JPH0773630A - 磁気ヘッドスライダ及びその製造方法 - Google Patents
磁気ヘッドスライダ及びその製造方法Info
- Publication number
- JPH0773630A JPH0773630A JP21994793A JP21994793A JPH0773630A JP H0773630 A JPH0773630 A JP H0773630A JP 21994793 A JP21994793 A JP 21994793A JP 21994793 A JP21994793 A JP 21994793A JP H0773630 A JPH0773630 A JP H0773630A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic head
- head slider
- recording medium
- air bearing
- air
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 記録媒体対向面に空気ベアリング部を有する
磁気ヘッドスライダにおいて、空気ベアリング部の記録
媒体との相対走行方向前方側の端部に形成される面取り
加工を見直し、浮上特性に優れ、量産性にも優れた磁気
ヘッドスライダの構成、及びその製造方法を明らかにす
るものである。 【構成】 空気ベアリング部の記録媒体との相対走行
方向前方側の端部に、該空気ベアリング部から凹んだ平
面にて構成される空気流入部を形成する。また、その製
造方法においては、空気ベアリング部が形成された磁気
ヘッドスライダ構成部材の記録媒体対向面を、空気ベア
リング部の記録媒体との相対走行方向前方側の端部が露
出するようにレジストで覆い、その上からエッチング加
工を行うことにより、空気ベアリング部から凹んだ平面
にて構成される空気流入部を形成する。
磁気ヘッドスライダにおいて、空気ベアリング部の記録
媒体との相対走行方向前方側の端部に形成される面取り
加工を見直し、浮上特性に優れ、量産性にも優れた磁気
ヘッドスライダの構成、及びその製造方法を明らかにす
るものである。 【構成】 空気ベアリング部の記録媒体との相対走行
方向前方側の端部に、該空気ベアリング部から凹んだ平
面にて構成される空気流入部を形成する。また、その製
造方法においては、空気ベアリング部が形成された磁気
ヘッドスライダ構成部材の記録媒体対向面を、空気ベア
リング部の記録媒体との相対走行方向前方側の端部が露
出するようにレジストで覆い、その上からエッチング加
工を行うことにより、空気ベアリング部から凹んだ平面
にて構成される空気流入部を形成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、コンピュータの外部記
憶装置としてのＨＤＤ（ハード・ディスク・ドライブ）
等に用いられる磁気ヘッドスライダに関する。
憶装置としてのＨＤＤ（ハード・ディスク・ドライブ）
等に用いられる磁気ヘッドスライダに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来技術によるＨＤＤ用磁気ヘッドスラ
イダの一例を、図７に示す。
イダの一例を、図７に示す。
【０００３】この磁気ヘッドスライダは、記録媒体対向
面に空気ベアリング部１１を有するスライダ本体１と、
該スライダ本体の記録媒体との相対走行方向後方側の端
部にギャップスペーサを介して突き合わせ接合されたヨ
ーク２とによって磁気ヘッドとしての磁路が構成され、
スライダ本体１とヨーク２との接合部の記録媒体対向面
側には、前記空気ベアリング部１１と同じ高さ有するト
ラック部１２が、その周囲を凹ませることによって突出
形成されている。また、ヨーク２のトラック幅方向両側
面はガラス３によって補強され、空気ベアリング部１１
の記録媒体との相対走行方向前方側の端部には、浮上特
性を安定させるための面取り１３が施されている。４は
巻線孔である。
面に空気ベアリング部１１を有するスライダ本体１と、
該スライダ本体の記録媒体との相対走行方向後方側の端
部にギャップスペーサを介して突き合わせ接合されたヨ
ーク２とによって磁気ヘッドとしての磁路が構成され、
スライダ本体１とヨーク２との接合部の記録媒体対向面
側には、前記空気ベアリング部１１と同じ高さ有するト
ラック部１２が、その周囲を凹ませることによって突出
形成されている。また、ヨーク２のトラック幅方向両側
面はガラス３によって補強され、空気ベアリング部１１
の記録媒体との相対走行方向前方側の端部には、浮上特
性を安定させるための面取り１３が施されている。４は
巻線孔である。
【０００４】ここで、前記空気ベアリング部端の面取り
１３は、図８に図７のＢ部を拡大して示すように、記録
媒体との相対走行方向に沿った長さｅが例えば２５０±
５０μｍ、傾斜角θが例えば０．８３±０．１７°とな
るように、研削、研摩等の機械的加工法によって形成さ
れる。
１３は、図８に図７のＢ部を拡大して示すように、記録
媒体との相対走行方向に沿った長さｅが例えば２５０±
５０μｍ、傾斜角θが例えば０．８３±０．１７°とな
るように、研削、研摩等の機械的加工法によって形成さ
れる。
【０００５】なお、上述のような磁気ヘッドスライダ
は、例えば特開平１−３１５０２１号に開示された技術
と、本願出願人が特願平３−２８６００３号にて明らか
にした技術とを組み合わせることによって得られるもの
である。
は、例えば特開平１−３１５０２１号に開示された技術
と、本願出願人が特願平３−２８６００３号にて明らか
にした技術とを組み合わせることによって得られるもの
である。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところが、前記空気ベ
アリング部端の面取り加工において、該面取り部の記録
媒体との相対走行方向に沿った長さｅや傾斜角θの誤差
を前述のような狭い範囲内に抑えるためには、高度の機
械加工技術を要する。
アリング部端の面取り加工において、該面取り部の記録
媒体との相対走行方向に沿った長さｅや傾斜角θの誤差
を前述のような狭い範囲内に抑えるためには、高度の機
械加工技術を要する。
【０００７】特に傾斜角θの誤差は、該傾斜角θの狙い
目そのものが前述のように１°以下という非常に小さな
値であるため、面取り部の記録媒体との相対走行方向に
沿った長さｅに大きなバラツキをもたらし、実用上、該
磁気ヘッドスライダの浮上特性のバラツキ、引いては電
磁変換特性のバラツキをもたらす。
目そのものが前述のように１°以下という非常に小さな
値であるため、面取り部の記録媒体との相対走行方向に
沿った長さｅに大きなバラツキをもたらし、実用上、該
磁気ヘッドスライダの浮上特性のバラツキ、引いては電
磁変換特性のバラツキをもたらす。
【０００８】また該面取り部は、研削加工したままの状
態では表面が粗くて浮上のための空気の流れを乱す虞れ
があり、研摩仕上げすると、工数増大をもたらすのみな
らず前記傾斜角θ等の寸法制御も難しくなり、研摩キズ
等によってかえって空気の流れを乱す虞れもある。
態では表面が粗くて浮上のための空気の流れを乱す虞れ
があり、研摩仕上げすると、工数増大をもたらすのみな
らず前記傾斜角θ等の寸法制御も難しくなり、研摩キズ
等によってかえって空気の流れを乱す虞れもある。
【０００９】本発明は、磁気ヘッドスライダの浮上機構
に関連する上述のような従来技術の問題点を踏まえた上
で、浮上特性に優れ、量産性にも優れた磁気ヘッドスラ
イダの構成、及びその製造方法を明らかにするものであ
る。
に関連する上述のような従来技術の問題点を踏まえた上
で、浮上特性に優れ、量産性にも優れた磁気ヘッドスラ
イダの構成、及びその製造方法を明らかにするものであ
る。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明による磁気ヘッド
スライダは、記録媒体対向面に空気ベアリング部を有す
る磁気ヘッドスライダにおいて、空気ベアリング部の記
録媒体との相対走行方向前方側の端部に、該空気ベアリ
ング部から凹んだ平面にて構成される空気流入部が形成
されていることを特徴とするものであり、その製造方法
は、空気ベアリング部が形成された磁気ヘッドスライダ
構成部材の記録媒体対向面を、空気ベアリング部の記録
媒体との相対走行方向前方側の端部が露出するようにレ
ジストで覆い、その上からエッチング加工を行うことに
より、空気ベアリング部から凹んだ平面にて構成される
空気流入部を形成することを特徴とするものである。
スライダは、記録媒体対向面に空気ベアリング部を有す
る磁気ヘッドスライダにおいて、空気ベアリング部の記
録媒体との相対走行方向前方側の端部に、該空気ベアリ
ング部から凹んだ平面にて構成される空気流入部が形成
されていることを特徴とするものであり、その製造方法
は、空気ベアリング部が形成された磁気ヘッドスライダ
構成部材の記録媒体対向面を、空気ベアリング部の記録
媒体との相対走行方向前方側の端部が露出するようにレ
ジストで覆い、その上からエッチング加工を行うことに
より、空気ベアリング部から凹んだ平面にて構成される
空気流入部を形成することを特徴とするものである。
【００１１】
【作用】このような構成及び製造方法によれば、空気流
入部と空気ベアリング部との境界部の形状が、レジスト
パターンに従ったエッチング加工によって規制されるた
め、空気流入部及び空気ベアリング部の記録媒体との対
向面積のバラツキがほとんどなくなり、浮上特性が安定
する。
入部と空気ベアリング部との境界部の形状が、レジスト
パターンに従ったエッチング加工によって規制されるた
め、空気流入部及び空気ベアリング部の記録媒体との対
向面積のバラツキがほとんどなくなり、浮上特性が安定
する。
【００１２】
【実施例】以下、本発明の実施例について説明する。
【００１３】本発明による磁気ヘッドスライダは、図１
に示すように、記録媒体から浮上するための空気ベアリ
ング部１１を有する磁気ヘッドスライダにおいて、前記
空気ベアリング部１１の記録媒体との相対走行方向前方
側の端部に、空気ベアリング部から凹んだ平面にて構成
される空気流入部１５が形成されていることを特徴とす
るものである。
に示すように、記録媒体から浮上するための空気ベアリ
ング部１１を有する磁気ヘッドスライダにおいて、前記
空気ベアリング部１１の記録媒体との相対走行方向前方
側の端部に、空気ベアリング部から凹んだ平面にて構成
される空気流入部１５が形成されていることを特徴とす
るものである。
【００１４】本発明を特徴づける空気流入部１５の構成
については、その近傍部（図１にＡで示す部分）を拡大
して図２に示す。
については、その近傍部（図１にＡで示す部分）を拡大
して図２に示す。
【００１５】図１に示した磁気ヘッドスライダの空気流
入部以外の構成は、従来技術の項で図７を参照しながら
説明したものと同様であるが、さらに詳しく説明すれ
ば、空気ベアリング部１１を有するスライダ本体１（単
結晶Ｍｎ−Ｚｎフェライト製）と、該スライダ本体の記
録媒体との相対走行方向後方側の端部にギャップスペー
サ（ＳｉＯ2製）を介して突き合わせ接合されたヨーク
２（単結晶Ｍｎ−Ｚｎフェライト製）とによって磁気ヘ
ッドとしての磁路が構成され、スライダ本体１とヨーク
２との接合部の記録媒体対向面側には、前記空気ベアリ
ング部１１と同じ高さ有するトラック部１２がその周囲
を凹ませることによって突出形成されており、ヨーク２
のトラック幅方向両側面は、ガラス３によって補強され
ている。４は巻線孔である。
入部以外の構成は、従来技術の項で図７を参照しながら
説明したものと同様であるが、さらに詳しく説明すれ
ば、空気ベアリング部１１を有するスライダ本体１（単
結晶Ｍｎ−Ｚｎフェライト製）と、該スライダ本体の記
録媒体との相対走行方向後方側の端部にギャップスペー
サ（ＳｉＯ2製）を介して突き合わせ接合されたヨーク
２（単結晶Ｍｎ−Ｚｎフェライト製）とによって磁気ヘ
ッドとしての磁路が構成され、スライダ本体１とヨーク
２との接合部の記録媒体対向面側には、前記空気ベアリ
ング部１１と同じ高さ有するトラック部１２がその周囲
を凹ませることによって突出形成されており、ヨーク２
のトラック幅方向両側面は、ガラス３によって補強され
ている。４は巻線孔である。
【００１６】ここで、空気流入部１５の空気ベアリング
部１１からの凹み量ｄ（図２参照）は、該磁気ヘッドス
ライダの浮上特性に大きな影響を及ぼすことが予想され
るが、本願発明者は、図２にｃで示した空気ベアリング
部の記録媒体との相対走行方向に沿った長さが０．２５
ｍｍ、図３にｘ、ｙ、ｚで示した外形寸法がそれぞれ
１．７ｍｍ、１．１ｍｍ、０．５ｍｍであるような磁気
ヘッドスライダにおいて、前記凹み量ｄを０．５〜１μ
ｍに設定すれば、安定した浮上特性が得られることを実
験的に確認した。
部１１からの凹み量ｄ（図２参照）は、該磁気ヘッドス
ライダの浮上特性に大きな影響を及ぼすことが予想され
るが、本願発明者は、図２にｃで示した空気ベアリング
部の記録媒体との相対走行方向に沿った長さが０．２５
ｍｍ、図３にｘ、ｙ、ｚで示した外形寸法がそれぞれ
１．７ｍｍ、１．１ｍｍ、０．５ｍｍであるような磁気
ヘッドスライダにおいて、前記凹み量ｄを０．５〜１μ
ｍに設定すれば、安定した浮上特性が得られることを実
験的に確認した。
【００１７】一方、本発明による磁気ヘッドスライダ
は、以下のようにして製造される。
は、以下のようにして製造される。
【００１８】すなわち、空気ベアリング部１１が形成さ
れた、図４に示すような磁気ヘッドスライダ部材１０を
準備し、その記録媒体対向面を、図５に示すように空気
ベアリング部の記録媒体との相対走行方向前方側の端部
１５０が露出するようにレジスト５で覆い、その上から
イオンビーム等を用いたエッチング加工を行えば、前記
露出部１５０が、空気ベアリング部から凹んだ平面にて
構成される空気流入部となる。
れた、図４に示すような磁気ヘッドスライダ部材１０を
準備し、その記録媒体対向面を、図５に示すように空気
ベアリング部の記録媒体との相対走行方向前方側の端部
１５０が露出するようにレジスト５で覆い、その上から
イオンビーム等を用いたエッチング加工を行えば、前記
露出部１５０が、空気ベアリング部から凹んだ平面にて
構成される空気流入部となる。
【００１９】ここで、空気ベアリング部の記録媒体との
相対走行方向に沿った長さｃは、前記レジストパターン
の平面形状によって規制され、空気流入部の空気ベアリ
ング部からの凹み量ｄは、前記エッチング加工の深さに
よって規制される。
相対走行方向に沿った長さｃは、前記レジストパターン
の平面形状によって規制され、空気流入部の空気ベアリ
ング部からの凹み量ｄは、前記エッチング加工の深さに
よって規制される。
【００２０】また、空気流入部の面粗さは、該磁気ヘッ
ドスライダの浮上特性に大きな影響を及ぼすことが予想
されるが、該空気流入部が単結晶材料（具体的にはスラ
イダ本体構成材料としてのＭｎ−Ｚｎフェライト単結晶
等）で構成されておれば、エッチング加工によって結晶
粒界に起因する凹凸が生じるようなこともなく、該空気
流入部は平坦な面となって、浮上特性が安定する。
ドスライダの浮上特性に大きな影響を及ぼすことが予想
されるが、該空気流入部が単結晶材料（具体的にはスラ
イダ本体構成材料としてのＭｎ−Ｚｎフェライト単結晶
等）で構成されておれば、エッチング加工によって結晶
粒界に起因する凹凸が生じるようなこともなく、該空気
流入部は平坦な面となって、浮上特性が安定する。
【００２１】なお、空気ベアリング部１１と空気流入部
１５との境界に相当する空気ベアリング部１１の空気流
入部側の端辺１１５は、前述の例のように記録媒体との
相対走行方向に対して垂直である必要はなく、図６の
（ｂ）〜（ｄ）にその付近の平面形状を示すように、記
録媒体との相対走行方向Ｐに対して斜いた部分を有して
いてもよい。
１５との境界に相当する空気ベアリング部１１の空気流
入部側の端辺１１５は、前述の例のように記録媒体との
相対走行方向に対して垂直である必要はなく、図６の
（ｂ）〜（ｄ）にその付近の平面形状を示すように、記
録媒体との相対走行方向Ｐに対して斜いた部分を有して
いてもよい。
【００２２】ここで図６の（ａ）は、空気ベアリング部
の空気流入部側の端辺１１５が記録媒体との相対走行方
向Ｐに対して垂直な例、（ｂ）は一方的に傾斜している
例、（ｃ）は屈曲部を備えて２つの方向に傾斜している
例、（ｄ）は曲線的に傾斜している例を示すものであ
る。
の空気流入部側の端辺１１５が記録媒体との相対走行方
向Ｐに対して垂直な例、（ｂ）は一方的に傾斜している
例、（ｃ）は屈曲部を備えて２つの方向に傾斜している
例、（ｄ）は曲線的に傾斜している例を示すものであ
る。
【００２３】空気ベアリング部の空気流入部側の端辺１
１５の形状を、図６に示したような各種形状に設計する
ことは、該端辺に沿った段差部にゴミがたまるのを防い
だり、該端辺の形状によって浮上特性を制御したりする
のに有利であり、このような各種端辺の形状を実現する
ことは、本発明のようなエッチングによる空気流入部形
成法によって初めて可能となるものであって、従来の研
削、研摩法による面取り加工で実現するのは困難であ
る。
１５の形状を、図６に示したような各種形状に設計する
ことは、該端辺に沿った段差部にゴミがたまるのを防い
だり、該端辺の形状によって浮上特性を制御したりする
のに有利であり、このような各種端辺の形状を実現する
ことは、本発明のようなエッチングによる空気流入部形
成法によって初めて可能となるものであって、従来の研
削、研摩法による面取り加工で実現するのは困難であ
る。
【００２４】本発明を特徴づける空気流入部の構成及び
その製造方法が、周知の各種磁気ヘッドスライダ（例え
ばトラック部やヨーク部の構成が前記図１に示したもの
とは異なるような磁気ヘッドスライダ）との組み合わせ
においても有効であることは言うまでもない。また、磁
気ヘッドチップを非磁性スライダに填め込んで構成され
る所謂コンポジット型の磁気ヘッドスライダや、スライ
ダ本体部の端面に薄膜パターン状の磁気ヘッド部を備え
るような磁気ヘッドスライダに対しても、本発明は適用
可能である。
その製造方法が、周知の各種磁気ヘッドスライダ（例え
ばトラック部やヨーク部の構成が前記図１に示したもの
とは異なるような磁気ヘッドスライダ）との組み合わせ
においても有効であることは言うまでもない。また、磁
気ヘッドチップを非磁性スライダに填め込んで構成され
る所謂コンポジット型の磁気ヘッドスライダや、スライ
ダ本体部の端面に薄膜パターン状の磁気ヘッド部を備え
るような磁気ヘッドスライダに対しても、本発明は適用
可能である。
【００２５】
【発明の効果】本発明によれば、ＨＤＤ等に用いられる
磁気ヘッドスライダの空気流入部と空気ベアリング部と
の境界部の形状が、レジストパターンに従ったエッチン
グ加工によって規制されるため、空気流入部及び空気ベ
アリング部の記録媒体との対向面積のバラツキがほとん
どなくなり、浮上特性が安定する。
磁気ヘッドスライダの空気流入部と空気ベアリング部と
の境界部の形状が、レジストパターンに従ったエッチン
グ加工によって規制されるため、空気流入部及び空気ベ
アリング部の記録媒体との対向面積のバラツキがほとん
どなくなり、浮上特性が安定する。
【図１】本発明第１実施例磁気ヘッドスライダの、斜視
図である。
図である。
【図２】本発明第１実施例磁気ヘッドスライダの、部分
斜視図である。
斜視図である。
【図３】本発明第１実施例磁気ヘッドスライダの、斜視
図である。
図である。
【図４】本発明実施例磁気ヘッドスライダの製造方法を
説明するための、磁気ヘッドスライダ構成部材の斜視図
である。
説明するための、磁気ヘッドスライダ構成部材の斜視図
である。
【図５】本発明実施例磁気ヘッドスライダの製造方法を
説明するための、磁気ヘッドスライダ構成部材の斜視図
である。
説明するための、磁気ヘッドスライダ構成部材の斜視図
である。
【図６】本発明第１〜第４実施例磁気ヘッドスライダ
の、部分平面図である。
の、部分平面図である。
【図７】従来例磁気ヘッドスライダの、斜視図である。
【図８】従来例磁気ヘッドスライダの、部分斜視図であ
る。
る。
１ スライダ本体 ２ ヨーク ３ ガラス ４ 巻線孔 １１ 空気ベアリング部 １２ トラック部 １５ 空気流入部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 本郷 政紀 大阪府守口市京阪本通２丁目18番地 三洋 電機株式会社内 (72)発明者 大西 利夫 大阪府守口市京阪本通２丁目18番地 三洋 電機株式会社内
Claims (5)
- 【請求項１】 記録媒体対向面に空気ベアリング部を有
する磁気ヘッドスライダにおいて、空気ベアリング部の
記録媒体との相対走行方向前方側の端部に、空気ベアリ
ング部から凹んだ平面にて構成される空気流入部が形成
されていることを特徴とする磁気ヘッドスライダ。 - 【請求項２】 空気流入部の空気ベアリング部からの凹
み量が、０．５〜１μｍであることを特徴とする請求項
１記載の磁気ヘッドスライダ。 - 【請求項３】 空気流入部が、単結晶材料にて構成され
ていることを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッドスラ
イダ。 - 【請求項４】 空気ベアリング部の空気流入部側の端辺
が、記録媒体との相対走行方向に対して傾いた部分を有
することを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッドスライ
ダ。 - 【請求項５】 記録媒体対向面に空気ベアリング部を有
する磁気ヘッドスライダの製造方法において、空気ベア
リング部が形成された磁気ヘッドスライダ構成部材の記
録媒体対向面を、空気ベアリング部の記録媒体との相対
走行方向前方側の端部が露出するようにレジストで覆
い、その上からエッチング加工を行うことにより、空気
ベアリング部から凹んだ平面にて構成される空気流入部
を形成することを特徴とする磁気ヘッドスライダの製造
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21994793A JPH0773630A (ja) | 1993-09-03 | 1993-09-03 | 磁気ヘッドスライダ及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21994793A JPH0773630A (ja) | 1993-09-03 | 1993-09-03 | 磁気ヘッドスライダ及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0773630A true JPH0773630A (ja) | 1995-03-17 |
Family
ID=16743533
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21994793A Pending JPH0773630A (ja) | 1993-09-03 | 1993-09-03 | 磁気ヘッドスライダ及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0773630A (ja) |
-
1993
- 1993-09-03 JP JP21994793A patent/JPH0773630A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS59132416A (ja) | 磁気ヘツド・スライダ・アセンブリ | |
| JPH0554167B2 (ja) | ||
| JPH0773630A (ja) | 磁気ヘッドスライダ及びその製造方法 | |
| US6754043B2 (en) | Head slider | |
| US5548459A (en) | Floating magnetic head | |
| JP2002074634A (ja) | 磁気ヘッドおよびその製造方法 | |
| JPH06111508A (ja) | 磁気ヘッド | |
| JPH11167709A (ja) | 磁気ヘッド | |
| JPH02101611A (ja) | 複合磁気ヘッド | |
| JPH08321026A (ja) | 浮上型磁気ヘッドとその製造方法 | |
| JP2818987B2 (ja) | 浮動磁気ヘッド | |
| JP3011801B2 (ja) | 光磁気記録用浮上型磁気ヘッド | |
| JPH053646B2 (ja) | ||
| JP2906653B2 (ja) | 浮上型磁気ヘッド装置 | |
| JPS59117728A (ja) | 磁気ヘツド | |
| JPH0817157A (ja) | 積層型磁気ヘッドと磁気ディスク装置 | |
| JPH0845047A (ja) | 磁気ヘッドスライダ組立体 | |
| JPH0773628A (ja) | 磁気ヘッドスライダ及びその製造方法 | |
| JP2882299B2 (ja) | コア薄膜磁気ヘッド | |
| JPH0798951A (ja) | 磁気ヘッドスライダ及びその製造方法 | |
| JPH0765314A (ja) | 磁気ヘッド | |
| JPH0254486A (ja) | 浮動型磁気ヘッドスライダ | |
| JPH05334618A (ja) | 磁気ヘッドおよびその製造方法 | |
| JPH01277308A (ja) | 溝付き磁気ヘッド | |
| JPH0643821U (ja) | 磁気ヘッド |