JPH0773229A - 集積回路のマスクパターン設計におけるエラー修正方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】集積回路のマスクパターン設計時のマスクパタ
ーン検証時で、マスクパターンデータの修正を行う際、
マスクデータパターンデータを繰り返し部分の修正を確
認するという作業をなくし、エラー修正にかかる工数を
削減する。 【構成】マスクパターン設計後のマスクパターンデータ
から、マスクパターンの繰り返し箇所を検索し（Ａ）、
マスクパターン検証で行われる幾何学的ルールチェック
後に出力される結果ファイルと、エラー図形データか
ら、マスクパターンデータが繰り返されている箇所での
エラーの情報を削除する（Ｂ）により、マスクパターン
データの繰り返し部分のエラー修正を行う必要がなくな
り、エラー修正工数を削減することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、集積回路のマスクパタ
ーン設計におけるエラー修正方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の集積回路のマスクパターン設計工
程のフローを示す図１を参照すると、マスクパターン設
計１００１では、マスクパターンエディタを用いて、マ
スクパターンデータ１０３０を作成する。

【０００３】この設計が終了すると、このデータ１０３
０の整合性を確認するために、マスクパターンデータ１
０３０の幾何学的間隔や重なり具合が基準値どおり設計
されているかどうかをチェックする幾何学的ルールチェ
ック１００２と、集積回路の論理回路記述とマスクパタ
ーンデータの照合のチェック１００３を行う。この２つ
のチェックをマスクパターン検証という。チェックの結
果は、結果ファイル１０１０，１０１１に出力され、あ
わせてエラー部分を表すエラー図形データ１０２０，１
０２１のファイルも出力される。

【０００４】設計者は、これらの出力ファイルをもと
に、エラーの修正１０４０を行い、エラーがなくなるま
で、上述のマスクパターン検証を繰り返す。

【０００５】次に、幾何学的ルールチェック１０５０に
ついて図面を用いてさらに詳細に説明していくことにす
る。

【０００６】例えば、エラーを含んだマスクパターンの
例を示す図５を参照すると、パターン２０１とパターン
２０２との間隔が基準値２．５以上離さなければならな
いところをパターン２０３では、１．２５という間隔で
設計していたため、パターン２０３がエラーとなったも
のである。

【０００７】チェックされた結果は、図７に示すチェッ
ク項目（基準値）４０１、マスクパターンデータ上のエ
ラー部分の座標４０３、このエラーの個数が記述された
結果ファイル４０２と、図６に示すエラー部分３０１を
表すエラー図形データという形で参照できる。

【０００８】図６のエラー図形データは、マスクパター
ンデータと対応しており、パターン２０３のエラー部分
が矩形の部分３０１にて表されることになる。

【０００９】さらに、図５のマスクパターンは、図８
（パターン５０１は図５に対応する）のように右方へ繰
り返し配置されているため、エラー座標４０３の部分に
繰り返された個数分、出力される。

【００１０】また、エラー図形も、図９のように、繰り
返された数だけ（ここでは３２個のパターン６０１）、
生成される。

【００１１】従来のこの種のエラー修正方法において
は、マスクパターンの設計者は、マスクパターンエディ
タ上に、マスクパターンデータ図５と、チェック結果の
エラー図形データ図６とを表示させて（図１１）、エラ
ー情報が記述されているファイル（図７）を目視しなが
ら、エラー座標（４０３）を調べその都度、マスクパタ
ーンエディタ上から探し出して、全てのエラーの修正を
おこなっていた。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】図８で示されるマスク
パターンデータは、図５のマスクパターンデータを繰り
返し使用して配置したものにすぎないので、エラーの修
正は、繰り返されたもとのマスクデータに対してだけ行
われれば良いことになる。

【００１３】それで、繰り返し配置されたマスクデータ
に関するエラー情報を含む結果ファイルはその分冗長に
なってしまう。

【００１４】また、同じように、エラー図形について
も、繰り返し配置されている分について、エラー図形が
出力されているので、エラー修正の際、マスクパターン
エディタ上に、同じエラーに関するエラー図形が繰り返
し分だけ多く表示されるという欠点があった。

【００１５】また、それらのファイル，エラー図形デー
タをもとにエラーの修正を行う際に、前述したように繰
り返されたもとのマスクデータに対してだけ修正がおこ
なわれればよいにもかかわらず、実行結果ファィイルの
全てのエラーについても一つ一つ修正の確認をしなけれ
ばならないため、エラー修正に無駄な工数がかかってし
まうという欠点があった。

【００１６】本発明の目的は、上述した欠点を解決し、
集積回路のマスクパターン設計時のマスクパターン検証
で、マスクパターンデータの幾何学的ルールチェックの
エラー修正を行う際に、マスクパターンデータの繰り返
し部分エラーの修正を確認するという作業をなくすこと
により、エラー修正にかかる構成を削減することにあ
る。

【００１７】

【課題を解決するための手段】上述した問題点を解決す
るため、本発明による繰り返しを含むマスクパターンデ
ータのエラー修正方法は、マスクパターンデータファイ
ルからマスクパターンの繰り返しが行われている箇所を
検索し、結果ファイルと、エラー図形データのファイル
中の、繰り返しに関するエラー情報を削除する処理を備
えていることを特徴とする。

【００１８】本発明によれば、エラー修正時の結果ファ
イルから繰り返し分の情報がなくなり、ファイルから不
必要なエラー情報がなくなる。また、マスクパターンエ
ディタ上にマスクパターンの繰り返し部分のエラー図形
が表示されなくなる。よって、設計者は、マスクデータ
の繰り返し部分の修正の確認を行う必要がなくなる。

【００１９】

【実施例】本発明の一実施例のフローを示す図１を参照
すると、この実施例は、マスクパターン設計１０１の次
の幾何学的ルールチェック１０２と、マスクパターンエ
ディタでの修正１０３との間に、マスクパターン設計後
のマスクパターンデータから、マスクパターンの繰り返
し箇所を検索する処理Ａと、マスクパターン検証で行わ
れる幾何学的ルールチェック後に出力される結果ファイ
ルとエラー図形データから、マスクパターンデータが繰
り返されている箇所でのエラーの情報を削減する処理Ｂ
とを備える。

【００２０】まず、チェック１０１でマスクパターン設
計が終了したマスクパターンデータ（例えば図５）に対
し、幾何学的ルールチェック１０２を実行する。

【００２１】図５のマスクパターンデータについてチェ
ックを行うとパターン２０３がパターン２０１と２０２
との間で、基準値を満たしていないため、エラーとな
る。

【００２２】チェックが終了すると、図５のチェック結
果ファイル（例えば図７）とエラー部分を表すエラー図
形データ（例えば図６）が生成される。

【００２３】エラー図形は、基準値を満たしていない部
分を矩形で表したもので、図５のパターン２０３が、図
６のパターン３０１に対応している。

【００２４】結果ファイル（図７）には、例えばチェッ
ク項目４０１，エラー数４０２，エラー図形の座標４０
３の項目が記述されている。

【００２５】ここで、幾何学的ルールチェック１０２の
入力ファイルとなったマスクパターンデータから、マス
クパターンが連続して配置されている箇所を検索する
（処理Ａ）。

【００２６】そのあと、処理Ｂで、結果ファイルとエラ
ー図形データから、マスクパターンが連続して配置され
ている箇所で、エラーが出ている箇所のエラーデータを
もとの繰り返されたマスクパターンに関するものだけを
残して、マスクパターンの繰り返し分だけ削除する（図
２，図３）。ここで、図２，図３は従来の図８，図９に
対応する。

【００２７】そのあと、図４のように、マスクパターン
エディタ上に、マスクパターンデータと、エラー図形デ
ータを表示させて、図２の結果ファイルを目視しなが
ら、削除されなかったもとのマスクデータに関するエラ
ーの修正１０３を行う。

【００２８】このとき、図３のように、エラー図形情報
中には、マスクパターンの連続部分のエラー図形情報は
削除されているため、エディタ上には、繰り返された分
のエラー図形は表示されない（図４）。

【００２９】また、図２のように結果ファイルにも、繰
り返された分のエラーに関する情報は削除されるため、
マスクパターン検証過程で、マスクパターンの幾何学的
ルールチェックのエラー修正を行う際に、マスクパター
ンの繰り返し部分のエラー修正を確認するという作業を
設計者が行う必要がなくなり、エラー修正にかかる工数
を削減することができる。

【００３０】次に、本発明の他の実施例について説明す
る。

【００３１】この実施例では、回路図エディタ上で作成
された論理回路図の、階層間チェック後のエラー修正へ
適用した例について述べる。

【００３２】論理回路図の階層間チェックでは、論理回
路中に使用されているマクロデータを展開して、論理回
路が正確に作成されているかどうかをチェックする。

【００３３】論理回路にいくつかの同じマクロデータが
使用されているとき、そのマクロデータ内にエラーがあ
った場合には、論理回路図中にマクロデータに関するエ
ラーが、複数存在することになる。

【００３４】論理回路図中にも同じマクロデータに関す
るエラーがいくつも表示されてしまう。実際には、使用
されているマクロデータを一つ修正すれば、エラーは修
正されたことになるので、エディタ上にいくつも同じマ
クロデータに関するエラーが表示される必要はない。

【００３５】よって、この実施例では、エラー箇所で、
同じマクロデータ内に属するものを検索し、次に同じマ
クロデータのエラーに関する情報を削除することで、修
正しなければならないエラーをもつマクロデータを明確
にすることによって、エラー修正を円滑に行うことがで
き、エラーの修正にかける工数を削減することができ
る。

【００３６】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ある設計データが繰り返し使用されている箇所を検索
し、繰り返されている箇所のエラー情報を削除すること
で、集積回路のマスクパターン設計におけるエラー修正
で、同じエラーに関するエラー修正の確認を行う必要が
無くなり、エラー修正にかかる工数を削減することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例のフロー図である。

【図２】図１のチェックの結果ファイルを示す図であ
る。

【図３】図１におけるエラー図形を示す平面図である。

【図４】図１におけるマスクパターンの平面図である。

【図５】エラーを含んだマスクパターンの平面図であ
る。

【図６】図５のエラー図形を示す平面図である。

【図７】図５においてチェックされた結果ファイルを示
す図である。

【図８】図５のパターンを含むマスクパターを示す平面
図である。

【図９】図８中のエラー図形を示す平面図である。

【図１０】従来の集積回路のマスクパターン設計工程の
フロー図である。

【図１１】図１０におけるチェック結果のエラー図形デ
ータを示す平面図である。

【符号の説明】

１０１，１００１ マスクパターン設計 １０２，１００２ 幾何学的ルールチェック １０３ マスクパターンエディタでの修正 Ａ マクスデータの検索 Ｂ 繰り返し部分エラー情報の削除 ２０１〜２０３，３０１，５０１，６０１ パターン ４０１ チェック項目 ４０２ エラー数 ４０３ エラー図形の座標 １００３ 照合チェック １０１０，１０１１ 結果ファイル １０２０，１０２１ エラー図形データ １０３０ マスクパターンデータ １０４０ マスクパターンの修正 １０５０ 幾何学的ルールチェック及び照合チェック

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 所定のマスクデータ又はマクロデータを
   規則的に繰り返し配置して作成されているマスクデータ
   又はマクロデータに関するエラー修正を行う場合、繰り
   返し分のエラー情報をエラーリストから削除する処理工
   程を設けたことを特徴とする集積回路のマスクパターン
   設計におけるエラー修正方法。