JPH03262311A - 圧電振動子の周波数調整方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は圧電振動子の周波数調整方法に関する。

［従来の技術］ 従来の圧電振動子の周波数調整方法を第３図の正面図、
第４図の断面図により説明する。

音叉形圧電発振片５０の周波数調整部５１　（以下Ｆ調
部と呼ぶ）は音叉形圧電発振片５０の先端側にあり、こ
のＦ調部５１にＣｒやＡｇ、Ａｕ等の金属薄膜５２を蒸
着やスパッタ等の手段を用いてつけていた。

そして、周波数調整の際にはこのＦ調部にＹＡＧレーザ
−５３等の比較的出力の弱いレーザーを用いて５０μｍ
位のスポット径で音叉形圧電発振片５０の周波数測定、
加工を交互に繰り返しながら、Ｆ調部５１の金属薄膜５
２を除去し、周波数が設定値に達するまでのこの加工を
行なっていた。

第５図は音叉形圧電発振片５０の別の周波数調整方法を
示しである。

Ｆ調部５１に真空中のＡｇ５４等の金属を蒸着により付
着させることにより周波数を調整する方法である。

レーザーによる加工は金属薄膜を除去しながら周波数を
調整する方法であるのに対し、これは。

金属薄膜を面状に蒸着させて周波数を調整する方法であ
る。

第６図は矩形圧電発振片５５の周波数調整方法を示す。

中心の主電極のＦ調部５６に同寸法もしくは−まわり小
さい寸法のパターン形状でマスク（図示せず）により真
空中でＡｇ５４等の金属を蒸着により付着させていた。

〔発明が解決しようとする課題１ しかし、従来の技術ではレーザー加工をスポット状で行
なうためスポットを移動させるための機構と加工時間が
かかつていた。

更に、レーザーのパワー調整が難しく、比較的パワーの
弱いＹＡＧレーザーを用いても表裏を貫通してしまい、
微調整が難しかった。このため高精度の加工は難しかっ
た。

かつ、加工面には第７図に示すようにレーザーの熱によ
る金属薄膜の溶融で金属カス５７が付着し、これが振動
等により落下するため周波数が変化したり、ショートの
原因となっていた。

蒸着による周波数調整は真空中で行なうため真空引きの
ための時間がかかり、かつ、自動化しにくいという欠点
があった。

そこで本発明の目的とするところはエキシマレーザ−で
金属薄膜を面状又はスポット状又はその組合わせで同層
にも分けて表裏両面から除去することにより加工時間が
早く、金属カスがでにくく、自動化しやすく、高精度加
工の容易な圧電振動子の周波数調整方法を提供するとこ
ろにある。

［課題を解決するための手段］ １）エキシマレーザ−を用いた圧電振動子の周波数調整
において圧電発振片の表裏両面を加工することを特徴と
する。

２）圧電発振片の表裏両面を交互に加工することを特徴
とする。

〔実　施　例〕

第１図は音叉上圧電発振片のＦＸｆｉ１部を示しである
。音叉上圧電発振片ｌの表裏金属薄１ｇ２を蒸着やスパ
ッタ等の手段を用いて形成する。

そして、この音叉上圧電発振片ｌにプラグ（図示せず）
を半田や導電性接着剤等を用いて固定していた。

次に音叉上圧電発振片ｌのＦ調部３をエキシマレーザ−
により加工する本発明の実施例を第２図により説明する
。

音叉上圧電発振片ｌのＦ調部３のみにエキシマレーザ−
光が当たるようにマスク（図示せず）を用いて加工は行
なう。

エキシマレーザ一体４より発振したレーザー光はハーフ
ミラ−５により２方向に分離される。

一つのレーザー光は音叉上圧電発振片ｌの表面に照射さ
れ加工を行なう。

もう一方のレーザー光はハーフミラ−５により分離され
、ミラー６により反射されて、音叉上圧電発振片の裏面
に照射される。

ミラー６により裏面にレーザー光を照射する例として、
第２図のようにミラー６を３個用いて、ハーフミラ−５
から分離したレーザー光をミラー６で９０”反射させ、
次のミラー６で又９０°反射させ、更に次のミラー６で
９０°反射させる事により、エキシマレーザ一体４より
発振したレーザー光を音叉上圧電発振片の裏面に照射す
ることが可能となる。

第２図はレーザー光を分光するほんの一例を示しただけ
で他の方法でも分光可能なことはいうまでもない。

このように音叉上圧電発振片ｌのＦ調部３を表裏より加
工する事により、加工時間も早くなり、表裏の加工量の
アレバランスをなくす事ができ特性も向上する。

又、第２図に示すように音叉上圧電発振片ｌの表裏にシ
ャッター７を取付けて、レーザー光の巨財を制御するこ
とにより、周波数調整を表裏面を交互に加工することが
可能となる。

これは音叉上圧電発振片の周波数調整において予定の周
波数に合わせていく過程において最後の微調整を行なう
際に両面から加工するよりも片面からの加工の方が周波
数の変化量が小さいために有効な手段である。

すなわち、周波数調整において、最初は両面から加工し
１周波数を大きく変化させて、最後の微調整の時は片面
づつ加工できるようにしておけば周波数の合わせ込みが
非常に楽になり、加工後の周波数のバラツキが小さくな
り、歩留りは向上し、高精度の加工が可能となる。

本実施例は音叉形圧電発振片で説明したが他の圧電振動
でもかまわないことはいうまでもない。

［発明の効果］ 本発明のエキシマレーザ−を用いた圧電振動子の周波数
調整において圧電発振片の表裏両面から加工したり、交
互に加工すること番こより、加工時間が早く、金属カス
がでにくく、自動化しやすく、高精度加工の容易な圧電
振動子の周波数調整方法を提供するところにある。

【図面の簡単な説明】

第１図は音叉形圧電発振片のＦ調部を示す図。 第２図は本発明の圧電振動子の周波数調整方法を示す図
。 第３図は従来の圧電振動子の周波数調整方法を示す正面
図。 第４図は従来の圧電振動子の周波数調整方法を示す断面
図。 第５図は従来の音叉形圧電発振片の他の周波数調整方法
を示す正面図。 第６図は従来の矩形圧電発振片の周波数調整方法を示す
正面図。 第７図は従来のＹＡＧレーザー加工によるＦ調部を示す
斜視図。 １　・　・　・ ２　・　・　・ ３　・　・　・ ４　・　・　・ ５　・　・　・ ６　・　・　・ ７　・　・　・ ５０　・　・　・ ５１　・　・　・ ５２　・　・　・ ５３　・　・　・ 音叉形圧電発振片 金属薄膜 Ｆ調部 エキシマレーザ一体 ハーフミラ− ミラー シャッター 音叉形圧電発振片 Ｆ調部 金属薄膜 ＹＡＧレーザ− ５４・ ５５　・ ５６　・ ５７　・ ・　Ａｇ ・矩形圧電発振片 ・Ｆ調部 ・金属カス 図面の浄書（内容に変更なし） 以上

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）エキシマレーザーを用いた圧電振動子の周波数調整
   において圧電発振片の表裏両面を加工することを特徴と
   する圧電振動子の周波数調整方法。 ２）圧電発振片の表裏両面を交互に加工することを特徴
   とする請求項１記載の圧電振動子の周波数調整方法。