JPH07922U - ウエハカセットストッカ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】ウエハの自然酸化や燐ガラスの水分吸収を防止
するウエハカセットストッカを提供する。 【構成】ウエハカセットストッカ１０の上部にＮ₂ ガス
吹出装置２２を備え、このＮ₂ ガス吹出装置２２に、ウ
エハカセットストッカ１０の高さ方向に１列に並んだ４
個のウエハカセットに対して１つのノズルを形成した。
ノズルから、棚１２に向けて乾燥したＮ₂ ガスが５０リ
ットル／ｍｉｎ．吹き出す。吹き出したＮ ₂ ガスは矢印
Ａで示される方向に流れ、ウエハカセット１４の内部及
び周囲で下方向の流れを形成する。さらに、ウエハカセ
ットストッカ１０の上部には、Ｎ₂ガス吹出装置２２を
挟んで２つのクリーンエア吹出装置２４を備え、それぞ
れのクリーンエア吹出装置２４から３０ｍ／ｓｅｃ．の
速度で吹き出たクリーンエアは矢印Ｂで示される方向に
流れる。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、ウエハカセットが載置される棚を備え、多数のウエハカセットを収 容するウエハカセットストッカに関する。

【０００２】

【従来の技術】

半導体装置が製造されるクリーンルームには、ウエハカセットを載置する棚が 設けられたウエハカセットストッカが備えられている。このウエハカセットスト ッカには、次工程の処理を待つ仕掛り品のウエハを収容したウエハカセットが載 置され、次工程の処理まで保管される。ウエハカセットストッカには、ウエハの パーティクル汚染を防止するために、常時クリーンエアが流されている開放タイ プと窒素が密封されている密閉タイプが知られている。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

上記した開放タイプのウエハカセットストッカでは、ウエハカセットに収容さ れたウエハのパーティクル汚染がクリーンエアにより防止される。しかし、次工 程の処理装置の故障等が原因でウエハカセットストッカでの保管時間等が長くな ると、クリーンエアに含まれている酸素がウエハのシリコンと化合し自然酸化膜 が形成されるという問題がある。さらに、ウエハに燐ガラスが形成されていると 、この燐ガラスが空気中の水分を吸収するという問題もある。このため、ロット のスケージュル作成時には自然酸化膜の成長を押さえるための時間制限を考慮し なければならず、この時間制限がロットスケジュール作成を困難にしている。

【０００４】 一方、窒素が密封された密閉タイプは、窒素を密封するため装置が大掛かりと なり占有面積が広くなるという問題がある。また、密封された内部がパーティク ルで汚染されると、ウエハもパーティクルで汚染されるという問題もある。 本考案は、上記事情に鑑み、ウエハの自然酸化や燐ガラスの水分吸収を防止す るウエハカセットストッカを提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】

上記目的を達成するための本考案のウエハカセットストッカは、 （１）底壁にガスを通過させる開口が形成され複数のウエハを収容するウエハカ セットが載置される、ガスを通過させる開口が形成された棚 （２）棚に向けて前記棚の上方から乾燥した不活性ガスを吹き出し該不活性ガス の下方向の流れを形成する、前記棚の上方に設けられた不活性ガス吹出装置 （３）不活性ガスの下方向の流れと外部の空気との間にパーティクルが低減され たクリーンガスを吹き出す、前記棚の上方に設けられたクリーンガス吹出装置を 備えたことを特徴とするものである。

【０００６】 ここで、不活性ガスとして、Ｎ₂ ガス、Ｈｅガス、Ａｒガス等を使用すること ができる。

【０００７】

【作用】

本考案のウエハカセットストッカは、棚の上方に不活性ガス吹出装置とクリー ンガス吹出装置が設けられた簡易な構造である。不活性ガス吹出装置からは乾燥 した不活性ガスが吹き出され、ウエハカセットと棚の開口を通って、不活性ガス の下方向の流れがウエハカセットの内部及び周囲に形成される。また、クリーン ガス吹出装置からは、不活性ガスの下方向の流れと外部の空気との間にパーティ クルが低減されたクリーンガスが吹き出され、不活性ガスの流れは外部の空気か らシールドされる。このため、ウエハカセットストッカに長時間ウエハが置かれ ても、不活性ガスの流れには外部の空気が入り込まず、この不活性ガスの流れの 中に置かれたウエハに自然酸化膜が形成されることやウエハに形成された燐ガラ スが空気中の水分を吸収することが防止される。

【０００８】

【実施例】

以下、図１及び図２を参照して本考案のウエハカセットストッカの一実施例を 説明する。 図１はウエハカセットストッカの概略を示す構成図、図２はＮ₂ ガスとクリー ンエアの流れを示す説明図である。

【０００９】 ウエハカセットストッカ１０には、４段の棚１２が備えられており、各棚１２ には複数のウエハカセット１４が載置され、各ウエハカセット１４にはウエハ１ ６が略平行に収容されている。棚１２には、上方から吹き出されるＮ₂ ガスが通 り抜けるように開口部１２ａが形成されている。ウエハカセット１４の底部にも 開口部（図示せず）が形成されており、上方から吹き出されるＮ₂ ガスが通り抜 けるように構成されている。ウエハカセットストッカ１０の側部には側壁１８が 設けられており、側壁１８に沿って流れるＮ₂ ガスはこの側壁１８により外部空 気からシールドされている。ウエハカセットストッカ１０の底部には、この底部 に到達したクリーンエアを側方に流す断面Ｌ字の板２０が取り付けられている。 尚、ウエハカセット１４はクレーン（図示せず）により棚１２に載置され、また クレーンにより棚１２から取り出されるように構成されている。

【００１０】 ウエハカセットストッカ１０の上部には長手方向にＮ₂ ガス吹出装置２２が備 えられている。このＮ₂ ガス吹出装置２２には、ウエハカセットストッカ１０の 高さ方向に１列に並んだ４個のウエハカセットに対して１つのノズル（図示せず ）が形成されており、このノズルから、棚１２に向けて乾燥したＮ₂ ガスが５０ リットル／ｍｉｎ．吹き出される。吹き出されたＮ₂ ガスは矢印Ａで示される方 向に流れ、ウエハカセット１４の内部及び周囲で下方向の流れを形成する。さら に、ウエハカセットストッカ１０の上部には、Ｎ₂ ガス吹出装置２２を挟んで２ つのクリーンエア吹出装置２４が備えられており、それぞれのクリーンエア吹出 装置２４からは３０ｍ／ｓｅｃ．の速度でクリーンエアが吹き出され、吹き出さ れたクリーンエアは矢印Ｂで示される方向に流れる。この結果、クリーンエアは 、Ｎ₂ ガスの下方向の流れと外部の空気との間を流れ、Ｎ₂ ガスの下方向の流れ は外部の空気からシールドされる。このため、Ｎ₂ ガスの下方向の流れには外部 の空気が入り込まず、この下方向の流れの中に置かれたウエハ１６に空気中のパ ーティクルが付着することや、ウエハ１６に自然酸化膜が形成されることや、ウ エハ１６に形成された燐ガラスが空気中の水分を吸収することが防止される。ま た、ウエハカセットストッカ１０は、棚に向けてのみＮ₂ ガスが流れるように構 成されているため、Ｎ₂ ガスの使用量が少なく経済的である。

【００１１】 ここで、Ｎ₂ ガスの使用量の一例について説明する。 ４段の棚１２には、ウエハカセットストッカ１０の高さ方向に１列に並んだ４ 個のウエハカセット１４が５列並んでいる。１個のウエハカセット１４のサイズ を約２０ｃｍ×１５ｃｍ×１５ｃｍとすると、４個のウエハカセット１４が占め る容積は約２０リットルとなる。棚１２の近傍のその他の空間の容積を約３０リ ットルとすると、ウエハカセットストッカ１０の高さ方向１列のウエハカセット １４が占める空間の容積は約５０リットルとなる。Ｎ₂ ガス吹出装置２２の１つ のノズルからは、上述のように５０リットル／ｍｉｎ．でＮ₂ ガスが吹き出され るるめ、５列では２５０リットル／ｍｉｎ．のＮ₂ ガスが消費される。この結果 、Ｎ₂ ガスの使用量は、従来の密封タイプのウエハカセットストッカの約１／３ で済む。

【００１２】 尚、クリーンエアの代わりにＮ₂ ガスを吹き出させても良いが、Ｎ₂ ガスの消 費量が増大する。

【００１３】

【考案の効果】

以上説明したように本考案のウエハカセットストッカでは、棚に向けてのみ不 活性ガスを流し、しかもこの不活性ガスの下方向の流れをクリーンガスでシール ドしているため、ウエハカセットストッカに長時間ウエハが置かれても、不活性 ガスの下方向の流れには外部の空気が入り込まず、この不活性ガスの下方向の流 れの中に置かれたウエハに自然酸化膜が形成されることやウエハに形成された燐 ガラスが空気中の水分を吸収することが防止される。また、棚に向けてのみ不活 性ガスを流すようにしたため、不活性ガスの使用量が少なく経済的である。

【図面の簡単な説明】

【図１】ウエハカセットストッカの概略を示す構成図で
ある。

【図２】不活性ガスとクリーンエアの流れを示す説明図
である。

【符号の説明】

１０ ウエハカセットストッカ １２ 棚 １４ ウエハカセット １６ ウエハ ２２ Ｎ₂ ガス吹出装置 ２４ クリーンエア吹出装置

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 底壁にガスを通過させる開口が形成され
   複数のウエハを収容するウエハカセットが載置される、
   ガスを通過させる開口が形成された棚と、 前記棚に向けて前記棚の上方から乾燥した不活性ガスを
   吹き出し該不活性ガスの下方向の流れを形成する、前記
   棚の上方に設けられた不活性ガス吹出装置と、 前記不活性ガスの下方向の流れと外部の空気との間にパ
   ーティクルが低減されたクリーンガスを吹き出す、前記
   棚の上方に設けられたクリーンガス吹出装置とを備えた
   ことを特徴とするウエハカセットストッカ。