JPH0777271B2 - アバランシェフォトダイオード - Google Patents

アバランシェフォトダイオード

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JPH0777271B2
JPH0777271B2 JP4350681A JP35068192A JPH0777271B2 JP H0777271 B2 JPH0777271 B2 JP H0777271B2 JP 4350681 A JP4350681 A JP 4350681A JP 35068192 A JP35068192 A JP 35068192A JP H0777271 B2 JPH0777271 B2 JP H0777271B2
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    • H01L31/10Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof in which radiation controls flow of current through the device, e.g. photoresistors characterised by potential barriers, e.g. phototransistors
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    • H01L31/107Devices sensitive to infrared, visible or ultraviolet radiation characterised by only one potential barrier the potential barrier working in avalanche mode, e.g. avalanche photodiodes
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は光計測や光通信に用いら
れるアバランシェフォトダイオードに関し、特に立ち下
がり応答特性を改善したアバランシェフォトダイオード
に関する。
【0002】
【従来の技術】アバランシェフォトダイオード(以下、
APDと記す)は、素子自体が増幅機能を有しているた
め、高感度な受光素子として広く光計測や光通信に用い
られている。特に、大容量長距離光通信用に採用されて
いる波長1.3μmあるいは1.55μm帯に対するA
PDは、GeやInGaAs/Inを材料として作製さ
れている。
【0003】図4は、Geを材料とした従来のAPDの
断面図である。この受光素子を作製するには、n−Ge
基板401の一主面にボロンのイオン注入によりp+
光領域409を形成し、Znの熱拡散によって受光領域
409の外周部分を囲むガードリング410を形成した
後、表面にCVD法により絶縁膜411を形成する。そ
の後、表面側にp側電極に412、裏面側にn側電極4
13を形成する。
【0004】図5は、InGaAsを光吸収層とする従
来のAPDの断面図である。このAPDを作製するに
は、n+ −InP基板501上に、キャリア濃度が1E
15〜2E16cm-3で層厚が1〜3μmのn−InP緩
衝層502、キャリア濃度が1E14〜1E16cm-3
層厚が1〜5μmのn- −InGaAs光吸収層50
5、キャリア濃度が1E15〜1E16cm-3で層厚が
0.3〜1μmのn−InGaAsP中間層506、キ
ャリア濃度が2E16〜4E16cm-3で層厚が0.8〜
4μmのn+ −InP増倍層507、キャリア濃度が1
E15〜8E15cm-3で層厚が1〜2μmのn- −In
P窓層508を、順次気相成長法によりエピタキシャル
成長させてエピタキシャルウェハを得、そのエピタキシ
ャルウェハにZnの封止拡散によりキャリア濃度が1E
17〜1E20cm-3のp+ 受光領域509を選択形成
し、さらにBeのイオン注入により受光領域509の外
周部を囲むようにガートリング510を形成する。
【0005】動作時にはこのAPDに逆バイアスをかけ
て、光吸収層であるInGaAs光吸収層505内に空
乏層を広げる。この状態でInGaAs層のバンドギャ
ップエネルギーに相当する1.67μm以下の波長の
光、例えば1.3μmの光が入射すると、空乏化された
光吸収層505内において光電効果によるキャリアが生
成される。生成されたキャリアは、空乏層内の20〜1
00kV/cmの内部電界によって飽和速度まで加速され
増倍された後、出力電流として外部回路へ取り出され
る。
【0006】上記InGaAs−APDでは、立ち上が
り時間を高速化するために、InGaAs光吸収層50
5とInP増倍層507との間にInGaAsP中間層
506を挿入することにより、価電子帯の不連続を緩和
し、正孔蓄積による応答劣化を改善している。
【0007】この種APDの用途の一つにOTDR(Op
tical Time Domain Reflectometer)がある。OTDRと
は、敷設されている光ファイバのレイリー散乱による戻
り光を検出してその破断点を探索する装置である。即
ち、OTDR装置では、パルスを光ファイバ内に入射
し、この入射パルス光がファイバ内を伝搬するときに生
じるレイリー散乱光のうち入射側に戻る後方散乱光をモ
ニターし、この散乱光がなくなった場合、このなくなる
までの時間を距離に換算することによりファイバ内での
破断点の位置を検出する。
【0008】ここで、OTDR装置を用いてファイバの
破断点を調べるときに実際上問題となることは、OTD
R装置と被測定ファイバとの間には必ず接続点(コネク
タ)が必要であり、この接続点において測定用パルス光
によるフレネル反射が生じることである。OTDR装置
から測定用のパルス(100ns)を出射したとき、最
初にこの接続端面からのフレネル反射光がOTDR装置
内にあるAPDに入射し、続いて測定に用いるレイリー
散乱光が入射される。このとき、APDに入射されるレ
イリー散乱光のレベルに比較してフレネル反射光のレベ
ルが極めて大きいため、フレネル反射光の持続時間およ
びAPD自体のパルス応答時間(立ち下がり時間)の間
はレイリー散乱の観測が不可能となる。従って、このパ
ルス応答時間に相当する距離が測定不能距離(口元デッ
ドゾーン)となる。この口元デッドゾーンを小さくする
ことがこれからのOTDRの課題の一つであるが、デッ
ドゾーンをなるべく小さくするためにはAPDの立ち下
がり時間の高速化が必要となる。
【0009】図6は、上述の各APDの応答性を示すグ
ラフである。ここで問題としている立ち下がり特性につ
いてみるに、Ge−APDの場合、図6において実線で
示されるように、立ち下がり時間は比較的短いものの裾
引き波形は高いレベルから発生している。逆に、InG
aAs−APDについては、図6において破線で示され
るように、裾引きは低いレベルから発生するが、信号が
なくなるまでの時間が長い。このように両者の間に差異
が生じるのは次の理由による。InGaAs−APDで
は、光の吸収はInGaAs光吸収層505内のみで行
われ、かつこの吸収層幅が3〜4μmと薄いためキャリ
アの走行時間が短い。しかし前記光吸収層505内で吸
収されなかった光がInP基板1内を透過し裏面の電極
によって反射され再び光吸収層505内に戻る。このと
き裏面からの反射光は散乱状態に近いため、空乏層以外
のところでも吸収され、その結果生成された空乏層外の
キャリアは拡散電流成分(遅い応答成分)となりこれが
低レベルでの裾引きの原因となる。一方、Ge−APD
の場合、基板自体が光を吸収することができるため、光
は基板に完全に吸収され素子の裏面から反射してくる光
は生じない。しかし空乏層幅が10μmと厚いため、キ
ャリアが空乏層内を走行するのに時間がかかり、これが
高いレベルからの裾引きの原因となる。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来のAPD
では、裾引きレベルが高くなりあるいは低くともその持
続時間が長くなるため、立ち下がり応答特性が悪く、そ
のため例えばOTDRの用途に用いた場合には口元デッ
ドゾーンが長くなるという問題点があった。よって、本
発明の目的とするところは、裾引きのレベルを低減化し
つつその持続時間を短縮して、APDの立ち下がり応答
性を高速化することである。
【0011】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明のアバランシェフォトダイオードは、入射光
に対し透明な窓層と、入射光に対し透明でキャリアを増
倍する増倍層と、入射光を吸収する第1の光吸収層と、
入射光に対し透明で前記第1の光吸収層と反射側に空乏
層が伸びるのを阻止する電界降下層と、入射光を吸収す
る第2の光吸収層と、を備え、上記各層が光入射側から
上記の順で配置されている。
【0012】
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。図1は、本発明の第1の実施例を示す断面
図である。本実施例のAPDを作製するには、n+ −I
nP基板101上に、気相成長法により、キャリア濃度
1E15〜2E16cm-3、層厚1〜3μmが好ましいn
−InP緩衝層102を、キャリア濃度1E15cm-3
層厚2μmに、キャリア濃度1E15〜2E16cm
- 3 、層厚2〜5μmが好ましいn- −InGaAs反
射光吸収層103を、キャリア濃度5E15cm-3、層厚
4μmに、キャリア濃度1E16〜3E16cm-3、層厚
2〜5μmが好ましいn−InP電界降下層104を、
キャリア濃度2E16cm-3、層厚3μmに、キャリア濃
度1E15〜5E15cm-3、層厚3〜4μmが好ましい
- −InGaAs光吸収層105を、キャリア濃度3
E15cm-3、層厚4μmに、キャリア濃度3E15〜1
E16cm-3、層厚0.03〜0.5μmが好ましいn−
InGaAsP中間層106を、キャリア濃度1E16
cm-3、層厚0.5μmに、キャリア濃度1E16〜4E
16cm-3、層厚0.5〜3μmが好ましいn+ −InP
増倍層107を、キャリア濃度3E16cm-3、層厚1.
4μmに、キャリア濃度2E15〜6E15cm-3、層厚
1〜2μmが好ましいn- −InP窓層108を、キャ
リア濃度5E15cm-3、層厚1.4μmに、それぞれエ
ピタキシャル成長させる。
【0013】このエピタキシャルウェハ上に、CVD法
およびフォトリソグラフィ工程によりSiO2 膜のマス
クを形成し、このマスクを介してBeをイオン注入して
ガードリング110を形成し、このガードリング110
に重なるように例えばZnの封止拡散を行って、キャリ
ア濃度1E17〜1E20cm-3のp+ 受光領域109を
選択的に形成する。その後、表面側に通常の方法で絶縁
膜111を堆積し、これに開口を設けた後、AuZnに
よりp側電極112を形成する。次に、n+ −InP基
板1の基板側を基板厚が100〜200μmになるまで
研磨し、その面に通常の方法でAuSnを蒸着し、アロ
イ処理を行ってn側電極113を形成する。
【0014】このようにして製作されたInGaAs−
APDに、中間層106と光吸収層105の境界面にお
いて電界強度が50〜200kV/cmとなるように逆バ
イアスをかけると、電界降下層104において電界は0
kV/cmとなるため、反射光吸収層3内は無電界状態と
なる。このような状態のAPDにパルス光を入射する
と、光は窓層108側からp+ 受光領域109内に入射
され、増倍層107、中間層106を透過した後、光吸
収層105にて約95%吸収される。このとき吸収され
なかった光は、電界降下層104を透過した後、無電界
状態の反射光吸収層103にて再び95%以上吸収され
ることになる。さらに吸収されなかった光は基板101
の裏面にて散乱されその内一部の光は再び反射光吸収層
103内にて吸収されることになる。そしてこの反射光
吸収層103内で生成されたキャリアは空乏層外にある
ため再結合してしまい、拡散電流成分とはならない。
【0015】即ち、光吸収層105の後方に電界降下層
104を介して反射光吸収層103を設けたことによ
り、反射光が光吸収層105に入射することがなくな
り、また光吸収層105を透過した光によって生成され
たキャリア成分が出力電流分に重畳されることがなくな
るので、裾引きレベルを低く抑えつつ裾引き時間を大幅
に削減することができる。図2は、第1の実施例の応答
特性を示すグラフである。同図に示されるように、第1
の実施例により、裾引きレベルを−66dBm以下、裾
引き時間を1nsとすることができた。
【0016】図3は、本発明の第2の実施例を示す断面
図である。図3において、半絶縁性InP基板301を
除き、図1の部分と同等の部分には下2桁が共通する番
号を付し重複する説明は省略する。半絶縁性InP基板
301上に気相成長法により各半導体層302〜308
を成長させ、カードリング310、p+ 受光領域309
を形成した後、受光領域上に、p側電極312を形成す
る。次に、受光部を除くエピタキシャル層を、n−In
P電界降下層304の表面が露出する迄エッチングし、
露出した表面にn側電極313を形成する。その後、基
板側を基板厚が100〜200μmになる迄研磨し、そ
の研磨面に基板を溶着するための金属、例えばAuを溶
着用金属膜314として蒸着する。本実施例のAPDも
第1の実施例とほぼ同様の特性を示した。
【0017】上記各実施例では気相成長法によりエピタ
キシャルウェハを得ていたが、これに代え液相成長法、
MOCVD法、MBE法、ALE(Atomic Layer Epita
xy)法によるエピタキシャルウェハを用いても同じ効果
が得られる。また、InGaAs/In系に代え他の化
合物半導体を用いてもよい。さらに、増倍層を超格子構
造とすることもできる。その場合、超格子の井戸層も入
射光を吸収しないようにすることが望ましい。
【0018】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、主光吸
収層の増倍層と反対側に電界降下層を介して反射光吸収
層を設けたものであるので、本発明によれば、一旦、主
光吸収層を透過した光が再度この層内に入射するのを防
止することができ、かつ主光吸収層外での吸収光によっ
て生成されたキャリアが拡散電流となるのを防止するこ
とができる。したがって、本発明によれば、立ち下がり
応答時の裾引きレベルが低くかつ裾引き時間の短いAP
Dを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例の断面図。
【図2】本発明の第1の実施例の応答波形図。
【図3】本発明の第2の実施例の断面図。
【図4】第1の従来例の断面図。
【図5】第2の従来例の断面図。
【図6】従来例の応答波形図。
【符号の説明】
101、501 n+ −InP基板 301 半絶縁性InP基板 401 n−Ge基板 102、302、502 n−InP緩衝層 103、303 n- −InGaAs反射光吸収層 104、304 n−InP電界降下層 105、305、505 n- −InGaAs光吸収層 106、306、506 n−InGaAsP中間層 107、307、507 n+ −InP増倍層 108、308、508 n- −InP窓層 109、309、409、509 p+ 受光領域 110、310、410、510 ガードリング 111、311、411、511 絶縁膜 112、312、412、512 p側電極 113、313、413、513 n側電極 314 溶着用金属膜

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 入射光に対し透明な窓層と、入射光に対
    し透明でキャリアを増倍する増倍層と、入射光を吸収す
    る第1の光吸収層と、入射光に対し透明で前記第1の光
    吸収層と反射側に空乏層が伸びるのを阻止する電界降下
    層と、入射光を吸収する第2の光吸収層と、を備え、上
    記各層が光入射側から上記の順で配置されているアバラ
    ンシェフォトダイオード。
  2. 【請求項2】 前記増倍層と前記第1の光吸収層との間
    に、両者間での禁制帯の不連続性を緩和する中間層が挿
    入されている請求項1記載のアバランシェフォトダイオ
    ード。
  3. 【請求項3】 前記第1の光吸収層および前記第2の光
    吸収層の厚さは、それぞれ入射光の95%以上を吸収す
    ることができる厚さになされている請求項1または2記
    載のアバランシェフォトダイオード。
  4. 【請求項4】 前記窓層と前記電界降下層とにそれぞれ
    電極が設けられている請求項1、2または3記載のアバ
    ランシェフォトダイオード。
  5. 【請求項5】 前記窓層、前記増倍層および前記電界降
    下層がInPによって構成され、前記第1および第2の
    光吸収層がInGaAsにより構成されている請求項1
    または3記載のアバランシェフォトダイオード。
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Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2639347B2 (ja) * 1994-06-23 1997-08-13 日本電気株式会社 半導体受光素子
WO1997043840A1 (en) * 1996-05-14 1997-11-20 The Regents Of The University Of California Improved detector for quantum cryptography
JP3828982B2 (ja) * 1997-04-14 2006-10-04 三菱電機株式会社 半導体受光素子
US5831322A (en) * 1997-06-25 1998-11-03 Advanced Photonix, Inc. Active large area avalanche photodiode array
US5757057A (en) * 1997-06-25 1998-05-26 Advanced Photonix, Inc. Large area avalanche photodiode array
JP2006253548A (ja) * 2005-03-14 2006-09-21 Mitsubishi Electric Corp 半導体受光素子
US11769782B2 (en) * 2018-05-02 2023-09-26 Sony Semiconductor Solutions Corporation Solid-state imaging element and imaging apparatus
KR102284627B1 (ko) * 2019-12-04 2021-08-02 주식회사 시지트로닉스 수광반도체 소자 및 그 제조방법

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0205899B1 (en) * 1985-05-20 1991-03-27 Nec Corporation Planar heterojunction avalanche photodiode
JPS62205673A (ja) * 1986-03-06 1987-09-10 Toshiba Corp アバランシエホトダイオ−ド
JPS63281480A (ja) * 1987-05-13 1988-11-17 Hitachi Ltd 半導体受光素子及びその製造方法
JPH01296676A (ja) * 1988-05-24 1989-11-30 Nec Corp 半導体受光装置
DE68905734T2 (de) * 1988-08-25 1993-07-08 Ngk Spark Plug Co Verfahren zum formen keramischer isolatoren fuer die verwendung in zuendkerzen.
JPH02159775A (ja) * 1988-12-14 1990-06-19 Toshiba Corp 半導体受光素子及びその製造方法
JP2682253B2 (ja) * 1991-04-18 1997-11-26 三菱電機株式会社 アバランシェ・フォトダイオード及びその製造方法

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EP0600746B1 (en) 1996-10-16
DE69305478T2 (de) 1997-05-22
JPH06204551A (ja) 1994-07-22
EP0600746A1 (en) 1994-06-08
US5406097A (en) 1995-04-11
DE69305478D1 (de) 1996-11-21

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