JPH0210907A - Ａｔ振動子の周波数調整方法 - Google Patents
Ａｔ振動子の周波数調整方法Info
- Publication number
- JPH0210907A JPH0210907A JP16232888A JP16232888A JPH0210907A JP H0210907 A JPH0210907 A JP H0210907A JP 16232888 A JP16232888 A JP 16232888A JP 16232888 A JP16232888 A JP 16232888A JP H0210907 A JPH0210907 A JP H0210907A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rectangular
- oscillation piece
- main electrode
- electrode
- laser processing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 10
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims description 30
- 238000003754 machining Methods 0.000 abstract 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- JNDMLEXHDPKVFC-UHFFFAOYSA-N aluminum;oxygen(2-);yttrium(3+) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Y+3] JNDMLEXHDPKVFC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- 229910019901 yttrium aluminum garnet Inorganic materials 0.000 description 2
- WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N Lithium Chemical compound [Li] WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 description 1
- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N lithium niobate Chemical compound [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はＡＴ振動子の周波数調整方法に関する。
従来ＡＴ振動子の周波数調整方法はＡＴ発振片６の主電
極５に同形状のパターンでＡｇ等の金属を真空中で蒸着
させて周波数調整をしていた（図示せず）が近年他の圧
電振動子（タレタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム等）
と同様にレーザー加工により周波数調整を行なう方法が
追求されてきた。
極５に同形状のパターンでＡｇ等の金属を真空中で蒸着
させて周波数調整をしていた（図示せず）が近年他の圧
電振動子（タレタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム等）
と同様にレーザー加工により周波数調整を行なう方法が
追求されてきた。
第６図でレーザー加工により周波数調整をしたＡＴ振動
子の例を説明する。
子の例を説明する。
矩形状ＡＴ振動子６の主電極５をレーザー加工によりス
ポット３のように電極膜の除却を行い周波数調整を主電
極５の全面にわたりレーザー加工により行っていた。
ポット３のように電極膜の除却を行い周波数調整を主電
極５の全面にわたりレーザー加工により行っていた。
しかし、ＡＴ振動子のエネルギー分布２０は第７図に示
すように主電極５の中心にいくほど強くなっており、こ
の部分をレーザー加工すると周波数が大きく変動し、微
小な周波数調整が不適当であった。
すように主電極５の中心にいくほど強くなっており、こ
の部分をレーザー加工すると周波数が大きく変動し、微
小な周波数調整が不適当であった。
更に、第８図に示すように正規の発振周波数以外のスプ
リアス（不良振動）２１が励起され、ＡＴ振動子として
の特性が出せなかった。
リアス（不良振動）２１が励起され、ＡＴ振動子として
の特性が出せなかった。
そこで本発明の目的とするところは微小な周波数調整を
可能にし、スプリアス等ない特性上優れたＡＴ振動子の
周波数調整方法を提供するところにある。
可能にし、スプリアス等ない特性上優れたＡＴ振動子の
周波数調整方法を提供するところにある。
本発明はこのような課題を解決するものでその内容は
１）ＡＴ振動子の周波数調整においてＡＴ発振片の主電
極の外形パターンに沿ってレーザー加工により電極膜を
除却したことをする。
極の外形パターンに沿ってレーザー加工により電極膜を
除却したことをする。
２）ＡＴ発振片の主電極が円形の場合は円の外周からレ
ーザー加工により電極膜を除却をする。
ーザー加工により電極膜を除却をする。
３）矩形状ＡＴ発振片の主電極が矩形の場合は外周から
レーザー加工により電極膜を除却する。
レーザー加工により電極膜を除却する。
４）矩形状ＡＴ発振片の主電極が矩形の場合は長手方向
の両端より交互にレーザー加工により電極膜を除却をす
る。
の両端より交互にレーザー加工により電極膜を除却をす
る。
ことを特徴とする。
本発明の実施例を第１図により説明する。
図は円形の場合のＡＴ発振片で主電極２も円形である。
ＡＴ発振片１に真空中で蒸着等の手段を用いてＡｇ等の
金属を電極膜として３００Å以上形成する。
金属を電極膜として３００Å以上形成する。
又、ＡＴ発振片と電極膜との密着力を増すために下地と
してＣｒ膜を形成する場合もある。
してＣｒ膜を形成する場合もある。
４は引き出し電極で外部との接続を行い主電極２に電荷
をかける。
をかける。
このようにＡＴ発振片の主電極２が円形の場合は円の中
心部がエネルギーが強く、発振しやすいため、この部分
にレーザーを照射すると周波数が大きく変動して微小な
周波数調整は難しい。
心部がエネルギーが強く、発振しやすいため、この部分
にレーザーを照射すると周波数が大きく変動して微小な
周波数調整は難しい。
このためエネルギーの弱い円の外周部より円の外形に沿
って順次レーザー加工をスポット３のように行う。
って順次レーザー加工をスポット３のように行う。
レーザー加工によるスポット３はうずまき状に行っても
よいし、同心円状に行ってもよい。
よいし、同心円状に行ってもよい。
矩形状ＡＴ発振片の実施例を第２図と第３図で説明する
。
。
第２図の矩形状ＡＴ発振片６に蒸着等でＡｇ等を主電極
５のように矩形状に形成する。
５のように矩形状に形成する。
そして、主電極５の外周に沿ってレーザー加工でスポッ
ト３を順次加工していき周波数調整を行う。
ト３を順次加工していき周波数調整を行う。
第３図は矩形状ＡＴ発振片の周波数調整の他の実施例を
示したものである。
示したものである。
矩形状ＡＴ発振片のエネルギー分布７は第４図に示すよ
うに中心が強く長手方向の両端に行くほど弱い。
うに中心が強く長手方向の両端に行くほど弱い。
しかし、矩形状ＡＴ発振片の幅方向のエネルギー分布は
第４図のように差があまりない。
第４図のように差があまりない。
このため、第２図のように中心部の幅方向にレーザー加
工した場合、周波数が変動しやすい。
工した場合、周波数が変動しやすい。
ここで、第３図に示すように矩形状ＡＴ発振片６の主電
極５の長手方向の両端よりレーザー加工によりスポット
３を行った方がより微小な周波数調整が可能となる。
極５の長手方向の両端よりレーザー加工によりスポット
３を行った方がより微小な周波数調整が可能となる。
このようにＡＴ発振片の主電極の外形パターンに沿って
レーザー加工を行ったＡＴ振動子の波形を第５図に示す
。
レーザー加工を行ったＡＴ振動子の波形を第５図に示す
。
主電極の中心までレーザー加工したＡＴ振動子に比ベス
プリアスが消えて、正規の主振動８が得られている。
プリアスが消えて、正規の主振動８が得られている。
レーザーのスポット径は８００μｍ以下でできるだけ小
さい方が周波数変化が少ないため微小な周波数調整が可
能となる。
さい方が周波数変化が少ないため微小な周波数調整が可
能となる。
レーザー光源にはＹＡＧ （イツトリウム・アルミニウ
ム・ガーネット）レーザーを使用した。
ム・ガーネット）レーザーを使用した。
もちろんＣＯ□レーザー等他のレーザー光源を用いても
良い。
良い。
本発明のＡＴ振動子の周波数調整方法は以上説明したよ
うにＡＴ振動片の主電極の外形パターンに沿ってレーザ
ー加工することにより、微小な周波数調整が可能となり
、かつ、スプリアスのない特性のよいＡＴ振動子を製造
できるという効果を有する。
うにＡＴ振動片の主電極の外形パターンに沿ってレーザ
ー加工することにより、微小な周波数調整が可能となり
、かつ、スプリアスのない特性のよいＡＴ振動子を製造
できるという効果を有する。
第１図は本発明の主電極が円形のＡＴ発振片の加工後の
正面図。 第２図は本発明の矩形状ＡＴ発振片の加工後の正面図。 第３図は本発明の矩形状ＡＴ発振片の他の加工後の正面
図。 第４図は矩形状ＡＴ発振片のエネルギー分布図。 第５図は本発明の加工後のＡＴ振動子の波形図。 第６図は従来の矩形状ＡＴ発振片の加工後の正面図。 第７図はＡＴ発振片のエネルギー分布の側面図。 第８図は従来の加工後のＡＴ振動子の波形図。 １・・・・・・円形のＡＴ発振片 ２・・・・・・円形の主電極 ３・・・・・・スポット ４・・・・・・引き出し電極 ５・・・・・・矩形状の主電極 ６・・・・・・矩形状ＡＴ発振片 ７・・・・・・矩形状ＡＴ発振片のエネルギー分布８・
・・・・・主振動 ２０・・・・・・ＡＴ振動子のエネルギー分布２１・・
・・・・スプリアス 以上
正面図。 第２図は本発明の矩形状ＡＴ発振片の加工後の正面図。 第３図は本発明の矩形状ＡＴ発振片の他の加工後の正面
図。 第４図は矩形状ＡＴ発振片のエネルギー分布図。 第５図は本発明の加工後のＡＴ振動子の波形図。 第６図は従来の矩形状ＡＴ発振片の加工後の正面図。 第７図はＡＴ発振片のエネルギー分布の側面図。 第８図は従来の加工後のＡＴ振動子の波形図。 １・・・・・・円形のＡＴ発振片 ２・・・・・・円形の主電極 ３・・・・・・スポット ４・・・・・・引き出し電極 ５・・・・・・矩形状の主電極 ６・・・・・・矩形状ＡＴ発振片 ７・・・・・・矩形状ＡＴ発振片のエネルギー分布８・
・・・・・主振動 ２０・・・・・・ＡＴ振動子のエネルギー分布２１・・
・・・・スプリアス 以上
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）ＡＴ振動子の周波数調整方法においてＡＴ発振片の
主電極の外形パターンに沿ってレーザー加工により電極
膜を除却したことを特徴とするＡＴ振動子の周波数調整
方法。 ２）ＡＴ発振片の主電極が円形の場合は円の外周からレ
ーザー加工により電極膜を除却したことを特徴とする請
求項１記載のＡＴ振動子の周波数調整方法。 ３）矩形状ＡＴ発振片の主電極が矩形の場合は外周から
レーザー加工により電極膜を除却したことを特徴とする
請求項１記載のＡＴ振動子の周波数調整方法。 ４）矩形状ＡＴ発振片の主電極が矩形の場合は長手方向
の両端より交互にレーザー加工により電極膜を除却した
ことを特徴とする請求項１記載のＡＴ振動子の周波数調
整方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16232888A JPH0210907A (ja) | 1988-06-28 | 1988-06-28 | Ａｔ振動子の周波数調整方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16232888A JPH0210907A (ja) | 1988-06-28 | 1988-06-28 | Ａｔ振動子の周波数調整方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0210907A true JPH0210907A (ja) | 1990-01-16 |
Family
ID=15752452
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16232888A Pending JPH0210907A (ja) | 1988-06-28 | 1988-06-28 | Ａｔ振動子の周波数調整方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0210907A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0482311A (ja) * | 1990-07-24 | 1992-03-16 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電振動子の周波数調整方法及び圧電振動子 |
| US7845064B2 (en) * | 2007-07-11 | 2010-12-07 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Method for manufacturing crystal device |
| JP4653868B2 (ja) * | 1999-03-30 | 2011-03-16 | アバゴ・テクノロジーズ・ワイヤレス・アイピー（シンガポール）プライベート・リミテッド | 横モード抑制が改善されたバルク音波共振器フィルタ |
| US9859205B2 (en) | 2011-01-31 | 2018-01-02 | Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. | Semiconductor device having an airbridge and method of fabricating the same |
-
1988
- 1988-06-28 JP JP16232888A patent/JPH0210907A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0482311A (ja) * | 1990-07-24 | 1992-03-16 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電振動子の周波数調整方法及び圧電振動子 |
| JP4653868B2 (ja) * | 1999-03-30 | 2011-03-16 | アバゴ・テクノロジーズ・ワイヤレス・アイピー（シンガポール）プライベート・リミテッド | 横モード抑制が改善されたバルク音波共振器フィルタ |
| US7845064B2 (en) * | 2007-07-11 | 2010-12-07 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Method for manufacturing crystal device |
| US9859205B2 (en) | 2011-01-31 | 2018-01-02 | Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. | Semiconductor device having an airbridge and method of fabricating the same |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6414569B1 (en) | Method of adjusting frequency of piezoelectric resonance element by removing material from a thicker electrode or adding, material to a thinner electrode | |
| JP3843779B2 (ja) | 圧電デバイス、圧電デバイスを利用した携帯電話装置及び圧電デバイスを利用した電子機器 | |
| JP2003318685A (ja) | 水晶振動子の製造方法 | |
| US4218631A (en) | Electrode structure for thickness mode piezoelectric vibrating elements | |
| JPH0210907A (ja) | Ａｔ振動子の周波数調整方法 | |
| US3944862A (en) | X-cut quartz resonator using non overlaping electrodes | |
| JP7555182B2 (ja) | 圧電振動片、圧電振動子、圧電振動片の製造方法、及び圧電振動子の製造方法 | |
| JPH0257009A (ja) | 圧電共振器 | |
| JP2995550B2 (ja) | 水晶振動片の製造方法 | |
| JP2004040399A (ja) | エッチング方法及びその方法によって成形されたエッチング成形品 | |
| JPH02301210A (ja) | 表面波デバイスの周波数調整法 | |
| US4610894A (en) | Method of manufacturing surface acoustic wave device | |
| JPH02220508A (ja) | 圧電振動子の周波数調整方法 | |
| JP3351119B2 (ja) | 圧電共振子の製造方法 | |
| JPH03262311A (ja) | 圧電振動子の周波数調整方法 | |
| JPH02231808A (ja) | 圧電振動子の電極構造 | |
| JPH04332212A (ja) | 厚み辷り圧電振動子及び厚み辷り圧電振動子の製造方法 | |
| JPS644694B2 (ja) | ||
| JP2002246873A (ja) | 高周波振動子及びその製造方法 | |
| JPH03114310A (ja) | 弾性表面波フィルター用基板およびその製造方法 | |
| JP3729033B2 (ja) | エネルギー閉じ込め型圧電共振子及びその製造方法 | |
| JPS6192010A (ja) | 蒸着マスク | |
| JPH03262310A (ja) | 圧電振動子の周波数調整方法 | |
| JPH05167372A (ja) | 水晶振動子の製造方法 | |
| JPH04196910A (ja) | 厚み辷り圧電振動子の周波数調整方法 |