JPH0755451A - 測定機におけるプローブ装置 - Google Patents

測定機におけるプローブ装置

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Publication number
JPH0755451A
JPH0755451A JP5201723A JP20172393A JPH0755451A JP H0755451 A JPH0755451 A JP H0755451A JP 5201723 A JP5201723 A JP 5201723A JP 20172393 A JP20172393 A JP 20172393A JP H0755451 A JPH0755451 A JP H0755451A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
feeler
probe
feelers
display
led
Prior art date
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Pending
Application number
JP5201723A
Other languages
English (en)
Inventor
Hidemitsu Nakakawara
英満 中河原
Osamu Arai
治 荒井
Kiyoshi Oya
清 大家
Yoshiyuki Fujita
義之 藤田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
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Publication date
Application filed by Nikon Corp filed Critical Nikon Corp
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  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】選択したフィーラを、常にプローブから視線を
外すことなく認識できるプローブ装置を得る。 【構成】被測定物との接触を検知して検出信号をそれぞ
れ出力する複数のフィーラがプローブ本体に所定の位置
関係で配置されたプローブ本体(1,11)上に、複数
のフィーラ(3a〜3e)の中のどのフィーラが選択さ
れているかを表示する表示部(5,15)を設けた。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、三次元座標測定機等の
測定機におけるプローブ装置に関する。
【0002】
【従来の技術】一般に、接触型プローブ(タッチプロー
ブ)を用いた三次元座標測定機における被測定物の形状
寸法の測定では、測定機の1軸(通常はZ軸)の先端に
タッチプローブを固定し、プローブに設けられたフィー
ラの先端が被測定物の表面に接触するまで軸をX,Y,
Z方向に移動させ、接触の瞬間における座標値を求める
ことにより被測定物の形状を特定する。
【0003】このようなタッチプローブとして、複数の
フィーラを備えたものが知られている。被測定物の形状
が単純な場合には、単一のフィーラを備えたタッチプロ
ーブを用いて形状寸法を測定することが可能であるが、
比較的複雑な形状の被測定物の場合には、長さや方向の
異なる複数のフィーラを備えたタッチプローブを使用す
る。この複数のフィーラを備えたタッチプローブを使用
する場合、測定者は被測定物の形状を考慮して、測定に
使用するフィーラをリモートターミナルなどの測定機本
体に備えられた操作装置を用いて選択する。
【0004】実際の測定において、フィーラが被測定物
に接触すると、プローブはそれに応答してタッチトリガ
信号を出力するが、複数個のフィーラの中のどのフィー
ラが被測定物に接触しても、タッチトリガ信号としては
同一のものが出力される。複数のフィーラの位置関係は
既知であるので、三次元座標測定機は、どのフィーラが
選択されているのかを操作装置の出力から判別し、X,
Y,Z方向のエンコーダの読み取り値を選択されたフィ
ーラの位置によって補正した測定座標値を算出する。
【0005】正しい測定座標値を得るためには、タッチ
トリガ信号を得る前に、測定者はどのフィーラで測定を
行なうのであるかを選択し、実際の測定においても正し
くそのフィーラを用いて測定しなければならない。従来
は、どのフィーラを選択したのかを識別できるように、
リモートターミナルなどの三次元座標測定機の操作装置
上にフィーラに対応する番号又はフィーラ名等の記号を
表示していた。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】ジョイスティックを使
用して三次元座標測定機を遠隔操作しているとき、測定
者の視線はタッチプローブに向かっているのが通常であ
る。また、ジョイスティックを使用せずに直接三次元座
標測定機を手動操作しているときも、測定者自身はリモ
ートターミナルから離れた位置にいて、やはり視線はプ
ローブに向いている。このような時に選択されているフ
ィーラを確認するには、プローブから視線を外すか、あ
るいは測定者自身が移動しなければならず、操作性が悪
いという問題があった。
【0007】そこで本発明は、複数のフィーラを用いて
測定作業を行なう場合に、選択されたフィーラを、常に
プローブから視線を外すことなく認識できるプローブ装
置を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めの本発明の要旨は、被測定物との接触を検知して検出
信号をそれぞれ出力する複数のフィーラがプローブ本体
に所定の位置関係で配置され、該複数のフィーラから選
択したフィーラを使用して前記被測定物を測定する測定
機におけるプローブ装置であって、前記複数のフィーラ
の中のどのフィーラが選択されているかを表示する表示
手段を前記プローブ本体上に設けたことを特徴とするプ
ローブ装置である。
【0009】そして、前記表示手段は、前記複数のフィ
ーラの前記所定の位置関係と対応する位置関係でそれぞ
れ配置された複数の表示要素を有し、該複数の表示要素
を択一的に駆動することによって前記選択したフィーラ
を表示するように構成することが好ましい。
【0010】
【作用】測定者が被測定物の形状に合わせてプローブ装
置のフィーラを選択すると、その情報がプローブ装置の
表示手段に入力され、表示手段は選択したフィーラを示
す表示を行なう。
【0011】
【実施例】図面を用いて、本発明の実施例を説明する。
図1は、本発明の一実施例によるタッチプローブの外観
図である。タッチプローブ1は、筒状のプローブ本体2
と5本のフィーラ3a〜3eによって構成される。中央
のフィーラ3aは、長手方向をプローブ本体2の軸方
向、即ち三次元座標測定機のZ軸と平行に取り付けら
れ、Z軸に垂直な平面を90°で4分割する各方向に
は、フィーラ3b〜3eがそれぞれ取り付けられてい
る。ただしフィーラ3dは図示されていない。
【0012】プローブ本体2の側面には、フィーラの被
測定物への接触に応答して出力されるタッチトリガ信号
の発生を点灯表示する、接触表示用発光ダイオード(L
ED)4と、どのフィーラが選択されたかを表示する、
選択表示用表示器5とが設けられている。表示器5は5
本のフィーラ3a〜3eの位置関係に対応して配列され
た合計5個のLED5a〜5eを有する。即ち、LED
5aはフィーラ3aに、LED5bはフィーラ3bに、
LED5cはフィーラ3cに、LED5dはフィーラ3
dに、LED5eはフィーラ3eにそれぞれ対応し、い
ずれか1つのLEDの点灯によって、対応するフィーラ
が選択されたことを表示する。
【0013】プローブ本体2には更に、タッチプローブ
を三次元座標測定機に装着するための結合部2aが設け
られている。図1のタッチプロ−ブ1を三次元測定機と
組合せた状態を図2に示す。三次元座標測定機は、測定
機本体6、制御装置7、リモートターミナル8から構成
されている。測定機本体6には、定盤上をY方向に移動
するブリッジ構造体のXビーム6aと、該Xビーム6a
上をX方向に移動するXキャリッジ6bと、Z方向に移
動するスピンドル6cとが設けられ、スピンドル6cの
先端には上述のタッチプローブ1が装着されている。制
御装置7は測定機本体6およびタッチプローブ1の制御
を行なう。リモートターミナル8は、マン・マシンイン
ターフェースを行なうために、キー入力部8aと、表示
部8bと、ジョイスティック8cとによって構成され
る。タッチプローブ1は、スピンドル6c,Xキャリッ
ジ6b,Xビーム6a,測定機本体6を介して制御装置
7に電気的に接続されており、さらに制御装置7はリモ
ートターミナル8と電気的に接続されている。
【0014】上述の如く構成された三次元座標測定機に
よって、タッチプローブ1のフィーラを選択した時の表
示動作について説明する。測定者は、被測定物の測定す
べき部位における形状を考慮し、5個のフィーラの中の
どのフィーラを使用するのが最適かを決定し、リモート
ターミナル8を用いてフィーラを選択する。例えば、測
定者によりフィーラ3aが選択されると、リモートター
ミナル8に入力したフィーラ情報は、制御装置7へ送信
される。制御装置7では、選択されたフィーラに対応す
るLEDを点灯させるための信号処理を行なう。さら
に、制御装置7からタッチプローブ1へ送信された電気
信号によりプローブ表示器5の5つのLEDのうち、フ
ィーラ3aに対応するLED5aが点灯し、フィーラ3
aが選択されたことを表示する。この選択されたフィー
ラ3aが被測定物に接触すると、LED4が点灯する。
【0015】次に、選択されたフィーラを液晶表示器を
用いて数字表示するように構成した他の実施例を図3に
示す。プローブ本体11の側面には、タッチトリガ信号
の発生を点灯表示する接触表示用LED14と、どのフ
ィーラが選択されたかを表示する選択表示用液晶表示器
15とが設けられている。液晶表示器15は選択したフ
ィーラの番号を数字表示する。例えば、フィーラ3a〜
3eに1番〜5番までの番号を予め付しておくことによ
って、フィーラ3bを選択したことを“2”と数字表示
することができる。
【0016】本実施例のように表示に液晶表示器を用い
た場合、数字だけでなく、図,記号,文字等によって選
択されたフィーラを示すことが可能である。なお、上述
の各実施例では、接触表示用表示器と選択表示用表示器
とを別々の表示部で構成したが、2色を発光するLED
を複数個並べ、発光する色によって区別するように構成
すれば、単一の表示部で構成することも可能である。即
ち、フィーラ選択の表示を一方の色で発光表示し、タッ
チトリガ信号が得られたときに、そのフィーラ選択のた
めに発光しているLEDの発光色を他方の色に切替えれ
ばよい。
【0017】
【発明の効果】本発明によれば、複数のフィーラを有す
るプローブ装置のプローブ本体に表示手段を設けること
により、測定機の操作中に、視線を変えることなく選択
されたフィーラを確認することができるため、作業効率
が大幅に向上する。また、表示手段をプローブ本体に設
けることにより、複数のフィーラと表示手段とを常に固
定の位置関係に維持できる。特に第1実施例の表示器の
ように、複数の表示要素を複数のフィーラの配列に対応
づけて配置した場合であってもその配列関係に狂いを生
じることがない。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施例によるタッチプローブの正
面図である。
【図2】本発明のプローブ装置を装着した三次元測定機
の斜視図である。
【図3】本発明の他の実施例によるタッチプローブの正
面図である。
【符号の説明】
1,11・・・・タッチプローブ、 3a〜3e・・・・フィーラ 4,14・・・・接触表示用表示器 5,15・・・・選択表示用表示器 6・・・・三次元座標測定機本体
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 藤田 義之 東京都千代田区丸の内3丁目2番3号 株 式会社ニコン内

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 被測定物との接触を検知して検出信号を
    それぞれ出力する複数のフィーラがプローブ本体に所定
    の位置関係で配置され、該複数のフィーラを選択的に使
    用して前記被測定物を測定する、測定機におけるプロー
    ブ装置において、 前記複数のフィーラの中のどのフィーラが選択されてい
    るかを表示する表示手段を前記プローブ本体上に設けた
    ことを特徴とするプローブ装置。
  2. 【請求項2】 前記表示手段は、前記複数のフィーラの
    前記所定の位置関係と対応する位置関係でそれぞれ配置
    された複数の表示要素を有し、該複数の表示要素を択一
    的に駆動することによって前記選択したフィーラを表示
    する請求項1に記載のプローブ装置。
JP5201723A 1993-08-13 1993-08-13 測定機におけるプローブ装置 Pending JPH0755451A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2000070298A1 (en) * 1999-05-13 2000-11-23 Marposs Societa Per Azioni System for detecting linear dimensions of mechanical workpieces, with wireless signal transmission units

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2000070298A1 (en) * 1999-05-13 2000-11-23 Marposs Societa Per Azioni System for detecting linear dimensions of mechanical workpieces, with wireless signal transmission units
US6526670B1 (en) 1999-05-13 2003-03-04 Marposs Societa' Per Azioni System for detecting linear dimensions of mechanical workpieces, with wireless signal transmission units

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