JPH0495863A - 細線の微細欠陥検査装置 - Google Patents
細線の微細欠陥検査装置Info
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- JPH0495863A JPH0495863A JP21284690A JP21284690A JPH0495863A JP H0495863 A JPH0495863 A JP H0495863A JP 21284690 A JP21284690 A JP 21284690A JP 21284690 A JP21284690 A JP 21284690A JP H0495863 A JPH0495863 A JP H0495863A
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- diffraction pattern
- laser beam
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- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 25
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 24
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- 230000000007 visual effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 6
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- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 4
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は細線の微細欠陥検査装置に関し、とくに光学的
手段を使用した外観検査装置に関する。
手段を使用した外観検査装置に関する。
従来の技術
以下、従来の細線の微細欠陥検査装置について、図面を
参照して説明する。
参照して説明する。
第４図は従来の細線の微細欠陥検査装置の模式図である
。同図において、１１は被測定物としての細線である。
。同図において、１１は被測定物としての細線である。
光源はハロゲンランプなどの光源２１とハーフミラ−２
２で構成される。検出部はテレビカメラ１５と拡大レン
ズ２０で構成される。処理部は、モニターテレビ１７と
画像認識装置１８で構成される。
２で構成される。検出部はテレビカメラ１５と拡大レン
ズ２０で構成される。処理部は、モニターテレビ１７と
画像認識装置１８で構成される。
以上のように構成された細線の微細欠陥検出装置につい
て、以下その動作を示す。
て、以下その動作を示す。
まず、光源２１から出た光は、ハーフミラ−２２で反射
され、拡大レンズ２０を透過して、テレビカメラ１５の
撮像面に拡大実体画像として結像される。結像された拡
大実体画像は、映像信号として画像認識装置１８に送信
され、さらにモニターテレビ１７に送信される。検出部
の測定可能視野内の欠陥はモニターテレビ１７による目
視検出、もしくは画像認識装置１８により検出される。
され、拡大レンズ２０を透過して、テレビカメラ１５の
撮像面に拡大実体画像として結像される。結像された拡
大実体画像は、映像信号として画像認識装置１８に送信
され、さらにモニターテレビ１７に送信される。検出部
の測定可能視野内の欠陥はモニターテレビ１７による目
視検出、もしくは画像認識装置１８により検出される。
発明が解決しようとする課題
しかしながら、上記従来の細線の微細欠陥検査装置の構
成では、高分解能を得るための光学系の高倍率化により
生じる視野の縮小のため、１画像に対し被測定物１のご
く一部分での検出しかできない。このため、被測定物１
の全体について測定するためには、測定に時間を要した
り、正確な測定が困難になるという問題があった。
成では、高分解能を得るための光学系の高倍率化により
生じる視野の縮小のため、１画像に対し被測定物１のご
く一部分での検出しかできない。このため、被測定物１
の全体について測定するためには、測定に時間を要した
り、正確な測定が困難になるという問題があった。
また搬送中の被測定物１では、被測定物１のぶれが繁雑
に起こるため、高倍率の視野での測定では視野から被測
定物１が外れることが多く、測定が非常に困難であるた
め、搬送後の被測定物１が停止状態での目視検査などに
よらざるを得す、測定に時間を要する上、正確な測定が
困難であった。
に起こるため、高倍率の視野での測定では視野から被測
定物１が外れることが多く、測定が非常に困難であるた
め、搬送後の被測定物１が停止状態での目視検査などに
よらざるを得す、測定に時間を要する上、正確な測定が
困難であった。
本発明はこのような問題点を解決するもので、搬送中の
リアルタイムでの欠陥検査ができる細線の微細欠陥検査
装置を提供することを目的とする。
リアルタイムでの欠陥検査ができる細線の微細欠陥検査
装置を提供することを目的とする。
課題を解決するための手段
この目的を達成するために本発明の細線の微細欠陥検査
装置はレーザー光を照射するための光学系と、連続した
被測定物に対し被測定物を通過した散乱光以外のレーザ
ー光を遮光する遮光板と、散乱光による回折パターンの
乱れを検出する光学系および画像認識装置からなる構成
を有している。
装置はレーザー光を照射するための光学系と、連続した
被測定物に対し被測定物を通過した散乱光以外のレーザ
ー光を遮光する遮光板と、散乱光による回折パターンの
乱れを検出する光学系および画像認識装置からなる構成
を有している。
また本発明検査装置は、レーザー光を照射するための光
学系と、連続した被測定物に対し被測定物の進行方向に
任意の角度で平面状に拡がり、厚みが被測定物の厚みよ
り大である光束を形成する光学系と、連続した被測定物
を通過した散乱光以外のレーザー光を遮光する遮光板と
、散乱光による回折パターンの乱れと移動量を検出する
光学系および画像認識装置からなる構成を有している。
学系と、連続した被測定物に対し被測定物の進行方向に
任意の角度で平面状に拡がり、厚みが被測定物の厚みよ
り大である光束を形成する光学系と、連続した被測定物
を通過した散乱光以外のレーザー光を遮光する遮光板と
、散乱光による回折パターンの乱れと移動量を検出する
光学系および画像認識装置からなる構成を有している。
さらにまた本発明検査装置は、レーザー光を照射するた
めの光学系と、一定の長さの被測定物に対し被測定物の
進行の垂直方向に任意の角度で平面状に拡がり、厚みが
被測定物の厚みより大である光束を形成する光学系と、
被測定物を通過した散乱光以外のレーザー光を遮光する
遮光板と、散乱光による回折パターンの乱れと移動量を
検出する光学系および画像認識装置からなる構成を有し
ている。
めの光学系と、一定の長さの被測定物に対し被測定物の
進行の垂直方向に任意の角度で平面状に拡がり、厚みが
被測定物の厚みより大である光束を形成する光学系と、
被測定物を通過した散乱光以外のレーザー光を遮光する
遮光板と、散乱光による回折パターンの乱れと移動量を
検出する光学系および画像認識装置からなる構成を有し
ている。
作用
この構成により本発明の細線の微細欠陥検査装置の第１
の手段は、搬送中の連続にした被測定物にレーザー光を
照射し、遮断板により散乱光のみを検出することができ
る。
の手段は、搬送中の連続にした被測定物にレーザー光を
照射し、遮断板により散乱光のみを検出することができ
る。
また本発明の第２の手段は、光学系により搬送される連
続した被測定物の進行方向に任意の角度で平面状に拡が
り、厚みが被測定物の厚みより大である光束を持つレー
ザー光を照射でき、かつ光学系により散乱光による回折
パターンの乱れと移動量を検出できる。
続した被測定物の進行方向に任意の角度で平面状に拡が
り、厚みが被測定物の厚みより大である光束を持つレー
ザー光を照射でき、かつ光学系により散乱光による回折
パターンの乱れと移動量を検出できる。
また、本発明の第３の手段は、一定の長さの被測定物に
対し、被測定物の進行の垂直方向に対し、任意の角度で
平面状に拡がり厚みが前記被測定物の厚みより大である
レーザー光を照射でき、かつ光学系により散乱光による
回折パターンの乱れと移動量を検出できる。
対し、被測定物の進行の垂直方向に対し、任意の角度で
平面状に拡がり厚みが前記被測定物の厚みより大である
レーザー光を照射でき、かつ光学系により散乱光による
回折パターンの乱れと移動量を検出できる。
実施例
以下本発明の実施例の細線の微細欠陥検査装置について
、図面を参照しながら説明する。
、図面を参照しながら説明する。
第１図は本発明の第１の実施例における細線の微細欠陥
検査装置の模式図である。
検査装置の模式図である。
第１図において、１は被測定物としての搬送中の細線で
ある。光源部は、レーザー光源２とレンズ群３で構成さ
れる。検出部は、集光レンズ４とテレビカメラ５と遮光
板６で構成される。この遮光板６は、Ｏ次回指光を遮断
するものである。処理部は、モニターテレビ７と画像認
識装置８で構成される。以上のように構成された細線の
微細欠陥検査装置について、以下その動作を説明する。
ある。光源部は、レーザー光源２とレンズ群３で構成さ
れる。検出部は、集光レンズ４とテレビカメラ５と遮光
板６で構成される。この遮光板６は、Ｏ次回指光を遮断
するものである。処理部は、モニターテレビ７と画像認
識装置８で構成される。以上のように構成された細線の
微細欠陥検査装置について、以下その動作を説明する。
まず単波長のレーザー光がレーザー光源２から出射され
、レンズ群３を透過後被測定物１の径より大である光束
を持つレーザー光に変換され、被測定物１に照射される
。このレーザー光は、被測定物１により散乱され、集光
レンズ４によりテレビカメラ５の撮像面に画面の回折パ
ターンとして縮小結像される。この時、回折０次光は、
逆光板６で遮光される。
、レンズ群３を透過後被測定物１の径より大である光束
を持つレーザー光に変換され、被測定物１に照射される
。このレーザー光は、被測定物１により散乱され、集光
レンズ４によりテレビカメラ５の撮像面に画面の回折パ
ターンとして縮小結像される。この時、回折０次光は、
逆光板６で遮光される。
散乱光による画像の回折パターンは、映像信号として画
像処理装置８に送信され、モニターテレビ７に送信され
る。散乱光による画像の回折パターンは、被測定物１の
微細な欠陥により乱れ、この乱れを、画像認識装置８に
より認識し、欠陥を検出する。
像処理装置８に送信され、モニターテレビ７に送信され
る。散乱光による画像の回折パターンは、被測定物１の
微細な欠陥により乱れ、この乱れを、画像認識装置８に
より認識し、欠陥を検出する。
以上のように、本実施例によれば、遮光板６により回折
０次光の影響を排除して、散乱光のみを検出できるため
、高精度な細線の欠陥検出ができる。また、対象物であ
る連続した細線を搬送中に検査できることから、リアル
タイムの欠陥検査ができる。
０次光の影響を排除して、散乱光のみを検出できるため
、高精度な細線の欠陥検出ができる。また、対象物であ
る連続した細線を搬送中に検査できることから、リアル
タイムの欠陥検査ができる。
第２図は本発明の第２の実施例における細線の微細欠陥
検査装置の模式図である。
検査装置の模式図である。
第２図において、１は被測定物として搬送中の細線であ
る。光源部は、レーザー光源２とシリンドリカルレンズ
群９で構成される。検出部は、集光レンズ４とテレビカ
メラ５と逆光板６で構成される。処理部は、モニターテ
レビ７と画像認識装置８で構成される。以上のように構
成された細線の微細欠陥検査装置について、以下その動
作を説明する。
る。光源部は、レーザー光源２とシリンドリカルレンズ
群９で構成される。検出部は、集光レンズ４とテレビカ
メラ５と逆光板６で構成される。処理部は、モニターテ
レビ７と画像認識装置８で構成される。以上のように構
成された細線の微細欠陥検査装置について、以下その動
作を説明する。
まず、単波長のレーザー光が、レーザー光源２から出射
され、シリンドリカルレンズ群９を透過後、被測定物１
の進行方向に平面状に拡がり、厚みが被測定物１の厚み
より大である光束を持つレーザー光に変換され、被測定
物１に照射される。前記レーザー光は、被測定物１によ
り散乱され、集光レンズ４によりテレビカメラ５の撮像
面に画面の回折パターンとして縮小結像される。この時
、回折０次光は、遮光板６で遮光される。
され、シリンドリカルレンズ群９を透過後、被測定物１
の進行方向に平面状に拡がり、厚みが被測定物１の厚み
より大である光束を持つレーザー光に変換され、被測定
物１に照射される。前記レーザー光は、被測定物１によ
り散乱され、集光レンズ４によりテレビカメラ５の撮像
面に画面の回折パターンとして縮小結像される。この時
、回折０次光は、遮光板６で遮光される。
散乱光による画像の回折パターンは、映像信号として画
像処理装置８に送信され、モニターテレビ７に送信され
る。散乱光による画像の回折パターンは、被測定物１の
微細な欠陥により乱れ、この乱れを、画像認識袋Ｎ８に
より認識し、欠陥を検出する。
像処理装置８に送信され、モニターテレビ７に送信され
る。散乱光による画像の回折パターンは、被測定物１の
微細な欠陥により乱れ、この乱れを、画像認識袋Ｎ８に
より認識し、欠陥を検出する。
以上のように、本実施例によれば、第１の実施例で得ら
れる効果に加えて、回折パターンのずれから被測定物で
ある搬送中の線材のぶれ量が検出でき、さらにぶれに対
する検出補正ができる。
れる効果に加えて、回折パターンのずれから被測定物で
ある搬送中の線材のぶれ量が検出でき、さらにぶれに対
する検出補正ができる。
第３図は本発明の第３の実施例における細線の微細欠陥
検査装置の模式図である。
検査装置の模式図である。
第３図において、１は一定の長さの被測定物である。光
源部は、レーザー光源２とシリンドリカルレンズ群９で
構成される。検出部は、集光レンズ４とテレビカメラ５
と遮光板６で構成される。
源部は、レーザー光源２とシリンドリカルレンズ群９で
構成される。検出部は、集光レンズ４とテレビカメラ５
と遮光板６で構成される。
処理部は、モニターテレビ７と画像認識装置８で構成さ
れる。以上のように構成された細線の微細欠陥検査装置
について、以下その動作を説明する。
れる。以上のように構成された細線の微細欠陥検査装置
について、以下その動作を説明する。
まず、単波長のレーザー光が、レーザー光源２から出射
され、シリンドリカルレンズ群９を透過後、被測定物１
の進行の垂直方向に平面状に拡がり、厚みが被測定物１
の厚みより大である光束を持つレーザー光に変換され、
被測定物１に照射され、レーザー光は、被測定物ｌによ
り散乱され、集光レンズ４によりテレビカメラ５の撮像
面に画面の回折パターンとして縮小結像される。この時
、回折０次光は、遮光板６で、遮光される。
され、シリンドリカルレンズ群９を透過後、被測定物１
の進行の垂直方向に平面状に拡がり、厚みが被測定物１
の厚みより大である光束を持つレーザー光に変換され、
被測定物１に照射され、レーザー光は、被測定物ｌによ
り散乱され、集光レンズ４によりテレビカメラ５の撮像
面に画面の回折パターンとして縮小結像される。この時
、回折０次光は、遮光板６で、遮光される。
一定長さの被測定物が搬送されることで、散乱光による
画像の回折パターンは、映像信号として画像処理装置８
に送信され、モニターテレビ７に送信される。散乱光に
よる画像の回折パターンは、被測定物１の微細な欠陥に
より乱れ、この乱れを画像認識装置８により認識し、欠
陥を検出する。
画像の回折パターンは、映像信号として画像処理装置８
に送信され、モニターテレビ７に送信される。散乱光に
よる画像の回折パターンは、被測定物１の微細な欠陥に
より乱れ、この乱れを画像認識装置８により認識し、欠
陥を検出する。
以上のように、本実施例によれば、第１の実施例で得ら
れる効果に加えて、回折パターンのずれから被測定物で
ある搬送中の線材のぶれ量が検出でき、さらにぶれに対
する検出補正ができる。
れる効果に加えて、回折パターンのずれから被測定物で
ある搬送中の線材のぶれ量が検出でき、さらにぶれに対
する検出補正ができる。
発明の効果
以上の実施例の説明で明らかなように本発明の第１の実
施例によれば、搬送される連続した被測定物にレーザー
光を照射するための光学系と、被測定物を通過した散乱
光以外のレーザー光を遮光する遮光板と、散乱光による
回折パターンの乱れを検出する光学系および画像認識装
置が設けられているため、被測定物の微細欠陥を連続し
て検出することができ、リアルタイムでの欠陥検査がで
きる。
施例によれば、搬送される連続した被測定物にレーザー
光を照射するための光学系と、被測定物を通過した散乱
光以外のレーザー光を遮光する遮光板と、散乱光による
回折パターンの乱れを検出する光学系および画像認識装
置が設けられているため、被測定物の微細欠陥を連続し
て検出することができ、リアルタイムでの欠陥検査がで
きる。
また、本発明の第２の実施例によれば、シリンドリカル
レンズ群により搬送される連続した被測定物の進行方向
に平面状に拡がり厚みが被測定物の厚みより大である光
束を持つレーザー光を照射し、かつ光学系により散乱光
による画像の回折パターンを検出できるため、より信頼
性の高いリアルタイムでの欠陥検査ができる。また、回
折パターンのずれから被測定物である搬送中の線材のぶ
れ量が検出でき、さらにぶれに対する検出補正ができる
。
レンズ群により搬送される連続した被測定物の進行方向
に平面状に拡がり厚みが被測定物の厚みより大である光
束を持つレーザー光を照射し、かつ光学系により散乱光
による画像の回折パターンを検出できるため、より信頼
性の高いリアルタイムでの欠陥検査ができる。また、回
折パターンのずれから被測定物である搬送中の線材のぶ
れ量が検出でき、さらにぶれに対する検出補正ができる
。
また、本発明の第３の実施例によれば、一定の長さの被
測定物に対し、被測定物の進行の垂直方向に対し、任意
の角度で平面状に拡がり、厚みが被測定物の厚みより大
であるレーザー光を照射し、かつ光学系により散乱光に
よる画像の回折パターンを検出できるため、搬送中のリ
アルタイムでの欠陥検査ができ、さらに、搬送速度、搬
送中のぶれ量を検出し、それらに対する検出補正ができ
る。
測定物に対し、被測定物の進行の垂直方向に対し、任意
の角度で平面状に拡がり、厚みが被測定物の厚みより大
であるレーザー光を照射し、かつ光学系により散乱光に
よる画像の回折パターンを検出できるため、搬送中のリ
アルタイムでの欠陥検査ができ、さらに、搬送速度、搬
送中のぶれ量を検出し、それらに対する検出補正ができ
る。
第１図は本発明の第１の実施例における細線の微細欠陥
検査装置の模式図、第２図は本発明の第２の実施例にお
ける細線の微細欠陥検査装置の模式図、第３図は本発明
の第３の実施例における細線の微細欠陥検査装置の模式
図、第４図は従来の細線の微細欠陥検査装置の模式図で
ある。 １・・・・・・被測定物、２・・・レーザー光源、３・
・・・・・レンズ群、４・・・・・・集光レンズ、５・
・・・・・テレビカメラ、６・・・・・・遮光板、７・
・・・・・モニターテレビ、８・・・・・・画像認識装
置、９・・・・・・シリンドリカルレンズ群。
検査装置の模式図、第２図は本発明の第２の実施例にお
ける細線の微細欠陥検査装置の模式図、第３図は本発明
の第３の実施例における細線の微細欠陥検査装置の模式
図、第４図は従来の細線の微細欠陥検査装置の模式図で
ある。 １・・・・・・被測定物、２・・・レーザー光源、３・
・・・・・レンズ群、４・・・・・・集光レンズ、５・
・・・・・テレビカメラ、６・・・・・・遮光板、７・
・・・・・モニターテレビ、８・・・・・・画像認識装
置、９・・・・・・シリンドリカルレンズ群。
Claims (3)
- （１）被測定物にレーザー光を照射することにより形成
される回折パターンを観測する装置において、前記被測
定物は長手方向に搬送される連続した細線で、前記被測
定物を通過した散乱光以外のレーザー光を遮光する遮光
板と、散乱光による前記回折パターンの乱れを検出する
光学系および画像認識装置からなる細線の微細欠陥検査
装置。 - （２）被測定物にレーザー光を照射することにより形成
される回折パターンを観測する装置において、長手方向
に搬送される細線からなる連続した前記被測定物に対し
、被測定物の進行方向に任意の角度で平面状に拡がり、
厚みが前記被測定物の厚みより大である光束を形成する
光学系と、前記被測定物を通過した散乱光以外のレーザ
ー光を遮光する遮光板と、散乱光による前記回折パター
ンの乱れと移動量を検出する光学系および画像認識装置
からなる細線の微細欠陥検査装置。 - （３）被測定物にレーザー光を照射することにより形成
される回折パターンを観測する装置において、一定の長
さの前記被測定物に対し、被測定物の進行の垂直方向に
任意の角度で平面状に拡がり、厚みが前記被測定物の厚
みより大である光束を形成する光学系と、前記被測定物
を通過した散乱光以外のレーザー光を遮光する遮光板と
、散乱光による前記回折パターンの乱れと移動量を検出
する光学系および画像認識装置からなる細線の微細欠陥
検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21284690A JPH0495863A (ja) | 1990-08-10 | 1990-08-10 | 細線の微細欠陥検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21284690A JPH0495863A (ja) | 1990-08-10 | 1990-08-10 | 細線の微細欠陥検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0495863A true JPH0495863A (ja) | 1992-03-27 |
Family
ID=16629302
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21284690A Pending JPH0495863A (ja) | 1990-08-10 | 1990-08-10 | 細線の微細欠陥検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0495863A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103591900A (zh) * | 2012-08-13 | 2014-02-19 | 住友电气工业株式会社 | 包覆线体的外径异常检测方法 |
-
1990
- 1990-08-10 JP JP21284690A patent/JPH0495863A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103591900A (zh) * | 2012-08-13 | 2014-02-19 | 住友电气工业株式会社 | 包覆线体的外径异常检测方法 |
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