JPH0791450A - 真空機器用転がり軸受 - Google Patents
真空機器用転がり軸受Info
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- JPH0791450A JPH0791450A JP5240888A JP24088893A JPH0791450A JP H0791450 A JPH0791450 A JP H0791450A JP 5240888 A JP5240888 A JP 5240888A JP 24088893 A JP24088893 A JP 24088893A JP H0791450 A JPH0791450 A JP H0791450A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 真空雰囲気中において、耐熱性と導電性とを
同時に備えた転がり軸受を提供する。 【構成】 内輪１および外輪２は鉄系材料例えばＳＵＳ
４４０Ｃ材に耐熱処理を施した材料、保持器４は金属材
例えばＳＵＳ３０４材で形成されている。複数のボール
３のうち、半数は軸受荷重を負荷する負荷ボール３１、
残りの半数は負荷ボール３１よりも僅かに小径で、軸受
荷重を負荷しない非負荷ボール３２であり、負荷ボール
３１と非負荷ボール３２とが交互に配されている。負荷
ボール３１はセラミック材からなるもの、非負荷ボール
３２は金属材例えばＳＵＳ４４０Ｃ材からなる金属ボー
ル３２ａの表面に、良電性の金属被膜例えば金属のうち
で電気伝導度の最も大きい銀からなる銀被膜３２ｂを形
成したものである。保持器４には重量アンバランスが設
けられており、軸受回転時、保持器４は内輪１に接触案
内される。
同時に備えた転がり軸受を提供する。 【構成】 内輪１および外輪２は鉄系材料例えばＳＵＳ
４４０Ｃ材に耐熱処理を施した材料、保持器４は金属材
例えばＳＵＳ３０４材で形成されている。複数のボール
３のうち、半数は軸受荷重を負荷する負荷ボール３１、
残りの半数は負荷ボール３１よりも僅かに小径で、軸受
荷重を負荷しない非負荷ボール３２であり、負荷ボール
３１と非負荷ボール３２とが交互に配されている。負荷
ボール３１はセラミック材からなるもの、非負荷ボール
３２は金属材例えばＳＵＳ４４０Ｃ材からなる金属ボー
ル３２ａの表面に、良電性の金属被膜例えば金属のうち
で電気伝導度の最も大きい銀からなる銀被膜３２ｂを形
成したものである。保持器４には重量アンバランスが設
けられており、軸受回転時、保持器４は内輪１に接触案
内される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、イオンプレーティング
やスパッタリング処理装置に使用される転がり軸受のよ
うに、真空雰囲気中において耐熱性と通電性とが同時に
必要とされる環境下で使用される転がり軸受に関する。
やスパッタリング処理装置に使用される転がり軸受のよ
うに、真空雰囲気中において耐熱性と通電性とが同時に
必要とされる環境下で使用される転がり軸受に関する。
【０００２】
【従来の技術】イオンプレーティングやスパッタリング
処理装置は、半導体製造に用いられる他、表面処理装置
として例えばドリル等の治工具への硬質被膜処理（Ｔｉ
Ｎ被膜処理、ＴｉＣ被膜処理）に適用されている。一般
に、このような硬質被膜処理は、被膜の密着性を高める
ために、ワーク（ドリル等）を高温に加熱しながら行な
う場合が多く、ワーク表面温度は５００°Ｃ程度にまで
達することがある。
処理装置は、半導体製造に用いられる他、表面処理装置
として例えばドリル等の治工具への硬質被膜処理（Ｔｉ
Ｎ被膜処理、ＴｉＣ被膜処理）に適用されている。一般
に、このような硬質被膜処理は、被膜の密着性を高める
ために、ワーク（ドリル等）を高温に加熱しながら行な
う場合が多く、ワーク表面温度は５００°Ｃ程度にまで
達することがある。
【０００３】ところで、上記のようなイオンプレーティ
ング処理装置等では、処理槽内にワーク自転用の機構が
設置されているが、この機構に使用される軸受は、上述
した理由から、高温にさらされるため、その特性として
耐熱性が要求される。一方、被膜処理中、ワーク側はカ
ソード極として電流が流れることが必要であるため、通
電経路となる軸受には通電性が要求される。
ング処理装置等では、処理槽内にワーク自転用の機構が
設置されているが、この機構に使用される軸受は、上述
した理由から、高温にさらされるため、その特性として
耐熱性が要求される。一方、被膜処理中、ワーク側はカ
ソード極として電流が流れることが必要であるため、通
電経路となる軸受には通電性が要求される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】軸受の耐熱性を確保す
るための手段として、まず、軸受をオールセラミック製
とすることも考えられるが、コスト的に高くなりすぎる
ため、一般には、転動体をセラミック、軌道輪を耐熱金
属材料で形成したハイブリッド形式とすることが多い。
また、ハイブリッド形式とすることにより、金属同士の
接触による凝着現象が回避できるので、真空中での無潤
滑使用が可能になるという利点もある。その一方で、こ
のようなハイブリッド形式の軸受では、金属・セラミッ
クの接触となるため、通電性を確保することができな
い。
るための手段として、まず、軸受をオールセラミック製
とすることも考えられるが、コスト的に高くなりすぎる
ため、一般には、転動体をセラミック、軌道輪を耐熱金
属材料で形成したハイブリッド形式とすることが多い。
また、ハイブリッド形式とすることにより、金属同士の
接触による凝着現象が回避できるので、真空中での無潤
滑使用が可能になるという利点もある。その一方で、こ
のようなハイブリッド形式の軸受では、金属・セラミッ
クの接触となるため、通電性を確保することができな
い。
【０００５】そこで、本発明は、真空雰囲気中におい
て、耐熱性と導電性とを同時に備えた転がり軸受を提供
することにある。
て、耐熱性と導電性とを同時に備えた転がり軸受を提供
することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】請求項１の真空機器用転
がり軸受は、鉄系材料からなる内輪および外輪と、内外
輪間に介在する複数の転動体と、転動体を保持する金属
製の保持器とを備えたものであって、複数の転動体のう
ち、軸受荷重を負荷する負荷転動体をセラミック材で形
成すると共に、軸受荷重を負荷しない非負荷転動体を金
属材で形成し、かつ、保持器を内輪案内としたものであ
る。
がり軸受は、鉄系材料からなる内輪および外輪と、内外
輪間に介在する複数の転動体と、転動体を保持する金属
製の保持器とを備えたものであって、複数の転動体のう
ち、軸受荷重を負荷する負荷転動体をセラミック材で形
成すると共に、軸受荷重を負荷しない非負荷転動体を金
属材で形成し、かつ、保持器を内輪案内としたものであ
る。
【０００７】請求項２の真空機器用転がり軸受は、請求
項１の構成において、保持器に重量アンバランスを設け
ることにより、軸受回転時の触れ回りを通じて保持器を
内輪案内としたものである。
項１の構成において、保持器に重量アンバランスを設け
ることにより、軸受回転時の触れ回りを通じて保持器を
内輪案内としたものである。
【０００８】請求項３の真空機器用転がり軸受は、請求
項１又は２の構成において、非負荷転動体の表面に良電
性の金属被膜を形成したものである。ここで、良電性の
金属被膜とは、非負荷転動体の形成材料よりも電気伝導
度の高い金属材料からなる被膜を言うものとする。
項１又は２の構成において、非負荷転動体の表面に良電
性の金属被膜を形成したものである。ここで、良電性の
金属被膜とは、非負荷転動体の形成材料よりも電気伝導
度の高い金属材料からなる被膜を言うものとする。
【０００９】請求項４の真空機器用転がり軸受は、請求
項１又は２の構成において、保持器の少なくともポケッ
トの壁面と案内面とに良電性の金属被膜を形成したもの
である。ここで、良電性の金属被膜とは、保持器の形成
材料よりも電気伝導度の高い金属材料からなる被膜を言
うものとする。
項１又は２の構成において、保持器の少なくともポケッ
トの壁面と案内面とに良電性の金属被膜を形成したもの
である。ここで、良電性の金属被膜とは、保持器の形成
材料よりも電気伝導度の高い金属材料からなる被膜を言
うものとする。
【００１０】請求項５の真空機器用転がり軸受は、請求
項３の構成において、保持器の少なくともポケットの壁
面と案内面とに良電性の金属被膜を形成したものであ
る。
項３の構成において、保持器の少なくともポケットの壁
面と案内面とに良電性の金属被膜を形成したものであ
る。
【００１１】
【作用】内輪および外輪を鉄系材料で形成し、負荷転動
体をセラミック材で形成することにより、軸受の耐熱性
を向上させることができると同時に、金属同士の接触に
よる凝着現象が回避されるので、真空中における無潤滑
使用を可能にすることができる。また、非負荷転動体を
金属材で形成すると共に、金属性の保持器を内輪案内と
することにより、非負荷転動体を介して、あるいは、非
負荷転動体と保持器とを介して内外輪間に通電経路が形
成されるので、軸受の通電性を確保することができる。
保持器を内輪案内としたのは、保持器と内輪とを接触さ
せることによって両者の間に通電経路を形成するためで
あるが、これにより、軸受を縦軸で使用する場合や高速
回転で使用する場合などのように、非負荷転動体が内輪
から離れてしまうような使用条件下においても通電性を
確保できる。また、保持器と内輪とが線接触になるた
め、通電性が良好になるという利点もある。尚、非負荷
転動体は軸受荷重を負荷しないので、内外輪との接触部
における凝着の問題は生じにくい。
体をセラミック材で形成することにより、軸受の耐熱性
を向上させることができると同時に、金属同士の接触に
よる凝着現象が回避されるので、真空中における無潤滑
使用を可能にすることができる。また、非負荷転動体を
金属材で形成すると共に、金属性の保持器を内輪案内と
することにより、非負荷転動体を介して、あるいは、非
負荷転動体と保持器とを介して内外輪間に通電経路が形
成されるので、軸受の通電性を確保することができる。
保持器を内輪案内としたのは、保持器と内輪とを接触さ
せることによって両者の間に通電経路を形成するためで
あるが、これにより、軸受を縦軸で使用する場合や高速
回転で使用する場合などのように、非負荷転動体が内輪
から離れてしまうような使用条件下においても通電性を
確保できる。また、保持器と内輪とが線接触になるた
め、通電性が良好になるという利点もある。尚、非負荷
転動体は軸受荷重を負荷しないので、内外輪との接触部
における凝着の問題は生じにくい。
【００１２】負荷転動体の表面に良電性の金属被膜を形
成することにより、内外輪と非負荷転動体との間、非負
荷転動体と保持器との間の通電性が向上するので、軸受
の通電性をより一層向上させることができる。
成することにより、内外輪と非負荷転動体との間、非負
荷転動体と保持器との間の通電性が向上するので、軸受
の通電性をより一層向上させることができる。
【００１３】保持器の少なくともポケットの壁面と案内
面とに良電性の金属被膜を形成することにより、非負荷
転動体と保持器との間、保持器と内輪との間の通電性が
向上するので、軸受の通電性をより一層向上させること
ができる。
面とに良電性の金属被膜を形成することにより、非負荷
転動体と保持器との間、保持器と内輪との間の通電性が
向上するので、軸受の通電性をより一層向上させること
ができる。
【００１４】
【実施例】以下、本発明を深溝玉軸受に適用した実施例
について説明する。
について説明する。
【００１５】図１は、この実施例に係わる深溝玉軸受を
縦軸使用（軸受を鉛直方向の軸に装着して使用）で回転
させた状態を示している。この深溝玉軸受は、内輪１お
よび外輪２、内・外輪間１、２に介在する複数のボール
３、ボール３を円周等間隔に保持する保持器４で構成さ
れている。内輪１および外輪２は鉄系材料例えばＳＵＳ
４４０Ｃ材に耐熱処理を施した材料、保持器４は金属材
例えばＳＵＳ３０４材で形成されている。
縦軸使用（軸受を鉛直方向の軸に装着して使用）で回転
させた状態を示している。この深溝玉軸受は、内輪１お
よび外輪２、内・外輪間１、２に介在する複数のボール
３、ボール３を円周等間隔に保持する保持器４で構成さ
れている。内輪１および外輪２は鉄系材料例えばＳＵＳ
４４０Ｃ材に耐熱処理を施した材料、保持器４は金属材
例えばＳＵＳ３０４材で形成されている。
【００１６】複数のボール３のうち、半数は軸受荷重を
負荷する負荷ボール３１、残りの半数は負荷ボール３１
よりも僅かに小径で、軸受荷重を負荷しない非負荷ボー
ル３２であり、負荷ボール３１と非負荷ボール３２とが
交互に配されている。同図に示す状態では、非負荷ボー
ル３２が軸受回転に伴う遠心力によって外輪２側に移動
し、内輪１と非接触になっている。この実施例のよう
に、軸受を縦軸使用で回転させる場合には、比較的低速
回転であっても、このような現象が生じる。横軸使用
（軸受を水平方向の軸に装着して使用）の場合には、縦
軸使用の場合に比べ、非負荷ボール３２が内輪１と非接
触になる回転数（臨界回転数）は高くなる。図１ｂに拡
大して示すように、負荷ボール３１はセラミック材から
なるもの、非負荷ボール３２は金属材例えばＳＵＳ４４
０Ｃ材からなる金属ボール３２ａの表面に、良電性の金
属被膜例えば金属のうちで電気伝導度の最も大きい銀か
らなる銀被膜３２ｂを形成（イオンプレーティング等に
より）したものである。
負荷する負荷ボール３１、残りの半数は負荷ボール３１
よりも僅かに小径で、軸受荷重を負荷しない非負荷ボー
ル３２であり、負荷ボール３１と非負荷ボール３２とが
交互に配されている。同図に示す状態では、非負荷ボー
ル３２が軸受回転に伴う遠心力によって外輪２側に移動
し、内輪１と非接触になっている。この実施例のよう
に、軸受を縦軸使用で回転させる場合には、比較的低速
回転であっても、このような現象が生じる。横軸使用
（軸受を水平方向の軸に装着して使用）の場合には、縦
軸使用の場合に比べ、非負荷ボール３２が内輪１と非接
触になる回転数（臨界回転数）は高くなる。図１ｂに拡
大して示すように、負荷ボール３１はセラミック材から
なるもの、非負荷ボール３２は金属材例えばＳＵＳ４４
０Ｃ材からなる金属ボール３２ａの表面に、良電性の金
属被膜例えば金属のうちで電気伝導度の最も大きい銀か
らなる銀被膜３２ｂを形成（イオンプレーティング等に
より）したものである。
【００１７】保持器４には重量アンバランスが設けられ
ている。重量アンバランスとは、保持器４の重量が円周
方向に不均一化されている状態を言うが、重量アンバラ
ンスが設けられていることにより、軸受回転時、保持器
４が触れ回り、内輪１の案内面に線接触し、内輪１によ
って接触案内される。このような重量アンバランスは、
例えば保持器４の肉厚を部分的に変えたり、一部の柱部
に穴を形成する等して設けることができる。
ている。重量アンバランスとは、保持器４の重量が円周
方向に不均一化されている状態を言うが、重量アンバラ
ンスが設けられていることにより、軸受回転時、保持器
４が触れ回り、内輪１の案内面に線接触し、内輪１によ
って接触案内される。このような重量アンバランスは、
例えば保持器４の肉厚を部分的に変えたり、一部の柱部
に穴を形成する等して設けることができる。
【００１８】この軸受は、負荷ボール３１をセラミック
材、内輪１および外輪２を耐熱処理を施したＳＵＳ４４
０Ｃ材で形成してあるので、鉄系材料のみからなる軸受
に比べ耐熱性に優れている。また、負荷ボール３１と内
輪１および外輪２とが金属・セラミック接触であるの
で、両者の接触部に凝着現象が生じず、真空中での無潤
滑使用が可能である。さらに、保持器４を内輪１に接触
案内させることにより、非負荷ボール３２が内輪１と非
接触になるような条件下においても、内輪１ 保持器４
非負荷ボール３２ 外輪２といった通電経路が形成さ
れるので、縦軸使用、横軸使用、低速回転、高速回転の
如何を問わず、広く通電性を必要とする箇所に使用する
ことができ、かつ、確実で良好な通電を達成することが
できる。また、この実施例では、非負荷ボール３２の表
面に銀被膜３２ｂを形成してあるので、金属ボール３２
ａのみの場合に比べ、通電性は良好である。しかも、銀
被膜３２ｂは軸受荷重を直接受けないのでダメージ（摩
耗、剥離）が少なく、良好な通電性が長期にわたって維
持される。銀は大気中での摩耗劣化が著しいので、銀被
膜３２ｂのダメージを抑制し得る構成とすることは、大
気中での回転が避けられないような場合に特に有効であ
る。
材、内輪１および外輪２を耐熱処理を施したＳＵＳ４４
０Ｃ材で形成してあるので、鉄系材料のみからなる軸受
に比べ耐熱性に優れている。また、負荷ボール３１と内
輪１および外輪２とが金属・セラミック接触であるの
で、両者の接触部に凝着現象が生じず、真空中での無潤
滑使用が可能である。さらに、保持器４を内輪１に接触
案内させることにより、非負荷ボール３２が内輪１と非
接触になるような条件下においても、内輪１ 保持器４
非負荷ボール３２ 外輪２といった通電経路が形成さ
れるので、縦軸使用、横軸使用、低速回転、高速回転の
如何を問わず、広く通電性を必要とする箇所に使用する
ことができ、かつ、確実で良好な通電を達成することが
できる。また、この実施例では、非負荷ボール３２の表
面に銀被膜３２ｂを形成してあるので、金属ボール３２
ａのみの場合に比べ、通電性は良好である。しかも、銀
被膜３２ｂは軸受荷重を直接受けないのでダメージ（摩
耗、剥離）が少なく、良好な通電性が長期にわたって維
持される。銀は大気中での摩耗劣化が著しいので、銀被
膜３２ｂのダメージを抑制し得る構成とすることは、大
気中での回転が避けられないような場合に特に有効であ
る。
【００１９】尚、横軸使用で、比較的低速回転（臨界回
転数以下の回転数）の場合には、上記通電経路に加え、
内輪１ 非負荷転動体３２ 外輪２、あるいは、内輪１
非負荷転動体３２ 保持器４ 他の非負荷転動体３２
外輪２といった通電経路も形成される。
転数以下の回転数）の場合には、上記通電経路に加え、
内輪１ 非負荷転動体３２ 外輪２、あるいは、内輪１
非負荷転動体３２ 保持器４ 他の非負荷転動体３２
外輪２といった通電経路も形成される。
【００２０】図２に示す実施例は、保持器４のポケット
の壁面に銀被膜４ａ、案内面に銀被膜４ｂを形成したも
のである。上記通電経路において、保持器４と内輪１と
の間、保持器４と非負荷ボール３２との間の通電性が向
上するので、通電性の不足が予想される場合に有効な手
段となる。尚、内輪１の案内面にも銀被膜を形成する
と、通電性はさらに向上する。
の壁面に銀被膜４ａ、案内面に銀被膜４ｂを形成したも
のである。上記通電経路において、保持器４と内輪１と
の間、保持器４と非負荷ボール３２との間の通電性が向
上するので、通電性の不足が予想される場合に有効な手
段となる。尚、内輪１の案内面にも銀被膜を形成する
と、通電性はさらに向上する。
【００２１】図３に示す実施例は、負荷ボール３１の表
面に結晶性のＰＴＦＥからなる潤滑被膜３１ｂを形成し
たものである。潤滑被膜３１ｂを形成することにより、
負荷ボール２１と内・外輪１、２との間の潤滑がなされ
るので、軸受の耐久性をより一層向上させることができ
る。耐熱温度が３００°Ｃ程度の場合に有効な手段とな
る。尚、結晶性のＰＴＦＥからなる潤滑被膜とは、いわ
ゆるスパッタリング被膜のようにＰＴＦＥの結晶構造
（分子構造）が細分化されていないものをいい、例え
ば、ＰＴＦＥの処理液を被処理物にスプレーすることに
より、あるいは被処理物を処理液中に浸漬することによ
り形成することができる。
面に結晶性のＰＴＦＥからなる潤滑被膜３１ｂを形成し
たものである。潤滑被膜３１ｂを形成することにより、
負荷ボール２１と内・外輪１、２との間の潤滑がなされ
るので、軸受の耐久性をより一層向上させることができ
る。耐熱温度が３００°Ｃ程度の場合に有効な手段とな
る。尚、結晶性のＰＴＦＥからなる潤滑被膜とは、いわ
ゆるスパッタリング被膜のようにＰＴＦＥの結晶構造
（分子構造）が細分化されていないものをいい、例え
ば、ＰＴＦＥの処理液を被処理物にスプレーすることに
より、あるいは被処理物を処理液中に浸漬することによ
り形成することができる。
【００２２】以上説明した実施例において、非負荷ボー
ル３２の表面に銀被膜３２ｂを形成することなく、金属
ボール３２ａのみで通電を行なわせる構成とすることも
可能である。この場合、金属ボール３２ａは軸受荷重を
負荷しないので、内・外輪１、２との接触部における凝
着現象は生じにくい。また、銀被膜３２ｂ、４ａ、４ｂ
に代えて、金被膜、銅被膜等を形成するようにしても良
い。さらに、本発明は深溝玉軸受に限らず、ころ軸受を
含む転がり軸受一般に適用することができる。尚、本発
明をころ軸受に適用する場合には、内輪案内の標準保持
器を使用することができる。
ル３２の表面に銀被膜３２ｂを形成することなく、金属
ボール３２ａのみで通電を行なわせる構成とすることも
可能である。この場合、金属ボール３２ａは軸受荷重を
負荷しないので、内・外輪１、２との接触部における凝
着現象は生じにくい。また、銀被膜３２ｂ、４ａ、４ｂ
に代えて、金被膜、銅被膜等を形成するようにしても良
い。さらに、本発明は深溝玉軸受に限らず、ころ軸受を
含む転がり軸受一般に適用することができる。尚、本発
明をころ軸受に適用する場合には、内輪案内の標準保持
器を使用することができる。
【００２３】
【発明の効果】本発明は、以下に示す効果を有する。
【００２４】（１）内輪および外輪を鉄系材料で形成
し、負荷転動体をセラミック材で形成することにより、
軸受の耐熱性を向上させることができると同時に、金属
同士の接触による凝着現象が回避されるので、真空中に
おける無潤滑使用を可能にすることができる。また、非
負荷転動体を金属材で形成すると共に、金属性の保持器
を内輪案内とすることにより、非負荷転動体を介して、
あるいは、非負荷転動体と保持器とを介して内外輪間に
通電経路が形成されるので、軸受の通電性を確保するこ
とができる。特に、保持器を内輪案内とすることによ
り、非負荷ボールが内輪と非接触になるような条件下に
おいても、内輪 保持器 非負荷ボール 外輪といった
通電経路が形成されるので、縦軸使用、横軸使用、低速
回転、高速回転の如何を問わず、広く通電性を必要とす
る箇所に使用することができ、かつ、確実で良好な通電
を達成することができる。
し、負荷転動体をセラミック材で形成することにより、
軸受の耐熱性を向上させることができると同時に、金属
同士の接触による凝着現象が回避されるので、真空中に
おける無潤滑使用を可能にすることができる。また、非
負荷転動体を金属材で形成すると共に、金属性の保持器
を内輪案内とすることにより、非負荷転動体を介して、
あるいは、非負荷転動体と保持器とを介して内外輪間に
通電経路が形成されるので、軸受の通電性を確保するこ
とができる。特に、保持器を内輪案内とすることによ
り、非負荷ボールが内輪と非接触になるような条件下に
おいても、内輪 保持器 非負荷ボール 外輪といった
通電経路が形成されるので、縦軸使用、横軸使用、低速
回転、高速回転の如何を問わず、広く通電性を必要とす
る箇所に使用することができ、かつ、確実で良好な通電
を達成することができる。
【００２５】（２）負荷転動体の表面に良電性の金属被
膜を形成することにより、内外輪と非負荷転動体との
間、非負荷転動体と保持器との間の通電性が向上するの
で、軸受の通電性をより一層向上させることができる。
金属被膜は軸受荷重を受けないので、金属被膜のダメー
ジ（摩耗等）が少なく、良好な通電性が長期にわたって
維持される。
膜を形成することにより、内外輪と非負荷転動体との
間、非負荷転動体と保持器との間の通電性が向上するの
で、軸受の通電性をより一層向上させることができる。
金属被膜は軸受荷重を受けないので、金属被膜のダメー
ジ（摩耗等）が少なく、良好な通電性が長期にわたって
維持される。
【００２６】（３）保持器の少なくともポケットの壁面
と案内面とに良電性の金属被膜を形成することにより、
非負荷転動体と内輪との間、非負荷転動体と保持器との
間の通電性が向上するので、軸受の通電性をより一層向
上させることができる。
と案内面とに良電性の金属被膜を形成することにより、
非負荷転動体と内輪との間、非負荷転動体と保持器との
間の通電性が向上するので、軸受の通電性をより一層向
上させることができる。
【図１】本発明の実施例を示す断面図（図ａ）、図ａの
部分拡大断面図（図ｂ）である。
部分拡大断面図（図ｂ）である。
【図２】本発明の他の実施例を示す断面図である。
【図３】本発明の他の実施例を示す断面図である。
１ 内輪 ２ 外輪 ３ ボール ３１ 負荷ボール ３２ 非負荷ボール ３２ｂ 銀被膜 ４ 保持器 ４ａ 銀被膜 ４ｂ 銀被膜
Claims (5)
- 【請求項１】 鉄系材料からなる内輪および外輪と、内
外輪間に介在する複数の転動体と、転動体を保持する金
属製の保持器とを備えたものであって、複数の転動体の
うち、軸受荷重を負荷する負荷転動体をセラミック材で
形成すると共に、軸受荷重を負荷しない非負荷転動体を
金属材で形成し、かつ、保持器を内輪案内としたことを
特徴とする真空機器用転がり軸受。 - 【請求項２】 保持器に重量アンバランスを設けること
により、軸受回転時の触れ回りを通じて保持器を内輪案
内としたことを特徴とする請求項１の真空機器用転がり
軸受。 - 【請求項３】 非負荷転動体の表面に良電性の金属被膜
を形成したことを特徴とする請求項１又は２の真空機器
用転がり軸受。 - 【請求項４】 保持器の少なくともポケットの壁面と案
内面とに良電性の金属被膜を形成したことを特徴とする
請求項１又は２の真空機器用転がり軸受。 - 【請求項５】 保持器の少なくともポケットの壁面と案
内面とに良電性の金属被膜を形成したことを特徴とする
請求項３の真空機器用転がり軸受。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5240888A JPH0791450A (ja) | 1993-09-28 | 1993-09-28 | 真空機器用転がり軸受 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5240888A JPH0791450A (ja) | 1993-09-28 | 1993-09-28 | 真空機器用転がり軸受 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0791450A true JPH0791450A (ja) | 1995-04-04 |
Family
ID=17066188
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5240888A Withdrawn JPH0791450A (ja) | 1993-09-28 | 1993-09-28 | 真空機器用転がり軸受 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0791450A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008184019A (ja) * | 2007-01-30 | 2008-08-14 | Railway Technical Res Inst | 通電回転装置 |
-
1993
- 1993-09-28 JP JP5240888A patent/JPH0791450A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008184019A (ja) * | 2007-01-30 | 2008-08-14 | Railway Technical Res Inst | 通電回転装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20001128 |