JPH0781963B2 - 細線の微細欠陥検出装置 - Google Patents
細線の微細欠陥検出装置Info
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- JPH0781963B2 JPH0781963B2 JP1293556A JP29355689A JPH0781963B2 JP H0781963 B2 JPH0781963 B2 JP H0781963B2 JP 1293556 A JP1293556 A JP 1293556A JP 29355689 A JP29355689 A JP 29355689A JP H0781963 B2 JPH0781963 B2 JP H0781963B2
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
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- General Physics & Mathematics (AREA)
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- Pathology (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Closed-Circuit Television Systems (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、光学的手段を使用した外観検査装置等におけ
る細線の微細欠陥検出装置に関するものである。
る細線の微細欠陥検出装置に関するものである。
従来の技術 以下、従来の細線の微細欠陥検出装置について図面を参
照して説明する。
照して説明する。
第３図は従来の細線の微細欠陥検出装置の模式図であ
る。同図において、１は被測定物としての細線である。
光源部はハロゲンランプ等の光源13とハーフミラー14で
構成される。検出部はテレビカメラ５と拡大レンズ12で
構成される。処理部はモニターテレビ７と画像認識装置
８で構成される。
る。同図において、１は被測定物としての細線である。
光源部はハロゲンランプ等の光源13とハーフミラー14で
構成される。検出部はテレビカメラ５と拡大レンズ12で
構成される。処理部はモニターテレビ７と画像認識装置
８で構成される。
以上のように構成された細線の微細欠陥検出装置につい
て、以下その動作を示す。
て、以下その動作を示す。
まず、光源13から出射された光はハーフミラー14で反射
され、拡大レンズ12を透過して被測定物１に照射され
る。被測定物１に照射された光は物体光として反射さ
れ、前記拡大レンズ12、前記ハーフミラー14を透過し
て、テレビカメラ５の撮像面に拡大実体画像として結像
される。結像された拡大実体画像は映像信号として画像
認識装置８に送信され、さらにモニターテレビ７に送信
される。検査部の測定可能視野内の欠陥はモニターテレ
ビ７による目視検出、もしくは画像認識装置８による自
動検出により検出される。
され、拡大レンズ12を透過して被測定物１に照射され
る。被測定物１に照射された光は物体光として反射さ
れ、前記拡大レンズ12、前記ハーフミラー14を透過し
て、テレビカメラ５の撮像面に拡大実体画像として結像
される。結像された拡大実体画像は映像信号として画像
認識装置８に送信され、さらにモニターテレビ７に送信
される。検査部の測定可能視野内の欠陥はモニターテレ
ビ７による目視検出、もしくは画像認識装置８による自
動検出により検出される。
発明が解決しようとする課題 しかしながら上記の従来の構成では、高分解能を得るた
めの光学系の高倍率化により生じる視野の縮小のため、
１画像に対し被測定物の極一部分での検出しかできな
い。このため全体像について測定するためには、被測定
物又は測定装置のいずれかをスキャンする必要があり、
測定に長時間を要したり、正確な測定が困難になるとい
う問題があった。
めの光学系の高倍率化により生じる視野の縮小のため、
１画像に対し被測定物の極一部分での検出しかできな
い。このため全体像について測定するためには、被測定
物又は測定装置のいずれかをスキャンする必要があり、
測定に長時間を要したり、正確な測定が困難になるとい
う問題があった。
また、被測定物としての細線は、これを拡大してみると
立体状になっており、両側線近傍部は反射光の散乱のた
め、画像が暗くなり欠陥の検出が困難になるという欠点
を有していた。
立体状になっており、両側線近傍部は反射光の散乱のた
め、画像が暗くなり欠陥の検出が困難になるという欠点
を有していた。
本発明は上記従来の問題点を解決するもので、被測定物
に対し広範囲な細線の欠陥を一括して検出ができ、高精
度、高信頼性のある細線の微細欠陥検出方法を提供する
ことを目的とする。
に対し広範囲な細線の欠陥を一括して検出ができ、高精
度、高信頼性のある細線の微細欠陥検出方法を提供する
ことを目的とする。
課題を解決するための手段 この目的を達成するために本発明の第１の発明は、被測
定物に対し被測定物の長手方向に平面状に拡がり厚みが
被測定物の厚みより大である光束をもつレーザー光を照
射するためのシリンドリカルレンズ群と、被測定物を通
過した散乱光以外のレーザー光を遮光する遮光板と、散
乱光による画像のフーリエ変換されたパターン（以下フ
ーリエパターンと呼ぶことがある）の乱れを縮小検出す
る光学系及び画像認識装置の構成を有している。
定物に対し被測定物の長手方向に平面状に拡がり厚みが
被測定物の厚みより大である光束をもつレーザー光を照
射するためのシリンドリカルレンズ群と、被測定物を通
過した散乱光以外のレーザー光を遮光する遮光板と、散
乱光による画像のフーリエ変換されたパターン（以下フ
ーリエパターンと呼ぶことがある）の乱れを縮小検出す
る光学系及び画像認識装置の構成を有している。
また、本発明の第２の発明は、上記検出方法において、
被測定物に対し２方向より均一な平面波のレーザー光を
照射する手段と、それぞれの散乱光による画像のフーリ
エパターンを検出する手段を有している。
被測定物に対し２方向より均一な平面波のレーザー光を
照射する手段と、それぞれの散乱光による画像のフーリ
エパターンを検出する手段を有している。
作用 本発明の第１の発明は、遮光板により散乱光のみを検出
できるため、高精度な細線の欠陥検出ができる。さら
に、シリンドリカルレンズ群により被測定物の長手方向
に平面状に拡がり厚みが被測定物の厚みより大である光
束をもつレーザー光を照射でき、かつ光学系により散乱
光による画像のフーリエパターンを縮小検出できるた
め、一括に広範囲な細線の欠陥検出ができる。
できるため、高精度な細線の欠陥検出ができる。さら
に、シリンドリカルレンズ群により被測定物の長手方向
に平面状に拡がり厚みが被測定物の厚みより大である光
束をもつレーザー光を照射でき、かつ光学系により散乱
光による画像のフーリエパターンを縮小検出できるた
め、一括に広範囲な細線の欠陥検出ができる。
また、本発明の第２の発明は、２方向より前記レーザー
光を照射し、それぞれの散乱光による画像のフーリエパ
ターンを検出できるため、検出の死角を縮小でき、より
信頼性の高い細線の欠陥検出ができる。
光を照射し、それぞれの散乱光による画像のフーリエパ
ターンを検出できるため、検出の死角を縮小でき、より
信頼性の高い細線の欠陥検出ができる。
実 施 例 以下本発明の一実施例について、図面を参照しながら説
明する。
明する。
第１図は本発明の第１の実施例における細線の微細欠陥
検出装置の模式図である。同図において、１は被測定物
としての細線である。光源部はレーザー光源２とシリン
ドリカルレンズ群３で構成される。検出部は集光レンズ
４とテレビカメラ５と遮光板６で構成される。この遮光
板６は直射光を遮断するものである。処理部はモニター
テレビ７と画像認識装置８で構成される。
検出装置の模式図である。同図において、１は被測定物
としての細線である。光源部はレーザー光源２とシリン
ドリカルレンズ群３で構成される。検出部は集光レンズ
４とテレビカメラ５と遮光板６で構成される。この遮光
板６は直射光を遮断するものである。処理部はモニター
テレビ７と画像認識装置８で構成される。
以上のように構成された細線の微細欠陥検出装置につい
て、以下その動作を示す。
て、以下その動作を示す。
まず、単波長のレーザー光がレーザー光源２から出射さ
れ、シリンドリカルレンズ群３を透過する際に被測定物
１の長手方向に平面状に拡がり厚みが被測定物１の厚み
より大である光束をもつレーザー光に変換され、被測定
物１に照射される。前記レーザー光は被測定物１により
散乱され、集光レンズ４によりテレビカメラ５の撮像面
に画像のフーリエパターンとして縮小結像される。この
とき、被測定物１の周辺を直進状に通過したレーザー光
は遮光板６で遮光される。
れ、シリンドリカルレンズ群３を透過する際に被測定物
１の長手方向に平面状に拡がり厚みが被測定物１の厚み
より大である光束をもつレーザー光に変換され、被測定
物１に照射される。前記レーザー光は被測定物１により
散乱され、集光レンズ４によりテレビカメラ５の撮像面
に画像のフーリエパターンとして縮小結像される。この
とき、被測定物１の周辺を直進状に通過したレーザー光
は遮光板６で遮光される。
散乱光による画像のフーリエパターンは映像信号として
画像処理装置８に送信され、モニターテレビ７に送信さ
れる。散乱光による画像のフーリエパターンは被測定物
１の微細な欠陥により乱れ、この乱れを画像認識装置８
により認識し、欠陥を検出する。
画像処理装置８に送信され、モニターテレビ７に送信さ
れる。散乱光による画像のフーリエパターンは被測定物
１の微細な欠陥により乱れ、この乱れを画像認識装置８
により認識し、欠陥を検出する。
以上のように本実施例によれば、遮光板６により直射光
の影響を排除して散乱光のみを検出できるため、高精度
な細線の欠陥検出ができる。また、シリンドリカルレン
ズ群３により被測定物の長手方向に平面状に拡がり厚み
が被測定物の厚みより大である光束をもつレーザー光を
被測定物１に照射でき、集光レンズ４とテレビカメラ５
により散乱光による画像のフーリエパターンを縮小検出
できるため、広範囲な細線の欠陥を一括して検出ができ
る。
の影響を排除して散乱光のみを検出できるため、高精度
な細線の欠陥検出ができる。また、シリンドリカルレン
ズ群３により被測定物の長手方向に平面状に拡がり厚み
が被測定物の厚みより大である光束をもつレーザー光を
被測定物１に照射でき、集光レンズ４とテレビカメラ５
により散乱光による画像のフーリエパターンを縮小検出
できるため、広範囲な細線の欠陥を一括して検出ができ
る。
第２図は本発明の第２の実施例における細線の微細欠陥
検出装置の模式図である。同図において、１は被測定物
である。光源部はレーザー光源２とシリンドリカルレン
ズ群３−a,3−ｂで構成される。検出部は集光レンズ４
−a,4−ｂとテレビカメラ５−a,5−ｂ遮光板６−a,6−
ｂで構成される。処理部はモニターテレビ７−a,7−ｂ
と画像認識装置８で構成される。
検出装置の模式図である。同図において、１は被測定物
である。光源部はレーザー光源２とシリンドリカルレン
ズ群３−a,3−ｂで構成される。検出部は集光レンズ４
−a,4−ｂとテレビカメラ５−a,5−ｂ遮光板６−a,6−
ｂで構成される。処理部はモニターテレビ７−a,7−ｂ
と画像認識装置８で構成される。
以上は第１図の構成と同様なものである。第１図の構成
と異なるのはレーザー光を被測定物に対し２方向から照
射するための、ハーフミラー９と全反射ミラー10,11設
けた点である。
と異なるのはレーザー光を被測定物に対し２方向から照
射するための、ハーフミラー９と全反射ミラー10,11設
けた点である。
上記のように構成された細線の微細欠陥検出装置につい
て、以下その動作を示す。
て、以下その動作を示す。
まず、レーザー光源２から出射された単波長のレーザー
光はハーフミラー９で２分され、一方はシリンドリカル
レンズ群３−ａに、他方は全反射ミラー10,11で光軸制
御された後シリンドリカルレンズ群３−ｂに照射され
る。さらに、照射されたレーザー光はシリンドリカルレ
ンズ群３−a,3−ｂを透過する際に、被測定物１の長手
方向に平面状に拡がり厚みが被測定物１の厚みより大で
ある光束を有するレーザー光に変換され、被測定物１に
２方向から照射され、被測定物１により散乱され、集光
レンズ４−a,4−ｂによりテレビカメラ５−a,5−ｂの撮
像面に画像のフーリエパターンとしてそれぞれ結像され
る。このとき、被測定物１を通過した前記レーザー光は
遮光板６−a,6−ｂで遮光される。
光はハーフミラー９で２分され、一方はシリンドリカル
レンズ群３−ａに、他方は全反射ミラー10,11で光軸制
御された後シリンドリカルレンズ群３−ｂに照射され
る。さらに、照射されたレーザー光はシリンドリカルレ
ンズ群３−a,3−ｂを透過する際に、被測定物１の長手
方向に平面状に拡がり厚みが被測定物１の厚みより大で
ある光束を有するレーザー光に変換され、被測定物１に
２方向から照射され、被測定物１により散乱され、集光
レンズ４−a,4−ｂによりテレビカメラ５−a,5−ｂの撮
像面に画像のフーリエパターンとしてそれぞれ結像され
る。このとき、被測定物１を通過した前記レーザー光は
遮光板６−a,6−ｂで遮光される。
散乱光による画像のフーリエパターンは撮像信号として
画像処理装置８に送信され、モニターテレビ７−a,7−
ｂに送信される。散乱光による画像のフーリエパターン
は被測定物１の微細な欠陥により乱れ、この乱れを画像
認識装置８によりそれぞれ認識し、２方向から観測した
細線の欠陥を同時検出する。
画像処理装置８に送信され、モニターテレビ７−a,7−
ｂに送信される。散乱光による画像のフーリエパターン
は被測定物１の微細な欠陥により乱れ、この乱れを画像
認識装置８によりそれぞれ認識し、２方向から観測した
細線の欠陥を同時検出する。
以上のように本実施例によれば、第１の実施例で得られ
る効果に加えて、欠陥検出の死角を縮小でき、より信頼
性の高い細線の欠陥検出ができる。
る効果に加えて、欠陥検出の死角を縮小でき、より信頼
性の高い細線の欠陥検出ができる。
なお、第１の実施例において、検出系はテレビカメラと
画像認識装置としたが、検出系は光電子増倍管として光
量の変化を検出してもよい。
画像認識装置としたが、検出系は光電子増倍管として光
量の変化を検出してもよい。
また、第２の実施例において、検出系はテレビカメラと
画像認識装置としたが、検出系は光電子増倍管として光
量の変化を検出してもよいことは言うまでもない。
画像認識装置としたが、検出系は光電子増倍管として光
量の変化を検出してもよいことは言うまでもない。
発明の効果 以上のように第１の発明によれば、被測定物に対し被測
定物の長手方向に平面状に拡がり厚みが被測定物の厚み
より大である光束をもつレーザー光を照射するためのシ
リンドリカルレンズ群と、被測定物を通過した散乱光以
外のレーザー光を遮光する遮光板と、散乱光による画像
のフーリエパターンの乱れを縮小検出する光学系及び画
像認識装置を設けられているので、広範囲な微細欠陥を
一括して検出ができ、被測定物全体の検査を高速化でき
る。
定物の長手方向に平面状に拡がり厚みが被測定物の厚み
より大である光束をもつレーザー光を照射するためのシ
リンドリカルレンズ群と、被測定物を通過した散乱光以
外のレーザー光を遮光する遮光板と、散乱光による画像
のフーリエパターンの乱れを縮小検出する光学系及び画
像認識装置を設けられているので、広範囲な微細欠陥を
一括して検出ができ、被測定物全体の検査を高速化でき
る。
また、第２の発明によれば、被測定物に対し２方向より
前記レーザー光を照射し、それぞれの散乱光による画像
のフーリエパターンを検出する構成のため、第１の発明
で得られる効果に加えて、欠陥検出の死角を縮小でき、
より信頼性の高い優れた細線の微細欠陥検出装置を実現
できるものである。
前記レーザー光を照射し、それぞれの散乱光による画像
のフーリエパターンを検出する構成のため、第１の発明
で得られる効果に加えて、欠陥検出の死角を縮小でき、
より信頼性の高い優れた細線の微細欠陥検出装置を実現
できるものである。
第１図は本発明の第１の実施例における細線の微細欠陥
検出装置の模式図、第２図は本発明の第２の実施例にお
ける細線の微細欠陥検出装置の模式図、第３図は従来の
細線の微細欠陥検出装置の模式図である。 １……被測定物、２……レーザー光源、３……シリンド
リカルレンズ群、４……集光レンズ、５……テレビカメ
ラ、６……遮光板、７……モニターテレビ、８……画像
認識装置。
検出装置の模式図、第２図は本発明の第２の実施例にお
ける細線の微細欠陥検出装置の模式図、第３図は従来の
細線の微細欠陥検出装置の模式図である。 １……被測定物、２……レーザー光源、３……シリンド
リカルレンズ群、４……集光レンズ、５……テレビカメ
ラ、６……遮光板、７……モニターテレビ、８……画像
認識装置。
Claims (2)
- 【請求項１】被測定物に単波長のレーザー光を照射する
ことにより形成される画像のフーリエ変換されたパター
ンをテレビカメラにて観測する装置において、被測定物
は細線で、前記被測定物に対し被測定物の長手方向に平
面状に拡がり厚みが被測定物の厚みより大である光束を
形成するシリンドリカルレンズ群と、前記被測定物を通
過した散乱光以外のレーザー光を遮光する遮光板と、散
乱光による画像のフーリエ変換されたパターンの乱れを
縮小検出する光学系及び画像認識装置を備えたことを特
徴とする細線の微細欠陥検出装置。 - 【請求項２】請求項１記載の細線の微細欠陥検出装置に
おいて、被測定物に対し２方向より被測定物の長手方向
に平面状に拡がり厚みが被測定レーザー光を照射する手
段と、それぞれの数乱光による画像のグーリエ変換され
たパターンを検出する手段とを有することを特徴とする
細線の微細欠陥検出装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1293556A JPH0781963B2 (ja) | 1989-11-10 | 1989-11-10 | 細線の微細欠陥検出装置 |
| KR1019900018174A KR940002504B1 (ko) | 1989-11-10 | 1990-11-10 | 가는선의 미세결함 검출장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1293556A JPH0781963B2 (ja) | 1989-11-10 | 1989-11-10 | 細線の微細欠陥検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03154854A JPH03154854A (ja) | 1991-07-02 |
| JPH0781963B2 true JPH0781963B2 (ja) | 1995-09-06 |
Family
ID=17796277
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1293556A Expired - Lifetime JPH0781963B2 (ja) | 1989-11-10 | 1989-11-10 | 細線の微細欠陥検出装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0781963B2 (ja) |
| KR (1) | KR940002504B1 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CA2084819A1 (en) * | 1992-01-27 | 1993-07-28 | Ralph Edourd Frazee Jr. | In-pattern on-line coating defect detection system |
| CA2088081A1 (en) * | 1992-02-13 | 1993-08-14 | Ralph Edward Frazee Jr. | Out-of-pattern coating defect detection system |
| KR101288528B1 (ko) * | 2011-07-25 | 2013-07-26 | 디케이아즈텍 주식회사 | 실린더 형상의 투명 결정체 내의 결함측정방법 |
-
1989
- 1989-11-10 JP JP1293556A patent/JPH0781963B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1990
- 1990-11-10 KR KR1019900018174A patent/KR940002504B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03154854A (ja) | 1991-07-02 |
| KR910010179A (ko) | 1991-06-29 |
| KR940002504B1 (ko) | 1994-03-25 |
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