JPH0784352B2 - 傾斜機能材の製造方法 - Google Patents
傾斜機能材の製造方法Info
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Description
料の組み合わせからなる傾斜機能材の製造方法に係わる
ものであり、特に、この種の傾斜機能材を粉末冶金法に
より高品位、かつ低コストに製造する方法を提供するも
のである。
分と金属100%よりなる部分の間をそれらの混合傾斜
層により接合または結合した部分を少なくとも、その材
料の1部として有する新しいタイプの機能材料である。
構造材料としての他、生体材料をはじめとした各種機能
性材料としても期待されている。この種の材料における
セラミックから金属への傾斜組成部分は、金属100%
の部分から順次セラミック分を増やした混合粉末をステ
ップまたは連続してセラミック100%まで積層してい
き、これを型成形で圧粉体とした後、常圧焼結したり、
ホットプレス法により焼結、一体化されている。また、
図1に示したような原料粉末圧粉体3を単純円筒型の成
形外枠と押し棒を用いて加圧しながら通電して焼結、一
体化する通電焼結法によっても製造されている。
融点やその他の熱的性質の異なる金属100%の部分と
セラミック100%の部分が同じ温度で加熱、焼結され
る。また、冷却も、熱容量差による僅かの差はあるかも
しれないが、ほぼ同じ速さで冷却されることになる。従
って、熱膨張率に大きな差のある金属とセラミック材料
の組み合わせの場合は、その冷却時に両材料中に大きな
熱収縮歪が発生することになる。多くの場合、脆性なセ
ラミック側にその影響が現われやすく、割れを発生した
り、割れの発生に至らなくても残留応力のために強度の
低下を来すなどの問題があった。
に必要な温度の異なる異種材料を一つの温度で同時に焼
結するものであり、セラミックの最適条件で焼結しても
金属側では過焼結状態となり、空孔が発生したり、融点
近くでは目的形状が保てなくなるという問題が発生し
た。逆に、融点の低い金属側の最適温度で焼結すると、
セラミック側では温度が低すぎて焼結不良となるという
問題があった。本発明は以上のような事情に鑑みなされ
たもので、金属とセラミック材料の組み合わせからなる
傾斜機能材の優れた特性を保持させながら、上記のよう
な従来の製造方法における問題点を改良し、信頼性の高
い高品位の傾斜機能材を低コストに製造しようとするも
のである。
うな問題点を解決するため主に次の2点より研究を続け
てきた。 1.組成に傾斜のある材料をその傾斜に合わせて無理な
く焼結する手段と方法の探索。 2.残留応力を最小とするための低温、短時間焼結を可
能にする焼結方法の探索。 その結果、加圧条件下での通電焼結法において、成形外
枠をその通電経路の一つとしてもつ型構成となるように
設計し、その成形外枠の肉厚を適当に調節し、そこでの
発熱量を制御することにより、試料部分の加圧軸方向に
必要に応じた温度傾斜をつけることができ、焼結状態の
過不足のない、かつ、残留応力の極めて少ない傾斜機能
材の得られることを見出しこの発明をなすに至った。
の間にそれら両成分よりなる傾斜混合層を有する傾斜機
能材を成形外枠と押し棒を用いて通電焼結により製造す
る方法において、該金属の融点をal、該セラミックの
融点をa2としたとき、a1<a2となる組み合わせに
おいて、成形外枠の肉厚が該金属側から該セラミック側
へ連続および/またはステップ状に減少する部分を少な
くとも該成形外枠の一部に持ち、また、a1>a2とな
る組み合わせにおいて、該成形外枠の肉厚が該セラミッ
ク側から該金属側へ連続および/またはステップ状に減
少する部分を少なくとも該成形外枠の一部に持ち、該成
形外枠を少なくとも1つの通電経路とし、通電中に該傾
斜機能材の加圧軸方向に温度傾斜を形成する傾斜機能材
の製造方法を提供するものである。
鉛製の成形外枠2と上下押し棒2A,2Bを用いたもの
となっている。そこでまず、成形外枠2に下押し棒2B
をセットした状態で焼結しようとする原料粉末圧粉体3
を充填した後、上押し棒2Aを押し込み加圧する。この
状態で上下押し棒を通じて直流または交流、あるいはそ
れらの重畳した電流を流し、試料の電気抵抗を利用して
ジュール熱により焼結する。図中、2A1は上部電極、
2B1は下部電極、2A2,2B2は油圧による荷重、
2Cは電源をそれぞれ示す。
く焼結できるが、材料の焼結温度自体を低くすることに
は大きな効果は期待できない。しかし、ここで印加する
直流を連続でなくパルス状とすると、全投入電気エネル
ギーは同じであっても、パルス状に投入することによっ
て瞬間的に大きな電気エネルギーを投入する事が可能と
なり、これにより粒間での放電効果、さらにそれに付随
した放電プラズマによる効果が重畳される。これらの効
果により粉末粒子表面は著しく活性化されるため、より
低い温度での短時間の焼結が可能となる。
なるように形成型を設計し、かつ、その成形外枠の肉厚
を加圧軸方向に変化させると、その厚み変化に応じてそ
こでの発熱量をコントロールでき、試料部分の加圧軸方
向に凹凸を含む温度傾斜を付けることができることが分
かった。成形外枠の肉厚を他より薄くした部分では、電
気抵抗が高くなり、一定電流のもとでの発熱量は多く高
温となる。一方、厚い部分では逆に抵抗が低く、発熱は
少なく低温域を形成する。この方法により、焼結に高温
を要する材料側ではその周囲の成形外枠の肉厚を他より
薄くすることによって、温度を高くでき、同時にもう一
方の材料側では必要以上に温度が高くならないように抑
制できる。
の肉厚変化の程度は、傾斜機能材を構成する材料の融点
の差を一つの目安として採用することができるが、成形
外枠には低圧ながら圧力容器としての役割もあり、その
強度的に許される範囲であることが必要である。この方
法により、従来の方法による傾斜機能材の焼結における
問題点であった過焼結現象や焼結不良は解決でき、残留
応力の発生もかなり改善できるが、本発明に係わる傾斜
機能材の製造方法をより効果的に実施するためには焼結
温度はできるだけ低いほうが好ましく、パルス通電法と
組み合わせた低温、短時間焼結法の利用が望ましい。
する。図1,図2は、本発明の傾斜機能材の製造方法に
用いる原料粉末圧粉体3,4の断面の実施例を示したも
のである。原料粉末圧粉体3,4の構成は、図1のよう
に金属層3A、セラミック層3Cのいずれかを両端に持
ち、その間に両成分の傾斜混合層3Bが入る構成のもの
や、また図2のように厚さ方向中央部に金属層4Aまた
はセラミック層4Cの第1成分が配置され、その両端
に、両成分の混合傾斜層4Bを介して、もう一方の第2
成分が配置される構成を採ることもできる。そして、こ
れら両端成分の厚みや混合傾斜層の厚みは目的に応じて
適宣選択できるものである。
パルス通電焼結法の概略を示したものである。セラミッ
ク成分より低い融点を持ち、その焼結に要する温度もセ
ラミック成分のそれより低い金属成分が下押し棒1B側
となるように傾斜機能材の原料粉末圧粉体3を成形外枠
1にセットして焼結する例を示したものである。原料粉
末圧粉体3の構成に合わせて肉厚加工を施した成形外枠
1に下押し棒1Bをセットし、次に原料粉末圧粉体3を
充填する。これに上押し棒1Aをセットし、上電極1A
1と下電極1B1を介して油圧による荷重1A2,1B
2により原料粉末圧粉体3を加圧する。
通じてパルス電源1Cにより原料粉末圧粉体3にパルス
電圧を印加し、原料粉末圧粉体の自己発熱と、同時に成
形外枠1の発熱で作られる制御された温度傾斜場により
原料粉末圧粉体3を低温、短時間に焼結する。成形外枠
1の形状は本発明の重要な構成要素であるが、その材質
は耐熱性があり導電性材料であれば特に制約はなく、金
属、黒鉛、超硬などのサーメット材料を利用することが
できる。上下押し棒についても同様であり、金属、黒
鉛、サーメット材料により構成することができる。
に利用できる成形外枠1と傾斜機能材の原料粉末圧粉体
3の断面形状の例を示したものである。図5ないし図8
では、成形外枠1の肉厚が下方に行くほどステップ状に
厚くなるよう構成されている。傾斜機能材としての最終
形状に応じて適宣これらの最適形状を選択する。
製造方法に利用できる成形外枠の断面形状の例を示した
ものである。図9,図10で示す成形外枠11,12で
は肉厚が下方に行くほど連続的に厚くなるよう構成され
ている。図11で示す成形外枠13では、肉厚が当該成
形外枠における加圧軸方向における中央部が断面台形状
窪みを呈するように肉薄に構成されている。図12で示
す成形外枠14では、肉厚が当該成形外枠における加圧
軸方向における中央部が断面台形状突条を呈するように
肉厚に構成されている。
度の異なる金属とセラミックをその両端層とし、その間
にそれらの混合傾斜組成をもつ傾斜機能材の原料粉末圧
粉体3の焼結では、その融点の低い方の材料を成形外枠
の厚肉側に配置して焼結し、図9、図10のような断面
形状を持つ成形外枠11,12を利用すると良い。
に高温を要する金属層またはセラミック層が配置され、
その両サイドにそれらの混合傾斜層があり、その層を介
して両端に融点の低い、焼結に中央成分ほど高温を要し
ない金属層またはセラミック層をもつ構成の傾斜機能材
の原料粉末圧粉体4の焼結では、その中央部の成分が図
11で示す成形外枠13において肉厚の薄くなった部分
の中央部にくるようにセットして焼結する。また、この
逆に、中央成分の方が融点が低く、焼結にも高温を要し
ないような構成の傾斜機能材の原料粉末圧粉体4の焼結
では、図12で示す断面形状の成形外枠14が利用で
き、原料粉末圧粉体を高さ方向中央部にセットし、温度
傾斜を利用して焼結する。
いては成形外枠1と上下押し棒1A,1Bとの嵌合具合
は、通電中の目的とした温度傾斜を実現する上で極めて
重要な要素である。成形外枠と上下押し棒とのクリアラ
ンスは、その両者の隙間に特に導電性材料を満たさない
場合には2/100mm以下、好ましくは1/100m
m以下である。
粉末、粒径1μm以下のY2 03 3%添加部分安定化ジ
ルコニア及びそれらの材料をステンレス/ジルコニア体
積比で3/1,1/1,1/3に混合して作成した混合
粉末を傾斜機能材の原料粉末として用いた。ステンレス
粉末の融点は約1440℃、部分安定化ジルコニアの融
点は2680℃であった。成形外枠には図9の断面形状
をもつ、高さ40mmで中孔径φ20mmの黒鉛製の成
形外枠11を用いた。この成形外枠の肉厚は、その一端
から17mmまで肉厚7mm、下から17mmまで肉厚
20mmとし、その間を20mmから7mmまで連続し
て厚みを減少させた。
きの、上から17mmの位置と、同じく上から23mm
の位置にφ3mmのキリ孔を中孔からの距離で4mmと
なるように明け、焼結中の温度を2箇所で放射温度計に
より測定した。上下押し棒は長さ20mmの黒鉛製と
し、成形外枠の中孔とのクリアランスは1/100mm
以下とした。これらの焼結部品を用いて、まず、肉厚の
大きい方を下にした状態の成形外枠に下押し棒をセット
し、次に、これに接してステンレス粉末を厚み3mm、
その上に混合粉末をステンレス/ジルコニア比3/1,
1/1,1/3mmの順に各1mmづつ、さらにその上
にジルコニア粉末を厚み3mmとなるように圧力100
kg/cm2 で充填した。
外枠の高さ方向の中央部にくるように外にでている上下
押し棒長さを調整した後、この焼結試料構成を通電焼結
機にセットし、圧力500kg/cm2 まで加圧した。
この圧力に加圧しながらパルス通電を開始し、焼結を始
めた。ここでは、直流パルスのon/off比は12/
2とした。焼結は、ジルコニア粉末側での測定温度で1
200℃に達して後、試料部の収縮が止まって1分保持
の条件で実施した。
間は2.5分であった。また、焼結保持時間中のステン
レス粉末側の温度は840℃から880℃であった。冷
却後、焼結試料構成から取り出した焼結体の高さは約
5.4mmであった。その切断面を研磨、観察したとこ
ろ、割れの発生や気孔は認められず、良好な傾斜機能材
として焼結できていた。この試料のジルコニア100%
側での微小硬さは1350kg/mm2 であった。
状をもつ外径50mm,中孔径20mm,高さ40mm
の黒鉛単純円筒を、実施例1に用いた黒鉛と同じ材質の
黒鉛から作製したものを用いたほかは、実施例1と同様
の温度測定用孔加工を施し、また、実施例1と同様の上
下押し棒を用いた。これらの焼結部品を用いて、実施例
1と同様の原料粉末を同様の方法と手順で焼結試料構成
に組み込み、通電焼結装置にセットした。
まで加圧し、パルス通電を開始した。 直流パルスのo
n/off比は実施例1と同じく12/2とした。焼結
は、ジルコニア側での測定温度で1200℃に達し、収
縮が止まって後、1分保持の条件で実施した。このとき
の1200℃での全保持時間は2分であった。
テンレス側の押し棒のところに数mmの金属球が観察さ
れ、ステンレスの一部が融解し、しみだしが起きたこと
が分かった。回収した時点で焼結体はジルコニア100
%層の部分で破壊した。また、ステンレス100%層の
断面には多数の気孔の発生が観察された。
密度3.15g/cm3 の窒化珪素(Si3 N4)焼結
体ペレット、平均粒径0.3μmのSi3 N4 粉末、粒
径10μm以下の鉄粉末、及びそれら粉末のSi3 N4
/鉄比、4/1,2/1,1/1,1/2,1/4の5
種混合粉末を傾斜機能材の原料粉末及び焼結体として用
いた。窒化珪素の融点は1900℃、鉄の融点は153
0℃であった。成形外枠は高さ50mm、中孔径20m
mで、その一端より15mmまでの肉厚が6.0mm,
15mmから20mmまでの肉厚が10.0mm、さら
に20mmから50mmまでの肉厚が20mmの不連続
な3ステップからなるものを使用し、肉厚15mm側を
上とした場合の上から17.5mmの位置と、上から3
0mmの位置に径3mmの測温用の孔を成形外枠の中孔
からの距離で4mmとなるように加工した。
の中孔とのクリアランスは1/100mm以下とした。
原料粉末の充填では、まず、成形外枠の肉厚6.0mm
側を上にしてセットし、これに下押し棒をセットする。
この下押し棒に接して鉄100%層を厚さ20mmに充
填し、次にSi3 N4/鉄比1/4,1/2,1/1,
2/1,4/4の混合粉末を順に各1mmずつを圧力1
00kg/cm2 で充填する。
N4 焼結体を配置し、上押し棒をセットした。この焼結
用試料構成を通電焼結機にセットし、圧力600kg/
cm2 まで加圧した後、加圧状態でパルス通電を開始し
た。ここでのパルスon/off比は20/1とした。
焼結はSi3 N4 側の温度で1350℃で行い、その温
度で試料部の収縮が止まって後、1分保持の条件で実施
した。1350℃での全焼結保持時間は1.5分であっ
た。このときの鉄100%層側で測定した温度は810
℃から830℃であった。回収された焼結体の断面には
割れや気孔の発生は認められず、良好な傾斜機能材が得
られた。
末、粒径5μm以下のNiTi合金粉末、およびそれら
のアルミナ/NiTi体積比1/3,1/1,3/1の
3種の混合粉末を傾斜機能材の原料粉末として用いた。
アルミナの融点は2050℃、NiTi合金の融点は1
380℃であった。焼結には、図11に示す断面形状を
もつ中孔径20mmの黒鉛製の成形外枠13を利用し、
その肉厚は両端から15.5mmまでを肉厚30mm,
成形外枠の高さ方向の中心部8mm幅を厚み10mmと
し、その間を肉厚30mmから10mmへ連続して減少
させた。
部に径3mm、深さ6mmの孔を明けた。上下押し棒は
長さ25mm,成形外枠の中孔とのクリアランスを1/
100mm以下とした。成形外枠の一端に下押し棒をセ
ットし、それに接してまず、NiTi合金粉末を厚み4
mm、次にアルミナ/NiTi合金混合粉末を1/3,
1/1,3/1の順に厚み各1mm、更にこれに接して
アルミナ100%粉末を厚み5mmとなるように圧力1
50kg/cm2 で充填した。
ナ/NiTi合金混合粉末を1/3,1/1,3/1の
順に厚み各1mm,それに接してNiTi合金100%
層を厚み4mmとなるようにこれも圧力150kg/c
m2 で充填した。これに上押し棒をセットし、上下押し
棒の外に出ている部分の長さを調節して原料粉末の位置
を成形外枠の高さ方向の中央部に来るように調整した
後、通電焼結機にセットし、圧力500kg/cm2 ま
で加圧した。この加圧状態でパルス通電を開始した。パ
ルスのon/off比は32/2とした。
度で1200℃で行い、試料の収縮が止まって後、1分
保持して通電を停止した。このときの1200℃での全
焼結保持時間は約2.2分であった。冷却後回収された
焼結体は厚み約10.8mmであり、その断面には割れ
や気孔の発生は観察されず、良好な傾斜機能材として焼
結できていた。このときのアルミナ100%部分の微小
硬さは1950kg/mm2 であった。
セラミック材料の組み合わせからなる傾斜機能材の通電
焼結法による製造において、その成形外枠の加圧軸方向
の肉厚を焼結しようとする傾斜機能材の構成材料の熱的
性質に応じて適切に調整することにより、傾斜機能材を
その傾斜組成に合わせた温度傾斜のもとで無理なく焼結
できる。この方法により短時間に、高効率に、高品位の
信頼性の高い傾斜機能材を製造できる。
末圧粉体の断面図である。
末圧粉体の断面図である。
法を説明する縦断面図的概略図である。
る。
る。
る。
Claims (1)
- 【請求項1】 金属とセラミックの間にそれら両成分よ
りなる傾斜混合層を有する傾斜機能材を成形外枠と押し
棒を用いて通電焼結により製造する方法において、該金
属の融点をal、該セラミックの融点をa2としたと
き、a1<a2となる組み合わせにおいて、成形外枠の
肉厚が該金属側から該セラミック側へ連続および/また
はステップ状に減少する部分を少なくとも該成形外枠の
一部に持ち、また、a1>a2となる組み合わせにおい
て、該成形外枠の肉厚が該セラミック側から該金属側へ
連続および/またはステップ状に減少する部分を少なく
とも該成形外枠の一部に持ち、該成形外枠を少なくとも
1つの通電経路とし、通電中に該傾斜機能材の加圧軸方
向に温度傾斜を形成することを特徴とする傾斜機能材の
製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5098802A JPH0784352B2 (ja) | 1993-03-31 | 1993-03-31 | 傾斜機能材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5098802A JPH0784352B2 (ja) | 1993-03-31 | 1993-03-31 | 傾斜機能材の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06287076A JPH06287076A (ja) | 1994-10-11 |
JPH0784352B2 true JPH0784352B2 (ja) | 1995-09-13 |
Family
ID=14229483
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5098802A Expired - Fee Related JPH0784352B2 (ja) | 1993-03-31 | 1993-03-31 | 傾斜機能材の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0784352B2 (ja) |
Cited By (1)
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---|---|---|---|---|
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-
1993
- 1993-03-31 JP JP5098802A patent/JPH0784352B2/ja not_active Expired - Fee Related
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---|---|
JPH06287076A (ja) | 1994-10-11 |
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S201 | Request for registration of exclusive licence |
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S531 | Written request for registration of change of domicile |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R350 | Written notification of registration of transfer |
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S533 | Written request for registration of change of name |
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R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
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S533 | Written request for registration of change of name |
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R370 | Written measure of declining of transfer procedure |
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R350 | Written notification of registration of transfer |
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R250 | Receipt of annual fees |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20070913 Year of fee payment: 12 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080913 Year of fee payment: 13 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090913 Year of fee payment: 14 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100913 Year of fee payment: 15 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100913 Year of fee payment: 15 |
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S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
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S533 | Written request for registration of change of name |
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|
R350 | Written notification of registration of transfer |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100913 Year of fee payment: 15 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100913 Year of fee payment: 15 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120913 Year of fee payment: 17 |
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