JPH0791449A - 真空機器用転がり軸受 - Google Patents
真空機器用転がり軸受Info
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- JPH0791449A JPH0791449A JP24088793A JP24088793A JPH0791449A JP H0791449 A JPH0791449 A JP H0791449A JP 24088793 A JP24088793 A JP 24088793A JP 24088793 A JP24088793 A JP 24088793A JP H0791449 A JPH0791449 A JP H0791449A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 真空雰囲気中において、耐熱性と導電性とを
同時に備えた転がり軸受を提供する。 【構成】 内輪１および外輪２は鉄系材料例えばＳＵＳ
４４０Ｃ材に耐熱処理を施した材料、保持器４は金属材
例えばＳＵＳ３０４材で形成されている。複数のボール
３のうち、半数は軸受荷重を負荷する負荷ボール３１、
残りの半数は負荷ボール３１よりも僅かに小径で、軸受
荷重を負荷しない非負荷ボール３２であり、負荷ボール
３１と非負荷ボール３２とが交互に配されている。負荷
ボール３１はセラミック材からなるもの、非負荷ボール
３２はＳＵＳ４４０Ｃ材からなる金属製ボール３２ａの
表面に銀被膜３２ｂを形成したものである。外輪２が側
方に配置されたバネ５によって軸方向に押圧され、軸受
に予圧が付与されている。
同時に備えた転がり軸受を提供する。 【構成】 内輪１および外輪２は鉄系材料例えばＳＵＳ
４４０Ｃ材に耐熱処理を施した材料、保持器４は金属材
例えばＳＵＳ３０４材で形成されている。複数のボール
３のうち、半数は軸受荷重を負荷する負荷ボール３１、
残りの半数は負荷ボール３１よりも僅かに小径で、軸受
荷重を負荷しない非負荷ボール３２であり、負荷ボール
３１と非負荷ボール３２とが交互に配されている。負荷
ボール３１はセラミック材からなるもの、非負荷ボール
３２はＳＵＳ４４０Ｃ材からなる金属製ボール３２ａの
表面に銀被膜３２ｂを形成したものである。外輪２が側
方に配置されたバネ５によって軸方向に押圧され、軸受
に予圧が付与されている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、イオンプレーティング
やスパッタリング処理装置に使用される転がり軸受のよ
うに、真空雰囲気中において耐熱性と通電性とが同時に
必要とされる環境下で使用される転がり軸受に関する。
やスパッタリング処理装置に使用される転がり軸受のよ
うに、真空雰囲気中において耐熱性と通電性とが同時に
必要とされる環境下で使用される転がり軸受に関する。
【０００２】
【従来の技術】イオンプレーティングやスパッタリング
処理装置は、半導体製造に用いられる他、表面処理装置
として例えばドリル等の治工具への硬質被膜処理（Ｔｉ
Ｎ被膜処理、ＴｉＣ被膜処理）に適用されている。一般
に、このような硬質被膜処理は、被膜の密着性を高める
ために、ワーク（ドリル等）を高温に加熱しながら行な
う場合が多く、ワーク表面温度は５００°Ｃ程度にまで
達することがある。
処理装置は、半導体製造に用いられる他、表面処理装置
として例えばドリル等の治工具への硬質被膜処理（Ｔｉ
Ｎ被膜処理、ＴｉＣ被膜処理）に適用されている。一般
に、このような硬質被膜処理は、被膜の密着性を高める
ために、ワーク（ドリル等）を高温に加熱しながら行な
う場合が多く、ワーク表面温度は５００°Ｃ程度にまで
達することがある。
【０００３】ところで、上記のようなイオンプレーティ
ング処理装置等では、処理槽内にワーク自転用の機構が
設置されているが、この機構に使用される軸受は、上述
した理由から、高温にさらされるため、その特性として
耐熱性が要求される。一方、被膜処理中、ワーク側はカ
ソード極として電流が流れることが必要であるため、通
電経路となる軸受には通電性が要求される。
ング処理装置等では、処理槽内にワーク自転用の機構が
設置されているが、この機構に使用される軸受は、上述
した理由から、高温にさらされるため、その特性として
耐熱性が要求される。一方、被膜処理中、ワーク側はカ
ソード極として電流が流れることが必要であるため、通
電経路となる軸受には通電性が要求される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】軸受の耐熱性を確保す
るための手段として、まず、軸受をオールセラミック製
とすることも考えられるが、コスト的に高くなりすぎる
ため、一般には、転動体をセラミック、軌道輪を耐熱金
属材料で形成したハイブリッド形式とすることが多い。
また、ハイブリッド形式とすることにより、金属同士の
接触による凝着現象が回避できるので、真空中での無潤
滑使用が可能になるという利点もある。その一方で、こ
のようなハイブリッド形式の軸受では、金属・セラミッ
クの接触となるため、通電性を確保することができな
い。
るための手段として、まず、軸受をオールセラミック製
とすることも考えられるが、コスト的に高くなりすぎる
ため、一般には、転動体をセラミック、軌道輪を耐熱金
属材料で形成したハイブリッド形式とすることが多い。
また、ハイブリッド形式とすることにより、金属同士の
接触による凝着現象が回避できるので、真空中での無潤
滑使用が可能になるという利点もある。その一方で、こ
のようなハイブリッド形式の軸受では、金属・セラミッ
クの接触となるため、通電性を確保することができな
い。
【０００５】そこで、本発明は、真空雰囲気中におい
て、耐熱性と導電性とを同時に備えた転がり軸受を提供
することにある。
て、耐熱性と導電性とを同時に備えた転がり軸受を提供
することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】請求項１の真空機器用転
がり軸受は、鉄系材料からなる内輪および外輪と、内輪
および外輪の軌道面間に介在し、軸受荷重を負荷する複
数のセラミック製の負荷転動体と、軸受荷重を負荷しな
い複数の金属製の非負荷転動体と、負荷転動体および非
負荷転動体を保持する金属製の保持器とを備えたもので
あって、負荷転動体の軌道と非負荷転動体の軌道とを強
制的に異ならせたものである。
がり軸受は、鉄系材料からなる内輪および外輪と、内輪
および外輪の軌道面間に介在し、軸受荷重を負荷する複
数のセラミック製の負荷転動体と、軸受荷重を負荷しな
い複数の金属製の非負荷転動体と、負荷転動体および非
負荷転動体を保持する金属製の保持器とを備えたもので
あって、負荷転動体の軌道と非負荷転動体の軌道とを強
制的に異ならせたものである。
【０００７】請求項２の真空機器用転がり軸受は、請求
項１の構成において、非負荷転動体の表面に良電性の金
属被膜を形成したものである。ここで、良電性の金属被
膜とは、非負荷転動体の形成材料よりも電気伝導度の高
い金属材料からなる被膜を言うものとする。
項１の構成において、非負荷転動体の表面に良電性の金
属被膜を形成したものである。ここで、良電性の金属被
膜とは、非負荷転動体の形成材料よりも電気伝導度の高
い金属材料からなる被膜を言うものとする。
【０００８】請求項３の真空機器用転がり軸受は、請求
項１又は２の構成において、負荷転動体の表面に固体潤
滑被膜を形成したものである。
項１又は２の構成において、負荷転動体の表面に固体潤
滑被膜を形成したものである。
【０００９】請求項４の真空機器用転がり軸受は、請求
項１の構成において、負荷転動体の表面に二硫化モリブ
デン又はＰＴＦＥの潤滑被膜を形成すると共に、非負荷
転動体の表面に銀被膜を形成したものである。
項１の構成において、負荷転動体の表面に二硫化モリブ
デン又はＰＴＦＥの潤滑被膜を形成すると共に、非負荷
転動体の表面に銀被膜を形成したものである。
【００１０】
【作用】内輪および外輪を鉄系材料で形成し、負荷転動
体をセラミック材で形成することにより、軸受の耐熱性
を向上させることができると同時に、金属同士の接触に
よる凝着現象が回避されるので、真空中における無潤滑
使用を可能にすることができる。また、非負荷転動体を
金属材で形成することにより、非負荷転動体を介して、
あるいは、非負荷転動体と金属製の保持器とを介して内
外輪間に通電経路が形成されるので、軸受の通電性を確
保することができる。さらに、負荷転動体の軌道と非負
荷転動体の軌道とを強制的に異ならせることにより、非
負荷転動体の軌道の表面状態が健全なまま維持されるの
で、良好な通電状態を長期にわたって維持することがで
きる。
体をセラミック材で形成することにより、軸受の耐熱性
を向上させることができると同時に、金属同士の接触に
よる凝着現象が回避されるので、真空中における無潤滑
使用を可能にすることができる。また、非負荷転動体を
金属材で形成することにより、非負荷転動体を介して、
あるいは、非負荷転動体と金属製の保持器とを介して内
外輪間に通電経路が形成されるので、軸受の通電性を確
保することができる。さらに、負荷転動体の軌道と非負
荷転動体の軌道とを強制的に異ならせることにより、非
負荷転動体の軌道の表面状態が健全なまま維持されるの
で、良好な通電状態を長期にわたって維持することがで
きる。
【００１１】非負荷転動体の表面に良電性の金属被膜を
形成することにより、内外輪と非負荷転動体との間、非
負荷転動体と保持器との間の通電性が向上するので、軸
受の通電性をより一層向上させることができる。
形成することにより、内外輪と非負荷転動体との間、非
負荷転動体と保持器との間の通電性が向上するので、軸
受の通電性をより一層向上させることができる。
【００１２】負荷転動体の表面に固体潤滑被膜を形成す
ることにより、内外輪の軌道面と負荷転動体との間の潤
滑がなされるので、軸受の耐久性を向上させることがで
きる。一般に、固体潤滑剤としては、金、銀、鉛などの
軟質金属、二硫化モリブデンなどの層状物質、ポリイミ
ド、ＰＴＦＥなどの高分子材料が用いられているが、こ
れらのうち、二硫化モリブデン、ＰＴＦＥなどの導電性
を有しない固体潤滑剤を用いる場合には、軌道面に形成
される絶縁性の転着被膜によって、内外輪と非負荷転動
体との間が絶縁されてしまう懸念がある。ところが、本
発明では、負荷転動体の軌道と非負荷転動体の軌道とを
強制的に異ならせてあるので、非負荷転動体の軌道に絶
縁性の転着被膜が形成されず、通電性は確保される。
ることにより、内外輪の軌道面と負荷転動体との間の潤
滑がなされるので、軸受の耐久性を向上させることがで
きる。一般に、固体潤滑剤としては、金、銀、鉛などの
軟質金属、二硫化モリブデンなどの層状物質、ポリイミ
ド、ＰＴＦＥなどの高分子材料が用いられているが、こ
れらのうち、二硫化モリブデン、ＰＴＦＥなどの導電性
を有しない固体潤滑剤を用いる場合には、軌道面に形成
される絶縁性の転着被膜によって、内外輪と非負荷転動
体との間が絶縁されてしまう懸念がある。ところが、本
発明では、負荷転動体の軌道と非負荷転動体の軌道とを
強制的に異ならせてあるので、非負荷転動体の軌道に絶
縁性の転着被膜が形成されず、通電性は確保される。
【００１３】
【実施例】以下、本発明を深溝玉軸受に適用した実施例
について説明する。
について説明する。
【００１４】図１に示す深溝玉軸受は、内輪１および外
輪２、内・外輪１、２の軌道面１ａ、２ａ間に介在する
複数のボール３、ボール３を円周等間隔に保持する保持
器４で構成されている。内輪１および外輪２は鉄系材料
例えばＳＵＳ４４０Ｃ材に耐熱処理を施した材料、保持
器４は金属材例えばＳＵＳ３０４材で形成されている。
輪２、内・外輪１、２の軌道面１ａ、２ａ間に介在する
複数のボール３、ボール３を円周等間隔に保持する保持
器４で構成されている。内輪１および外輪２は鉄系材料
例えばＳＵＳ４４０Ｃ材に耐熱処理を施した材料、保持
器４は金属材例えばＳＵＳ３０４材で形成されている。
【００１５】複数のボール３のうち、半数は軸受荷重を
負荷する負荷ボール３１、残りの半数は負荷ボール３１
よりも僅かに小径で、軸受荷重を負荷しない非負荷ボー
ル３２であり、負荷ボール３１と非負荷ボール３２とが
交互に配されている。負荷ボール３１はセラミック材か
らなるもの、非負荷ボール３２は金属材例えばＳＵＳ４
４０Ｃ材からなる金属製ボール３２ａの表面に、良電性
の金属被膜例えば金属のうちで電気伝導度の最も大きい
銀からなる銀被膜３２ｂを形成（イオンプレーティング
等により）したものである。尚、図１では、負荷ボール
３１と非負荷ボール３２の径差を実際よりもかなり誇張
して示してある。
負荷する負荷ボール３１、残りの半数は負荷ボール３１
よりも僅かに小径で、軸受荷重を負荷しない非負荷ボー
ル３２であり、負荷ボール３１と非負荷ボール３２とが
交互に配されている。負荷ボール３１はセラミック材か
らなるもの、非負荷ボール３２は金属材例えばＳＵＳ４
４０Ｃ材からなる金属製ボール３２ａの表面に、良電性
の金属被膜例えば金属のうちで電気伝導度の最も大きい
銀からなる銀被膜３２ｂを形成（イオンプレーティング
等により）したものである。尚、図１では、負荷ボール
３１と非負荷ボール３２の径差を実際よりもかなり誇張
して示してある。
【００１６】図１ｂおよび図１ｃに示すように、外輪２
が側方に配置されたバネ５によって軸方向に押圧され、
軸受に予圧が付与されている。そのため、負荷ボール３
１は軌道面１ａ、２ａの溝底から接触角θだけ離れた軌
道上を転動することになるが、非負荷ボール３２は予圧
を直接受けないので、軌道面１ａ、２ａの溝底を軌道と
して転動する。
が側方に配置されたバネ５によって軸方向に押圧され、
軸受に予圧が付与されている。そのため、負荷ボール３
１は軌道面１ａ、２ａの溝底から接触角θだけ離れた軌
道上を転動することになるが、非負荷ボール３２は予圧
を直接受けないので、軌道面１ａ、２ａの溝底を軌道と
して転動する。
【００１７】この軸受は、負荷ボール３１をセラミック
材、内輪１および外輪２を耐熱処理を施したＳＵＳ４４
０Ｃ材で形成してあるので、鉄系材料のみからなる軸受
に比べ耐熱性に優れている。しかも、負荷ボール３１と
内輪１および外輪２とが金属・セラミック接触であるの
で、両者の接触部に凝着現象が生じず、真空中での無潤
滑使用が可能である。また、内輪１と外輪２との間に、
内輪１ 非負荷ボール３２ 外輪２、あるいは、内輪１
非負荷ボール３２ 保持器４ 他の非負荷ボール３２
外輪２といった通電経路が形成されるので、通電性を
必要とする箇所に使用することができる。さらに、軸受
に予圧を付与し、負荷ボール３１の軌道と非負荷ボール
３２の軌道とを強制的に異ならせているので、非負荷ボ
ール３２の軌道となる軌道面１ａ、２ａの溝底部分の表
面状態が健全なまま維持され、これにより、良好な通電
状態が長期にわたって維持される。尚、この実施例で
は、非負荷ボール３２の表面に銀被膜３２ｂが形成され
ているので、金属ボール３２ａのみの場合に比べ、通電
性は良好である。しかも、銀被膜３２ｂは軸受荷重を直
接受けないのでダメージ（摩耗、剥離）が少なく、良好
な通電性が長期にわたって維持される。銀は大気中での
摩耗劣化が著しいので、銀被膜３２ｂのダメージを抑制
し得る構成とすることは、大気中での回転が避けられな
いような場合に特に有効である。
材、内輪１および外輪２を耐熱処理を施したＳＵＳ４４
０Ｃ材で形成してあるので、鉄系材料のみからなる軸受
に比べ耐熱性に優れている。しかも、負荷ボール３１と
内輪１および外輪２とが金属・セラミック接触であるの
で、両者の接触部に凝着現象が生じず、真空中での無潤
滑使用が可能である。また、内輪１と外輪２との間に、
内輪１ 非負荷ボール３２ 外輪２、あるいは、内輪１
非負荷ボール３２ 保持器４ 他の非負荷ボール３２
外輪２といった通電経路が形成されるので、通電性を
必要とする箇所に使用することができる。さらに、軸受
に予圧を付与し、負荷ボール３１の軌道と非負荷ボール
３２の軌道とを強制的に異ならせているので、非負荷ボ
ール３２の軌道となる軌道面１ａ、２ａの溝底部分の表
面状態が健全なまま維持され、これにより、良好な通電
状態が長期にわたって維持される。尚、この実施例で
は、非負荷ボール３２の表面に銀被膜３２ｂが形成され
ているので、金属ボール３２ａのみの場合に比べ、通電
性は良好である。しかも、銀被膜３２ｂは軸受荷重を直
接受けないのでダメージ（摩耗、剥離）が少なく、良好
な通電性が長期にわたって維持される。銀は大気中での
摩耗劣化が著しいので、銀被膜３２ｂのダメージを抑制
し得る構成とすることは、大気中での回転が避けられな
いような場合に特に有効である。
【００１８】図２に示す実施例は、上記構成の深溝玉軸
受を２個並列使用したものである。２つの軸受は内輪間
座７を介して、軸８の肩部と軸端部に螺合したナット９
とによって軸８上に位置決め固定されている。外輪２間
にはバネ５が圧縮介在して、軸受に一定量の予圧を付与
している。この実施例のような態様でユニット化してお
くと、取り扱いに便利である。尚、この実施例の構造は
定圧予圧構造であるが、外輪２間に外輪間座を介在させ
た定位置予圧構造としても良い。
受を２個並列使用したものである。２つの軸受は内輪間
座７を介して、軸８の肩部と軸端部に螺合したナット９
とによって軸８上に位置決め固定されている。外輪２間
にはバネ５が圧縮介在して、軸受に一定量の予圧を付与
している。この実施例のような態様でユニット化してお
くと、取り扱いに便利である。尚、この実施例の構造は
定圧予圧構造であるが、外輪２間に外輪間座を介在させ
た定位置予圧構造としても良い。
【００１９】図３に示す実施例は、負荷ボール３１の表
面に結晶性のＰＴＦＥからなる潤滑被膜３１ｂを形成し
たものである。潤滑被膜３１ｂを形成することにより、
負荷ボール３１と内・外輪１、２の軌道面１ａ、２ａと
の間の潤滑がなされるので、軸受の耐久性をより一層向
上させることができる。その一方で、ＰＴＦＥは導電性
を有しないので、軌道面１ａ、２ａに形成されるＰＴＦ
Ｅの転着被膜により、内・外輪１、２と非負荷ボール３
２との間が絶縁させてしまう懸念があるが、上述したよ
うに、負荷ボール３１の軌道と非負荷ボール３２の軌道
とを強制的に異ならせる構成としてあるので、非負荷ボ
ール３２の軌道にはＰＴＦＥの転着被膜が形成されず、
絶縁の心配はない。尚、結晶性のＰＴＦＥからなる潤滑
被膜とは、いわゆるスパッタリング被膜のようにＰＴＦ
Ｅの結晶構造（分子構造）が細分化されていないものを
いい、例えば、ＰＴＦＥの処理液を被処理物にスプレー
することにより、あるいは被処理物を処理液中に浸漬す
ることにより形成することができる。この実施例の構成
は、耐熱温度が３００°Ｃ程度の場合に特に有効である
が（ＰＴＦＥの融点が３００°Ｃ程度であるため）、そ
れ以上の耐熱性が必要になる場合は、結晶性のＰＴＦＥ
に代えて二硫化モリブデンを用いると良い。ＰＴＦＥ、
二硫化モリブデンは共に大気中における耐久性が比較的
良好なので、大気中での運転が避けられないような装置
にも適用が可能である。
面に結晶性のＰＴＦＥからなる潤滑被膜３１ｂを形成し
たものである。潤滑被膜３１ｂを形成することにより、
負荷ボール３１と内・外輪１、２の軌道面１ａ、２ａと
の間の潤滑がなされるので、軸受の耐久性をより一層向
上させることができる。その一方で、ＰＴＦＥは導電性
を有しないので、軌道面１ａ、２ａに形成されるＰＴＦ
Ｅの転着被膜により、内・外輪１、２と非負荷ボール３
２との間が絶縁させてしまう懸念があるが、上述したよ
うに、負荷ボール３１の軌道と非負荷ボール３２の軌道
とを強制的に異ならせる構成としてあるので、非負荷ボ
ール３２の軌道にはＰＴＦＥの転着被膜が形成されず、
絶縁の心配はない。尚、結晶性のＰＴＦＥからなる潤滑
被膜とは、いわゆるスパッタリング被膜のようにＰＴＦ
Ｅの結晶構造（分子構造）が細分化されていないものを
いい、例えば、ＰＴＦＥの処理液を被処理物にスプレー
することにより、あるいは被処理物を処理液中に浸漬す
ることにより形成することができる。この実施例の構成
は、耐熱温度が３００°Ｃ程度の場合に特に有効である
が（ＰＴＦＥの融点が３００°Ｃ程度であるため）、そ
れ以上の耐熱性が必要になる場合は、結晶性のＰＴＦＥ
に代えて二硫化モリブデンを用いると良い。ＰＴＦＥ、
二硫化モリブデンは共に大気中における耐久性が比較的
良好なので、大気中での運転が避けられないような装置
にも適用が可能である。
【００２０】図４に示す実施例は、保持器４のポケット
の壁面に銀被膜４ｂを形成したものである。上述した通
電経路において、非負荷ボール３２と保持器４との間の
通電性が向上するので、通電性の不足が予想される場合
に有効な手段となる。
の壁面に銀被膜４ｂを形成したものである。上述した通
電経路において、非負荷ボール３２と保持器４との間の
通電性が向上するので、通電性の不足が予想される場合
に有効な手段となる。
【００２１】尚、以上説明した実施例において、非負荷
ボール３２の表面に銀被膜３２ｂを形成することなく、
金属ボール３２ａのみで通電を行なわせる構成とするこ
とも可能である。この場合、金属ボール３２ａは軸受荷
重を負荷しないので、内・外輪１、２との接触部におけ
る凝着現象は生じにくい。また、銀被膜３２ｂあるいは
４ｂに代えて、金被膜、銅被膜等を形成するようにして
も良い。さらに、本発明は深溝玉軸受に限らず、ころ軸
受を含む転がり軸受一般に適用することができる。
ボール３２の表面に銀被膜３２ｂを形成することなく、
金属ボール３２ａのみで通電を行なわせる構成とするこ
とも可能である。この場合、金属ボール３２ａは軸受荷
重を負荷しないので、内・外輪１、２との接触部におけ
る凝着現象は生じにくい。また、銀被膜３２ｂあるいは
４ｂに代えて、金被膜、銅被膜等を形成するようにして
も良い。さらに、本発明は深溝玉軸受に限らず、ころ軸
受を含む転がり軸受一般に適用することができる。
【００２２】
【発明の効果】本発明は、以下に示す効果を有する。
【００２３】（１）内輪および外輪を鉄系材料で形成
し、負荷転動体をセラミック材で形成することにより、
軸受の耐熱性を向上させることができると同時に、金属
同士の接触による凝着現象が回避されるので、真空中に
おける無潤滑使用を可能にすることができる。また、非
負荷転動体を金属材で形成することにより、非負荷転動
体を介して、あるいは、非負荷転動体と保持器とを介し
て内外輪間に通電経路が形成されるので、軸受の通電性
を確保することができる。さらに、負荷転動体の軌道と
非負荷転動体の軌道とを強制的に異ならせることによ
り、非負荷転動体の軌道の表面状態が健全なまま維持さ
れるので、良好な通電状態を長期にわたって維持するこ
とができる。
し、負荷転動体をセラミック材で形成することにより、
軸受の耐熱性を向上させることができると同時に、金属
同士の接触による凝着現象が回避されるので、真空中に
おける無潤滑使用を可能にすることができる。また、非
負荷転動体を金属材で形成することにより、非負荷転動
体を介して、あるいは、非負荷転動体と保持器とを介し
て内外輪間に通電経路が形成されるので、軸受の通電性
を確保することができる。さらに、負荷転動体の軌道と
非負荷転動体の軌道とを強制的に異ならせることによ
り、非負荷転動体の軌道の表面状態が健全なまま維持さ
れるので、良好な通電状態を長期にわたって維持するこ
とができる。
【００２４】（２）負荷転動体の表面に良電性の金属被
膜を形成することにより、内外輪と非負荷転動体との
間、非負荷転動体と保持器との間の通電性が向上するの
で、軸受の通電性をより一層向上させることができる。
非負荷転動体の表面に形成された金属被膜は軸受荷重を
直接受けないので、金属被膜のダメージ（摩耗等）が少
なく、良好な通電性が長期にわたって維持される。
膜を形成することにより、内外輪と非負荷転動体との
間、非負荷転動体と保持器との間の通電性が向上するの
で、軸受の通電性をより一層向上させることができる。
非負荷転動体の表面に形成された金属被膜は軸受荷重を
直接受けないので、金属被膜のダメージ（摩耗等）が少
なく、良好な通電性が長期にわたって維持される。
【００２５】（３）負荷転動体の表面に固体潤滑被膜を
形成することにより、内外輪の軌道面と負荷転動体との
間の潤滑がなされるので、軸受の耐久性を向上させるこ
とができる。
形成することにより、内外輪の軌道面と負荷転動体との
間の潤滑がなされるので、軸受の耐久性を向上させるこ
とができる。
【００２６】（４）銀は電気伝導度が極めて高いので、
非負荷転動体の表面に銀被膜を形成することにより、良
好な通電性を確保することができる。
非負荷転動体の表面に銀被膜を形成することにより、良
好な通電性を確保することができる。
【００２７】（５）非負荷転動体の表面に結晶性のＰＴ
ＦＥ又は二硫化モリブデンからなる潤滑被膜を形成する
ことにより、軸受の耐久性を向上させることができる。
ＰＴＦＥ、二硫化モリブデンは大気中における耐久性が
比較的良好なので、大気中での運転が避けられないよう
な装置にも適用が可能である。また、負荷転動体の軌道
と非負荷転動体の軌道とを強制的に異ならせてあるの
で、非負荷転動体の軌道にＰＴＦＥ又は二硫化モリブデ
ンからなる絶縁性の転着被膜が形成されず、通電性は確
保される。
ＦＥ又は二硫化モリブデンからなる潤滑被膜を形成する
ことにより、軸受の耐久性を向上させることができる。
ＰＴＦＥ、二硫化モリブデンは大気中における耐久性が
比較的良好なので、大気中での運転が避けられないよう
な装置にも適用が可能である。また、負荷転動体の軌道
と非負荷転動体の軌道とを強制的に異ならせてあるの
で、非負荷転動体の軌道にＰＴＦＥ又は二硫化モリブデ
ンからなる絶縁性の転着被膜が形成されず、通電性は確
保される。
【図１】本発明の実施例を示す断面図（図ａ）、図ａに
おけるｂ−ｂ断面図（図ｂ）、ｃ−ｃ断面図（図ｃ）で
ある。
おけるｂ−ｂ断面図（図ｂ）、ｃ−ｃ断面図（図ｃ）で
ある。
【図２】本発明の他の実施例を示す断面図である。
【図３】本発明の他の実施例を示す断面図である。
【図４】本発明の他の実施例を示す断面図である。
１ 内輪 ２ 外輪 ３ 転動体 ３１ 負荷転動体 ３１ｂ 固体潤滑被膜 ３２ 非負荷転動体 ３２ｂ 銀被膜 ４ 保持器
Claims (4)
- 【請求項１】 鉄系材料からなる内輪および外輪と、内
輪および外輪の軌道面間に介在し、軸受荷重を負荷する
複数のセラミック製の負荷転動体と、軸受荷重を負荷し
ない複数の金属製の非負荷転動体と、負荷転動体および
非負荷転動体を保持する金属製の保持器とを備えたもの
であって、負荷転動体の軌道と非負荷転動体の軌道とを
強制的に異ならせたことを特徴とする真空機器用転がり
軸受。 - 【請求項２】 非負荷転動体の表面に良電性の金属被膜
を形成したことを特徴とする請求項１の真空機器用転が
り軸受。 - 【請求項３】 負荷転動体の表面に固体潤滑被膜を形成
したことを特徴とする請求項１又は２の真空機器用転が
り軸受。 - 【請求項４】 負荷転動体の表面に二硫化モリブデン又
はＰＴＦＥの潤滑被膜を形成すると共に、非負荷転動体
の表面に銀被膜を形成したことを特徴とする請求項１の
真空機器用転がり軸受。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24088793A JP3361158B2 (ja) | 1993-09-28 | 1993-09-28 | 真空機器用転がり軸受 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24088793A JP3361158B2 (ja) | 1993-09-28 | 1993-09-28 | 真空機器用転がり軸受 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0791449A true JPH0791449A (ja) | 1995-04-04 |
| JP3361158B2 JP3361158B2 (ja) | 2003-01-07 |
Family
ID=17066174
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24088793A Expired - Fee Related JP3361158B2 (ja) | 1993-09-28 | 1993-09-28 | 真空機器用転がり軸受 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3361158B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6320740B1 (en) | 1999-02-03 | 2001-11-20 | Nec Corporation | Method for manufacturing a polarized electrode for an electric double-layer capacitor |
| JP2002098148A (ja) * | 2000-09-20 | 2002-04-05 | Toshiba Corp | 転がり軸受及びそれを用いたスピンドルモータ |
| US6507479B2 (en) | 2000-02-01 | 2003-01-14 | Nec Corporation | Electric double-layer capacitor having a laminated overcoat |
| JP2011226632A (ja) * | 2010-03-30 | 2011-11-10 | Ntn Corp | 転がり軸受装置 |
| JP2019044936A (ja) * | 2017-09-07 | 2019-03-22 | 日本電産株式会社 | 変速機 |
-
1993
- 1993-09-28 JP JP24088793A patent/JP3361158B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6320740B1 (en) | 1999-02-03 | 2001-11-20 | Nec Corporation | Method for manufacturing a polarized electrode for an electric double-layer capacitor |
| US6507479B2 (en) | 2000-02-01 | 2003-01-14 | Nec Corporation | Electric double-layer capacitor having a laminated overcoat |
| JP2002098148A (ja) * | 2000-09-20 | 2002-04-05 | Toshiba Corp | 転がり軸受及びそれを用いたスピンドルモータ |
| JP2011226632A (ja) * | 2010-03-30 | 2011-11-10 | Ntn Corp | 転がり軸受装置 |
| JP2019044936A (ja) * | 2017-09-07 | 2019-03-22 | 日本電産株式会社 | 変速機 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3361158B2 (ja) | 2003-01-07 |
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