JPH0787331B2 - 圧電振動子及びその周波数調整方法 - Google Patents
圧電振動子及びその周波数調整方法Info
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- JPH0787331B2 JPH0787331B2 JP11828690A JP11828690A JPH0787331B2 JP H0787331 B2 JPH0787331 B2 JP H0787331B2 JP 11828690 A JP11828690 A JP 11828690A JP 11828690 A JP11828690 A JP 11828690A JP H0787331 B2 JPH0787331 B2 JP H0787331B2
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 22
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims description 17
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 8
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 14
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 11
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 11
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 9
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 8
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 7
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 6
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 3
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 3
- 238000007788 roughening Methods 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- 235000014676 Phragmites communis Nutrition 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000006059 cover glass Substances 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000565 sealant Substances 0.000 description 1
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- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、種々の電子機器の基準クロック等に用いられ
る圧電振動子及びその周波数調整方法に関するものであ
る。
る圧電振動子及びその周波数調整方法に関するものであ
る。
従来の技術 水晶等の単結晶を用いた圧電振動子はＱ値が極めて大き
く高安定な性能が得られる。しかしこのため共振周波数
の調整には高度な技術が必要である。圧電振動子には種
々の振動モードが存在するが現在では厚みすべりモード
を利用することが一般的である。この厚みすべりモード
では圧電振動子の共振周波数は振動片の厚みに反比例し
て変化する。また、電極の質量付加効果により共振周波
数が低下することが知られており従来はこの質量付加効
果を利用して共振周波数を調整していた。
く高安定な性能が得られる。しかしこのため共振周波数
の調整には高度な技術が必要である。圧電振動子には種
々の振動モードが存在するが現在では厚みすべりモード
を利用することが一般的である。この厚みすべりモード
では圧電振動子の共振周波数は振動片の厚みに反比例し
て変化する。また、電極の質量付加効果により共振周波
数が低下することが知られており従来はこの質量付加効
果を利用して共振周波数を調整していた。
以下図面を参照しながら従来の圧電振動子とその周波数
調整方法について説明する。
調整方法について説明する。
第４図は従来の圧電振動子の中で一般的な水晶振動子の
構造を示し、第５図は水晶振動子の周波数調整方法を示
す。
構造を示し、第５図は水晶振動子の周波数調整方法を示
す。
第４図に示すように、振動片12の表面と裏面には電極15
が配されている。また表面と裏面の電極15は導電性接着
剤18によりリード端子13の保持部17に支持されるととも
に電気的に導通されている。前記リード端子13はハーメ
チックガラス14を介してケース19の外部へ導出されてい
る。また電極15の中央部には周波数を調整するための質
量体16が付加されている。
が配されている。また表面と裏面の電極15は導電性接着
剤18によりリード端子13の保持部17に支持されるととも
に電気的に導通されている。前記リード端子13はハーメ
チックガラス14を介してケース19の外部へ導出されてい
る。また電極15の中央部には周波数を調整するための質
量体16が付加されている。
第５図はケース19による気密封止前の状態で周波数調整
を行う状況を示し、水晶振動子12には発振回路25が接続
されているが、その発振周波数はまだばらついている。
前記水晶振動子12は真空容器21に入れられマスク20を通
して周波数調整用の銀22が蒸発源23から蒸着される。同
時にこの銀22を蒸着中に水晶振動子12の発振周波数をカ
ウンター26で読む。そして質量付加効果により発振周波
数がある設定値に下がった時点でコンパレータ27により
シャッター24を閉じ蒸着を止めることで発振周波数を調
整している。以上一般的な水晶振動子12の周波数調整方
法を示したが、最近ではレーザ光により電極15の一部を
取り除き発振周波数を上げる方向でも検討がなされてい
る。
を行う状況を示し、水晶振動子12には発振回路25が接続
されているが、その発振周波数はまだばらついている。
前記水晶振動子12は真空容器21に入れられマスク20を通
して周波数調整用の銀22が蒸発源23から蒸着される。同
時にこの銀22を蒸着中に水晶振動子12の発振周波数をカ
ウンター26で読む。そして質量付加効果により発振周波
数がある設定値に下がった時点でコンパレータ27により
シャッター24を閉じ蒸着を止めることで発振周波数を調
整している。以上一般的な水晶振動子12の周波数調整方
法を示したが、最近ではレーザ光により電極15の一部を
取り除き発振周波数を上げる方向でも検討がなされてい
る。
発明が解決しようとする課題 上記のように従来の一般的な蒸着法での周波数調整方法
では10-5Torr程度の高真空が必要であり真空容器21など
の真空設備に多くの費用が発生している。また、従来で
は周波数調整は気密封止の前工程で行う必要があった
が、ケース19による気密封止工程でその共振周波数が変
化するため、結果的に完成品での共振周波数を高精度に
調整することは非常に難しかった。さらに周波数調整設
備の中に付着していた銀くずが水晶振動子12などに付着
し、完成品中にもちこまれることもあり、その信頼性に
影響を与えていた。
では10-5Torr程度の高真空が必要であり真空容器21など
の真空設備に多くの費用が発生している。また、従来で
は周波数調整は気密封止の前工程で行う必要があった
が、ケース19による気密封止工程でその共振周波数が変
化するため、結果的に完成品での共振周波数を高精度に
調整することは非常に難しかった。さらに周波数調整設
備の中に付着していた銀くずが水晶振動子12などに付着
し、完成品中にもちこまれることもあり、その信頼性に
影響を与えていた。
一方、レーザ光により電極の一部を取り除く周波数調整
方法では、振動片に電界を与える電極15を部分的に取り
除くことになるのであるが、これは周波数を調整すれば
するほど取り除く面積が大きくなり、結果的に振動片に
与える電界が弱くなり、等価抵抗の増大につながる。ま
た等価抵抗に影響を与えない範囲の周波数調整量では調
整範囲が狭く蒸着後の周波数ばらつきを吸収しきれない
ため事実上周波数調整は不可能であった。
方法では、振動片に電界を与える電極15を部分的に取り
除くことになるのであるが、これは周波数を調整すれば
するほど取り除く面積が大きくなり、結果的に振動片に
与える電界が弱くなり、等価抵抗の増大につながる。ま
た等価抵抗に影響を与えない範囲の周波数調整量では調
整範囲が狭く蒸着後の周波数ばらつきを吸収しきれない
ため事実上周波数調整は不可能であった。
そこで本発明は共振周波数の調整が高精度に、しかも容
易に行えるようにすることを目的とするものである。
易に行えるようにすることを目的とするものである。
課題を解決するための手段 そしてこの目的を達成するために本発明は、少なくとも
その一部分が透光性となった気密容器と、この気密容器
内に設けた振動片と、この振動片の表面と裏面とにそれ
ぞれ設けた電極と、前記気密容器の外部から、その内部
に導入されて前記表面と裏面の電極に接続された電気的
流通手段と、前記気密容器の透光部の内面側に設けた多
層の蒸着体とを備えた構成としたものである。
その一部分が透光性となった気密容器と、この気密容器
内に設けた振動片と、この振動片の表面と裏面とにそれ
ぞれ設けた電極と、前記気密容器の外部から、その内部
に導入されて前記表面と裏面の電極に接続された電気的
流通手段と、前記気密容器の透光部の内面側に設けた多
層の蒸着体とを備えた構成としたものである。
作 用 以上の構成において前記気密容器の外部から、前記透光
部を介してこの気密容器内に設けた蒸着体にレーザ光を
照射し、この照射により前記蒸着体を蒸発させ、この蒸
発した蒸着体を前記振動片の電極に蒸着させることによ
り、この振動片の周波数の調整を行うものである。
部を介してこの気密容器内に設けた蒸着体にレーザ光を
照射し、この照射により前記蒸着体を蒸発させ、この蒸
発した蒸着体を前記振動片の電極に蒸着させることによ
り、この振動片の周波数の調整を行うものである。
この場合、振動片を気密容器に気密封止した状態のもの
を用いるので大気中で周波数調整が可能であり、よって
従来の真空容器等の真空装置は不要となり簡単な構成で
連続的に周波数調整ができるようになる。また、一個ず
つ気密封止後に周波数を調整するため後工程での周波数
ばらつきを考える必要がなく完成品での周波数偏差を小
さくできる。さらに本発明では周波数調整にレーザ光を
用いるが従来のように電極の一部を取り除くことがなく
等価抵抗の劣化が少ない。
を用いるので大気中で周波数調整が可能であり、よって
従来の真空容器等の真空装置は不要となり簡単な構成で
連続的に周波数調整ができるようになる。また、一個ず
つ気密封止後に周波数を調整するため後工程での周波数
ばらつきを考える必要がなく完成品での周波数偏差を小
さくできる。さらに本発明では周波数調整にレーザ光を
用いるが従来のように電極の一部を取り除くことがなく
等価抵抗の劣化が少ない。
実施例 以下、本発明の実施例を添付の図面を用いて説明する。
第１図は本発明の一実施例を示す一部切欠斜視図であ
る。第２図は本発明の一実施例である２層の金属コート
膜を示す断面図である。第１図，第２図において１は片
面が粗面化加工された透光性のカバーガラスであり、そ
の粗面部分上に先ずクロムコート膜9a,次に銀コート膜9
Bを蒸着法により多層状態で設けている。また表裏に電
極７を配した長方形の振動片６は導電性接着剤５によ
り、電気的導通手段の一例として用いたリード端子３の
保持部４に支持されるとともに電気的に導通されてい
る。前記ガラスカバー１は、その粗面側を内面側として
内面側として配置されている。また前記振動片６はケー
ス２および前記ガラスカバー１により封着剤８を用いて
気密封止されている。つまりガラスカバー１とケース２
で気密容器が形成されているのである。
る。第２図は本発明の一実施例である２層の金属コート
膜を示す断面図である。第１図，第２図において１は片
面が粗面化加工された透光性のカバーガラスであり、そ
の粗面部分上に先ずクロムコート膜9a,次に銀コート膜9
Bを蒸着法により多層状態で設けている。また表裏に電
極７を配した長方形の振動片６は導電性接着剤５によ
り、電気的導通手段の一例として用いたリード端子３の
保持部４に支持されるとともに電気的に導通されてい
る。前記ガラスカバー１は、その粗面側を内面側として
内面側として配置されている。また前記振動片６はケー
ス２および前記ガラスカバー１により封着剤８を用いて
気密封止されている。つまりガラスカバー１とケース２
で気密容器が形成されているのである。
第３図は本発明の周波数調整方法の一実施例を示す概念
図である。周波数調整はガラスカバー１をケース２に封
着剤８で接着させた気密封止後に実施される。リード端
子３は発振器に接続されており、発振周波数はカウンタ
ーで確認できる。ここで外部からガラスカバー１を通し
て連続発振光をＱスイッチでパルス化したYAGレーザ光1
1Aをクロムコード膜9A,銀コート膜9B付近に焦点を合わ
せて照射する。YAGレーザ11A（1.06μｍ）はガラスカバ
ー１を透過し、前記クロムコード膜9A,銀コート膜9Bだ
けを選択して瞬間的に蒸発させることができる。蒸発し
た金属10は振動片６に配した電極７の片面に付着するた
め質量付加効果による振動片６の発振周波数は下がる。
そしてこれはYAGレーザ光11Aを掃引して所定の設定周波
数に達するまで繰り返される。
図である。周波数調整はガラスカバー１をケース２に封
着剤８で接着させた気密封止後に実施される。リード端
子３は発振器に接続されており、発振周波数はカウンタ
ーで確認できる。ここで外部からガラスカバー１を通し
て連続発振光をＱスイッチでパルス化したYAGレーザ光1
1Aをクロムコード膜9A,銀コート膜9B付近に焦点を合わ
せて照射する。YAGレーザ11A（1.06μｍ）はガラスカバ
ー１を透過し、前記クロムコード膜9A,銀コート膜9Bだ
けを選択して瞬間的に蒸発させることができる。蒸発し
た金属10は振動片６に配した電極７の片面に付着するた
め質量付加効果による振動片６の発振周波数は下がる。
そしてこれはYAGレーザ光11Aを掃引して所定の設定周波
数に達するまで繰り返される。
本実施例ではレーザ光11AにYAGレーザを使用したが、ガ
ラスカバー１を透過できるものであれば何でも使用でき
る。
ラスカバー１を透過できるものであれば何でも使用でき
る。
また本実施例において、ガラスカバー１の内面を粗面化
したのは次のような理由からである。つまりレーザ光11
Aを照射されたクロムコート膜9A,銀コート膜9B部分は直
ちに蒸発するので、ここに照射された残りのレーザ光11
Aのエネルギーは今度は電極７を侵すことになる。よっ
てこのような残りのエネルギーによる弊害を防止すべく
上述の粗面化を行ったものであり、粗面化しておけば残
りのエネルギーは粗面化部で分散されて電極７の方へ向
かうこととなり、局部的に電極７を侵すことのないもの
となる。また金属コート膜を２層にしたのは次の理由か
らである。すなわち一般的な蒸着方ではガラスカバー１
に対する銀コート膜9Bの付着強度は弱く、レーザ光11A
で蒸発させた周囲が剥がれ落ち、これが振動片６に付着
して圧電振動子の特性を劣化させることがある。そこで
金属コート膜の第１層にクロムコート膜9Aを用い、ガラ
スカバー１とクロムコート膜9Aの結合強度が強いことに
より、銀コート膜9Bの付着強度を改善するのである。さ
らにレーザ光11Aはクロムコート膜9Aで吸収されるため
レーザのパワーを有効的に活用できる。
したのは次のような理由からである。つまりレーザ光11
Aを照射されたクロムコート膜9A,銀コート膜9B部分は直
ちに蒸発するので、ここに照射された残りのレーザ光11
Aのエネルギーは今度は電極７を侵すことになる。よっ
てこのような残りのエネルギーによる弊害を防止すべく
上述の粗面化を行ったものであり、粗面化しておけば残
りのエネルギーは粗面化部で分散されて電極７の方へ向
かうこととなり、局部的に電極７を侵すことのないもの
となる。また金属コート膜を２層にしたのは次の理由か
らである。すなわち一般的な蒸着方ではガラスカバー１
に対する銀コート膜9Bの付着強度は弱く、レーザ光11A
で蒸発させた周囲が剥がれ落ち、これが振動片６に付着
して圧電振動子の特性を劣化させることがある。そこで
金属コート膜の第１層にクロムコート膜9Aを用い、ガラ
スカバー１とクロムコート膜9Aの結合強度が強いことに
より、銀コート膜9Bの付着強度を改善するのである。さ
らにレーザ光11Aはクロムコート膜9Aで吸収されるため
レーザのパワーを有効的に活用できる。
上記の周波数調整方法によれば気密容器と振動片６より
なる圧電振動子自体を大気雰囲気中に置くことができる
ため、従来の真空容器21のような高真空装置が不要にな
り簡単な構成の設備で周波数調整が可能となる。また周
波数調整の速度も従来のものと比較して速くすることが
でき、連続的，効率的に周波数調整ができるようになっ
た。つぎに従来の工程では周波数調整後に振動片12をケ
ース19内に気密封止を行うが、気密封止工程でリード端
子13の歪等により周波数が変化してしまうという問題点
があったが、本発明による周波数調整は気密容器内に振
動片６を気密封止した後行うことができるため完成品の
周波数偏差を小さくできた。さらにレーザ光を用いた従
来例のように電極を直接削り取ることがないため圧電振
動子の等価抵抗は殆ど劣化することがなかった。なお第
３図において集光レンズ11を透過後のレーザ光11Aの焦
点はガラスカバー１に入射する手前に設けてもレーザ光
11Aで金属コート膜を蒸発させることができる。またこ
のようにした場合レーザ光11Aのエネルギーが強すぎて
ガラスカバー１が破損することもなくなる。
なる圧電振動子自体を大気雰囲気中に置くことができる
ため、従来の真空容器21のような高真空装置が不要にな
り簡単な構成の設備で周波数調整が可能となる。また周
波数調整の速度も従来のものと比較して速くすることが
でき、連続的，効率的に周波数調整ができるようになっ
た。つぎに従来の工程では周波数調整後に振動片12をケ
ース19内に気密封止を行うが、気密封止工程でリード端
子13の歪等により周波数が変化してしまうという問題点
があったが、本発明による周波数調整は気密容器内に振
動片６を気密封止した後行うことができるため完成品の
周波数偏差を小さくできた。さらにレーザ光を用いた従
来例のように電極を直接削り取ることがないため圧電振
動子の等価抵抗は殆ど劣化することがなかった。なお第
３図において集光レンズ11を透過後のレーザ光11Aの焦
点はガラスカバー１に入射する手前に設けてもレーザ光
11Aで金属コート膜を蒸発させることができる。またこ
のようにした場合レーザ光11Aのエネルギーが強すぎて
ガラスカバー１が破損することもなくなる。
なお上記実施例において第１層目として用いたクロムコ
ート膜9Aはアルミニウムコート膜でもニッケルコート膜
でも良い。また第２層目として用いた銀コート膜9Bは電
極７と同じ材料で形成することが好ましい。さらに第１
層は第２層よりも第２図のごとく薄くして、その材料が
出来るだけ少しだけしか電極７に付着しないようにした
方が電極７の劣化防止の観点から好ましい。
ート膜9Aはアルミニウムコート膜でもニッケルコート膜
でも良い。また第２層目として用いた銀コート膜9Bは電
極７と同じ材料で形成することが好ましい。さらに第１
層は第２層よりも第２図のごとく薄くして、その材料が
出来るだけ少しだけしか電極７に付着しないようにした
方が電極７の劣化防止の観点から好ましい。
発明の効果 上記の説明で明らかなように本発明の圧電振動子とその
周波数調整方法によれば大気中で連続的効率的に圧電振
動子の周波数調整ができるという効果が得られる。また
気密容器内に振動片を気密封止した後周波数調整を行う
ことができるため完成品の周波数偏差を小さくできると
いう効果が得られる。さらに蒸着体を多層としたことに
より不用意な剥れ落ちも防止できるものとなる。
周波数調整方法によれば大気中で連続的効率的に圧電振
動子の周波数調整ができるという効果が得られる。また
気密容器内に振動片を気密封止した後周波数調整を行う
ことができるため完成品の周波数偏差を小さくできると
いう効果が得られる。さらに蒸着体を多層としたことに
より不用意な剥れ落ちも防止できるものとなる。
第１図は本発明の圧電振動子の一実施例を示す一部切欠
斜視図、第２図は本発明の一実施例の金属コート膜部分
を示す断面図、第３図は本発明の圧電振動子の周波数調
整方法の一実施例を示す断面図、第４図は従来の圧電振
動子を示す半断面正面図、第５図は従来の蒸着法による
周波数調整方法を示す概念図である。 １……ガラスカバー、２……ケース、３……リード端
子、４……保持部、５……導電性接着剤、６……振動
片、７……電極、８……封着剤、9A……クロムコート
膜、9B……銀コート膜、10……蒸発した金属、11……集
光レンズ、11A……レーザ光。
斜視図、第２図は本発明の一実施例の金属コート膜部分
を示す断面図、第３図は本発明の圧電振動子の周波数調
整方法の一実施例を示す断面図、第４図は従来の圧電振
動子を示す半断面正面図、第５図は従来の蒸着法による
周波数調整方法を示す概念図である。 １……ガラスカバー、２……ケース、３……リード端
子、４……保持部、５……導電性接着剤、６……振動
片、７……電極、８……封着剤、9A……クロムコート
膜、9B……銀コート膜、10……蒸発した金属、11……集
光レンズ、11A……レーザ光。
Claims (4)
- 【請求項１】少なくともその一部分が透光性となった気
密容器と、この気密容器内に設けた振動片と、この振動
片の表面と裏面とにそれぞれ設けた電極と、前記気密容
器の外部から、その内部に導入されて前記表面と裏面の
電極に接続された電気的導通手段と、前記気密容器の透
光部の内面側に設けた多層の蒸着体とを備えた圧電振動
子。 - 【請求項２】気密容器の透光部内面側を粗面化するとと
もに、この粗面化部分上に、蒸着体を設けた請求項
（１）に記載の圧電振動子。 - 【請求項３】蒸着体は金属コート膜により形成した請求
項（１）、または（２）に記載の圧電振動子。 - 【請求項４】少なくともその一部分が透光性となった気
密容器と、この気密容器内に設けた振動片と、この振動
片の表面と裏面とにそれぞれ設けた電極と、前記気密容
器の外部から、その内部に導入されて前記表面と裏面の
電極に接続された電気的導通手段と、前記気密容器の透
光部の内面側に設けた多層の蒸着体とを備え、前記気密
容器の外部から、前記透光部を介してこの気密容器内面
側に設けた蒸着体にレーザ光を照射し、この照射により
前記蒸着体を蒸発させ、この蒸発した蒸着体を前記振動
片の電極に蒸着させることにより、この振動片の周波数
を調整する圧電振動子の周波数調整方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11828690A JPH0787331B2 (ja) | 1990-05-07 | 1990-05-07 | 圧電振動子及びその周波数調整方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11828690A JPH0787331B2 (ja) | 1990-05-07 | 1990-05-07 | 圧電振動子及びその周波数調整方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0414309A JPH0414309A (ja) | 1992-01-20 |
| JPH0787331B2 true JPH0787331B2 (ja) | 1995-09-20 |
Family
ID=14732911
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11828690A Expired - Lifetime JPH0787331B2 (ja) | 1990-05-07 | 1990-05-07 | 圧電振動子及びその周波数調整方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0787331B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8917768B2 (en) | 2003-07-18 | 2014-12-23 | Microsoft Corporation | Coding of motion vector information |
| US9172965B2 (en) | 2008-05-02 | 2015-10-27 | Microsoft Technology Licensing, Llc | Multi-level representation of reordered transform coefficients |
| US9390720B2 (en) | 2002-09-04 | 2016-07-12 | Microsoft Technology Licensing, Llc | Entropy encoding and decoding using direct level and run-length/level context-adaptive arithmetic coding/decoding modes |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6709560B2 (en) | 2001-04-18 | 2004-03-23 | Biosource, Inc. | Charge barrier flow-through capacitor |
| US7368191B2 (en) | 2001-07-25 | 2008-05-06 | Biosource, Inc. | Electrode array for use in electrochemical cells |
| JP4647282B2 (ja) * | 2004-10-29 | 2011-03-09 | 京セラキンセキ株式会社 | 水晶振動子の製造方法、及びその製造装置 |
-
1990
- 1990-05-07 JP JP11828690A patent/JPH0787331B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9390720B2 (en) | 2002-09-04 | 2016-07-12 | Microsoft Technology Licensing, Llc | Entropy encoding and decoding using direct level and run-length/level context-adaptive arithmetic coding/decoding modes |
| US8917768B2 (en) | 2003-07-18 | 2014-12-23 | Microsoft Corporation | Coding of motion vector information |
| US9148668B2 (en) | 2003-07-18 | 2015-09-29 | Microsoft Technology Licensing, Llc | Coding of motion vector information |
| US9172965B2 (en) | 2008-05-02 | 2015-10-27 | Microsoft Technology Licensing, Llc | Multi-level representation of reordered transform coefficients |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0414309A (ja) | 1992-01-20 |
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