JPH0779100A - 電子部品の製造方法 - Google Patents
電子部品の製造方法Info
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- JPH0779100A JPH0779100A JP5224387A JP22438793A JPH0779100A JP H0779100 A JPH0779100 A JP H0779100A JP 5224387 A JP5224387 A JP 5224387A JP 22438793 A JP22438793 A JP 22438793A JP H0779100 A JPH0779100 A JP H0779100A
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- Japan
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- resin
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 電子部品を構成するマグネット及び集磁板に
対して半導体素子を正確に位置決めして樹脂封止体に取
付る。 【構成】 金型(13)の凸部(28)に当接して保持部
(24)にマグネット(29)を装着し且つ金型(13)内に
形成される成形空所(19)に露出させ且つマグネット
(29)に隣接させて保持部(24)に集磁板(30)を装着
する。次に、成形空所(19)内に樹脂を注入してマグネ
ット(29)と集磁板(30)を樹脂により被覆した樹脂封
止体(26)を形成した後、凸部(28)によって形成され
た樹脂封止体(26)の凹部(26a)にホールICチップ
(36)を配置する。接着剤を使用せずに、樹脂封止体
(26)内にマグネット(29)及び集磁板(30)を正確に
位置決めして、マグネット(29)及び集磁板(30)に対
して正確な位置にホールICチップ(36)を樹脂封止体
(26)に取り付ける。
対して半導体素子を正確に位置決めして樹脂封止体に取
付る。 【構成】 金型(13)の凸部(28)に当接して保持部
(24)にマグネット(29)を装着し且つ金型(13)内に
形成される成形空所(19)に露出させ且つマグネット
(29)に隣接させて保持部(24)に集磁板(30)を装着
する。次に、成形空所(19)内に樹脂を注入してマグネ
ット(29)と集磁板(30)を樹脂により被覆した樹脂封
止体(26)を形成した後、凸部(28)によって形成され
た樹脂封止体(26)の凹部(26a)にホールICチップ
(36)を配置する。接着剤を使用せずに、樹脂封止体
(26)内にマグネット(29)及び集磁板(30)を正確に
位置決めして、マグネット(29)及び集磁板(30)に対
して正確な位置にホールICチップ(36)を樹脂封止体
(26)に取り付ける。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は電子部品の製造方法、特
にマグネット及び集磁板を封止した樹脂封止体に半導体
素子を正確に位置決めして取付ることのできる電子部品
の製造方法に関連する。
にマグネット及び集磁板を封止した樹脂封止体に半導体
素子を正確に位置決めして取付ることのできる電子部品
の製造方法に関連する。
【0002】
【従来の技術】エンジン部に取付けられた有歯円板の回
転に伴って変化する磁力を感知してエンジンの回転数を
検出するギヤツールセンサは公知である。ギヤツールセ
ンサの部分構造を図6について説明する。
転に伴って変化する磁力を感知してエンジンの回転数を
検出するギヤツールセンサは公知である。ギヤツールセ
ンサの部分構造を図6について説明する。
【0003】ギヤツールセンサは凹部(2)が設けられ
たケース(1)を備えている。凹部(2)は開口部(2a)
を備えている。集磁板(3)、マグネット(4)及びホー
ルICチップ(5)を接着材層(6)を介して順次積み重
ねて一体に接着固定した組立体はケース(1)の凹部
(2)内に配置される。ケース(1)の開口部(2a)は保
護キャプ(7)で塞がれ、組立体は凹部(2)内に保持さ
れる。図示しないエンジン部には磁性材料で形成された
有歯円板がエンジンの回転に作動連結されて回転可能に
配置されている。このギアツールセンサは、円板の歯に
ホールICチップ(5)を隣接させて取り付けられる。
マグネット(4)上に配置されたホールICチップ(5)
は、回転する円板の歯の通過に伴って変化する磁力を感
知して、検出信号を発生する。この検出信号は制御部の
演算回路に供給されて、エンジンの回転数を検出するこ
とができる。
たケース(1)を備えている。凹部(2)は開口部(2a)
を備えている。集磁板(3)、マグネット(4)及びホー
ルICチップ(5)を接着材層(6)を介して順次積み重
ねて一体に接着固定した組立体はケース(1)の凹部
(2)内に配置される。ケース(1)の開口部(2a)は保
護キャプ(7)で塞がれ、組立体は凹部(2)内に保持さ
れる。図示しないエンジン部には磁性材料で形成された
有歯円板がエンジンの回転に作動連結されて回転可能に
配置されている。このギアツールセンサは、円板の歯に
ホールICチップ(5)を隣接させて取り付けられる。
マグネット(4)上に配置されたホールICチップ(5)
は、回転する円板の歯の通過に伴って変化する磁力を感
知して、検出信号を発生する。この検出信号は制御部の
演算回路に供給されて、エンジンの回転数を検出するこ
とができる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記従
来のギアツールセンサでは、円板の歯の通過に伴う磁力
変化を常に適正な感度で検出でるとは限らなかった。即
ち、接着材層(6)の不均一な厚さ、集磁板(3)、マグ
ネット(4)及びホールICチップ(5)の各々の寸法公
差によって、ケース(1)の開口部(2a)において、ホ
ールICチップ(5)と保護キャプ(7)との間に図6に
示す間隙Lが生じる。間隙Lは0.2mm以下であれば
問題ないが、0.2mmを超えると、磁力変化を良好に
感知できない。従来の製法では、間隙Lが最大8mmに
達することがあった。
来のギアツールセンサでは、円板の歯の通過に伴う磁力
変化を常に適正な感度で検出でるとは限らなかった。即
ち、接着材層(6)の不均一な厚さ、集磁板(3)、マグ
ネット(4)及びホールICチップ(5)の各々の寸法公
差によって、ケース(1)の開口部(2a)において、ホ
ールICチップ(5)と保護キャプ(7)との間に図6に
示す間隙Lが生じる。間隙Lは0.2mm以下であれば
問題ないが、0.2mmを超えると、磁力変化を良好に
感知できない。従来の製法では、間隙Lが最大8mmに
達することがあった。
【0005】そこで、本発明は、マグネット及び集磁板
に対して半導体素子を正確に位置決めして樹脂封止体に
取付ることのできる電子部品の製造方法を提供すること
を目的とする。
に対して半導体素子を正確に位置決めして樹脂封止体に
取付ることのできる電子部品の製造方法を提供すること
を目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明による電子部品の
製造方法は、成形空所内に突出する凸部と、凸部に隣接
して設けられた保持部とを備えた金型を準備する工程
と、金型内に形成される成形空所に露出させ且つ凸部に
マグネットを介して隣接させて集磁板を保持部に配置す
る工程と、成形空所内に樹脂を注入してマグネットと集
磁板を樹脂により被覆した樹脂封止体を形成する工程、
樹脂封止体を金型から取り出す工程と、凸部によって形
成された樹脂封止体の凹部に半導体素子を配置した後、
凹部を閉鎖するキャップを設ける工程とを含む。
製造方法は、成形空所内に突出する凸部と、凸部に隣接
して設けられた保持部とを備えた金型を準備する工程
と、金型内に形成される成形空所に露出させ且つ凸部に
マグネットを介して隣接させて集磁板を保持部に配置す
る工程と、成形空所内に樹脂を注入してマグネットと集
磁板を樹脂により被覆した樹脂封止体を形成する工程、
樹脂封止体を金型から取り出す工程と、凸部によって形
成された樹脂封止体の凹部に半導体素子を配置した後、
凹部を閉鎖するキャップを設ける工程とを含む。
【0007】
【作用】マグネットと集磁板とを金型に取り付ける際
に、マグネットの磁力によりマグネットと集磁板が金型
に対して固定され、マグネットと集磁板とを金型の内面
に密接させて金型の保持部に配置できる。また、接着剤
を使用せずに、樹脂封止体内にマグネット及び集磁板を
正確に位置決めするとともに、金型に形成した凸部の突
出幅でマグネットとケースの開口面との間隔を高精度で
与えるので、マグネット及び集磁板に対して正確な位置
に半導体素子を樹脂封止体に取り付けることができる。
に、マグネットの磁力によりマグネットと集磁板が金型
に対して固定され、マグネットと集磁板とを金型の内面
に密接させて金型の保持部に配置できる。また、接着剤
を使用せずに、樹脂封止体内にマグネット及び集磁板を
正確に位置決めするとともに、金型に形成した凸部の突
出幅でマグネットとケースの開口面との間隔を高精度で
与えるので、マグネット及び集磁板に対して正確な位置
に半導体素子を樹脂封止体に取り付けることができる。
【0008】
【実施例】以下、ギヤツール・センサに適用した本発明
による電子部品の製造方法の実施例を図1〜図5につい
て説明する。
による電子部品の製造方法の実施例を図1〜図5につい
て説明する。
【0009】図1に示すように、本実施例で得られるギ
ヤ・ツール・センサは、樹脂封止体(11)と、樹脂封止
体(11)を装着する支持体(12)とを有する。樹脂封止
体(11)は本発明の新規な製法によって形成される。
ヤ・ツール・センサは、樹脂封止体(11)と、樹脂封止
体(11)を装着する支持体(12)とを有する。樹脂封止
体(11)は本発明の新規な製法によって形成される。
【0010】樹脂封止体(11)は、図2〜図4に示す金
型(13)を使用して形成される。金型(13)は上型(1
4)と、下型(15)と、可動型(16)とを備え、上型(1
4)及び下型(15)には可動のピン(31)〜(35)が設
けられる。上型(14)と下型(15)にはそれぞれ凹部
(17)及び(18)が形成されている。上型(14)と下型
(15)を閉じたときに、可動型(16)は、凹部(17)と
凹部(18)によって金型(13)内に形成される空所(1
9)内で滑動可能に配置される。可動型(16)に設けら
れた突起状のストッパ(20)が下型(15)の係止部(2
1)に当接するまで可動型(16)を空所(19)内で移動
させると、金型(13)内に形成すべき樹脂封止体に合致
した成形空所(22)が形成される。
型(13)を使用して形成される。金型(13)は上型(1
4)と、下型(15)と、可動型(16)とを備え、上型(1
4)及び下型(15)には可動のピン(31)〜(35)が設
けられる。上型(14)と下型(15)にはそれぞれ凹部
(17)及び(18)が形成されている。上型(14)と下型
(15)を閉じたときに、可動型(16)は、凹部(17)と
凹部(18)によって金型(13)内に形成される空所(1
9)内で滑動可能に配置される。可動型(16)に設けら
れた突起状のストッパ(20)が下型(15)の係止部(2
1)に当接するまで可動型(16)を空所(19)内で移動
させると、金型(13)内に形成すべき樹脂封止体に合致
した成形空所(22)が形成される。
【0011】図2及び図5に示すように、可動型(16)
は同一円周上に一定角度間隔離間して成形空所(22)内
に突出する複数の突起部(23)を有する。複数の突起部
(23)によってマグネット(29)及び集磁板(30)を配
置する保持部(24)が構成される。また、突起部(23)
で包囲された可動型(16)の側面には凸部(28)が設け
られている。
は同一円周上に一定角度間隔離間して成形空所(22)内
に突出する複数の突起部(23)を有する。複数の突起部
(23)によってマグネット(29)及び集磁板(30)を配
置する保持部(24)が構成される。また、突起部(23)
で包囲された可動型(16)の側面には凸部(28)が設け
られている。
【0012】樹脂封止体(11)を形成するとき、まず、
図3に示す板状金属板から成るフレーム(25)を用意す
る。フレーム(25)は、樹脂封止体(26)から導出され
るリード(27)を構成する第1のターミナル部(25a)
と、ホールICチップ等と電気的に接続される第2のタ
ーミナル部(25b)とを有する。
図3に示す板状金属板から成るフレーム(25)を用意す
る。フレーム(25)は、樹脂封止体(26)から導出され
るリード(27)を構成する第1のターミナル部(25a)
と、ホールICチップ等と電気的に接続される第2のタ
ーミナル部(25b)とを有する。
【0013】次に、空所(19)から離れた位置に可動型
(16)を配置し、可動型(16)の凸部(28)に当接して
円板状のマグネット(29)を保持部(24)内に装着した
後、集磁板(30)を保持部(24)内の外側に装着する。
マグネット(29)は自身の磁力で集磁板(30)を吸着す
るとともに、凸部(28)に密接して固定される。マグネ
ット(29)と集磁板(30)は突起部(23)によって径方
向にも固定される。
(16)を配置し、可動型(16)の凸部(28)に当接して
円板状のマグネット(29)を保持部(24)内に装着した
後、集磁板(30)を保持部(24)内の外側に装着する。
マグネット(29)は自身の磁力で集磁板(30)を吸着す
るとともに、凸部(28)に密接して固定される。マグネ
ット(29)と集磁板(30)は突起部(23)によって径方
向にも固定される。
【0014】次に、第1のターミナル部(25a)を下型
(15)の上面に当接させ、第2のターミナル部(25b)
を可動型(16)の上面に当接させて第1のターミナル部
(25a)と第2のターミナル部(25b)とを金型(13)に
セットする。続いて、図3に示すように下型(15)と上
型(14)を閉じて、第1のターミナル部(25a)を上型
(14)と下型(15)との間に挟持し、第2のターミナル
部(25b)を上型(14)と可動型(16)との間で挟持す
る。第1のターミナル部(25a)の曲がりを矯正するク
ランプ用のピン(31)(32)によって第1のターミナル
部(25a)は垂直方向に正確に位置決めされ且つ挟持さ
れる。また、第2のターミナル部(25b)はピン(33)
を当接させて垂直方向に正確に位置決めされる。更に、
ピン(34)を第1のターミナル部(25a)の孔(25c)に
挿入し、ピン(35)を第2のターミナル部(25b)に当
接させて、可動型(16)の移動方向に正確に位置決めさ
れる。
(15)の上面に当接させ、第2のターミナル部(25b)
を可動型(16)の上面に当接させて第1のターミナル部
(25a)と第2のターミナル部(25b)とを金型(13)に
セットする。続いて、図3に示すように下型(15)と上
型(14)を閉じて、第1のターミナル部(25a)を上型
(14)と下型(15)との間に挟持し、第2のターミナル
部(25b)を上型(14)と可動型(16)との間で挟持す
る。第1のターミナル部(25a)の曲がりを矯正するク
ランプ用のピン(31)(32)によって第1のターミナル
部(25a)は垂直方向に正確に位置決めされ且つ挟持さ
れる。また、第2のターミナル部(25b)はピン(33)
を当接させて垂直方向に正確に位置決めされる。更に、
ピン(34)を第1のターミナル部(25a)の孔(25c)に
挿入し、ピン(35)を第2のターミナル部(25b)に当
接させて、可動型(16)の移動方向に正確に位置決めさ
れる。
【0015】次に、ストッパ(20)が係止部(21)に当
接するまで可動型(16)を空所(19)内で移動して、金
型(13)内に形成すべき樹脂封止体の形状に合致する成
形空所(22)を形成する。続いて、図示しない樹脂注入
口から成形空所(22)内に流動化した樹脂を押圧注入し
た後、これを硬化させて第1のターミナル部(25a)及
び第2のターミナル部(25b)の中央側とマグネット(2
9)及び集磁板(30)を被覆する樹脂封止体(26)を形
成する。マグネット(29)及び集磁板(30)は樹脂封止
体(26)内に固定される。可動型(16)の凸部(28)に
よって樹脂封止体(26)に凹部(26a)が形成され、マ
グネット(29)の主面は凹部(26a)の底面から露出す
る。また、下型(15)に形成された凸状の係止部(21)
によって凹部(26b)が形成される。凹部(26a)にはホ
ールICチップ(36)が配置され、凹部(26b)には回
路基板(37)が配置される。凹部(26a)は樹脂成形さ
れるため、寸法精度が高く、ホールICチップ(36)は
1/100mmの位置精度で凹部(26a)内に配置され
る。その後、凹部(26a)及びホールICチップ(36)
を閉鎖するキャップ(7)が取り付けられる。
接するまで可動型(16)を空所(19)内で移動して、金
型(13)内に形成すべき樹脂封止体の形状に合致する成
形空所(22)を形成する。続いて、図示しない樹脂注入
口から成形空所(22)内に流動化した樹脂を押圧注入し
た後、これを硬化させて第1のターミナル部(25a)及
び第2のターミナル部(25b)の中央側とマグネット(2
9)及び集磁板(30)を被覆する樹脂封止体(26)を形
成する。マグネット(29)及び集磁板(30)は樹脂封止
体(26)内に固定される。可動型(16)の凸部(28)に
よって樹脂封止体(26)に凹部(26a)が形成され、マ
グネット(29)の主面は凹部(26a)の底面から露出す
る。また、下型(15)に形成された凸状の係止部(21)
によって凹部(26b)が形成される。凹部(26a)にはホ
ールICチップ(36)が配置され、凹部(26b)には回
路基板(37)が配置される。凹部(26a)は樹脂成形さ
れるため、寸法精度が高く、ホールICチップ(36)は
1/100mmの位置精度で凹部(26a)内に配置され
る。その後、凹部(26a)及びホールICチップ(36)
を閉鎖するキャップ(7)が取り付けられる。
【0016】本発明の実施態様は前記の実施例に限定さ
れず、種々の変更が可能である。例えば、可動型(16)
を使用する代わりに、上型(14)又は下型(15)に複数
の突起を下型(15)又は上型(14)に向かって成形空所
(22)内に突出させ、これらの突起によって成形空所
(22)内にマグネット(29)及び集磁板(30)を固定し
てもよい。
れず、種々の変更が可能である。例えば、可動型(16)
を使用する代わりに、上型(14)又は下型(15)に複数
の突起を下型(15)又は上型(14)に向かって成形空所
(22)内に突出させ、これらの突起によって成形空所
(22)内にマグネット(29)及び集磁板(30)を固定し
てもよい。
【0017】前記実施例ではギヤツールセンサの製造方
法の例を示したが、モールド樹脂成形によって形成した
樹脂封止体にホールICチップ等の半導体素子を正確に
位置決めする電子部品の製造方法に広く本発明を適用で
きることは明かである。
法の例を示したが、モールド樹脂成形によって形成した
樹脂封止体にホールICチップ等の半導体素子を正確に
位置決めする電子部品の製造方法に広く本発明を適用で
きることは明かである。
【0018】
【発明の効果】樹脂封止体に正確な位置に半導体素子を
装着できるので、電子部品を使用して誤動作のない測定
が可能となる。また、マグネットの磁力によってマグネ
ットと集磁板とが金型内の成形空所の所定の位置に保持
されるので、モールド成形時の製造が容易である。
装着できるので、電子部品を使用して誤動作のない測定
が可能となる。また、マグネットの磁力によってマグネ
ットと集磁板とが金型内の成形空所の所定の位置に保持
されるので、モールド成形時の製造が容易である。
【図1】 本発明によって製造された樹脂封止体を備え
たギアツールセンサの断面図
たギアツールセンサの断面図
【図2】 金型に電子部品を装着した状態を示す断面図
【図3】 ピンによりフレームを装着した状態を示す断
面図
面図
【図4】 金型を型締めした状態の断面図
【図5】 可動型の保持部を示す端面図
【図6】 従来のギヤツールセンサの部分断面図
(7)..保護キャップ、 (11)..樹脂封止体、
(12)..支持体、(13)..金型、 (14)..上
型、 (15)..下型、 (16)..可動型、(1
9)..成形空所、 (20)..ストッパ、 (2
1)..係止部、 (22)..成形空所、 (23)..
突起部、 (24)..保持部、 (25)..フレーム、
(26)..樹脂封止体、 (26a)(26b)..凹部、
(28)..凸部、(29)..マグネット、 (3
0)..集磁板、 (36)..ホールICチップ(半導
体素子)、
(12)..支持体、(13)..金型、 (14)..上
型、 (15)..下型、 (16)..可動型、(1
9)..成形空所、 (20)..ストッパ、 (2
1)..係止部、 (22)..成形空所、 (23)..
突起部、 (24)..保持部、 (25)..フレーム、
(26)..樹脂封止体、 (26a)(26b)..凹部、
(28)..凸部、(29)..マグネット、 (3
0)..集磁板、 (36)..ホールICチップ(半導
体素子)、
Claims (1)
- 【請求項1】 成形空所内に突出する凸部と、該凸部に
隣接して設けられた保持部とを備えた金型を準備する工
程と、 前記金型内に形成される前記成形空所に露出させ且つ前
記凸部にマグネットを介して隣接させて集磁板を前記保
持部に配置する工程と、 前記成形空所内に樹脂を注入して前記マグネットと前記
集磁板を樹脂により被覆した樹脂封止体を形成する工程
と、 前記樹脂封止体を金型から取り出す工程と、 前記凸部によって形成された前記樹脂封止体の凹部に半
導体素子を配置した後、前記凹部を閉鎖するキャップを
設ける工程と、 を含むことを特徴とする電子部品の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5224387A JP2857688B2 (ja) | 1993-09-09 | 1993-09-09 | 電子部品の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5224387A JP2857688B2 (ja) | 1993-09-09 | 1993-09-09 | 電子部品の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0779100A true JPH0779100A (ja) | 1995-03-20 |
JP2857688B2 JP2857688B2 (ja) | 1999-02-17 |
Family
ID=16812954
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5224387A Expired - Lifetime JP2857688B2 (ja) | 1993-09-09 | 1993-09-09 | 電子部品の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2857688B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6613692B1 (en) | 1999-07-30 | 2003-09-02 | Tokyo Electron Limited | Substrate processing method and apparatus |
-
1993
- 1993-09-09 JP JP5224387A patent/JP2857688B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6613692B1 (en) | 1999-07-30 | 2003-09-02 | Tokyo Electron Limited | Substrate processing method and apparatus |
US7191785B2 (en) | 1999-07-30 | 2007-03-20 | Tokyo Electron Limited | Substrate processing apparatus for resist film removal |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2857688B2 (ja) | 1999-02-17 |
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