JPH0379648B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0379648B2 JPH0379648B2 JP56073757A JP7375781A JPH0379648B2 JP H0379648 B2 JPH0379648 B2 JP H0379648B2 JP 56073757 A JP56073757 A JP 56073757A JP 7375781 A JP7375781 A JP 7375781A JP H0379648 B2 JPH0379648 B2 JP H0379648B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- block
- pole
- sensing element
- detection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 54
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 claims description 5
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 34
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 2
- 229910000976 Electrical steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000828 alnico Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002910 rare earth metals Chemical class 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
- G01D5/142—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices
- G01D5/147—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices influenced by the movement of a third element, the position of Hall device and the source of magnetic field being fixed in respect to each other
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/003—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring position, not involving coordinate determination
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Description
本発明は、直線運動における移動位置や回転運
動における角度位置等を測定する際に使用される
位置検出器に関する。
動における角度位置等を測定する際に使用される
位置検出器に関する。
工作機械等の直線運動系や内燃機関のクランク
軸等の回転運動系においては、その移動位置や角
度位置を検出する必要がある。このための検出器
としては、磁性体とホール素子等の感磁素子を組
み合わせて、磁束変化に基づいて移動位置や角度
位置等を検出するセンサーが従来から使用されて
いる。 従来の位置検出器は、たとえば第1図に示すよ
うな構造をもつている。すなわち、検出体1の上
面に等立方体状のブロツク2を等間隔で隆起さ
せ、これらブロツク2の上面に端面が対向するよ
うにコ字型の磁石3を検出体1の上方に配置して
いる。磁石3のN極側端面には感磁素子4が固着
されている。そして、感磁素子4及びS極側端面
は、所定のクリアランスDをもつてブロツク2の
上面から離間した位置に保持されている。 検出体1が直線方向に移動すると、各ブロツク
2は、磁石3の端面を通過するごとに、N極及び
S極の間に流れている磁束を横切ることになる。
その結果、感磁素子4を通過する磁束密度に変化
が生じる。この磁束密度の変化は感磁素子4で電
流変化に変換されて系外に取り出され、この電流
変化に基づいてブロツク2の位置、換言すれば検
出体1の移動位置が検出される。 このような磁束変化を利用した位置検出器は、
従来から各種のものが開発されており、特願昭55
−137222号、特開昭52−65806号公報、特開昭50
−159371号公報、実開昭55−51797号公報、実開
昭55−51798号公報等でその一部が紹介されてい
る。
軸等の回転運動系においては、その移動位置や角
度位置を検出する必要がある。このための検出器
としては、磁性体とホール素子等の感磁素子を組
み合わせて、磁束変化に基づいて移動位置や角度
位置等を検出するセンサーが従来から使用されて
いる。 従来の位置検出器は、たとえば第1図に示すよ
うな構造をもつている。すなわち、検出体1の上
面に等立方体状のブロツク2を等間隔で隆起さ
せ、これらブロツク2の上面に端面が対向するよ
うにコ字型の磁石3を検出体1の上方に配置して
いる。磁石3のN極側端面には感磁素子4が固着
されている。そして、感磁素子4及びS極側端面
は、所定のクリアランスDをもつてブロツク2の
上面から離間した位置に保持されている。 検出体1が直線方向に移動すると、各ブロツク
2は、磁石3の端面を通過するごとに、N極及び
S極の間に流れている磁束を横切ることになる。
その結果、感磁素子4を通過する磁束密度に変化
が生じる。この磁束密度の変化は感磁素子4で電
流変化に変換されて系外に取り出され、この電流
変化に基づいてブロツク2の位置、換言すれば検
出体1の移動位置が検出される。 このような磁束変化を利用した位置検出器は、
従来から各種のものが開発されており、特願昭55
−137222号、特開昭52−65806号公報、特開昭50
−159371号公報、実開昭55−51797号公報、実開
昭55−51798号公報等でその一部が紹介されてい
る。
しかし、第1図に示したような構造をもつ位置
検出器においては、磁気力が一定であつても、感
磁素子4が検出する磁束密度のレベルがクリアラ
ンスDの間隙如何に応じて変化する。そこで、感
磁素子4の検出レベルを一定化させるため、感磁
素子4と検出体1との間の間隙が変化しないよう
に加工精度を高める必要がある。 また、検出体1の位置検出においては、相対位
置と基準位置とを検出する必要がある。そこで、
二個の磁石及び感磁素子をそれぞれ備えたセンサ
ーを用い、個々のセンサーで別個に相対位置及び
基準位置を検出する方法が採られる。しかし、こ
の方法では、検出機構の構成が複雑となり、検出
器に対する経済的負担が大きくなるばかりか、メ
ンテナンスの作業も面倒なものとなる。 この欠点を解消するため、1個の磁石3及び感
磁素子4からなるセンサーを使用して相対位置及
び基準位置を検出するものとして、第2図に示し
た構成がある。この場合、検出体1に突出して設
けたブロツク2−a,2−bの高さを変え、感磁
素子4を貫通する磁束量の大小でブロツク2−b
の位置を検出して、このブロツク2−bの位置を
基準位置として判別させるものである。 しかし、磁石3とブロツク2−a,2−bの間
隙が変化するとき、感磁素子4を貫通する磁束密
度が第3図に示すように大きく変動する。そのた
め、判断基準となるスライスレベルの設定範囲が
きわめて狭くなり、その調整が困難となる欠点が
あつた。 そこで、本発明は、これらの問題を解消すべく
案出されたものであり、感磁素子を通過する磁束
の極性を正方向、逆方向及び零に変化させること
により、位置検出における相対位置及び基準位置
の2種類を何れも1個の感磁素子で検出すること
ができる位置検出器を提供することを目的とす
る。
検出器においては、磁気力が一定であつても、感
磁素子4が検出する磁束密度のレベルがクリアラ
ンスDの間隙如何に応じて変化する。そこで、感
磁素子4の検出レベルを一定化させるため、感磁
素子4と検出体1との間の間隙が変化しないよう
に加工精度を高める必要がある。 また、検出体1の位置検出においては、相対位
置と基準位置とを検出する必要がある。そこで、
二個の磁石及び感磁素子をそれぞれ備えたセンサ
ーを用い、個々のセンサーで別個に相対位置及び
基準位置を検出する方法が採られる。しかし、こ
の方法では、検出機構の構成が複雑となり、検出
器に対する経済的負担が大きくなるばかりか、メ
ンテナンスの作業も面倒なものとなる。 この欠点を解消するため、1個の磁石3及び感
磁素子4からなるセンサーを使用して相対位置及
び基準位置を検出するものとして、第2図に示し
た構成がある。この場合、検出体1に突出して設
けたブロツク2−a,2−bの高さを変え、感磁
素子4を貫通する磁束量の大小でブロツク2−b
の位置を検出して、このブロツク2−bの位置を
基準位置として判別させるものである。 しかし、磁石3とブロツク2−a,2−bの間
隙が変化するとき、感磁素子4を貫通する磁束密
度が第3図に示すように大きく変動する。そのた
め、判断基準となるスライスレベルの設定範囲が
きわめて狭くなり、その調整が困難となる欠点が
あつた。 そこで、本発明は、これらの問題を解消すべく
案出されたものであり、感磁素子を通過する磁束
の極性を正方向、逆方向及び零に変化させること
により、位置検出における相対位置及び基準位置
の2種類を何れも1個の感磁素子で検出すること
ができる位置検出器を提供することを目的とす
る。
本発明の位置検出器は、この目的を達成するた
め、両端にそれぞれN極及びS極となる突起が形
成され、中央部に感磁素子が配置された突起が形
成されたE字型の磁気検出部を、該磁気検出部の
幅にほぼ等しい幅をもつた検出体の移動方向に直
交して前記検出体の上方に配置し、複数の軟磁性
材料製のブロツクを前記検出体の移動方向に沿つ
て所定間隔をもつて前記検出体に設け、且つ前記
ブロツクが前記検出体の一側から幅方向中央部ま
で及び他側から中央部までの位置で互い違いに配
置されていることを特徴とする。
め、両端にそれぞれN極及びS極となる突起が形
成され、中央部に感磁素子が配置された突起が形
成されたE字型の磁気検出部を、該磁気検出部の
幅にほぼ等しい幅をもつた検出体の移動方向に直
交して前記検出体の上方に配置し、複数の軟磁性
材料製のブロツクを前記検出体の移動方向に沿つ
て所定間隔をもつて前記検出体に設け、且つ前記
ブロツクが前記検出体の一側から幅方向中央部ま
で及び他側から中央部までの位置で互い違いに配
置されていることを特徴とする。
本発明の位置検出器においては、検出体の一端
側にあるブロツクにN極及び感磁素子を設けた中
央突起が対向する状態と、検出体の他端側にある
ブロツクにS極及び中央突起が対向する状態が交
互に繰り返される。また、これら状態の間には、
ブロツクが設けられていない検出体の表面に、N
極、S極及び中央突起が対向する状態がある。 そして、N極と中央突起とがブロツクに対向す
る場合には、感磁素子を通過する磁束は正方向に
流れる。また、S極と中央突起がブロツクに対向
する場合には、感磁素子を通過する磁束は逆方向
に流れる。そして、N極、S極及び中央突起が検
出体の表面に対向する場合には、磁束はN極から
S極に流れ、感磁素子を通過する磁束は実質的に
零となる。 このように感磁素子を通過する磁束の方向性が
反転するため、正方向及び逆方向のそれぞれにス
ライスレベルを設けることができ、且つ2つのス
ライスレベルの間を大きく取ることが可能とな
る。
側にあるブロツクにN極及び感磁素子を設けた中
央突起が対向する状態と、検出体の他端側にある
ブロツクにS極及び中央突起が対向する状態が交
互に繰り返される。また、これら状態の間には、
ブロツクが設けられていない検出体の表面に、N
極、S極及び中央突起が対向する状態がある。 そして、N極と中央突起とがブロツクに対向す
る場合には、感磁素子を通過する磁束は正方向に
流れる。また、S極と中央突起がブロツクに対向
する場合には、感磁素子を通過する磁束は逆方向
に流れる。そして、N極、S極及び中央突起が検
出体の表面に対向する場合には、磁束はN極から
S極に流れ、感磁素子を通過する磁束は実質的に
零となる。 このように感磁素子を通過する磁束の方向性が
反転するため、正方向及び逆方向のそれぞれにス
ライスレベルを設けることができ、且つ2つのス
ライスレベルの間を大きく取ることが可能とな
る。
以下、図面を参照しながら、実施例によつて本
発明を具体的に説明する。 本実施例の位置検出器は、第4図に示すように
移動部材である検出体11及び磁気検出部12か
ら組み立てられている。検出体11は、鉄、珪素
鋼板等の軟質磁性材料で作られており、その移動
方向に沿つて同一材料で形成された第1及び第2
のブロツク13,14が検出体11の上面に等間
隔で突出している。これらブロツク13,14
は、位置検出の基準となるものである。 第1のブロツク13の幅aと第2のブロツク1
4の幅cとは同一であり、これら幅a,cと同一
の間隔b,dをもつて第1のブロツク13及び第
2のブロツク14が交互に配置されている。第1
のブロツク13及び第2のブロツク14は、同一
の高さに形成されており、それぞれの長さf,g
を検出体11の幅eの半分よりも少し長くしてい
る。 第1のブロツク13は第4図では検出体11の
左側端部から中央部に延び、第2のブロツク14
は検出体11の右側端部から中央部に延びてい
る。この配置を検出体11の上方からみるとき、
第1のブロツク13及び第2のブロツク14が交
互に千鳥状になつている。そして、検出体11の
中央部では、第1のブロツク13及び第2のブロ
ツク14の端部が断続的に配置された状態とな
る。 磁気検出部12は、アルニコ、希土類等の硬質
磁性材料でできた磁石15と、ホール素子、ホー
ルIC、磁気抵抗素子等の感磁素子16を備えて
いる。磁石15は、E字型断面をもつており、E
字型の両端をそれぞれN極及びS極の極性をもつ
ように磁化させている。また、E字型の中央突起
には、その先端に感磁素子16が固着されてい
る。そして、これらN極、S極及び感磁素子16
の下端面は、同一平面上にあるように設計されて
いる。 磁石15の長さは、検出体11の幅とほぼ同一
にしており、N極及びS極が検出体11の左端及
び右端にそれぞれ位置し、検出体11の移動方向
に対して磁力線が直交するように、磁石15を検
出体11の上方に配置している。そして、N極、
S極及び感磁素子16の下端面は、第1のブロツ
ク13及び第2のブロツク14の上面から若干離
れた間隔をもつて位置される。なお、第4図にお
いて、磁気検出部12を検出体11の上方に保持
する手段は、その図示を省略している。 検出体11は、第4図に矢印で示す直線方向に
自由に移動することができる。検出体11が移動
するとき、感磁素子16の下端面は常に検出体1
1の中央上方に位置している。他方、磁石15の
N極は第1のブロツク13に、S極は第2のブロ
ツク14にそれぞれ接離する。すなわち、N極と
感磁素子16は、同時に第1のブロツク13に接
離する。また、S極と感磁素子16は、同時に第
2のブロツク14に接離する。そして、ブロツク
13,14の間では、N極、S極及び感磁素子1
6の下端面は、検出体11の上面から等距離に保
たれる。第1のブロツク13及び第2のブロツク
14に対する磁気検出部12の接近は、検出体1
1の移動に従つて交互に行われる。 このとき、磁石15にはN極、S極及び中央突
起の間でN極からS極に向かつた磁界、N極から
中央突起に向かつた磁界及び中央突起からS極に
向かつた磁界の3種類の磁界が形成されるが、第
1のブロツク13或いは第2のブロツク14に対
する磁気検出部12の接近に応じて、感磁素子1
6を通過する磁束は、第5図に示すように変化す
る。 すなわち、第1のブロツク13に磁石15のN
極及び感磁素子16が接近した状態では、磁束は
磁気抵抗の少ない箇所を流れる傾向をもつている
ので、第5図イに示すように、N極から第1のブ
ロツク13を経由して感磁素子16を通過する。
他方、S極は、検出体11或いは第1のブロツク
13から遠い距離にあるため、磁気抵抗が大きく
なる。したがつて、S極を通過する磁束の密度
は、感磁素子16を通過する磁束密度に比較して
無視することができる程度の値となる。 第1のブロツク13及び第2のブロツク14の
間に磁気検出部12が位置した状態では、第5図
ロに示すように、N極からS極に磁束が流れる。
このとき、N極から感磁素子16及び感磁素子1
6からS極に流れる磁束も考えられるが、それら
は互いに相殺され、感磁素子16を通過する磁束
は実質的に無いものとなる。 第2のブロツク14に磁石15のS極及び感磁
素子16が接近した状態では、N極と検出体11
との距離、すなわち磁気抵抗が大きくなるため、
第5図ハに示すように、感磁素子16から第2の
ブロツク14を経由してS極に至る磁路が形成さ
れる。 これら第5図イ〜ハの対比から明らかなよう
に、検出体11の移動に応じて、感磁素子16を
通過する磁束が正方向イ、零ロ及び逆方向ハの3
つの状態に変化する。 この磁路の変化に応じて、感磁素子16を通過
する磁束密度は、第6図で示したようにプラス側
からマイナス側にわたつて階段状に変化する。こ
の磁束密度の変化は、磁路が同一方向である従来
の位置検出器に比較して非常に大きなものであ
る。したがつて、この磁束密度のレベルを検出す
ることによつて、第1のブロツク13或いは第2
のブロツク14に対して磁気検出部12がどのよ
うな位置関係で対向しているかを容易に且つ正確
に判定することができる。 磁束密度の階段状変化は、精度誤差や温度変化
等による影響が小さなものである。たとえば、精
度誤差や温度変化等によつて感磁素子16を通過
する磁束密度が第7図に示すように変化した場合
にあつても、磁束密度の変化は0レベルを中心と
してプラス側或いはマイナス側に変動する。その
ため、位置検出の判断基準となるスライスレベル
の範囲Mは、依然として広い範囲に維持されてい
る。 感磁素子16で検出された磁束密度は、たとえ
ば第8図に示すような出力処理回路で処理され
る。 すなわち、感磁素子16には直流の制御電流が
印加されており、この直流電流印加方向に対して
直交する方向に設けた一対の電極をそれぞれ抵抗
器17,18を介して演算増幅器19に接続して
いる。また、演算増幅器19の出力端子と負側入
力端子との間には、抵抗20が接続されている。
演算増幅器19の出力端子は、2個の比較器2
1,22の正側又は負側入力端子に接続されてお
り、比較器21,22の他の入力端子には抵抗2
3,24,25で分圧した直流電圧が印加されて
いる。 この出力処理回路の作動は、次の通りである。 演算増幅器19の出力電圧の変化Xは、感磁素
子16を通過した磁束密度の変化に応じて、第9
図上段の波形となる。この出力波形Xが比較器2
1,22に入力されると、各比較器21,22の
出力波形Y,Zは、第9図の中段及び下段にそれ
ぞれ示すものとなる。これらは比較器21,22
には、それぞれ基準電圧がスライスレベルA,B
として別個に入力されている。したがつて、感磁
素子16からの出力波形Xは、スライスレベルに
従つて判別され、整形してY及びZの波形とな
る。 これら波形Y,Zは、それぞれ第1のブロツク
13及び第2のブロツク14に対応する位置を示
している。このようにして、一つの磁気検出部1
2で二つの異なつた種類の信号を取り出すことが
できる。そこで、これら信号を、検出体11の相
対位置信号及び基準位置信号として使い分けると
き、簡単な構造でしかも精度良く位置検出を行う
ことが可能となる。
発明を具体的に説明する。 本実施例の位置検出器は、第4図に示すように
移動部材である検出体11及び磁気検出部12か
ら組み立てられている。検出体11は、鉄、珪素
鋼板等の軟質磁性材料で作られており、その移動
方向に沿つて同一材料で形成された第1及び第2
のブロツク13,14が検出体11の上面に等間
隔で突出している。これらブロツク13,14
は、位置検出の基準となるものである。 第1のブロツク13の幅aと第2のブロツク1
4の幅cとは同一であり、これら幅a,cと同一
の間隔b,dをもつて第1のブロツク13及び第
2のブロツク14が交互に配置されている。第1
のブロツク13及び第2のブロツク14は、同一
の高さに形成されており、それぞれの長さf,g
を検出体11の幅eの半分よりも少し長くしてい
る。 第1のブロツク13は第4図では検出体11の
左側端部から中央部に延び、第2のブロツク14
は検出体11の右側端部から中央部に延びてい
る。この配置を検出体11の上方からみるとき、
第1のブロツク13及び第2のブロツク14が交
互に千鳥状になつている。そして、検出体11の
中央部では、第1のブロツク13及び第2のブロ
ツク14の端部が断続的に配置された状態とな
る。 磁気検出部12は、アルニコ、希土類等の硬質
磁性材料でできた磁石15と、ホール素子、ホー
ルIC、磁気抵抗素子等の感磁素子16を備えて
いる。磁石15は、E字型断面をもつており、E
字型の両端をそれぞれN極及びS極の極性をもつ
ように磁化させている。また、E字型の中央突起
には、その先端に感磁素子16が固着されてい
る。そして、これらN極、S極及び感磁素子16
の下端面は、同一平面上にあるように設計されて
いる。 磁石15の長さは、検出体11の幅とほぼ同一
にしており、N極及びS極が検出体11の左端及
び右端にそれぞれ位置し、検出体11の移動方向
に対して磁力線が直交するように、磁石15を検
出体11の上方に配置している。そして、N極、
S極及び感磁素子16の下端面は、第1のブロツ
ク13及び第2のブロツク14の上面から若干離
れた間隔をもつて位置される。なお、第4図にお
いて、磁気検出部12を検出体11の上方に保持
する手段は、その図示を省略している。 検出体11は、第4図に矢印で示す直線方向に
自由に移動することができる。検出体11が移動
するとき、感磁素子16の下端面は常に検出体1
1の中央上方に位置している。他方、磁石15の
N極は第1のブロツク13に、S極は第2のブロ
ツク14にそれぞれ接離する。すなわち、N極と
感磁素子16は、同時に第1のブロツク13に接
離する。また、S極と感磁素子16は、同時に第
2のブロツク14に接離する。そして、ブロツク
13,14の間では、N極、S極及び感磁素子1
6の下端面は、検出体11の上面から等距離に保
たれる。第1のブロツク13及び第2のブロツク
14に対する磁気検出部12の接近は、検出体1
1の移動に従つて交互に行われる。 このとき、磁石15にはN極、S極及び中央突
起の間でN極からS極に向かつた磁界、N極から
中央突起に向かつた磁界及び中央突起からS極に
向かつた磁界の3種類の磁界が形成されるが、第
1のブロツク13或いは第2のブロツク14に対
する磁気検出部12の接近に応じて、感磁素子1
6を通過する磁束は、第5図に示すように変化す
る。 すなわち、第1のブロツク13に磁石15のN
極及び感磁素子16が接近した状態では、磁束は
磁気抵抗の少ない箇所を流れる傾向をもつている
ので、第5図イに示すように、N極から第1のブ
ロツク13を経由して感磁素子16を通過する。
他方、S極は、検出体11或いは第1のブロツク
13から遠い距離にあるため、磁気抵抗が大きく
なる。したがつて、S極を通過する磁束の密度
は、感磁素子16を通過する磁束密度に比較して
無視することができる程度の値となる。 第1のブロツク13及び第2のブロツク14の
間に磁気検出部12が位置した状態では、第5図
ロに示すように、N極からS極に磁束が流れる。
このとき、N極から感磁素子16及び感磁素子1
6からS極に流れる磁束も考えられるが、それら
は互いに相殺され、感磁素子16を通過する磁束
は実質的に無いものとなる。 第2のブロツク14に磁石15のS極及び感磁
素子16が接近した状態では、N極と検出体11
との距離、すなわち磁気抵抗が大きくなるため、
第5図ハに示すように、感磁素子16から第2の
ブロツク14を経由してS極に至る磁路が形成さ
れる。 これら第5図イ〜ハの対比から明らかなよう
に、検出体11の移動に応じて、感磁素子16を
通過する磁束が正方向イ、零ロ及び逆方向ハの3
つの状態に変化する。 この磁路の変化に応じて、感磁素子16を通過
する磁束密度は、第6図で示したようにプラス側
からマイナス側にわたつて階段状に変化する。こ
の磁束密度の変化は、磁路が同一方向である従来
の位置検出器に比較して非常に大きなものであ
る。したがつて、この磁束密度のレベルを検出す
ることによつて、第1のブロツク13或いは第2
のブロツク14に対して磁気検出部12がどのよ
うな位置関係で対向しているかを容易に且つ正確
に判定することができる。 磁束密度の階段状変化は、精度誤差や温度変化
等による影響が小さなものである。たとえば、精
度誤差や温度変化等によつて感磁素子16を通過
する磁束密度が第7図に示すように変化した場合
にあつても、磁束密度の変化は0レベルを中心と
してプラス側或いはマイナス側に変動する。その
ため、位置検出の判断基準となるスライスレベル
の範囲Mは、依然として広い範囲に維持されてい
る。 感磁素子16で検出された磁束密度は、たとえ
ば第8図に示すような出力処理回路で処理され
る。 すなわち、感磁素子16には直流の制御電流が
印加されており、この直流電流印加方向に対して
直交する方向に設けた一対の電極をそれぞれ抵抗
器17,18を介して演算増幅器19に接続して
いる。また、演算増幅器19の出力端子と負側入
力端子との間には、抵抗20が接続されている。
演算増幅器19の出力端子は、2個の比較器2
1,22の正側又は負側入力端子に接続されてお
り、比較器21,22の他の入力端子には抵抗2
3,24,25で分圧した直流電圧が印加されて
いる。 この出力処理回路の作動は、次の通りである。 演算増幅器19の出力電圧の変化Xは、感磁素
子16を通過した磁束密度の変化に応じて、第9
図上段の波形となる。この出力波形Xが比較器2
1,22に入力されると、各比較器21,22の
出力波形Y,Zは、第9図の中段及び下段にそれ
ぞれ示すものとなる。これらは比較器21,22
には、それぞれ基準電圧がスライスレベルA,B
として別個に入力されている。したがつて、感磁
素子16からの出力波形Xは、スライスレベルに
従つて判別され、整形してY及びZの波形とな
る。 これら波形Y,Zは、それぞれ第1のブロツク
13及び第2のブロツク14に対応する位置を示
している。このようにして、一つの磁気検出部1
2で二つの異なつた種類の信号を取り出すことが
できる。そこで、これら信号を、検出体11の相
対位置信号及び基準位置信号として使い分けると
き、簡単な構造でしかも精度良く位置検出を行う
ことが可能となる。
以上に説明したように、本発明においては、検
出体と磁気検出部との位置関係に応じて、感磁素
子に流れる磁束の方向が正方向、逆方向或いは零
の状態に切り換えられるようにしている。そのた
め、感磁素子から取り出される出力信号は、正方
向及び逆方向の2通りの方向性をもつたものとな
り、それぞれに一つのスライスレベルを設定する
ことができる。しかも、設定された二つのスライ
スレベルの間の範囲は、出力信号が正側及び負側
にわたることから、大きなものとなる。このよう
にして、本発明によるとき、一つのセンサーで基
準位置及び相対位置を検出することができ、しか
も磁気検出部と検出体とのクリアランス誤差、温
度に起因した感磁素子の特性変化等による影響を
受けることが無く、正確な位置検出を行うことが
可能で且つ簡単な構造の位置検出器が得られる。
出体と磁気検出部との位置関係に応じて、感磁素
子に流れる磁束の方向が正方向、逆方向或いは零
の状態に切り換えられるようにしている。そのた
め、感磁素子から取り出される出力信号は、正方
向及び逆方向の2通りの方向性をもつたものとな
り、それぞれに一つのスライスレベルを設定する
ことができる。しかも、設定された二つのスライ
スレベルの間の範囲は、出力信号が正側及び負側
にわたることから、大きなものとなる。このよう
にして、本発明によるとき、一つのセンサーで基
準位置及び相対位置を検出することができ、しか
も磁気検出部と検出体とのクリアランス誤差、温
度に起因した感磁素子の特性変化等による影響を
受けることが無く、正確な位置検出を行うことが
可能で且つ簡単な構造の位置検出器が得られる。
第1図は従来の位置検出器を示し、第2図はそ
の側面図、第3図は従来の位置検出器における検
出出力の波形を示し、第4図は本発明実施例の位
置検出器を示し、第5図はその位置検出器におけ
る磁束の方向を表した動作説明図、第6図は感磁
素子を通過する磁束密度の変化を表したグラフ、
第7図は何等かの原因で変動した磁束密度の変化
を表したグラフ、第8図は位置検出器からの出力
を処理する回路を示し、第9図はその出力処理回
路の各部における波形を示したグラフである。 11……検出体、12……磁気検出部、13…
…第1のブロツク、14……第2のブロツク、1
5……磁石、16……感磁素子。
の側面図、第3図は従来の位置検出器における検
出出力の波形を示し、第4図は本発明実施例の位
置検出器を示し、第5図はその位置検出器におけ
る磁束の方向を表した動作説明図、第6図は感磁
素子を通過する磁束密度の変化を表したグラフ、
第7図は何等かの原因で変動した磁束密度の変化
を表したグラフ、第8図は位置検出器からの出力
を処理する回路を示し、第9図はその出力処理回
路の各部における波形を示したグラフである。 11……検出体、12……磁気検出部、13…
…第1のブロツク、14……第2のブロツク、1
5……磁石、16……感磁素子。
Claims (1)
- 1 両端にそれぞれN極及びS極となる突起が形
成され、中央部に感磁素子が配置された突起が形
成されたE字型の磁気検出部を、該磁気検出部の
幅にほぼ等しい幅をもつた検出体の移動方向に直
交して前記検出体の上方に配置し、複数の軟磁性
材料製のブロツクを前記検出体の移動方向に沿つ
て所定間隔をもつて前記検出体に設け、且つ前記
ブロツクが前記検出体の一側から幅方向中央部ま
で及び他側から中央部までの位置で互い違いに配
置されていることを特徴とする位置検出器。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP56073757A JPS57189011A (en) | 1981-05-15 | 1981-05-15 | Position detecting mechanism |
GB8213985A GB2098743B (en) | 1981-05-15 | 1982-05-13 | Magnetic position sensor using hall-effect device |
US06/377,640 US4535289A (en) | 1981-05-15 | 1982-05-13 | Device for measuring a position of a moving object |
DE3218352A DE3218352C2 (de) | 1981-05-15 | 1982-05-14 | Vorrichtung zum Messen einer Position |
FR8208596A FR2514492B1 (fr) | 1981-05-15 | 1982-05-17 | Appareil pour la determination de la position d'un corps mobile |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP56073757A JPS57189011A (en) | 1981-05-15 | 1981-05-15 | Position detecting mechanism |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS57189011A JPS57189011A (en) | 1982-11-20 |
JPH0379648B2 true JPH0379648B2 (ja) | 1991-12-19 |
Family
ID=13527422
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP56073757A Granted JPS57189011A (en) | 1981-05-15 | 1981-05-15 | Position detecting mechanism |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4535289A (ja) |
JP (1) | JPS57189011A (ja) |
DE (1) | DE3218352C2 (ja) |
FR (1) | FR2514492B1 (ja) |
GB (1) | GB2098743B (ja) |
Families Citing this family (52)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3214794C2 (de) * | 1982-04-21 | 1984-06-07 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Magnetische Längen- oder Winkelmeßeinrichtung |
DE3246731A1 (de) * | 1982-12-17 | 1984-06-20 | Wabco Westinghouse Steuerungstechnik GmbH & Co, 3000 Hannover | Einrichtung zum erfassen der position des kolbens eines arbeitszylinders |
DE3346644A1 (de) * | 1983-12-23 | 1985-07-04 | Standard Elektrik Lorenz Ag, 7000 Stuttgart | Anordnung zur bestimmung einer drehzahl |
DE3401905C2 (de) * | 1984-01-20 | 1985-11-14 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Meßeinrichtung |
US4550597A (en) * | 1984-04-04 | 1985-11-05 | Trw Inc. | Method and apparatus for sensing relative movement between members |
JPS6111612A (ja) * | 1984-06-27 | 1986-01-20 | Nippon Denso Co Ltd | 回転センサ |
GB8429065D0 (en) * | 1984-11-16 | 1984-12-27 | Person D L H | Attitude sensors |
EP0193168A3 (en) * | 1985-02-25 | 1989-01-25 | Kubota Limited | Method of inspecting carburization and probe therefor |
US4769597A (en) * | 1985-06-28 | 1988-09-06 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Apparatus for generating index signals, for use in magnetic recording/reproducing apparatuses |
JPS6386152A (ja) * | 1986-09-30 | 1988-04-16 | Toshiba Corp | インデツクス調整装置 |
US4970463A (en) * | 1989-03-13 | 1990-11-13 | Durakool Incorporated | Temperature stable proximity sensor with sensing of flux emanating from the lateral surface of a magnet |
JP2742551B2 (ja) * | 1989-06-08 | 1998-04-22 | 矢崎総業株式会社 | 回転センサ |
FR2659437B1 (fr) * | 1990-03-07 | 1994-03-25 | Caoutchouc Manufacture Plastique | Moyen de reperage lineaire de longueur, de vitesse ou de positionnement pour article souple de grande longeur. |
JPH04166906A (ja) * | 1990-10-31 | 1992-06-12 | Sony Corp | レンズ鏡筒の初期位置検出装置 |
DE4210934C1 (ja) * | 1992-04-02 | 1993-07-15 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart, De | |
US5304926A (en) * | 1992-04-08 | 1994-04-19 | Honeywell Inc. | Geartooth position sensor with two hall effect elements |
US5469054A (en) * | 1993-04-22 | 1995-11-21 | Honeywell Inc. | Position sensor with two magnetically sensitive devices and two target tracks which are sensed in combination with each other to provide a synthesized signal |
US5434504A (en) * | 1993-10-01 | 1995-07-18 | International Business Machines Corporation | Position sensors for linear motors including plural symmetrical fluxes generated by a planar drive coil and received by planar sense coils being colinear along an axis of motion |
DE4416046A1 (de) * | 1994-05-03 | 1995-11-16 | Mannesmann Ag | Einrichtung für die inkrementale Wegmessung, insbesondere für schienengebundene Fahrzeuge |
US5500589A (en) * | 1995-01-18 | 1996-03-19 | Honeywell Inc. | Method for calibrating a sensor by moving a magnet while monitoring an output signal from a magnetically sensitive component |
US5488294A (en) * | 1995-01-18 | 1996-01-30 | Honeywell Inc. | Magnetic sensor with means for retaining a magnet at a precise calibrated position |
US5610518A (en) * | 1995-03-16 | 1997-03-11 | Eastman Kodak Company | Method and apparatus for detecting small magnetizable particles and flaws in nonmagnetic conductors |
US5781005A (en) * | 1995-06-07 | 1998-07-14 | Allegro Microsystems, Inc. | Hall-effect ferromagnetic-article-proximity sensor |
US5818222A (en) * | 1995-06-07 | 1998-10-06 | The Cherry Corporation | Method for adjusting ferrous article proximity detector |
US5670876A (en) * | 1995-11-14 | 1997-09-23 | Fisher Controls International, Inc. | Magnetic displacement sensor including first and second flux paths wherein the first path has a fixed reluctance and a sensor disposed therein |
US5898301A (en) * | 1997-04-10 | 1999-04-27 | The Torrington Company | Magnetic encoder for producing an index signal |
DE19733885A1 (de) * | 1997-08-05 | 1999-02-11 | Horst Nahr Ges Fuer Elektronis | Verfahren zum Messen von Wegen und Drehwinkeln an bewegten Gegenständen mit einer hartmagnetischen Oberfläche und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens |
US6404188B1 (en) * | 1998-03-19 | 2002-06-11 | Honeywell Inc | Single geartooth sensor yielding multiple output pulse trains |
US6211670B1 (en) * | 1998-12-17 | 2001-04-03 | Optek Technology, Inc. | Magnetic sensing device for outputting a digital signal as a dynamic representation of an analog signal |
JP4038308B2 (ja) * | 1999-09-09 | 2008-01-23 | 株式会社ミクニ | 非接触式ポジションセンサ |
FI112278B (fi) * | 2000-01-20 | 2003-11-14 | High Speed Tech Ltd Oy | Menetelmä sähkökoneen roottorin sijainnin määrittämiseksi sekä sijaintianturi |
US6670805B1 (en) | 2000-09-22 | 2003-12-30 | Alliant Techsystems Inc. | Displacement sensor containing magnetic field sensing element between a pair of biased magnets movable as a unit |
DE10141372A1 (de) * | 2001-08-23 | 2003-03-13 | Philips Corp Intellectual Pty | Magnetoresistiver Winkelsensor |
US6703830B2 (en) * | 2002-02-18 | 2004-03-09 | Phoenix America, Inc. | Tunable magnetic device for use in a proximity sensor |
US6909281B2 (en) | 2002-07-03 | 2005-06-21 | Fisher Controls International Llc | Position sensor using a compound magnetic flux source |
MXPA05008847A (es) * | 2003-02-21 | 2005-10-18 | Fisher Controls Int | Sensor de posicion magnetico con interruptor de efecto hall integrado. |
US8564281B2 (en) * | 2009-05-29 | 2013-10-22 | Calnetix Technologies, L.L.C. | Noncontact measuring of the position of an object with magnetic flux |
US8261847B2 (en) * | 2009-10-09 | 2012-09-11 | Illinois Tool Works Inc. | Automatic low power consumption mode for combustion tools |
US8847451B2 (en) * | 2010-03-23 | 2014-09-30 | Calnetix Technologies, L.L.C. | Combination radial/axial electromagnetic actuator with an improved axial frequency response |
US8482174B2 (en) | 2011-05-26 | 2013-07-09 | Calnetix Technologies, Llc | Electromagnetic actuator |
US9531236B2 (en) | 2011-06-02 | 2016-12-27 | Calnetix Technologies, Llc | Arrangement of axial and radial electromagnetic actuators |
US9024494B2 (en) | 2013-01-07 | 2015-05-05 | Calnetix Technologies, Llc | Mechanical backup bearing arrangement for a magnetic bearing system |
US9683601B2 (en) | 2013-03-14 | 2017-06-20 | Calnetix Technologies, Llc | Generating radial electromagnetic forces |
US9559565B2 (en) | 2013-08-22 | 2017-01-31 | Calnetix Technologies, Llc | Homopolar permanent-magnet-biased action magnetic bearing with an integrated rotational speed sensor |
EP3410075B1 (en) * | 2017-05-30 | 2020-10-07 | MEAS France | Temperature compensation for magnetic field sensing devices and a magnetic field sensing device using the same |
DE102019122360B4 (de) * | 2018-08-22 | 2024-02-01 | Tdk Corporation | Positionserfassungssystem |
US11199426B2 (en) | 2019-02-08 | 2021-12-14 | Honda Motor Co., Ltd. | Systems and methods for crankshaft tooth encoding |
US11131567B2 (en) | 2019-02-08 | 2021-09-28 | Honda Motor Co., Ltd. | Systems and methods for error detection in crankshaft tooth encoding |
US11181016B2 (en) | 2019-02-08 | 2021-11-23 | Honda Motor Co., Ltd. | Systems and methods for a crank sensor having multiple sensors and a magnetic element |
US11162444B2 (en) | 2019-02-08 | 2021-11-02 | Honda Motor Co., Ltd. | Systems and methods for a crank sensor having multiple sensors and a magnetic element |
US11959820B2 (en) | 2021-03-17 | 2024-04-16 | Honda Motor Co., Ltd. | Pulser plate balancing |
CN117387479B (zh) * | 2023-12-12 | 2024-02-23 | 北京特倍福电子技术有限公司 | 位移检测装置 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS50159371A (ja) * | 1974-06-12 | 1975-12-23 | ||
JPS5265806A (en) * | 1975-11-28 | 1977-05-31 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Frequency generator |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB847158A (ja) * | ||||
DE1217085B (de) * | 1957-04-25 | 1966-05-18 | Siemens Ag | Induktiver Messfuehler zur Umsetzung insbesondere linearer Bewegungen in elektrische Groessen |
US3230407A (en) * | 1962-08-01 | 1966-01-18 | Anelex Corp | Electromagnetic transducers |
US3932813A (en) * | 1972-04-20 | 1976-01-13 | Simmonds Precision Products, Inc. | Eddy current sensor |
US3947711A (en) * | 1974-06-13 | 1976-03-30 | The Bendix Corporation | Magnetic speed sensor |
CS185907B1 (en) * | 1975-09-25 | 1978-10-31 | Jaroslav Knourek | Electromagnetic pickup |
FR2331774A1 (fr) * | 1975-11-12 | 1977-06-10 | Radiotechnique Compelec | Procede de reperage dynamique de positions particulieres de pieces mobiles a l'aide d'un cristal a effet hall et dispositifs de mise en oeuvre du procede |
US4093917A (en) * | 1976-10-06 | 1978-06-06 | The United States Of America As Represented By The Administrator, National Aeronautics And Space Administration | Velocity measurement system |
DE2811746A1 (de) * | 1977-03-31 | 1978-10-12 | Kelsey Hayes Co | Drehzahlgeber |
US4119911A (en) * | 1977-04-22 | 1978-10-10 | Johnson Clark E Jun | Magnetoresistor displacement sensor using a magnetoresistor positioned between relatively moving magnetized toothed members |
JPS5458069A (en) * | 1977-10-17 | 1979-05-10 | Sanyo Electric Co Ltd | Magnetic signal detector |
DE2855635A1 (de) * | 1978-12-22 | 1980-07-10 | Bosch Gmbh Robert | Winkelsegmentgeber mit hall-generator |
JPS56157810A (en) * | 1980-05-10 | 1981-12-05 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Position detector |
-
1981
- 1981-05-15 JP JP56073757A patent/JPS57189011A/ja active Granted
-
1982
- 1982-05-13 GB GB8213985A patent/GB2098743B/en not_active Expired
- 1982-05-13 US US06/377,640 patent/US4535289A/en not_active Expired - Fee Related
- 1982-05-14 DE DE3218352A patent/DE3218352C2/de not_active Expired
- 1982-05-17 FR FR8208596A patent/FR2514492B1/fr not_active Expired
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS50159371A (ja) * | 1974-06-12 | 1975-12-23 | ||
JPS5265806A (en) * | 1975-11-28 | 1977-05-31 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Frequency generator |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE3218352C2 (de) | 1984-01-19 |
FR2514492A1 (fr) | 1983-04-15 |
FR2514492B1 (fr) | 1986-04-04 |
DE3218352A1 (de) | 1982-12-09 |
GB2098743A (en) | 1982-11-24 |
GB2098743B (en) | 1985-02-06 |
JPS57189011A (en) | 1982-11-20 |
US4535289A (en) | 1985-08-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPH0379648B2 (ja) | ||
JP2619593B2 (ja) | 位置測定装置 | |
US5493216A (en) | Magnetic position detector | |
US6304078B1 (en) | Linear position sensor | |
GB2100443A (en) | Magnetic linear or rotary position transducer | |
JPH0464007B2 (ja) | ||
US20110043193A1 (en) | Magnetic linear sensor arrangement | |
US4733177A (en) | High resolution high output magneto resistive transducer for determining static and dynamic position | |
JPH0712586A (ja) | 磁気的測定システム | |
KR20140091474A (ko) | 가변 플럭스 컬렉터를 이용한 위치 측정 | |
KR19980071451A (ko) | 강자성체 센서 | |
JPH05264326A (ja) | リニア型位置センサ | |
JP3220278B2 (ja) | 位置検出装置 | |
JP3036274B2 (ja) | 磁気エンコーダ | |
JP3664289B2 (ja) | 磁性金属センサ | |
JP2628338B2 (ja) | アブソリュート型エンコーダ | |
EP0192812B1 (en) | Position sensing system | |
JPH0131125B2 (ja) | ||
JPH069306Y2 (ja) | 位置検出装置 | |
JPS5844301A (ja) | 位置検出機構 | |
JP2001174286A (ja) | 磁気エンコーダ | |
JPH081387B2 (ja) | 磁気センサ | |
JPH074905A (ja) | 移動量検出器 | |
JPH02161310A (ja) | 位置検出用磁石体 | |
JP2513851Y2 (ja) | 回転センサ |