JPH0786614A - 単電子トンネル論理素子及び記憶装置 - Google Patents

単電子トンネル論理素子及び記憶装置

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JPH0786614A
JPH0786614A JP5227526A JP22752693A JPH0786614A JP H0786614 A JPH0786614 A JP H0786614A JP 5227526 A JP5227526 A JP 5227526A JP 22752693 A JP22752693 A JP 22752693A JP H0786614 A JPH0786614 A JP H0786614A
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JP
Japan
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tunnel junction
junction structure
double tunnel
double
electron
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JP5227526A
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English (en)
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Hitoshi Higure
暮 等 日
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Toshiba Corp
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Toshiba Corp
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 単電子二重トンネル接合論理素子の特性を生
かし、MOSトランジスタを用いた場合よりも少ない素
子数で構成した論理ゲート又は記憶装置を提供する。 【構成】 微小な接合容量を有する2つの単電子トンネ
ル接合201,202が直列に接続され一端が接地され
た二重トンネル接合構造と、二重トンネル接合構造の他
端に接続された出力読み出し端子208と、二重トンネ
ル接合構造の他端に一端が接続され、他端がバイアス電
圧印加端子207に接続された負荷素子205と、二重
トンネル接合構造の中間電極にそれぞれ一端が接続さ
れ、他端が2つの入力端子210、211にそれぞれ接
続された2つの容量203、204とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、クーロン・ブロッケイ
ドによる単電子トンネルを応用した論理素子及び記憶装
置に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、微小な容量を有する超微細トンネ
ル接合における単電子トンネル現象が注目を浴びてい
る。非常に小さい容量の超微細トンネル接合では、電子
1個が接合を介してトンネルを起こす際に伴う充電エネ
ルギの変化が、温度揺らぎkB T(T:絶対温度、
B :ボルツマン定数)に比べて無視できない大きさに
なる。このような状況下では、たとえ1個の電子のトン
ネルであってもエネルギ的に損するようなトンネルは禁
止される。このような現象を、クーロン・ブロッケイド
という。
【0003】単電子トンネル素子は、このクーロン・ブ
ロッケイドを利用したもので、トンネル接合を透過する
電子の流れを電子1個1個のレベルで制御しスイッチン
グ動作させる点に特徴がある。
【0004】ここで、単電子トンネル素子では電子1個
の変化で生じる信号レベルを問題とするので、この素子
に接続された外部回路において生じる電気素量(e=
1.602×10-19 C)程度の僅かな電荷の揺らぎ
によっても動作が乱されるおそれがある。
【0005】外部回路との接合により動作が乱されない
ようにするには、図6又は図7に示されたような二重ト
ンネル接合構造にすればよいことが知られている。
【0006】抵抗入力型素子は図6に示されたような構
成を備えている。単電子トンネル接合31及び32の間
の中間電極37に抵抗33の一端が接続され、抵抗Rの
他端が入力信号Vinを入力される入力端子38に接続さ
れている。
【0007】容量入力型素子は、図7に示されるよう
に、単電子トンネル接合31及び32の間の中間電極3
7に容量34の一端が接続され、この容量34の他端が
入力信号Vinを入力される入力端子38に接続されてい
る。
【0008】いずれの素子においても、端子35及び3
6の間に一定電圧Vb が印加されており、入力電圧Vin
により電流Iのオン・オフ電流が切り替わる。即ち、こ
れらの素子は、スイッチング素子として動作し、電流I
が遮断されるクーロン・ブロッケード電圧を入力電圧V
inにより制御することが可能である。
【0009】一般のMOSトランジスタを用いて等価な
スイッチング素子を構成した場合には、端子36、35
及び38がそれぞれソース・ドレイン・ゲートに対応
し、クーロン・ブロッケード電圧が閾値電圧に対応す
る。但し、図6及び図7の単電子トンネル素子ではゲー
トが閾値電圧を制御してスイッチングしている点が相違
する。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】このような単電子トン
ネル素子をMOSトランジスタの替わりに用いて論理ゲ
ートを構成することが可能である。しかし、単なる基本
素子の置き換えで構成したのでは、単電子トンネル接合
素子の有する固有の性質を生かすことができず、論理ゲ
ートを構成する素子の数を削減することができない。
【0011】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
で、単電子二重トンネル接合論理素子の特性を生かし、
MOSトランジスタを用いた場合よりも少ない素子数で
構成した論理素子又は記憶装置を提供することを目的と
する。
【0012】
【課題を解決するための手段】本発明の単電子トンネル
論理素子は、微小な接合容量を有する2つの単電子トン
ネル接合が直列に接続された二重トンネル接合構造であ
って、一端が接地された前記二重トンネル接合構造と、
前記二重トンネル接合構造の他端に接続された出力読み
出し端子と、前記二重トンネル接合構造の前記他端に一
端が接続され、他端がバイアス電圧印加端子に接続され
た負荷素子と、前記二重トンネル接合構造の中間電極に
それぞれ一端が接続され、他端が2つの入力端子にそれ
ぞれ接続された2つの容量とを備えている。
【0013】本発明の記憶装置は、微小な接合容量を有
する2つの単電子トンネル接合が直列に接続された二重
トンネル接合構造であって、一端がそれぞれ接地された
第1及び第2の二重トンネル接合構造と、前記第1のト
ンネル接合構造の他端に接続された出力読み出し端子
と、前記第1のトンネル接合構造の前記他端に一端が接
続され、他端が第1のバイアス電圧印加端子に接続され
た第1の負荷素子と、前記第2のトンネル接合構造の前
記他端に一端が接続され、他端が第2のバイアス電圧印
加端子に接続された第2の負荷素子と、前記第1の二重
トンネル接合構造の中間電極に一端が接続され、他端が
第1の入力端子に接続された第1の容量と、前記第1の
二重トンネル接合構造の中間電極に一端が接続され、他
端が前記第2のトンネル接合構造の前記他端に接続され
た第2の容量と、前記第2の二重トンネル接合構造の中
間電極に一端が接続され、他端が第2の入力端子に接続
された第3の容量と、前記第2の二重トンネル接合構造
の中間電極に一端が接続され、他端が前記第1のトンネ
ル接合構造の前記他端に接続された第4の容量とを備え
ている。
【0014】ここで、負荷素子としては抵抗素子、容量
素子等が挙げられる。
【0015】
【作用】本発明の単電子トンネル論理素子によれば、二
重トンネル接合構造の中間電極の電荷量をゲート電極に
印加する電圧で制御しクーロン・ブロッケード電圧を制
御することで、単電子トンネル接合素子特有の性質を生
かして論理素子を構成することができ、MOSトランジ
スタを用いた場合よりも素子数が削減される。
【0016】また、このような単電子トンネル論理素子
を用いて本発明の記憶装置を構成することにより、静的
にデータを記憶する装置を簡易な構成とすることができ
る。
【0017】
【実施例】以下、本発明の一実施例による単電子トンネ
ル論理素子について説明する。
【0018】図1に、本実施例による単電子トンネル論
理素子の構成を示す。トンネル接合201及び202
は、それぞれ静電容量がC、Cでトンネル抵抗がR
T (1)、RT (2) である。トンネル接合201及び20
2は直列に接続されて二重トンネル構造を成しており、
トンネル接合201とトンネル接合202とで挟まれた
中間電極206には、容量203及び204をそれぞれ
介してゲート電極210及び211が接続されている。
ここで、ゲート電極210及び211は入力端子に相当
するものである。
【0019】二重トンネル構造のうち、トンネル接合2
02側の電極212は接地されている。トンネル接合2
01側の電極209は、記憶情報を取り出すための出力
端子208が接続され、さらに抵抗がRである負荷素
子205の一端が接続されている。この負荷素子205
の他端は、論理素子を駆動するために必要なバイアス電
圧を供給するための電圧印加端子207に接続されてい
る。
【0020】次に、この素子は低温・低インピーダンス
環境の下で動作し、トンネル接合の透過確率は十分に小
さいものとする。
【0021】この動作条件は、次の式(1)〜(3)の
ように表される。
【0022】
【数1】 但し、ここでi=1,2、eは素電荷、kB はボルツマ
ン定数、Tは絶対温度とする。
【0023】この場合に、中間電極の静電容量CΣは、
以下の式(4)となる。
【0024】
【数2】 また、量子抵抗Rq は、
【0025】
【数3】 である。
【0026】このときに、入力ゲート電極210及び2
11へ印加する電圧を、それぞれVg (1) 、Vg (2)
すると、二重トンネル接合のクーロン・ブロッケイド電
圧Vc は、次の(6)式で与えられるQg の周期函数と
なる。
【0027】
【数4】 この周期函数は、周期がeで、0から2Vc (0) =2e
/CΣの間を振動する。
【0028】図3に電荷Qg に対するクーロン・ブロッ
ケード電圧Vc を示す。この図3に示されたように、Q
g がeを法にしてほぼ0に等しいときは、Vc =Vc
(0) であり、Qg がe/2にほぼ等しいか、又は
【0029】
【数5】 の時は、Vc =2Vc (0)
【0030】
【数6】 の時は、Vc =0となる。
【0031】次に、トンネル接合201及び202の容
量及びトンネル抵抗が等しい、対称な二重トンネル構造
の場合、即ち、
【0032】
【数7】 である場合について説明する。
【0033】ここで、電圧印加端子207に印加するバ
イアス電圧Vb をVb =Vc (0) とし、容量203、2
04の静電容量Cg (1) 、Cg (2) 、負荷抵抗Rは、
以下のようであるとする。
【0034】
【数8】 図4に、電荷Qg に対する出力電圧Vout の関係を示
す。この図4と式(6)とに基づいて、電圧Vb 近傍を
入出力信号のハイレベルに対応付け、0.1Vb近傍を
ロウレベルに対応付けると、本実施例の素子の入出力関
係は図5のように表される。図5から明らかなように、
本実施例の素子はNANDゲートとして動作する。
【0035】次に、本発明の他の実施例について説明す
る。この実施例による単電子二重トンネル接合NAND
ゲートを用いた記憶装置は、図2に示されるような構成
を備えている。この装置は、二つのトンネル接合NAN
Dゲートを有している。即ち、静電容量がそれぞれC
1,1 ,C1,2 でトンネル抵抗がRT (1,1) ,RT (1,2)
のトンネル接合101及び102が直列に接続された二
重トンネル構造と、静電容量がCg (1,1) ,Cg (1,2)
の容量105及び106と、抵抗値がR1 の抵抗109
と、ゲート電極111と、出力端子113と、バイアス
電圧印加端子115から成るトンネル接合NANDゲー
トと、同様に静電容量がそれぞれC2,1 ,C2,2 でトン
ネル抵抗がRT (2,1) ,RT (2,2) のトンネル接合10
3及び104が直列に接続された二重トンネル構造と、
静電容量がCg (2,1) ,Cg (2,2)の容量107及び1
08と、抵抗値がR2 の抵抗110と、ゲート電極11
2と、出力端子120と、バイアス電圧印加端子116
から成るトンネル接合NANDゲートとを有している。
【0036】そして、一方のNANDゲートの出力端子
119から出力された信号が、他方のNANDゲートの
入力端子107に帰還し、同様に他方のNANDゲート
の出力端子120から出力された信号が、一方のNAN
Dゲートの入力端子106に帰還するように、ゲート電
極107と出力端子119とが接続され、ゲート電極1
06と出力端子120とが接続されている。
【0037】この記憶装置にデータ「1」を書き込むと
きには、ゲート電極112にハイレベルの電圧を印加
し、ゲート電極111にハイレベルからロウレベル、ハ
イレベルへと変化する電圧を印加すればよい。逆に、デ
ータ「0」を書き込むときには、ゲート電極111にハ
イレベルの電圧を印加し、ゲート電極112にハイレベ
ルからロウレベル、ハイレベルへと変化する電圧を印加
すればよい。この記憶装置では、記憶しているデータが
「1」の場合には出力端子Vout からの信号はハイレベ
ルになり、データが「0」の場合には出力端子Vout
らの信号はロウレベルになる。この記憶状態と出力レベ
ルとの関係は、電圧を供給している間はスタティックに
維持される。
【0038】本実施例による単電子二重トンネル接合を
用いた論理素子又はその記憶装置によれば、トンネル接
合を透過する電子の流れを1つずつのレベルで制御して
スイッチング動作を行う単電子二重トンネル接合を用い
ることで、簡易な構成で超微細な二重トンネル接合NA
NDゲートを構成することができ、素子数を削減するこ
とが可能である。
【0039】
【発明の効果】以上説明したように本発明の二重トンネ
ル接合NANDゲートによれば、超微細なトンネル接合
で発生するクーロン・ブロッケードによる1電子単位で
のトンネル現象を用いることで、簡易な構成で二重トン
ネル接合NANDゲートを構成することが可能で、この
ようなゲートを用いることで、MOSトランジスタを用
いる場合よりも素子数の少ない論理素子又は記憶装置を
得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例による単電子二重トンネル接
合NANDゲートの構成を示した回路図。
【図2】本発明の他の実施例による単電子二重トンネル
接合NANDゲートを用いた記憶装置の構成を示した回
路図。
【図3】電荷Qg に対するクーロン・ブロッケード電圧
c の変化を示した説明図。
【図4】電荷Qg に対する出力電圧Vout の変化を示し
た説明図。
【図5】本発明の一実施例による単電子二重トンネル接
合NANDゲートの入出力状態を示した説明図。
【図6】従来の単電子二重トンネル接合を用いた抵抗入
力型素子の構成を示した回路図。
【図7】従来の単電子二重トンネル接合を用いた容量入
力型素子の構成を示した回路図。
【符号の説明】
101〜104、201、202 トンネル接合 105〜108、203、204 容量 109、110、205 抵抗 111、112、210、211 入力端子 113、208 出力端子 115、116、207 電圧印加端子
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H01L 29/88 49/00

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】2つの単電子トンネル接合が直列に接続さ
    れた二重トンネル接合構造であって、一端が接地された
    前記二重トンネル接合構造と、 前記二重トンネル接合構造の他端に接続された出力読み
    出し端子と、 前記二重トンネル接合構造の前記他端に一端が接続さ
    れ、他端がバイアス電圧印加端子に接続された負荷素子
    と、 前記二重トンネル接合構造の中間電極にそれぞれ一端が
    接続され、他端が2つの入力端子にそれぞれ接続された
    2つの容量とを備えたことを特徴とする単電子トンネル
    論理素子。
  2. 【請求項2】2つの単電子トンネル接合が直列に接続さ
    れた二重トンネル接合構造であって、一端がそれぞれ接
    地された第1及び第2の二重トンネル接合構造と、 前記第1の二重トンネル接合構造の他端に接続された出
    力読み出し端子と、 前記第1の二重トンネル接合構造の前記他端に一端が接
    続され、他端が第1のバイアス電圧印加端子に接続され
    た第1の負荷素子と、 前記第2の二重トンネル接合構造の他端に一端が接続さ
    れ、他端が第2のバイアス電圧印加端子に接続された第
    2の負荷素子と、 前記第1の二重トンネル接合構造の中間電極に一端が接
    続され、他端が第1の入力端子に接続された第1の容量
    と、 前記第1の二重トンネル接合構造の中間電極に一端が接
    続され、他端が前記第2の二重トンネル接合構造の前記
    他端に接続された第2の容量と、 前記第2の二重トンネル接合構造の中間電極に一端が接
    続され、他端が第2の入力端子に接続された第3の容量
    と、 前記第2の二重トンネル接合構造の中間電極に一端が接
    続され、他端が前記第1の二重トンネル接合構造の前記
    他端に接続された第4の容量とを備えたことを特徴とす
    る記憶装置。
JP5227526A 1993-09-13 1993-09-13 単電子トンネル論理素子及び記憶装置 Pending JPH0786614A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20010042194A (ko) * 1998-05-05 2001-05-25 인피니언 테크놀로지스 아게 단일 전자 소자들을 포함하는 회로 장치 및 작동 방법

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20010042194A (ko) * 1998-05-05 2001-05-25 인피니언 테크놀로지스 아게 단일 전자 소자들을 포함하는 회로 장치 및 작동 방법

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