方向
に揺動する。さらに、手首筒２７は第４サーボモータ２
９によって矢印ｄ方向に旋回することになる。又、図２
に仮想線で示す範囲内をカバーすることができ、その範
囲内であれば任意の場所にプローブ３を位置させること
ができる。

【００１６】又、揺動ブロック２５は揺動することによ
り手首筒２７、プローブヘッド３１、ひいては測定子５
を常時同じ姿勢に保持するように機能する。これを実現
するのが、第２アーム２１内に内蔵されているリンク機
構３３である。このリンク機構３３は、上リンク３５と
下リンク３７とから構成されていて、既に述べた第３サ
ーボモータ２３は、下リンク３７に連結されている。こ
れら上リンク３５と下リンク３７の連動作用により、揺
動ブロック２５を矢印ｅ方向に揺動させ、それによっ
て、手首筒２７、プローブヘッド３１、ひいては測定子
５を常時同じ姿勢に保持するものである。その様子を図
３に示す。

【００１７】一方、基台９上には載架台３９が設置され
ていて、既に説明した測定対象物７、上限モデル測定対
象物７’、下限モデル測定対象物７”は、この載架台３
９上に載置・固定されることになる。尚、測定対象物
７、上限モデル測定対象物７’、下限モデル測定対象物
７”としては、種々の形状、大きさのものがあり、図に
示すのはその一例である。

【００１８】上記構成をなす水平関節型アクチュエータ
１は、図４に示す制御手段４１によって制御される。こ
の制御手段４１は、コンピュータ４３、ドライブユニッ
ト４５、グラフィック操作パネル４７、カウンターボー
ド４９等から構成されている。上記コンピュータ４３に
はキーボード５１が接続されているとともに、ディスプ
レイ５３、プリンタ５５が接続されている。又、ドライ
ブユニット４５にはティーチングボックス５７が接続さ
れている。一方、プローブ３からの信号は、インターフ
ェイス５９により増幅・変換されて、カウンターボード
４９に入力され、更に、前記コンピュータ４３及びドラ
イブユニット４５に及ぼされる。尚、制御手段４１にお
いては各機器に電源が供給されることになるがそれを纏
めて電源６１として示す。

【００１９】図４に示すように、第１サーボモータ１
５、第２サーボモータ１９、第３サーボモータ２３、第
４サーボモータ２９には、パルスエンコーダ６３、６
５、６７、６９がそれぞれ設置されている。これらパル
スエンコーダ６３、６５、６７、６９からの信号は、速
度と位置の確認信号として、ドライブユニット４５にフ
ィードバックされる。又、第１サーボモータ１５、第２
サーボモータ１９、第３サーボモータ２３、第４サーボ
モータ２９には、上記パルスエンコーダ６３、６５、６
７、６９とは別に、各旋回部或いは揺動部の変位角度を
検出するための専用エンコーダ６０、６２、６４、６６
が設置されている。これら専用エンコーダ６０、６２、
６４、６６からの検出信号に基づいて、水平関節型アク
チュエータ１の各旋回部或いは揺動部における変位角度
を検出する。その角度データが基準データ或いは測定デ
ータとなる。尚、上記専用エンコーダ６０、６２、６
４、６６からの検出信号を採取する場合には、測定子５
が測定対象物７、上限モデル測定対象物７’、下限モデ
ル測定対象物７”等に当接するプローブ３からの信号に
より、専用エンコーダ６０、６２、６４、６６からカウ
ンターボード４９に伝送された検出信号をホールドする
ことによって行なわれ、コンピュータ４３に記憶される
ことになる。

【００２０】以上の構成を基に図５を参照してその作用
を説明する。まず、上限基準データの採取・記憶から始
める。上限モデル測定対象物７’を載架台３９上に載置
・固定して（シーケンス１）、スタートする（シーケン
ス２）。そして、サンプリングを行なって（シーケンス
３）、データを取り込む（シーケンス４）。次に、平均
値演算を行なって（シーケンス５）、記憶する（シーケ
ンス６）。これで上限モデル測定対象物７’についての
上限基準データの採取・記憶が完了する。

【００２１】尚、上記サンプリングについては従来例の
説明で述べたものと同様のものであり、載置・固定され
ている上限モデル測定対象物７’の予め設定されている
複数個の測定点において、プローブ３の測定子５を複数
回当接させる。その際、水平関節型アクチュエータ１の
各旋回部或いは揺動部の変位角度データを、第１サーボ
モータ１５、第２サーボモータ１９、第３サーボモータ
２３、第４サーボモータ２９に設置されている各専用エ
ンコーダ６０、６２、６４、６６により採取し、場合に
よっては複数回のデータの平均値をとって、これを上限
基準データとするものである。

【００２２】次に、下限モデル測定対象物７”を使用し
て下限基準データを採取する。すなわち、下限モデル測
定対象物７”を取付けて（シーケンス７）、スタートす
る（シーケンス８）。そして、サンプリングを行ない
（シーケンス９）、データを取り込んで（シーケンス１
０）、平均演算し（シーケンス１１）、記憶する（シー
ケンス１２）。これで、下限基準データの採取・記憶が
完了する。尚、上記サンプリングについては上限基準デ
ータを採取する場合と同じものである。

【００２３】次に、測定対象物７について測定を行なう
とともにその良否の判別を行なう。まず、測定対象物７
を取付け（シーケンス１３）、スタートする（シーケン
ス１４）。そして、プロービングを行なって（シーケン
ス１５）、データを取り込む（シーケンス１６）。上記
プロービングについても従来例の説明で述べたものと同
様の内容であり、上記サンプリングに相当するものであ
る。すなわち、測定対象物７の各測定点において測定子
５を当接させることにより、水平関節型アクチュエータ
１の各旋回部或いは揺動部の変位角度データを、第１サ
ーボモータ１５、第２サーボモータ１９、第３サーボモ
ータ２３、第４サーボモータ２９に設置されている各専
用エンコーダ６０、６２、６４、６６により採取してい
き、これを測定データとするものである。

【００２４】次に、測定対象物７の良否の判別を行な
う。まず、測定対象物７の測定データと、上限モデル測
定対象物７’の上限基準データ及び下限モデル測定対象
物７”の下限基準データとの比較を行なう（シーケンス
１７）。すなわち、記憶されている上限基準データの中
から必要なデータ（例えば、所定の測定点におけるデー
タ）を抽出するとともに（シーケンス１８）、記憶され
ている下限基準データの中から必要なデータ（例えば、
上記所定の測定点におけるデータ）を抽出する（シーケ
ンス１９）。そして、所定の測定点の測定データがそれ
ら上限基準データと下限基準データとの間に入っている
か否かを判別する。

【００２５】そして、比較・判別の結果、測定データが
それら上限基準データと下限基準データとの間に入って
いる場合には「ＯＫ」となり、その旨表示されるととも
に（シーケンス１８’）、出力される（シーケンス１
９’）。又、比較・判別の結果、測定データがそれら上
限基準データと下限基準データとの間に入っていない場
合には「ＮＧ」となり、その旨表示されるとともに（シ
ーケンス２０）、出力される（シーケンス２１）。そし
て、各測定点について同様の比較・判別がなされ、それ
に基づいて総合判定が行なわれる（シーケンス２２）。
尚、上記表示は、グラフィック操作パネル４７の必要画
面上に表示されることになる。

【００２６】総合判定の結果、「ＯＫ」である場合に
は、その旨表示されるとともに（シーケンス２３）、出
力される（シーケンス２４）。又、総合判定の結果、
「ＮＧ」である場合には、その旨表示されるとともに
（シーケンス２５）、出力される（シーケンス２６）。
以上で終了となり（シーケンス２７）、測定子５は水平
関節型アクチュエータ１によって原点に復帰され（シー
ケンス２８）、測定対象物７が載架台３９上より撤去さ
れる（シーケンス２９）。

【００２７】以上本実施例によると次のような効果を奏
することができる。まず、測定子５を任意の測定点に移
動させるための移動手段として、従来のようにＸ軸スラ
イダ機構、Ｙ方向スライダ機構、Ｚ軸スライダ機構を組
み合わせたものを使用するのではなく、関節型アクチュ
エータの一種である水平関節型アクチュエータ１を使用
しているので、まず、設置スペースと移動スペースの縮
小化を図ることができる。つまり、比較判別装置そのも
のがよりコンパクトなものとなる。又、測定子５を任意
の場所に移動させるために要する時間も短縮されること
になり、全体として測定に要する時間が短くなる。これ
に対しては、Ｘ軸スライダ機構、Ｙ軸スライダ機構、Ｚ
軸スライダ機構を組み合わせたものであっても、それぞ
れの移動速度を早くすれば、測定子５を任意の場所に移
動させるために要する時間を短縮することはできるが、
その場合には精度が低下してしまうことになる。これに
対して、水平関節型アクチュエータ１の場合には、そも
そもできるだけ少ない動作で広範囲をカバーできる構成
になっているので、そのような精度の低下を来すことな
く移動に要する時間の短縮が図れる。

【００２８】又、比較判別の方法として、上限モデル測
定対象物７’と下限モデル測定対象物７”を使用して、
それぞれ上限基準データと下限基準データとを採取し、
測定対象物７の測定データが上限基準データと下限基準
データとの間に入っているか否かによって、測定対象物
７の良否を判別するようにしている。よって、比較判別
が容易でありそれを実現するためのシステムの構築も簡
単である。特に、測定対象物７がそれ程高い寸法精度を
要しないようなものである場合に好適である。尚、この
場合において、下限基準データと上限基準データとの公
差値として、ある特定の値を入力しておく（デフォルト
する）ことも考えられ、その場合には、より簡易な判別
方法となる。それと同時に、データとして、水平関節型
アクチュエータ１の各旋回部或いは揺動部の変位角度を
採取し、それをそのまま使用するようにしている。よっ
て、それから絶対値データ、例えば、（Ｘ、Ｙ、Ｚ）座
標値を算出する場合のような複雑な処理は不要となり、
それによっても、システムの構築がより簡単なものとな
る。さらに、旋回角度データや揺動角度データを採取す
るために、専用エンコーダ６０、６２、６４、６６を取
付けていて、これに高い精度のものを使用しているの
で、検出精度も極めて高いものである。

【００２９】尚、本発明は前記一実施例に限定されるも
のではない。前記一実施例では関節型アクチュエータと
して、水平関節型アクチュエータ１を使用したが、図６
及び図７に示すような垂直関節型アクチュエータ７１を
使用しても同様の効果を奏することができる。上記垂直
関節型アクチュエータ７１は、概略次のような構成にな
っている。まず、コラム７３があり、このコラム７３の
上端には旋回ブロック７５が旋回可能に取付けられてい
る。上記旋回ブロック７５の先端部には第１アーム７７
が揺動可能に取付けられている。この第１アーム７７の
先端には第２アーム７９が揺動可能に取付けられてい
る。上記第２アーム７９の先端には手首筒８１が回転可
能に取付けられている。この手首筒８１に図示しないプ
ローブヘッドが着脱可能に取付けられ、さらに、測定子
を有するプローブが着脱可能に取付けられることにな
る。図６及び図７中、仮想線で示すのがカバーできる範
囲であり、その範囲内であれば測定子を任意の場所に位
置させることができる。又、関節型アクチュェータとし
ては、図示したもの以外にも種々のものがあることは勿
論である。

【００３０】

【発明の効果】以上詳述したように本発明による比較判
別装置によると、測定子を移動させるための駆動手段と
して、従来のように直線移動手段を組み合わせたものを
使用するのではなく、関節型アクチュエータを使用して
いるので、設置スペースの縮小化を図ることができると
ともに、測定子を任意の場所に移動させるために要する
時間も短縮されることになり、全体として測定に要する
時間が短くなる。又、上限モデル測定対象物と下限モデ
ル測定対象物を使用して、それぞれ上限基準データと下
限基準データとを採取し、測定対象物の測定データが上
限基準データと下限基準データとの間に入っているか否
かによって、測定対象物の良否を判別するようにしてい
るので、比較判別が容易でありそれを実現するためのシ
ステムの構築も簡単である。又、データとして、関節型
アクチュエータの各回転軸の回転角度を採取してそれを
そのまま使用するようにした場合には、それから絶対値
データを算出する場合のような複雑な処理は不要とな
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示す図で比較判別装置の斜
視図である。

【図２】本発明の一実施例を示す図で比較判別装置の動
作範囲を示す平面図である。

【図３】本発明の一実施例を示す図で比較判別装置の動
作範囲を示す正面図である。

【図４】本発明の一実施例を示す図で制御手段の構成を
示すブロック図である。

【図５】本発明の一実施例を示す図で作用を示すフロー
チャートである。

【図６】本発明の他の実施例を示す図で比較判別装置の
動作範囲を示す平面図である。

【図７】本発明の他の実施例を示す図で比較判別装置の
動作範囲を示す正面図である。

【図８】従来例を示す図で三次元比較測定装置の正面図
である。

【図９】従来例を示す図で三次元比較測定装置の側面図
である。

【符号の説明】

１ 水平関節型アクチュエータ ３ プローブ ５ 測定子 ７ 測定対象物 ７’ 上限モデル測定対象物 ７” 下限モデル測定対象物 ４１ 制御手段

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 モデル測定対象物を所定の測定位置に載
   置・固定して該モデル測定対象物における所定箇所に測
   定子を当接させて基準データを採取し、次に、測定対象
   物を上記所定の測定位置に載置・固定して該測定対象物
   における所定箇所に測定子を当接させて測定データを採
   取し、上記測定データと基準データとから測定対象物の
   良否を判別するように構成した比較判別装置において、 上記測定子を関節型アクチュエータに取付けてこの関節
   型アクチュエータを制御手段によって制御することによ
   り測定子を所望の場所に位置させるようにし、 上記モデ
   ル測定対象物は上限モデル測定対象物と下限モデル測定
   対象物の二つであって、これら上限モデル測定対象物と
   下限モデル測定対象物を使用して上限基準データと下限
   基準データを採取し、測定対象物に関する測定データが
   上記上限基準データと下限基準データとの間に有るか否
   かによって測定対象物の良否を判別するようにしたこと
   を特徴とする比較判別装置。
2. 【請求項２】 請求項１記載の比較判別装置において、関節型アクチュエータに取付けられている各駆動用サー
   ボモータにはそれぞれの旋回部や揺動部の旋回角度や揺
   動角度を検出する専用エンコーダが取付けられていて、
   該専用エンコーダの検出値を測定子のモデル測定対象物
   又は測定対象物に対する当接信号により制御して、所定
   の測定位置における旋回角度データや揺動角度データを
   採取し、それをそのまま基準データ或いは測定データと
   するようにした ことを特徴とする比較判別装置。