JPH0755408A - 位置測定装置 - Google Patents
位置測定装置Info
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- JPH0755408A JPH0755408A JP6111444A JP11144494A JPH0755408A JP H0755408 A JPH0755408 A JP H0755408A JP 6111444 A JP6111444 A JP 6111444A JP 11144494 A JP11144494 A JP 11144494A JP H0755408 A JPH0755408 A JP H0755408A
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- measuring device
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- sensor
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
- G01D5/142—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices
- G01D5/145—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices influenced by the relative movement between the Hall device and magnetic fields
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- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Body Structure For Vehicles (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Vehicle Body Suspensions (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 位置に依存する走査信号を形成するために目
盛板の測定目盛を走査ユニットで磁気抵抗素子を用いて
走査し、目盛板に沿って相対運動する二つの物体の相対
位置を測定する位置測定装置にあって、出力信号の振幅
を再調整できる距離に依存する制御量を簡単な手段で発
生させることにある。 【構成】 走査ユニットがこの走査ユニットと測定目盛
の間の間隔ｄを測定する磁気抵抗素子４１を有するセン
サ３を保有し、センサ３の出力端に測定目盛によって変
調されない測定信号Ｓd が出力し、測定信号の振幅は走
査ユニットと測定目盛の間の間隔ｄに依存する。
盛板の測定目盛を走査ユニットで磁気抵抗素子を用いて
走査し、目盛板に沿って相対運動する二つの物体の相対
位置を測定する位置測定装置にあって、出力信号の振幅
を再調整できる距離に依存する制御量を簡単な手段で発
生させることにある。 【構成】 走査ユニットがこの走査ユニットと測定目盛
の間の間隔ｄを測定する磁気抵抗素子４１を有するセン
サ３を保有し、センサ３の出力端に測定目盛によって変
調されない測定信号Ｓd が出力し、測定信号の振幅は走
査ユニットと測定目盛の間の間隔ｄに依存する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、位置に依存する走査
信号を形成する磁気抵抗素子を用いて走査ユニットによ
り目盛板の測定目盛を走査し、目盛板に沿って相対運動
する二つの物体の相対位置を測定する位置測定装置に関
する。
信号を形成する磁気抵抗素子を用いて走査ユニットによ
り目盛板の測定目盛を走査し、目盛板に沿って相対運動
する二つの物体の相対位置を測定する位置測定装置に関
する。
【０００２】
【従来の技術】この種の位置測定装置は、特に工作機械
で加工すべき加工品に対する工具の相対位置を測定する
ために使用される。
で加工すべき加工品に対する工具の相対位置を測定する
ために使用される。
【０００３】欧州特許第 0 151 002 B1 号明細書には、
相対的に移動する物体の相対位置を測定する磁気位置測
定装置が開示されている。この装置では、走査装置の周
期的な測定目盛がそれぞれ４つの磁気抵抗素子から成る
二つのグループにより原点対称な出力信号を発生させる
ために走査される。位相角 0°と 180°の出力信号を有
する二つのグループの４つの磁気抵抗素子は直列回路に
して第一分割ブリッジ回路に、また位相角 90°と 270
°の出力信号を有する二つのグループの磁気抵抗素子は
直列回路にして第二分割ブリッジ回路に結線されてい
る。両方の分割ブリッジ回路の中間タップには、後続す
る評価装置で位置測定値を得るため 90°相対位相差を
有する二つの原点対称な出力信号が出力する。
相対的に移動する物体の相対位置を測定する磁気位置測
定装置が開示されている。この装置では、走査装置の周
期的な測定目盛がそれぞれ４つの磁気抵抗素子から成る
二つのグループにより原点対称な出力信号を発生させる
ために走査される。位相角 0°と 180°の出力信号を有
する二つのグループの４つの磁気抵抗素子は直列回路に
して第一分割ブリッジ回路に、また位相角 90°と 270
°の出力信号を有する二つのグループの磁気抵抗素子は
直列回路にして第二分割ブリッジ回路に結線されてい
る。両方の分割ブリッジ回路の中間タップには、後続す
る評価装置で位置測定値を得るため 90°相対位相差を
有する二つの原点対称な出力信号が出力する。
【０００４】この種の測定装置では、出力信号の信号振
幅が測定目盛と走査ユニットの間の距離に強く依存す
る。振幅が変化すると、後で行われる出力信号の補間を
困難にする。
幅が測定目盛と走査ユニットの間の距離に強く依存す
る。振幅が変化すると、後で行われる出力信号の補間を
困難にする。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】この発明の課題は、冒
頭に述べた種類の位置測定装置にあって、出力信号の振
幅を再調整できる距離に依存する制御量を簡単な手段で
発生させることにある。
頭に述べた種類の位置測定装置にあって、出力信号の振
幅を再調整できる距離に依存する制御量を簡単な手段で
発生させることにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記の課題は、この発明
により、冒頭に述べた種類の位置測定装置にあって、走
査ユニット２と測定目盛１の間の間隔ｄを測定する磁気
抵抗素子４１を備えたセンサ３が走査ユニット２に設け
てあり、センサ３の出力端に測定目盛１で変調されてい
ない測定信号Ｓd を出力し、この測定信号の振幅が走査
ユニット２と測定目盛１の間の間隔ｄに依存することに
よって解決されている。
により、冒頭に述べた種類の位置測定装置にあって、走
査ユニット２と測定目盛１の間の間隔ｄを測定する磁気
抵抗素子４１を備えたセンサ３が走査ユニット２に設け
てあり、センサ３の出力端に測定目盛１で変調されてい
ない測定信号Ｓd を出力し、この測定信号の振幅が走査
ユニット２と測定目盛１の間の間隔ｄに依存することに
よって解決されている。
【０００７】この発明による他の有利な構成は、特許請
求の範囲の従属請求項に記載されている。
求の範囲の従属請求項に記載されている。
【０００８】
【実施例】以下に、図面を参照して好適実施例に関しこ
の発明をより詳しく説明する。図１には測長装置が模式
的に示してある。この装置では磁気材料の目盛板の測定
目盛１が多数の磁気抵抗素子２１，２２，２３，２４を
有する走査ユニット２で走査される。測定目盛１は測定
方向Ｘに連続する逆極の磁気領域ＮとＳで構成されてい
る。この磁気領域の境界には二つのＮ極ＮＮあるいはＳ
極ＳＳが隣接する。測定目盛１はＮ極とＳ極の間の極間
隔で規定される目盛周期ｔを有する。
の発明をより詳しく説明する。図１には測長装置が模式
的に示してある。この装置では磁気材料の目盛板の測定
目盛１が多数の磁気抵抗素子２１，２２，２３，２４を
有する走査ユニット２で走査される。測定目盛１は測定
方向Ｘに連続する逆極の磁気領域ＮとＳで構成されてい
る。この磁気領域の境界には二つのＮ極ＮＮあるいはＳ
極ＳＳが隣接する。測定目盛１はＮ極とＳ極の間の極間
隔で規定される目盛周期ｔを有する。
【０００９】位置に依存する出力信号Ｓ1 を発生させる
ため、測定目盛１はパーマロイで構成される磁気抵抗素
子２１，２２，２３，２４でＸ方向に走査される。これ
等の磁気抵抗素子２１，２２，２３，２４の電気抵抗は
測定目盛１の磁場強度に依存する。抵抗の変化は約 2％
である。比較的小さい抵抗変化と温度による抵抗変化に
よる信号のドリフトを補償するため、多くの素子２１，
２２，２３，２４がホィーストン・ブリッジにして接続
されている。対向する素子２１，２４あるいは２２，２
３はそれぞれ半目盛周期ｔあるいは 180°の位相差を有
する。この回路を図２に示す。
ため、測定目盛１はパーマロイで構成される磁気抵抗素
子２１，２２，２３，２４でＸ方向に走査される。これ
等の磁気抵抗素子２１，２２，２３，２４の電気抵抗は
測定目盛１の磁場強度に依存する。抵抗の変化は約 2％
である。比較的小さい抵抗変化と温度による抵抗変化に
よる信号のドリフトを補償するため、多くの素子２１，
２２，２３，２４がホィーストン・ブリッジにして接続
されている。対向する素子２１，２４あるいは２２，２
３はそれぞれ半目盛周期ｔあるいは 180°の位相差を有
する。この回路を図２に示す。
【００１０】測定目盛１は、例えば工作機械の固定台あ
るいは案内部に固定されているか、またはそこに直接取
り付けてある。走査ユニット２は測定目盛１に対してＸ
方向に移動する移動台の上にある。これ等の両方の物体
が相対移動する時、走査ユニット２は測定目盛１あるい
は測定目盛１のホルダー上を摺動する。それにもかかわ
らず、これ等の摺動部材の磨耗や、他の影響により、実
際には測定目盛１と走査ユニット２の間の間隔ｄは変わ
る。Ｚ方向の間隔の変化は、測定目盛１をＸ方向に走査
する場合、磁気抵抗素子２１，２２，２３，２４の抵抗
変化の減少あるいは増大の原因にもなる。この間隔変化
は、位置に依存する出力信号Ｓ1 の信号振幅の変化の原
因ともなる。信号振幅のこの変化を図３に示す。図３ａ
の走査信号Ｓ1 の信号変化は最適な一定間隔ｄで生じ
る。この間隔ｄが大きくなると、信号振幅が減少する。
これは図３ｂから読み取れる。
るいは案内部に固定されているか、またはそこに直接取
り付けてある。走査ユニット２は測定目盛１に対してＸ
方向に移動する移動台の上にある。これ等の両方の物体
が相対移動する時、走査ユニット２は測定目盛１あるい
は測定目盛１のホルダー上を摺動する。それにもかかわ
らず、これ等の摺動部材の磨耗や、他の影響により、実
際には測定目盛１と走査ユニット２の間の間隔ｄは変わ
る。Ｚ方向の間隔の変化は、測定目盛１をＸ方向に走査
する場合、磁気抵抗素子２１，２２，２３，２４の抵抗
変化の減少あるいは増大の原因にもなる。この間隔変化
は、位置に依存する出力信号Ｓ1 の信号振幅の変化の原
因ともなる。信号振幅のこの変化を図３に示す。図３ａ
の走査信号Ｓ1 の信号変化は最適な一定間隔ｄで生じ
る。この間隔ｄが大きくなると、信号振幅が減少する。
これは図３ｂから読み取れる。
【００１１】それ故、信号振幅を調節するため、温度補
償された擾乱場に無関係なアナログ調整量が必要であ
る。これには、この発明により、出力端に測定目盛１に
よりできる限り変調されていない測定信号Ｓd を発生さ
せるセンサ３が提唱されている。そして、この測定信号
の信号振幅が走査ユニット２と測定目盛１の間の間隔ｄ
に依存している。
償された擾乱場に無関係なアナログ調整量が必要であ
る。これには、この発明により、出力端に測定目盛１に
よりできる限り変調されていない測定信号Ｓd を発生さ
せるセンサ３が提唱されている。そして、この測定信号
の信号振幅が走査ユニット２と測定目盛１の間の間隔ｄ
に依存している。
【００１２】図４にはこの種のセンサ３が図示されてい
る。この場合、センサ３は分圧回路で構成されている。
分圧回路の有効分岐路４には磁気抵抗素子４１が配設さ
れている。この素子の抵抗は間隔ｄに依存して変わる。
分圧回路の補償分離路５は、抵抗値が間隔ｄに無関係な
抵抗５１を有する。間隔に依存する測定信号Ｓd として
は有効分岐路４の電圧を使用する。
る。この場合、センサ３は分圧回路で構成されている。
分圧回路の有効分岐路４には磁気抵抗素子４１が配設さ
れている。この素子の抵抗は間隔ｄに依存して変わる。
分圧回路の補償分離路５は、抵抗値が間隔ｄに無関係な
抵抗５１を有する。間隔に依存する測定信号Ｓd として
は有効分岐路４の電圧を使用する。
【００１３】測定目盛１を走査して距離に依存する測定
信号Ｓd を求めると、特に有利である。図５と図６に
は、これに対する実施例が示してある。有効分岐路４の
磁気抵抗素子４１１〜４１８が測定目盛１に対して配置
され、この測定目盛１を走査する。この装置は測定目盛
１によって得られた測定信号Ｓd ができる限り変調され
ないように選択される。これに対する回路を図６に示
す。補償分岐路５の抵抗も同じように磁気抵抗素子５１
１，５１２である。これ等の素子は素子４１１〜４１８
のようにその感度軸をＹ軸方向に配置している。素子５
１１，５１２は抵抗が間隔ｄに無関係であるように設計
される。これは、素子５１１，５１２を特に広く形成す
ることによって達成される。この実施例では、測定目盛
の目盛周期ｔは 200μm で、素子４１１〜４１８の諸元
は下記のようになる。つまり、 厚さ＝ 100 nm, 幅＝ 25 μm, 長さ＝ 1.5 mm 素子５１１，５１２の諸元は下記のようになる。つま
り、 厚さ＝ 100 nm, 幅＝ 200μm, 長さ＝ 3 mm この設計では、素子５１１，５１２が素子４１１〜４１
８に比べてより高い感度を有するので、磁気飽和の動作
範囲にある。走査時に生じる間隔ｄを動作範囲と定義す
る。説明する実施例では、有効分岐路４の全抵抗が補償
分岐路５の全抵抗に等しい。素子４１１〜４１８および
５１１，５１２が同じ材料のパーマロイで作製されてい
るので、温度変化は測定信号Ｓd に影響を与えない。
信号Ｓd を求めると、特に有利である。図５と図６に
は、これに対する実施例が示してある。有効分岐路４の
磁気抵抗素子４１１〜４１８が測定目盛１に対して配置
され、この測定目盛１を走査する。この装置は測定目盛
１によって得られた測定信号Ｓd ができる限り変調され
ないように選択される。これに対する回路を図６に示
す。補償分岐路５の抵抗も同じように磁気抵抗素子５１
１，５１２である。これ等の素子は素子４１１〜４１８
のようにその感度軸をＹ軸方向に配置している。素子５
１１，５１２は抵抗が間隔ｄに無関係であるように設計
される。これは、素子５１１，５１２を特に広く形成す
ることによって達成される。この実施例では、測定目盛
の目盛周期ｔは 200μm で、素子４１１〜４１８の諸元
は下記のようになる。つまり、 厚さ＝ 100 nm, 幅＝ 25 μm, 長さ＝ 1.5 mm 素子５１１，５１２の諸元は下記のようになる。つま
り、 厚さ＝ 100 nm, 幅＝ 200μm, 長さ＝ 3 mm この設計では、素子５１１，５１２が素子４１１〜４１
８に比べてより高い感度を有するので、磁気飽和の動作
範囲にある。走査時に生じる間隔ｄを動作範囲と定義す
る。説明する実施例では、有効分岐路４の全抵抗が補償
分岐路５の全抵抗に等しい。素子４１１〜４１８および
５１１，５１２が同じ材料のパーマロイで作製されてい
るので、温度変化は測定信号Ｓd に影響を与えない。
【００１４】図７には、センサ３の他の実施例が示して
ある。有効分岐路４の磁気抵抗素子４１１，４１２，４
１３，４１４は測定目盛１のそれぞれ１目盛を走査する
ように配設されている。全ての素子４１１〜４１４は互
いに並列に接続されている。それ故、測定信号Ｓd は測
定目盛１で殆ど変調されない。補償分岐路５では、測定
目盛１を走査する場合、磁場が変化しても磁気抵抗素子
５１３，５１４，５１５の抵抗が変化しないように、素
子５１３，５１４，５１５が配設されている。磁気抵抗
素子５１３，５１４，５１５の長手軸は測定方向Ｘに、
つまり磁気に敏感でない方向に向けてある。
ある。有効分岐路４の磁気抵抗素子４１１，４１２，４
１３，４１４は測定目盛１のそれぞれ１目盛を走査する
ように配設されている。全ての素子４１１〜４１４は互
いに並列に接続されている。それ故、測定信号Ｓd は測
定目盛１で殆ど変調されない。補償分岐路５では、測定
目盛１を走査する場合、磁場が変化しても磁気抵抗素子
５１３，５１４，５１５の抵抗が変化しないように、素
子５１３，５１４，５１５が配設されている。磁気抵抗
素子５１３，５１４，５１５の長手軸は測定方向Ｘに、
つまり磁気に敏感でない方向に向けてある。
【００１５】補償分岐路で間隔に依存する抵抗変化が生
じないように、磁気抵抗素子を測定目盛から空間的に離
して配設する。例えば、有効分岐路の素子のホルダーの
裏側に配設する。増分位置測定系では、補償分岐路の磁
気抵抗素子を増分トラックと基準マークトラックの間に
配設する。多数のトラックを有する絶対位置測定系でも
同じように二つのトラックの間に配置することができ
る。補償分岐路の磁気抵抗素子は磁気的にも隔離されて
いるので、磁場が作用しない。
じないように、磁気抵抗素子を測定目盛から空間的に離
して配設する。例えば、有効分岐路の素子のホルダーの
裏側に配設する。増分位置測定系では、補償分岐路の磁
気抵抗素子を増分トラックと基準マークトラックの間に
配設する。多数のトラックを有する絶対位置測定系でも
同じように二つのトラックの間に配置することができ
る。補償分岐路の磁気抵抗素子は磁気的にも隔離されて
いるので、磁場が作用しない。
【００１６】図８には、補償分岐路５の磁気抵抗素子５
１６が測定目盛１に対してでなく、基準マーク６に対し
て配設されていて、この基準マーク６を走査する有利な
実施例が示してある。補償分岐路５には、多数の磁気抵
抗素子５１６が測定方向Ｘに間隔を開けて隣合わせに配
設され、互いに並列に接続されている。基準マーク６１
を通過する場合、基準マーク６１の磁場強度が少数の素
子５１６にのみ作用し、そこで抵抗の変化を与える。４
つの素子５１６を並列接続することにより、この抵抗変
化が補償分岐路５の全抵抗に影響を与えない。見通しを
良くするため、図８に補償分岐路５の一つの素子５１６
しか示しいない。
１６が測定目盛１に対してでなく、基準マーク６に対し
て配設されていて、この基準マーク６を走査する有利な
実施例が示してある。補償分岐路５には、多数の磁気抵
抗素子５１６が測定方向Ｘに間隔を開けて隣合わせに配
設され、互いに並列に接続されている。基準マーク６１
を通過する場合、基準マーク６１の磁場強度が少数の素
子５１６にのみ作用し、そこで抵抗の変化を与える。４
つの素子５１６を並列接続することにより、この抵抗変
化が補償分岐路５の全抵抗に影響を与えない。見通しを
良くするため、図８に補償分岐路５の一つの素子５１６
しか示しいない。
【００１７】図示していないが、基準マークトラック６
に対して図７の補償分岐路５の素子５１３，５１４，５
１５の装置が配設されていて、この基準マークトラック
６を走査する。
に対して図７の補償分岐路５の素子５１３，５１４，５
１５の装置が配設されていて、この基準マークトラック
６を走査する。
【００１８】図示する補償分岐路５の素子５１１〜５１
６の代わりに、他の抵抗素子も採用できる。これ等の素
子は有効分岐路４の素子４１１〜４１８と同じ温度特性
であるが、磁気に感じない。材料としては、例えば銅が
適している。図９には、補償分離路５が高抵抗の導入導
線５１７，５１８で構成されているこの種の実施例が示
してある。これ等の導入導線５１７，５１８は素子４１
１〜４１４と同じホルダーに装着されている。同じ温度
特性とは、温度変化がある場合、抵抗が同じように変化
することを意味する。
６の代わりに、他の抵抗素子も採用できる。これ等の素
子は有効分岐路４の素子４１１〜４１８と同じ温度特性
であるが、磁気に感じない。材料としては、例えば銅が
適している。図９には、補償分離路５が高抵抗の導入導
線５１７，５１８で構成されているこの種の実施例が示
してある。これ等の導入導線５１７，５１８は素子４１
１〜４１４と同じホルダーに装着されている。同じ温度
特性とは、温度変化がある場合、抵抗が同じように変化
することを意味する。
【００１９】既に説明したセンサ３の実施例は有効分岐
路４で一つまたはそれ以上の磁気抵抗素子４１１〜４１
８を必要とする。それ等の素子４１１〜４１８は、磁気
抵抗素子２１〜２４に加えて、位置に依存する走査信号
を形成するために必要となる。この発明の他の構成によ
れば、センサ３の有効分岐路４に加えて、位置測定装置
の既存の磁気抵抗素子２１〜２４を使用できる。
路４で一つまたはそれ以上の磁気抵抗素子４１１〜４１
８を必要とする。それ等の素子４１１〜４１８は、磁気
抵抗素子２１〜２４に加えて、位置に依存する走査信号
を形成するために必要となる。この発明の他の構成によ
れば、センサ３の有効分岐路４に加えて、位置測定装置
の既存の磁気抵抗素子２１〜２４を使用できる。
【００２０】図１０と図１１には、これに対する実施例
が示してある。磁気抵抗素子４１１〜４１４が測定目盛
１を走査する。これ等の素子は全ブリッジに接続され、
出力端に正弦波状の走査信号Ｓ1 が出力する。この走査
信号の振幅は測定方向Ｘで測定目盛１に対する走査ユニ
ット２の位置を規定する。この種の装置は、既に図１と
図２に説明した。増分位置測定装置では、方向識別のた
め、90°位相のずれた走査信号Ｓ2 を使用する必要があ
る。これには、磁気抵抗素子４１５〜４１８の他の全ブ
リッジが使用される。この発明によれば、両方の全ブリ
ッジを電圧側で並列に接続し、センサが先の実施例で既
に説明した補償分岐路５と共に完成する。間隔に依存す
る測定信号Ｓd は両方の全ブリッジの並列回路から取り
出せる。特に良好で高調波を含まない測定信号Ｓd を得
るため、多数の全ブリッジを並列接続してもよい。その
場合、個々の全ブリッジは互いに位相のずれた、測定方
向Ｘに対して位置に依存する走査信号Ｓ1,Ｓ2 を発生す
る。
が示してある。磁気抵抗素子４１１〜４１４が測定目盛
１を走査する。これ等の素子は全ブリッジに接続され、
出力端に正弦波状の走査信号Ｓ1 が出力する。この走査
信号の振幅は測定方向Ｘで測定目盛１に対する走査ユニ
ット２の位置を規定する。この種の装置は、既に図１と
図２に説明した。増分位置測定装置では、方向識別のた
め、90°位相のずれた走査信号Ｓ2 を使用する必要があ
る。これには、磁気抵抗素子４１５〜４１８の他の全ブ
リッジが使用される。この発明によれば、両方の全ブリ
ッジを電圧側で並列に接続し、センサが先の実施例で既
に説明した補償分岐路５と共に完成する。間隔に依存す
る測定信号Ｓd は両方の全ブリッジの並列回路から取り
出せる。特に良好で高調波を含まない測定信号Ｓd を得
るため、多数の全ブリッジを並列接続してもよい。その
場合、個々の全ブリッジは互いに位相のずれた、測定方
向Ｘに対して位置に依存する走査信号Ｓ1,Ｓ2 を発生す
る。
【００２１】間隔に依存する測定信号Ｓd を発生する他
の可能性が図１０に示してある。位置測定装置で生じた
位置に依存する正弦波状の走査信号Ｓ1 とＳ2 がセンサ
３の整流回路７に導入される。ここでも、測定信号Ｓd
は多数の走査信号Ｓ1,Ｓ2 を整流すると、特に高調波を
含まない。
の可能性が図１０に示してある。位置測定装置で生じた
位置に依存する正弦波状の走査信号Ｓ1 とＳ2 がセンサ
３の整流回路７に導入される。ここでも、測定信号Ｓd
は多数の走査信号Ｓ1,Ｓ2 を整流すると、特に高調波を
含まない。
【００２２】図１３には他のセンサ装置３が示してあ
る。測定目盛１に平行に、磁気補助トラック８が設けて
ある。このトラックの極方向は測定方向Ｘに垂直に移行
する。センサ３は再び一つまたはそれ以上の磁気抵抗素
子を有する有効分岐路４で構成されている。これ等の素
子は補助トラック８を走査して出力端に間隔に依存する
測定信号Ｓd が出力するように構成され配置されてい
る。ここでも、センサ３は測定目盛と補助トラックの磁
場に依存しない全抵抗を有する補償分岐路５によって完
全になる。補償分岐路５は既に説明した実施例のように
構成される。補償分岐路の素子は図示のように補助トラ
ック８と測定目盛１も走査する。
る。測定目盛１に平行に、磁気補助トラック８が設けて
ある。このトラックの極方向は測定方向Ｘに垂直に移行
する。センサ３は再び一つまたはそれ以上の磁気抵抗素
子を有する有効分岐路４で構成されている。これ等の素
子は補助トラック８を走査して出力端に間隔に依存する
測定信号Ｓd が出力するように構成され配置されてい
る。ここでも、センサ３は測定目盛と補助トラックの磁
場に依存しない全抵抗を有する補償分岐路５によって完
全になる。補償分岐路５は既に説明した実施例のように
構成される。補償分岐路の素子は図示のように補助トラ
ック８と測定目盛１も走査する。
【００２３】説明した分圧回路には、温度変化が測定信
号Ｓd に変化を与えないと言う大きな利点がある。温度
変化による測定信号Ｓd の変化を甘受するなら、説明し
た装置の場合、補償分岐路を省き、有効分岐路に一定電
流を供給することができる。有効分岐路の電圧は間隔に
依存する測定信号Ｓd である。
号Ｓd に変化を与えないと言う大きな利点がある。温度
変化による測定信号Ｓd の変化を甘受するなら、説明し
た装置の場合、補償分岐路を省き、有効分岐路に一定電
流を供給することができる。有効分岐路の電圧は間隔に
依存する測定信号Ｓd である。
【００２４】図１４と図１５には、どの位置Ｐでセンサ
３が走査ユニット２で位置測定装置の磁気抵抗素子２
１，２２に対して配置されているかを示す。簡単に図示
するため、素子の二つ２１，２２のみを示す。センサ３
が位置Ｐ1 にあると、走査ユニット２が傾いた場合で
も、平均間隔ｄを与える正しい測定信号Ｓd が得られ
る。センサ３の有効分岐路の個々の磁気抵抗素子が一方
で位置Ｐ2 とＰ3 あるいはＰ2,Ｐ3 とＰ4,Ｐ5 に配置し
ても、同じように正しい測定信号Ｓd が得られる。有効
分岐路４の素子４１の面重心が磁気抵抗素子２１〜２４
の面重心に一致すると、平均間隔ｄを規定する正しい測
定信号Ｓd が得られる。
３が走査ユニット２で位置測定装置の磁気抵抗素子２
１，２２に対して配置されているかを示す。簡単に図示
するため、素子の二つ２１，２２のみを示す。センサ３
が位置Ｐ1 にあると、走査ユニット２が傾いた場合で
も、平均間隔ｄを与える正しい測定信号Ｓd が得られ
る。センサ３の有効分岐路の個々の磁気抵抗素子が一方
で位置Ｐ2 とＰ3 あるいはＰ2,Ｐ3 とＰ4,Ｐ5 に配置し
ても、同じように正しい測定信号Ｓd が得られる。有効
分岐路４の素子４１の面重心が磁気抵抗素子２１〜２４
の面重心に一致すると、平均間隔ｄを規定する正しい測
定信号Ｓd が得られる。
【００２５】間隔に依存する測定信号Ｓd は位置測定装
置の走査信号Ｓ1,Ｓ2 の調整に特に有利に採用される。
これは、例えば（測定方向Ｘに関する）走査信号Ｓ1,Ｓ
2 の信号振幅を測定信号Ｓd に応じて増幅する増幅器を
介して行われるか、あるいは磁気抵抗素子２１〜２４の
給電電圧を可変して行われる。
置の走査信号Ｓ1,Ｓ2 の調整に特に有利に採用される。
これは、例えば（測定方向Ｘに関する）走査信号Ｓ1,Ｓ
2 の信号振幅を測定信号Ｓd に応じて増幅する増幅器を
介して行われるか、あるいは磁気抵抗素子２１〜２４の
給電電圧を可変して行われる。
【００２６】調整の他の有利な可能性は、走査ユニット
２と測定目盛１との間の間隔ｄを測定信号Ｓd に応じて
可変することにある。これは、走査ユニットを駆動ユニ
ットに連結し、この駆動ユニットをＺ方向に追従させて
行われる。駆動ユニットは、欧州特許第 0 242 492 A号
明細書で周知のように、コイル装置ないしは圧電素子で
ある。
２と測定目盛１との間の間隔ｄを測定信号Ｓd に応じて
可変することにある。これは、走査ユニットを駆動ユニ
ットに連結し、この駆動ユニットをＺ方向に追従させて
行われる。駆動ユニットは、欧州特許第 0 242 492 A号
明細書で周知のように、コイル装置ないしは圧電素子で
ある。
【００２７】センサの測定信号Ｓd は走査ユニット２と
測定目盛１の間の間隔を示す。このセンサを用いると、
Ｘ方向とＺ方向の同時測定が可能となる二次元座標系も
提供できる。
測定目盛１の間の間隔を示す。このセンサを用いると、
Ｘ方向とＺ方向の同時測定が可能となる二次元座標系も
提供できる。
【００２８】この発明は増分式および絶対式測長装置や
測角装置に採用できる。
測角装置に採用できる。
【００２９】
【発明の効果】以上説明したように、この発明による位
置測定装置で得られる利点は、特に簡単なセンサ装置に
より測定目盛で変調されない測定信号を発生させ、この
信号の信号振幅が走査ユニットと測定目盛の間の間隔に
依存する点にある。そして、この測定信号により、位置
測定装置の位置に依存する出力信号の信号振幅を簡単に
調節できる。
置測定装置で得られる利点は、特に簡単なセンサ装置に
より測定目盛で変調されない測定信号を発生させ、この
信号の信号振幅が走査ユニットと測定目盛の間の間隔に
依存する点にある。そして、この測定信号により、位置
測定装置の位置に依存する出力信号の信号振幅を簡単に
調節できる。
【図１】周知の位置測定装置の斜視図である。
【図２】図１の位置測定装置の回路図である。
【図３】異なった走査間隔での走査信号の信号波形 (a)
と (b)を示すグラフである。
と (b)を示すグラフである。
【図４】この発明による位置測定装置のセンサの模式図
である。
である。
【図５】センサの磁気抵抗素子の配置を示す図である。
【図６】図５の素子の回路図である。
【図７】センサの磁気抵抗素子の他の配置を示す図であ
る。
る。
【図８】基準マーク・トラックを走査するセンサの配置
である。
である。
【図９】高抵抗導入導線を有するセンサの構成図であ
る。
る。
【図１０】位置測定装置に磁気抵抗素子を使用するセン
サの配置図である。
サの配置図である。
【図１１】図１０の素子の回路図である。
【図１２】整流回路を備えたセンサ装置の図である。
【図１３】補助トラックを有するセンサ装置の図であ
る。
る。
【図１４】走査装置上のセンサの有利な位置を示す平面
図である。
図である。
【図１５】走査装置上のセンサの有利な位置を示す側面
図である。
図である。
１ 測定目盛 ２ 走査ユニット ３ センサ ４ 有効分岐路 ５ 補償分岐路 ２１，２２，２３，２４，４１，４１１〜４１８，５１
１〜５１５磁気抵抗素子 ５１ 抵抗 ６１ 基準マーク ｔ 目盛周期 ｄ 測定目盛と走査ユニットの間の間隔 Ｐ1 〜Ｐ5 センサの位置 Ｓ1,Ｓ2 位置に依存する走査信号 Ｓd 測定信号
１〜５１５磁気抵抗素子 ５１ 抵抗 ６１ 基準マーク ｔ 目盛周期 ｄ 測定目盛と走査ユニットの間の間隔 Ｐ1 〜Ｐ5 センサの位置 Ｓ1,Ｓ2 位置に依存する走査信号 Ｓd 測定信号
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 アルフオンス・シユピース ドイツ連邦共和国、83358 ゼーブルック、 ヴオプフナーストラーセ、２ (72)発明者 ヨーゼフ・ミユーラー ドイツ連邦共和国、84518 ガルヒング、 ノイビュルガーヴエーク、９
Claims (17)
- 【請求項１】 位置に依存する走査信号（Ｓ1,Ｓ2 ）を
形成する磁気抵抗素子（２１〜２４）を用いて走査ユニ
ット（２）により目盛板の測定目盛を走査し、目盛板に
沿って相対運動する二つの物体の相対位置を測定する位
置測定装置において、走査ユニット（２）と測定目盛
（１）の間の間隔（ｄ）を測定する磁気抵抗素子（４
１）を備えたセンサ（３）が走査ユニット（２）に設け
てあり、センサ（３）の出力端に測定目盛（１）で変調
されていない測定信号（Ｓd ）を出力し、この測定信号
の振幅が走査ユニット（２）と測定目盛（１）の間の間
隔（ｄ）に依存することを特徴とする位置測定装置。 - 【請求項２】 測定目盛（１）で変調される磁気抵抗素
子（４１）の走査信号（Ｓ1,Ｓ2 ）の少なくとも一つを
整流回路（７）に導入し、間隔に依存する測定信号（Ｓ
d ）が前記整流回路（７）の出力端に出力することを特
徴とする請求項１に記載の位置測定装置。 - 【請求項３】 センサ（３）の磁気抵抗素子（４３）は
測定装置の磁気抵抗素子（２１〜２４）であり、これ等
の磁気抵抗素子は同時に目盛板に沿った位置を測定する
ために使用されることを特徴とする請求項１または２に
記載の位置測定装置。 - 【請求項４】 センサ（３）は分圧回路で構成され、抵
抗が走査ユニット（２）と測定目盛（１）の間の間隔
（ｄ）に応じて変わる少なくとも一つの磁気抵抗素子
（４１）を有効分岐路（４）に接続し、走査ユニット
（２）と測定目盛（１）の間の間隔（ｄ）に無関係であ
る抵抗素子（５１）を他の補償分岐路（５）の分圧回路
に設け、間隔に依存する測定信号として有効分岐路
（４）の電圧（Ｓd ）が使用されることを特徴とする請
求項１〜３のいずれか１項に記載の位置測定装置。 - 【請求項５】 分圧器の有効分岐路（４）内の前記少な
くとも一つの磁気抵抗素子（４１）は測定目盛（１）に
対向させて配設してあり、この測定目盛（１）を走査す
ることを特徴とする請求項４に記載の位置測定装置。 - 【請求項６】 測定目盛（１）の傍に磁気補助トラック
（８）を配設し、この補助トラックが分圧器の有効分岐
路（４）の少なくとも一つの磁気抵抗素子（４１）で走
査されることを特徴とする請求項４に記載の位置測定装
置。 - 【請求項７】 補償分岐路（５）の磁気抵抗素子は磁気
抵抗素子（５１１〜５１６）であることを特徴とする請
求項４〜６のいずれか１項に記載の位置測定装置。 - 【請求項８】 補償分岐路（５）の磁気抵抗素子（５１
１〜５１５）は測定目盛（１）に対向させて配設してあ
り、この測定目盛（１）を走査し、その場合、磁気抵抗
素子（５１１〜５１５）は測定目盛（１）に対する間隔
（ｄ）に応じて抵抗が変化しないように、設計され配置
されていることを特徴とする請求項７に記載の位置測定
装置。 - 【請求項９】 補償分岐路（５）の磁気抵抗素子（５１
１〜５１５）の長手軸は測定方向Ｘに向けて延びるよう
に配設されていることを特徴とする請求項８に記載の位
置測定装置。 - 【請求項１０】 補償分岐路（５）の磁気抵抗素子（５
１１，５１２）は大きな磁気感度を有し、磁気飽和の動
作範囲内にあることを特徴とする請求項８に記載の位置
測定装置。 - 【請求項１１】 補償分岐路（５）の磁気抵抗素子（５
１６）は測定目盛（１）とは空間的に離して配設されて
いるので、測定目盛（１）の磁場は磁気抵抗素子（５１
６）に作用しないことを特徴とする請求項８に記載の位
置測定装置。 - 【請求項１２】 補償分岐路（５）の多数の磁気抵抗素
子（５１６）は基準マーク（６）に対向させて配置して
あり、これ等の基準マークを走査することを特徴とする
請求項１１に記載の位置測定装置。 - 【請求項１３】 補償分岐路（５）の少なくとも一つの
抵抗素子（５１７，５１８）は有効分岐路（４）の少な
くとも一つの磁気抵抗素子（４１１〜４１４）と同じ温
度特性を有するが、磁場に感じない材料で構成されてい
ることを特徴とする請求項４に記載の位置測定装置。 - 【請求項１４】 抵抗素子は電気接続導線（５１７，５
１８）で形成されていることを特徴とする請求項１３に
記載の位置測定装置。 - 【請求項１５】 間隔（ｄ）を検出するセンサ（３）は
目盛板に沿った位置を測定するために使用される磁気抵
抗素子（２１〜２４）の配置の面重心にあることを特徴
とする請求項１〜１４のいずれか１項に記載の位置測定
装置。 - 【請求項１６】 センサ（３）の間隔に依存する出力信
号（Ｓd ）は測定目盛（１）で変調され、位置に依存す
る走査信号（Ｓ1,Ｓ2 ）の振幅を制御するために使用さ
れることを特徴とする請求項１〜１５のいずれか１項に
記載の位置測定装置。 - 【請求項１７】 センサ（３）の間隔に依存する出力信
号（Ｓd ）は、走査ユニット（２）と測定目盛（１）の
間の間隔（ｄ）を可変する駆動ユニットに導入されるこ
とを特徴とする請求項１〜１５のいずれか１項に記載の
位置測定装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE4319322A DE4319322C2 (de) | 1993-06-11 | 1993-06-11 | Positionsmeßeinrichtung |
| DE4319322:6 | 1993-06-11 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0755408A true JPH0755408A (ja) | 1995-03-03 |
| JP2846814B2 JP2846814B2 (ja) | 1999-01-13 |
Family
ID=6490088
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6111444A Expired - Fee Related JP2846814B2 (ja) | 1993-06-11 | 1994-05-25 | 位置測定装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5627466A (ja) |
| EP (1) | EP0628789B1 (ja) |
| JP (1) | JP2846814B2 (ja) |
| AT (1) | ATE156587T1 (ja) |
| DE (2) | DE4319322C2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100725753B1 (ko) * | 2006-09-06 | 2007-06-08 | 한국기초과학지원연구원 | 스핀소자를 이용한 진폭변조 소자 및 방법 |
| JP2007155617A (ja) * | 2005-12-07 | 2007-06-21 | Denso Corp | 回転角度検出装置及び回転角度検出方法 |
| JP2012500406A (ja) * | 2008-08-15 | 2012-01-05 | イーテーカー ドクター カッセン ゲーエムベーハー | 位置決めシステム |
| JP2013506118A (ja) * | 2009-09-24 | 2013-02-21 | コンチネンタル オートモーティヴ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 角度センサからの複数の信号を評価する方法 |
| WO2015087725A1 (ja) * | 2013-12-10 | 2015-06-18 | 日本電産サンキョー株式会社 | 磁気センサ装置、および磁気式エンコーダ装置 |
| WO2015087726A1 (ja) * | 2013-12-10 | 2015-06-18 | 日本電産サンキョー株式会社 | 磁気センサ装置、磁気式エンコーダ装置、および磁気センサ |
Families Citing this family (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4001989B2 (ja) * | 1996-11-29 | 2007-10-31 | ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング | 位置測定装置の走査部材 |
| DE19712622C5 (de) * | 1997-03-26 | 2010-07-15 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Anordnung und Verfahren zur automatischen Korrektur fehlerbehafteter Abtastsignale inkrementaler Positionsmeßeinrichtungen |
| DE19800805B4 (de) * | 1998-01-12 | 2006-12-14 | Siemens Ag | Verfahren und Sensoranordnung zur Generierung eines Referenzsignals |
| DE19912877A1 (de) | 1998-04-14 | 1999-10-21 | Hdt Industrieplanung Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Kontrolle des Einbauluftspaltes eines aktiven Sensors |
| SE513428C2 (sv) * | 1999-01-07 | 2000-09-11 | Forskarpatent I Uppsala Ab | Lägesgivare |
| DE10032143C2 (de) | 1999-09-30 | 2002-07-18 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Ferraris-Sensor und Verfahren zum Betrieb eines Ferraris-Sensors |
| ATE371167T1 (de) * | 2000-02-17 | 2007-09-15 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Positionsmesseinrichtung und verfahren zu deren betrieb |
| DE50003742D1 (de) * | 2000-10-04 | 2003-10-23 | Nti Ag Zuerich | Verfahren zur Erhöhung der Positioniergenauigkeit eines relativ zu einem Stator bewegbar angeordneten Elements |
| DE10213941A1 (de) * | 2002-03-28 | 2003-10-30 | Bosch Gmbh Robert | Sensorelement und Gradiometeranordnung, deren Verwendung zum Messen von Magnetfeldgradienten und Verfahren hierzu |
| DE10320990A1 (de) * | 2003-05-09 | 2004-11-25 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Induktiver Drehwinkelsensor und damit ausgestatteter Drehgeber |
| DE102005036161A1 (de) * | 2005-08-02 | 2007-02-08 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Feldmodulierende Winkelmesseinrichtung und Verfahren zu deren Betrieb |
| DE102005058597A1 (de) * | 2005-12-07 | 2007-06-28 | Sick Stegmann Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Justierung einer Positions- und/oder Geschwindigkeitsmesseinrichtung |
| EP2138806A1 (de) | 2008-06-27 | 2009-12-30 | SICK STEGMANN GmbH | Positionsmessvorrichtung |
| JP5474195B2 (ja) * | 2010-07-30 | 2014-04-16 | 三菱電機株式会社 | 磁性体検出装置 |
| US11506732B2 (en) | 2010-10-20 | 2022-11-22 | Infineon Technologies Ag | XMR sensors with serial segment strip configurations |
| WO2013153986A1 (ja) * | 2012-04-09 | 2013-10-17 | 三菱電機株式会社 | 磁気センサ装置 |
| JP6464907B2 (ja) * | 2015-04-20 | 2019-02-06 | Tdk株式会社 | 位置検出装置及び位置検出装置の使用構造 |
| DE102018114913A1 (de) | 2018-06-21 | 2019-12-24 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Drehgeber mit einer entlang einer Längsachse verschiebbaren Sensoreinrichtung |
| CN111300076B (zh) * | 2020-02-17 | 2021-08-17 | 湖北文理学院 | 一种可调整机床精度的机床导轨装置及调整方法 |
| CN115077571A (zh) * | 2021-12-09 | 2022-09-20 | 苏州纳芯微电子股份有限公司 | 运动数据检测装置及其传感器电路 |
Family Cites Families (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| NL7309590A (nl) * | 1973-07-10 | 1975-01-14 | Philips Nv | Inrichting voor het sturen van de positie van een magneetkop ten opzichte van een te volgen informatiespoor. |
| FR2472304A1 (fr) * | 1979-12-19 | 1981-06-26 | Cii Honeywell Bull | Procede pour commander le gain des circuits amplifiant les signaux delivres par une tete de lecture associee a un support d'informations et dispositif pour le mettre en oeuvre |
| JPS6086412A (ja) * | 1983-10-19 | 1985-05-16 | Hitachi Ltd | 磁気検出装置 |
| DE3583870D1 (de) * | 1984-01-25 | 1991-10-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Magnetmessaufnehmer. |
| JPS6145922A (ja) * | 1984-08-10 | 1986-03-06 | Hitachi Ltd | 位置検出センサ |
| DE3435867A1 (de) * | 1984-09-29 | 1986-04-10 | Bosch Gmbh Robert | Differentialsensor |
| JPH0660824B2 (ja) * | 1985-08-14 | 1994-08-10 | 株式会社日立製作所 | 絶対位置検出装置 |
| DE3686330T2 (de) * | 1985-12-28 | 1993-02-18 | Yamaha Corp | Kontaktloser markierungssensor. |
| JPH02271216A (ja) * | 1989-04-13 | 1990-11-06 | Hitachi Metals Ltd | 磁気式エンコーダ |
| DE4014885C2 (de) * | 1989-05-13 | 1995-07-13 | Aisan Ind | Drehwinkelaufnehmer |
| DE3941473A1 (de) * | 1989-12-15 | 1991-06-20 | Bosch Gmbh Robert | Verfahren und vorrichtung zur ueberpruefung eines hall-sensorsystems |
| US5079663A (en) * | 1990-01-29 | 1992-01-07 | International Business Machines Corporation | Magnetoresistive sensor with track following capability |
| JP3037380B2 (ja) * | 1990-08-30 | 2000-04-24 | 日立金属株式会社 | 磁気式エンコーダ |
| JP3029657B2 (ja) * | 1990-09-28 | 2000-04-04 | カヤバ工業株式会社 | 位置検出装置 |
| US5038130A (en) * | 1990-11-06 | 1991-08-06 | Santa Barbara Research Center | System for sensing changes in a magnetic field |
| JP2924236B2 (ja) * | 1991-03-20 | 1999-07-26 | ソニー・プレシジョン・テクノロジー株式会社 | 磁気センサおよび位置検出装置 |
| US5351003A (en) * | 1993-04-02 | 1994-09-27 | General Motors Corporation | Temperature compensated magnetoresistive position sensor |
-
1993
- 1993-06-11 DE DE4319322A patent/DE4319322C2/de not_active Expired - Fee Related
-
1994
- 1994-05-25 JP JP6111444A patent/JP2846814B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1994-05-27 US US08/250,369 patent/US5627466A/en not_active Expired - Fee Related
- 1994-06-07 AT AT94108691T patent/ATE156587T1/de not_active IP Right Cessation
- 1994-06-07 DE DE59403609T patent/DE59403609D1/de not_active Expired - Fee Related
- 1994-06-07 EP EP94108691A patent/EP0628789B1/de not_active Expired - Lifetime
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007155617A (ja) * | 2005-12-07 | 2007-06-21 | Denso Corp | 回転角度検出装置及び回転角度検出方法 |
| JP4604992B2 (ja) * | 2005-12-07 | 2011-01-05 | 株式会社デンソー | 回転角度検出装置及び回転角度検出方法 |
| KR100725753B1 (ko) * | 2006-09-06 | 2007-06-08 | 한국기초과학지원연구원 | 스핀소자를 이용한 진폭변조 소자 및 방법 |
| JP2012500406A (ja) * | 2008-08-15 | 2012-01-05 | イーテーカー ドクター カッセン ゲーエムベーハー | 位置決めシステム |
| JP2013506118A (ja) * | 2009-09-24 | 2013-02-21 | コンチネンタル オートモーティヴ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 角度センサからの複数の信号を評価する方法 |
| US9080896B2 (en) | 2009-09-24 | 2015-07-14 | Continental Automotive Gmbh | Method for analyzing signals from an angle sensor |
| WO2015087725A1 (ja) * | 2013-12-10 | 2015-06-18 | 日本電産サンキョー株式会社 | 磁気センサ装置、および磁気式エンコーダ装置 |
| WO2015087726A1 (ja) * | 2013-12-10 | 2015-06-18 | 日本電産サンキョー株式会社 | 磁気センサ装置、磁気式エンコーダ装置、および磁気センサ |
| JPWO2015087725A1 (ja) * | 2013-12-10 | 2017-03-16 | 日本電産サンキョー株式会社 | 磁気センサ装置、および磁気式エンコーダ装置 |
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