JPH075320A

JPH075320A - パターニング方法及びそれに用いる電着用原板、カラーフィルターの製造方法及び光記録媒体の製造方法

Info

Publication number: JPH075320A
Application number: JP2026694A
Authority: JP
Inventors: Hiroyuki Imataki; 寛之今滝; Mitsuo Hiraoka; 美津穂平岡; Kazumi Nagano; 和美長野; Hiroshi Tanabe; 浩田邊; Keiya Yano; 敬弥矢野
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1993-02-17
Filing date: 1994-02-17
Publication date: 1995-01-10

Abstract

(57)【要約】【目的】基板上に２つもしくはそれ以上の種類のパタ
ーンを精度良く且つ低コストで形成することのできるパ
ターニング方法を提供する点にある。【構成】基板上に２つもしくはそれ以上の種類のパタ
ーンに対応するように電着層を形成することによって該
基板のパターニングを行う方法において、該パターンの
それぞれに対応する導電性パターンを有し、それぞれの
導電性パターンが表面に露出しかつ該導電性パターン上
にそれぞれ独立して電着可能な様に互いに絶縁されてい
る電着用原板を用意する工程、それぞれの導電性パター
ン上に電着層を順次析出せしめる工程、およびそれぞれ
の導電性パターン上に析出させた電着層を基板上に転写
せしめる工程、とを有することを特徴とする。【効果】電着工程とフォトリソ工程を完全に分離でき
電着パターニングの効率を向上させることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は基板上に２つもしくはそ
れ以上のパターンを形成するパターニング方法と、それ
に用いる電着用原板及びそれを用いた光記録媒体或いは
カラーフィルターの製造方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】カラーフィルターの製造方法として、例
えば特開昭６１−２７９００３号公報に記載されている
様な方法が知られている。

【０００３】この方法を図２を用いて説明すると、先ず
透明基板２１上に透明電極２２を形成し、次いで透明電
極２２上にフォトレジスト２３を形成する（図２
（ａ））。

【０００４】次に該フォトレジストを、第１の色相（例
えばレッド）のパターンに対応する様に形成したマスク
を介して光照射及び現像を行って、透明電極をパターン
状に露出せしめ（図２（ｂ））、次いで該透明電極の露
出部に電着性樹脂と赤い色素を溶解もしくは分散させた
電着液からレッドの電着層２４を形成させる（図２
（ｃ））。

【０００５】続いて第２の色相（例えばグリーン）のパ
ターンに対応する様に形成したマスクを用いて、上記と
同様の方法で透明電極をパターン状に露出せしめ（図２
（ｄ））、次いで該露出部に上記と同様にしてグリーン
の電着層２５を形成させる（図２（ｅ））。更に全く同
様の方法で第３の色相（例えばブルー）の電着層２６を
形成せしめてカラーフィルターを得るものである（図２
（ｆ））。

【０００６】そして又この方法の応用例として各色相の
電着層を形成した後、光硬化性接着剤等の転写層を塗布
したガラス基板を圧着して光照射を行い、各電着層をガ
ラス基板上に転写せしめる方法も知られている。

【０００７】そしてこの方法はフォトリソ技術を用いて
いるため他のカラーフィルターの製造方法、例えば印刷
法に比してパターン精度に優れ、又電着条件によって着
色層の均一な制御が可能であり高品質のカラーフィルタ
ーを製造するうえで好ましい方法であり、又上記した様
な転写ステップを用いた場合には、電極を形成した基板
を再使用できカラーフィルターの製造コストの低減を図
ることができる。

【０００８】しかしこの方法はカラーフィルター１枚を
製造する度に色の数だけ導電層上にフォトレジストのよ
うな絶縁性の感光性樹脂でマスクパターンを作成し、露
出した導電層に電着層を形成させる工程を繰返す必要が
有り、この工程は各色相の電着層のパターンの位置精度
を維持することが難しく、カラーフィルターのより一層
の低コスト化を図るうえでの問題点となっている。

【０００９】

【発明が解決しようとしている課題】本発明は上記問題
点に鑑みなされたものであってその目的は、基板上に２
つもしくはそれ以上の種類のパターンを精度良く、且つ
低コストで形成することのできるパターニング方法を提
供する点にある。

【００１０】又本発明の他の目的は、基板上に２つもし
くはそれ以上の種類のパターンを精度良く、且つ低コス
トで形成可能なパターニング方法に用い得る電着用原板
を提供する点にある。

【００１１】又本発明の他の目的は、各色相のパターン
間の位置精度に優れ、且つ製造コストの低減化を図るこ
とのできるカラーフィルターの製造方法を提供する点に
有る。

【００１２】又本発明の更に他の目的は、基板上にプリ
フォーマットが精度良く形成されてなる光記録媒体を低
コストで製造することのできる光記録媒体の製造方法を
提供する点に有る。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本発明のパターニング方
法は、基板上に２つもしくはそれ以上の種類のパターン
に対応するように電着層を形成することによって該基板
のパターニングを行う方法において、該パターンのそれ
ぞれに対応する導電性パターンを有し、それぞれの導電
性パターンが表面に露出しかつ該導電性パターン上にそ
れぞれ独立して電着可能な様に互いに絶縁されている電
着用原板を用意する工程、それぞれの導電性パターン上
に電着層を順次析出せしめる工程、およびそれぞれの導
電性パターン上に析出させた電着層を基板上に転写せし
める工程、とを有することを特徴とする。

【００１４】又本発明のパターニング方法は、基板上に
２つもしくはそれ以上の種類のパターンに対応する様に
電着層を配置することによって該基板のパターニングを
行う方法において、該パターンのそれぞれに対応する導
電性パターンを有し、それぞれの導電性パターンが表面
に露出し、該導電性パターンは該導電性パターン上にそ
れぞれ独立して電着可能な様に互いに絶縁されており、
また互いに隣接し、かつ異なる組成の電着層を形成する
ための異種の導電性パターンの電極面が異なる平面上に
ある電着用原板を用意する工程；それぞれの導電性パタ
ーン上に電着層を順次析出せしめる工程；及びそれぞれ
の導電性パターン上に析出させた電着層を基板上に転写
せしめる工程、を有することを特徴とする。

【００１５】本発明の電着用原板は、２つもしくはそれ
以上の種類の導電性パターンを具備する電着用原板であ
ってそれぞれの導電性パターンが表面に露出していると
共に該導電性パターン上にそれぞれ独立して電着可能な
様に構成されていることを特徴とする。

【００１６】本発明のカラーフィルターの製造方法は、
透明基板上に異なる色の電着層がそれぞれパターン状に
配置されているカラーフィルターの製造方法において、
該パターンのそれぞれに対応する導電性パターンを有し
それぞれの導電性パターンが表面に露出していると共に
該導電性パターン上にそれぞれ独立して電着可能な様に
構成されている電着用原板を用意する工程；それぞれの
導電性パターン上に所定の色の電着層を順次析出せしめ
る工程；及びそれぞれの導電性パターン上に析出せしめ
た電着層を透明基板に転写せしめる工程、を有すること
を特徴とする。

【００１７】又本発明のカラーフィルターの製造方法
は、透明基板上に異なる色の電着層がそれぞれパターン
状に配置されているカラーフィルターの製造方法におい
て、透明基板上に該パターンのそれぞれに対応する導電
性パターンを有しそれぞれの導電性パターンが表面に露
出していると共に該導電性パターン上にそれぞれ独立し
て電着可能な様に構成されている電着用原板を用意する
工程；及びそれぞれの導電性パターン上に所定の色の電
着層を順次析出せしめる工程、を有することを特徴とす
る。

【００１８】又本発明の光記録媒体の製造方法は、基板
上に電着層を有する記録層及びプリフォーマットに対応
するパターン状に配置された、電着層を有するプリフォ
ーマット層を有する光記録媒体の製造方法において、導
電性表面に絶縁層を介して積層されている該プリフォー
マットに対応するパターンを有する第１導電性パターン
と該導電性表面の露出部によって形成されている第２の
導電性パターンとを備えた電着用原板を用意する工程；
該原板をプリフォーマット層形成用電着液中に浸漬して
第１の導電性パターンを電極として第１の導電性パター
ン上に第１電着層を析出させる工程；該原板を記録層形
成用電着液中に浸漬して第２の導電性パターンを電極と
して第２の導電性パターン上に第２電着層を析出させる
工程；及び第１電着層及び第２電着層を基板に転写せし
める工程、を有することを特徴とする。

【００１９】更に本発明の光記録媒体の製造方法は、基
板上に電着層を有する記録層及びプリフォーマットに対
応するパターン状に配置された、電着層を有するプリフ
ォーマット層を有する光記録媒体の製造方法において、
導電性表面に絶縁層を介して積層されている該プリフォ
ーマットに対応するパターンを有する第１導電性パター
ンと該導電性表面の露出部によって形成されている第２
の導電性パターンとを備えた電着用原板を用意する工
程；該原板をプリフォーマット層形成用電着液中に浸漬
して第１の導電性パターンを電極として第１の導電性パ
ターン上に第１電着層を析出させる工程；および該原板
を記録層形成用電着液中に浸漬して第２の導電性パター
ンを電極として第２の導電性パターン上に第２電着層を
析出させる工程；を有することを特徴とする。

【００２０】次に本発明を図面を用いて詳細に説明す
る。

【００２１】図１（ａ）は本発明に係るカラーフィルタ
ー１の製造方法に用いられる。電着用原板の一実施態様
の概略平面図であり、図１（ｂ）は図１（ａ）のＡＡ線
断面図である。同図に於いて１１は絶縁性基板、１２は
該基板表面に被着された導電層である。そして該導電層
１２上にはカラーフィルターを構成する３色の各色相
（例えば赤、緑及び青）のパターンに対応する様にＰ
ａ、Ｐｂ及びＰｃの３種類のパターン状に電極１３ａ、
１３ｂ、１３ｃがその表面が露出して構成されている。
なお、パターンＰｃの電極１３ｃは導電層１２の露出部
である。

【００２２】又パターンＰａ及びＰｂを各々構成する電
極１３ａ及び１３ｂは絶縁層１４を介して導電層１２上
に積層されてなり、それによって互いに隣接する異種の
導電性パターンの電極（１３ａ、１３ｂ及び１３ｃ）の
表面は異なる平面に有り、各パターンの導電層上には各
々独立して電着を行うことができる。

【００２３】更に又電極１３ａ及び１３ｂはその端部に
於いて隣接する同種のパターンを構成する電極と接する
様に構成されている。

【００２４】そしてこの電着用原板を図３に示す様に、
電着膜の造膜成分として例えば電着可能なカチオン性或
いはアニオン性の高分子樹脂と、電着膜に透明で且つ所
望の色相を与える有機色素とを含有する電着液中に浸漬
せしめ各パターンの電極と対向電極３１との間で順次通
電する事によって電極上に各々異なる色相の電着膜３２
を析出させることができる。

【００２５】具体的にはカチオン性高分子樹脂と電着膜
を例えば赤に着色する有機色素を含む第１の電着液中に
図１の電着用原板を浸漬した後、端子Ｌａと対向電極３
１との間で通電する事によってパターンＰａを構成する
電極１３ａ上に赤い電着膜を析出させることができる。

【００２６】又、この電着用原板を電着可能な樹脂と電
着膜を緑に着色する有機色素を含む第２の電着液中に浸
漬し、端子Ｌｂと対向電極３１との間で通電せしめるこ
とによりパターンＰｂを構成する電極１３ｂ上に緑色の
電着膜を析出させることができる。

【００２７】更に又、電着可能な樹脂と電着膜を青に着
色する有機色素を含む第３の電着液中に該電着用原板を
浸漬し端子Ｌｃと対向電極３１との間で通電せしめるこ
とによりパターンＰｃを構成する電極１３ｃ上（即ち導
電層１２の露出部）に青色の電着層を析出させることが
できる。

【００２８】次いで図４に示す様に電着層３２ａ、３２
ｂ及び３２ｃを析出させた電着用原板上に光硬化性接着
層等の転写層４２を担持させた透明基板４１を圧着した
後、光照射して該転写層及び電着層を硬化せしめ（図４
（ａ））、電着層３２ａ、３２ｂ及び３２ｃを透明基板
４１に転写することによって本発明に係るカラーフィル
ター４３を得ることができるものである（図４
（ｂ））。

【００２９】そしてこの方法によれば前記した従来の電
着技術を利用したカラーフィルターの製造方法と比較し
て１枚のカラーフィルターの各色相の電着層の形成の度
にフォトリソ工程を行う必要が無く、１回電着用原板を
作成しておけば３回の電着を行って基板に転写するだけ
で１枚のカラーフィルターを製造することができ、高精
度のカラーフィルターのより一層の低コスト化を図るこ
とができる。

【００３０】次に本発明に係るカラーフィルターの製造
方法について更に詳細に説明すると、上記した方法に用
いる電着用原板は例えば所謂「リフト・オフ法」等を用
いて容易に作成する事ができる。即ち先ず図５（ａ）に
示す様に基板１１に被着せしめた導電層１２上にパター
ンＰｃに相当するレジストパターン５１を形成した後、
図５（ｂ）に示す様に絶縁層１４及び導電層５２を形成
し、次いでレジストパターン５１を剥離する（図５
（ｃ））。

【００３１】次いでパターンＰｂ及びＰｃに相当するレ
ジストパターン５３を形成した後（図５（ｄ））、図５
（ｅ）に示す様に再び絶縁層１４及び導電層５２を形成
し、最後にレジストパターン５３を剥離することによっ
て図５（ｆ）に示した様に図１の電着用原板を得ること
ができる。

【００３２】ここで上記電着用原板の絶縁層１４の材料
としては、特に限定されず有機系や無機系の材料を用い
ることができ例えば酸化ケイ素（例えばＳｉＯ、ＳｉＯ
₂等）、窒化ケイ素（例えばＳｉ₃Ｎ₄等）、酸化アルミ
ニウム（例えばＡｌ₂Ｏ₃等）窒化アルミニウム（例えば
ＡｌＮ等）などの無機誘電体やポリビニルアルコール、
ポリスチレン、ポリエチレン、ポリ酢酸ビニル、ポリメ
チルメタクリレート、ポリ塩化ビニル、テフロン又はナ
イロン等の有機ポリマーが挙げられ、又絶縁層上に形成
される、電極として機能する導電層５２の材料も特に限
定されず例えばＣｕやＡｌ等の金属や酸化インジウム、
ＩＴＯのような透明導電膜を形成する材料が挙げられ
る。

【００３３】そして又これらの絶縁層や導電層の成膜方
法も特に限定されるものではないが蒸着やスパッタ等の
真空堆積法は均一な厚さの膜を比較的形成し易く好まし
い方法である。

【００３４】又絶縁層１４及び導電層５２の膜厚として
は６０〜３０００Å、特に１００〜２０００Åとした場
合、各々の導電性パターンの電気的独立を確保できると
共に、各々の導電性パターン上に形成される電着層の厚
みの均一性を向上させることができる。

【００３５】更に絶縁層としてＳｉＯ₂の様な透明絶縁
層とし、導電層としてＩｎＯ₂の様な透明導電層を用い
ると共に電着用原板の基板１１にも透明基板を用いた場
合、電着用原板そのものをカラーフィルターに用いるこ
ともできる。

【００３６】次に、上記した電着用原板の各パターンの
電極上に析出させる電着層の厚みは０．０５〜０．５μ
ｍが好ましく、この厚みは基本的には電着の際に通電す
る電気量（電流×時間）によって制御される。

【００３７】本発明に於いて電着可能な樹脂としては、
従来より電着塗料に用いられる樹脂を用いることがで
き、例えばアニオン型電着塗料の場合、樹脂の析出に必
要な負の電荷と親水性を与えるためにカルボキシル基の
様なアニオン性官能基を有する、あるいは導入した樹脂
もしくはプレポリマーが好適に用いられ、又カチオン電
着塗料の場合、正の電荷と親水性を与えるためにアミノ
基のようなカチオン性官能基を有するかあるいは導入し
た樹脂もしくはプレポリマーが好適に用いられる。

【００３８】具体的には上記アニオン性官能基やカチオ
ン性官能基を有するアクリル樹脂、エポキシ樹脂、ポリ
エステル樹脂、ポリアミド樹脂、アクリル・メラミン樹
脂やアルキド樹脂あるいはこれらのプレポリマー更には
分子中の二重結合の反応によって硬化するタイプの樹
脂、具体的にはポリブタジエン系樹脂やα、β−エチレ
ン不飽和化合物などを用いることができる。

【００３９】又上記電着可能な樹脂としては、常温硬化
性、熱硬化性、紫外線や電子線等の放射線エネルギー硬
化性の何れであってもよく、これらの樹脂の中で自己架
橋性でないものは、硬化剤として、例えばメラミン樹脂
やブロックポリイソシアネート化合物との混合物と共に
用いられる。

【００４０】又各電着層中に含有させる色素は電着層中
に於ける環境安定性や耐熱性等を考慮して適宜選択採用
されるものであるが、例えば赤い電着膜とする場合に用
いられる有機色素としては例えば（アゾ金属塩系赤色顔
料やＣＩＳｏｌｖｅｎｔＲｅｄ８等の赤色油溶性染
料）等を用いることができ、又緑色の電着膜の場合には
（例えばフタロシアニングリーン等）を、更に青い電着
膜の場合には（例えばフタロシアニンブルー、モナスト
ラールブルー等）を用いることができる。

【００４１】次に図４に示した様に電着用原板に析出さ
せた電着層を透明基板４１上に転写させるのに用いる転
写層４２は原板中の電極上に析出させた電着層を基板に
確実に転写し、電着層を基板上に保持する機能を有する
層である。

【００４２】転写層としては、例えば、接着剤あるいは
粘着剤を含む接着層が挙げられるが、上記機能を保持す
る物なら何でもよい。

【００４３】転写層が、接着層である場合の具体例とし
ては、接着剤あるいは粘着剤が感光性接着剤、感熱性接
着剤、感圧性接着剤であるもの、あるいは熱硬化性接着
剤、熱可塑性接着剤、合成ゴム、天然ゴム、ゼラチン、
糊等がある。

【００４４】転写層が接着層である場合、その形状とし
ては、液状、エマルジョン、シート状、マイクロカプセ
ル状等何でもよい。このうち、形状が液状のものは、塗
布後、流動性を失って固化するものと、固化しない状態
で使用するものがあるが、後者を粘着剤と呼ぶ。

【００４５】そして、転写層として用いる接着層用の接
着剤あるいは粘着剤としては、感光性接着剤の場合、例
えば、紫外線照射により硬化する紫外線硬化型接着剤が
挙げられる。このうち、アクリル系紫外線硬化型接着
剤、ポリエステル系紫外線硬化型接着剤、エポキシ系紫
外線硬化型接着剤が好ましい。

【００４６】感圧性接着剤の場合、例えば熱可塑性ゴム
系ホットメルト接着剤が挙げられる。

【００４７】又、感光、感熱、感圧接着剤として、マイ
クロカプセルを用いることができる。これは、マイクロ
カプセルの壁材をそれぞれ光、及び熱、圧力に活性する
タイプとし、これに硬化剤、架橋剤、溶剤、可塑剤等を
内包することにより、これらに光、熱、圧力の刺激を与
えることで接着能を付与することができる。

【００４８】熱硬化性接着剤の場合、加熱により架橋反
応を生じる、例えばエポキシ樹脂系接着剤がよい。ま
た、熱と圧力により架橋反応を行う、例えば、フェノー
ル樹脂、レゾルシノール樹脂、ユリア樹脂、メラミン樹
脂等が好ましい。

【００４９】熱可塑性接着剤の場合、加熱により硬化
し、冷却すると固化する、例えば酢酸ビニル、アクリル
酸エステル、塩化ビニル、エチレン、アクリル酸、アク
リルアミド、スチレン等、ビニルモノマーの重合体、及
び共重合体、エポキシ樹脂が好ましい。

【００５０】転写は、転写層４２を設けた基板４１と、
電着層を設けた原板とを転写層と電着層が接する様に配
し、例えば、転写層が感光性接着剤の場合、この状態で
光照射後、基板と原板を剥離する。これにより、基板上
に転写層４２を介して、電着層を設けることができる。

【００５１】転写層は、塗布により基板上に設けてもよ
いし、シート状の接着剤の場合は、電着層を形成した原
板と基板との間にはさんで使用すればよい。

【００５２】又、転写層が感熱性接着剤、感圧性接着
剤、熱硬化性接着剤、熱可塑性接着剤の場合、電着層を
形成した原板と基板を電着層が内側になるように、転写
層を介し、それぞれ加熱、加圧、又は加熱及び加圧した
のち剥離する。又、転写層が接着剤の場合は、加圧した
のち剥離すればよい。

【００５３】ところで上記したカラーフィルターの製造
方法の一実施態様に於いては各色相のパターン配置を電
着時の通電が容易となる様に同じ色素のパターンが接す
る様にした例を示した。この場合３種のパターン間で電
極の形状を全て同一とすることはできないが図６に示す
同一パターンを構成する電極の接続部の幅６１を１０〜
３００μｍ、特に１０〜１００μｍとすれば同一パター
ンの電極への通電を１ヶ所のリードから行うことができ
且つカラーフィルターとしての性能に大きな影響を及ぼ
す事もなく好ましいものである。

【００５４】次に本発明に係るカラーフィルターの製造
方法の他の実施態様を説明する。

【００５５】本実施態様によって得られるカラーフィル
ターはその概略平面図である図７に示す様に各々の色相
の電着層７０−１、７０−２及び７０−３のサイズを全
く同一とする事ができるため本実施態様に係る方法はよ
り高精度なカラーフィルターの製造に適した方法であ
る。

【００５６】本実施態様に於いては先ず、図７（ｂ）及
び（ｃ）に示した様に電着用原板の基板７１として各電
極が形成されるエリアの各中心部に裏面に貫通する導通
部７２を有する基板を用意する。

【００５７】次に図８（ａ）、（ｂ）に示す様に該基板
上の電着層形成用電極が形成される所定のエリアに隣接
するエリアにフォトレジスト層が形成される様なレジス
トパターン７３をフォトリソ技術を用いて作成する。

【００５８】次にこの基板のレジストパターンが形成さ
れた側の表面に導電層７４を形成する（図８（ｃ））。
ここで導電層としては電着層形成用の電極として用いる
ことができれば特に限定されず例えばＮｉ、Ｃｕ、Ａｌ
等の金属層や酸化インジウムＩＴＯ等の透明導電層が用
いられ、又成膜方法としては蒸着やスパッタ等の真空堆
積法等が挙げられる。更に導電層の厚さは各電極が形成
されるエリア内に均一な厚みに導電層が形成される様に
６０〜３０００Å、特に１００〜２０００Åとするのが
好ましい。

【００５９】次いでフォトレジスト７３をリムーバ等を
用いて剥離して図９に示す様に各導通部上に導電層をパ
ターン状に形成する。そして図９に於いて導電性パター
ンを構成する導電層９１及び９２のうち導電層９１は電
着用原板の電極１３となる。

【００６０】次に該基板の導電性パターンを形成した側
の表面に、該導電層表面を被覆する様にレジストパター
ン１０１を形成する（図１０）。

【００６１】次にこのレジストパターン１０１上に絶縁
層１１０を形成する（図１１）。

【００６２】ここで絶縁層１１０としては例えば酸化ケ
イ素や窒化ケイ素更には酸化アルミニウム等の透明又は
不透明な無機絶縁膜や有機ポリマー、例えばポリビニル
アルコール、ポリスチレン、ポリ酢酸ビニル、ポリメチ
ルメタアクリレート、ポリ塩化ビニル等などを用いるこ
とができる。又成膜方法としては前記した真空堆積法の
他塗布法も用いることができる。又絶縁層１１０の厚さ
としては少なくとも導電層９１の厚みより厚くすること
が、各電極の電気的な独立を確保するうえで好ましく、
特には（導電層９１の厚み＋レジストパターン１０１の
厚み）以上とすることが好適である。

【００６３】次にレジストパターン１０１を剥離して絶
縁層のパターン１２０を形成する（図１２）。

【００６４】次いで図１３に示す様に、導電性パターン
９１を被覆する様にレジストパターン１３０を形成す
る。ここでレジストパターン１３０の厚さとしては例え
ば１００〜１００００Å、特には５００〜３０００Å程
度が好ましい。

【００６５】次に該基板のレジストパターン１３０を形
成した側の面上に導電層１４０を形成する（図１４）。
ここで導電層の材料及び成膜方法は前記したものを同様
に用いることができる。又導電層１４０の厚さとしては
導電性パターン９２上に形成される導電層１４０の高さ
が絶縁性パターン１２０の高さを越える様に、特には図
１４の様にレジストパターン１３０の表面も導電層１４
０で被覆され導電層１４０の表面が実質的に平坦となる
様な厚さに成膜するのが好ましく具体的には例えば６０
〜３０００Å、更には１００〜２０００Åが好ましい範
囲である。即ち次の工程に於いてレジストパターン１３
０を剥離して図１５（ａ）に示す本実施態様の電着用原
板１５０を得るが導電層１４０の表面が実質的に平坦と
なる様に厚くした場合、各電極間の平面的な間隔を実質
的に無くすことができ、高精度なカラーフィルターを与
える電着用原板とすることができる。

【００６６】そして又、各電極間の平面的な間隔が無く
ても本実施態様に係る電着用原板は互いに隣接し、且つ
少なくとも異なる色相の電着層を形成するための異種の
導電性パターンを構成する電極の表面を異なる平面上に
配置できるため、各々の種類の導電性パターン上に、マ
スキングを施す事なく独立して電着を行うことができ高
精度なカラーフィルターを低コストで製造することがで
きる。

【００６７】そしてこうして得た電着用原板１５０を各
色相の電着層形成用の電着塗料中に浸漬すると共に、各
々の色相の電着層を析出させる電極に対して基板の裏面
の導通部から通電することによって、図１５（ｂ）に示
すように各電極上に独立して電着層７０−１、７０−２
及び７０−３を析出させ、次いで図１７に示した様に、
転写層１７１を介して透明基板１７２に電着層７０−１
〜７０−３を転写せしめて、本実施態様に係るカラーフ
ィルター１７３を得ることができるものである。

【００６８】そして上記した方法により得られたカラー
フィルターは例えば図１８に示すように偏光板１８１、
ガラス基板１８３、ＩＴＯ薄膜１８２、配向膜１８４、
スペーサ１８５を用いて組み立てた液晶セル中に液晶１
８６を封入した構成を有するコンピュータ用カラー液晶
ディスプレイ等のカラー表示装置に適用することができ
る。

【００６９】以上説明した本発明に係るカラーフィルタ
ーの製造方法は２種もしくはそれ以上の種類のパターン
を表面に有する基板の製造、即ちパターニング方法に適
用することができ、例えば表面にプリフォーマットと記
録層とが各々基板上にパターン状に形成されてなる光記
録媒体の製造に応用可能である。

【００７０】図１６は本発明のパターニング方法の光記
録媒体の製造方法への応用を示す説明図で、図１６
（Ａ）は光カードのプリフォーマットと記録層の位置関
係の概略を示し、図１６（Ｂ）はプリフォーマットと記
録層の詳細な位置関係を示し、図１６（Ｃ）はプリフォ
ーマット及び記録層を電着で形成するときの模式図であ
る。

【００７１】光カード１６１はそのサイズが例えば縦５
４．０×横８５．６ｍｍ、厚み０．７６ｍｍのクレジッ
トカードと同じで、その上に光記録可能な記録層が配置
されている記録領域１６２がある。

【００７２】一方プリフォーマットは、一般的にはＡＴ
信号をとる為の例えば３μｍ巾のストライプ状のトラッ
キングトラック１６３と記録層のある記録領域１６２の
端部に設けられるトラック番号等を示すピット１６４で
構成されている。

【００７３】そしてこのような光カードを作製する方法
としてプリフォーマット及び記録層を電着層１６５、１
６６で形成した例を、図１６（Ｃ）に示す。

【００７４】基板１６７の上に導電層１６８を設ける。
その上にリフトオフ法でＳｉＯ₂の様な絶縁層１６９と
導電層１７０としてクロムを積層したパターンを形成す
る。

【００７５】その結果導電層１６８の露出部からなるプ
リフォーマット形成用の導電性パターンと導電層１６９
からなる記録層形成用の導電性パターンとを有し、各々
の導電性パターン上に独立して電着層を形成可能な電着
用原板を得る。

【００７６】次に、この導電性パターンのそれぞれに、
プリフォーマット層１６５と記録層１６６を電着する。
この様にして作成された電着層を別なカード基板に転写
して光カードを大量に複製できる事は前述のカラーフィ
ルターと同じである。

【００７７】又転写を行わず電着用原板自体を光カード
化しても良い。

【００７８】本実施態様に於いて記録層としての電着層
１６６は電着塗料中に記録材料となる粒子を分散したも
のを用いて電着させることによって形成できる。記録材
料となる粒子としては、例えば、有機色素ではポリメチ
ン系染料やシアニン系染料、ナフトキノン系染料、アン
トラキノン誘導体、クロマニウム化合物、アゾ化合物、
又はフタロシアニン系の顔料、カーボンブラック等を挙
げることができる。無機材料では、金属、半金属等で、
例えばＢｉ、Ｓｎ、Ｔｅ等の低融点物質又はこれにＡ
ｓ、Ｓｅ、Ｓ、Ｏ、Ｃ等と結合した複合化合物や、相変
化による記録可能なＴｅ−ＴｅＯ₂系や光学濃度変化に
よる記録可能なハロゲン化銀等が挙げられる。また、光
磁気記録、感熱記録の行える材料も記録層として用いる
ことができる。そして本実施態様に於いて電着塗料中に
分散させる記録材料としてはフタロシアニンは染顔料の
中で比較的反射率が高く、又電着層中での安定性に優れ
ているため好ましく用いられる。

【００７９】又電着層からなる記録層中に於ける記録材
料の含有量は記録層（電着層）の記録感度、電着層の膜
質例えば柔軟性、密着性等を考慮した場合５〜５０ｗｔ
％、特に１０〜４０ｗｔ％、更には２０〜３５ｗｔ％の
範囲が好ましい。なお電着層中の記録材料の含有量は記
録材料が導電性の場合は熱重量分析装置によって分析で
き、記録材料が有機色素／顔料の場合は光透過率で分析
できる。

【００８０】又プリフォーマットを構成する電着層１６
５に担持させる特性は電着層１６６の記録、再生光に対
する反射率によって変化させることが好ましく、例えば
電着層１６６が波長７８０〜８６０ｎｍの波長の光に対
して５〜４０％の反射率を示す場合、電着層１６５は電
着層１６６よりも実質的に高い反射率を示す構成とする
事が好ましく、具体的には記録層にフタロシアニンを含
有させた場合にはプリフォーマット層として金属や金属
化粉体を含有させた構成が好ましい。

【００８１】又記録層として反射率の高い構成、例えば
７８０〜８６０ｎｍの波長の光に対して１０〜６０％の
反射率を示す場合プリフォーマット層としては、記録層
よりも実質的に低い反射率を示す構成とすることが好ま
しく、具体的には記録層にＴｅを含有させた場合にはプ
リフォーマット層として光散乱性粒子やカーボンブラッ
ク等を含有させるか或いは電着層を多孔質とした構成が
好ましい。

【００８２】そしてこのような電着層は本願出願人の出
願に係る特開平５−２８２７０６号公報に記載した方法
によって製造することができる。

【００８３】

【実施例】以下に実施例を用いて本願発明を更に詳細に
説明する。

【００８４】（実施例１）先ず図５に示した方法に従っ
てカラーフィルター製造用電着用原板を作製した。

【００８５】即ち原板用基板１１として一方の表面を鏡
面研磨したガラス板（横４００ｍｍ×縦４００ｍｍ、厚
さ５ｍｍ）を用意し、このガラス板の鏡面上に酸化イン
ジウムの透明電極１２をスパッター法で厚さ１０００Å
に成膜した。

【００８６】次にこの透明電極１２上にフォトレジスト
（商品名：ＷＡＹＣＯＡＴＨＰＲ２０４、富士ハント
エレクトロニクステクノロジー社製）をロールコーター
を用いて乾燥、厚さが０．１μｍになるように塗布し、
１００℃で２０分間プレベークしてフォトレジスト層を
形成した。次いでフォトレジスト層にマスクを介して紫
外線を照射した後現像して露光部のフォトレジストを除
去して透明電極１２上にレジストパターン５１を形成し
た（図５（ａ））。なおレジストパターン５１は図１
（ａ）に示した電着用原板のパターンＰｃと一致させ
た。

【００８７】次にレジストパターン５１の形成された透
明電極１２上に絶縁層１４としてＳｉＯ₂膜を厚さ１０
００Åに蒸着した後導電層５２としてＡｌを厚さ１００
０Åに蒸着した（図５（ｂ））。

【００８８】次いで透明電極１２上のレジストパターン
をリフト・オフすることによりレジストパターン５１上
の絶縁層及び導電層を剥離してＳｉＯ₂−Ａｌ積層膜の
パターニングを行った（図５（ｃ））。

【００８９】次にこのＳｉＯ₂−Ａｌ積層膜上にフォト
レジスト層を形成し露光・現像を行ってレジストパター
ン５３を形成した（図５（ｄ））。なおレジストパター
ン５３は透明電極１２の露出部（パターンＰｃに相
当）、及びＳｉＯ₂−Ａｌ積層膜上のパターンＰｂに相
当する部分に形成した。次いでレジストパターン５３上
及びＡｌ５２上に絶縁層としてＳｉＯ₂膜を厚さ１００
０Åに蒸着し次いで導電層としてＡｌを厚さ１０００Å
に蒸着した後（図５（ｅ））、リムーバでレジストパタ
ーン５３を剥離してパターンＰａ、Ｐｂ及びＰｃに相当
し、且つ互いに絶縁された３種類の導電層パターンを有
する電着用原板を得た（図５（ｆ））。

【００９０】一方硬化剤入りアクリル・メラミン樹脂
（商品名：ハニブライトＣ−ＩＬ、ハニー化成（株）社
製）８０ｗｔ％にアゾ金属塩赤顔料を２０ｗｔ％を分散
し、脱塩水で固形分濃度１５ｗｔ％に希釈したものを赤
色電着膜形成用の電着用塗料Ｒとした。

【００９１】又上記アゾ金属塩赤顔料に代えてフタロシ
アニングリーン及びフタロシアニンブルーを用いて絶色
電着膜形成用及び青色電着膜形成用の電着用塗料Ｇ及び
Ｂを作成した。

【００９２】次に先に作成した電着用原板を電着用塗料
Ｒ中に浸漬し、図１（ａ）に示すリード部Ｌａを直流電
源の陽極に接続し、対向電極３１を陰極に接続して３０
ボルトの直流電圧を１分間印加して赤色電着膜を析出さ
せた後、原板を引き上げ水洗した。

【００９３】次いでこの原板を電着用塗料Ｇ中に浸漬し
図１（ａ）に示すリード部Ｌｂを直流電源の陽極に接続
して３０ボルトの直流電圧を１分間印加して絶色電着膜
を析出させた後、原板を引き上げ水洗した。

【００９４】次にこの原板を電着用塗料Ｂ中に浸漬し、
図１（ａ）に示すリード部Ｌｃを直流電源の陽極に接続
して３０ボルトの直流電圧を１分間印加して青色電着膜
を析出させた後、原板を引き上げ水洗し、次にこの原板
を９７℃で６０分間加熱して硬化させた。なお硬化後の
電着層の厚みは３μｍであった。

【００９５】次に大きさ４００ｍｍ×４００ｍｍ、厚さ
２ｍｍの透明アクリル基板の一方の表面に紫外線硬化型
接着剤（商品名：ＵＶＸ−ＳＳ１２０；スリーボンド
（株）社製）を塗布した。このアクリル基板と原板とを
接着層と電着層が接するようにして重ねて、メタルハラ
イドランプでアクリル基板側から７５０Ｊ／ｃｍ²（露
光面）の露光を行って接着層を硬化させて、各色の電着
層をアクリル基板表面に転写せしめてカラーフィルター
を得た。このカラーフィルターを光学顕微鏡を用いて観
察したところ電着層の転写不良は認められず又各色の電
着層間に隙間は全く無く高精細なカラー表示装置用のカ
ラーフィルターとして十分実用可能であった。

【００９６】又上記のカラーフィルターの製造に用いた
原板を、繰り返し使用して上記の方法と全く同様にして
合計１００枚のカラーフィルターを作成した。その結果
カラーフィルター間での品質のばらつき（例えば各色の
パターンのずれ）は認められなかった。

【００９７】（実施例２）以下の方法で図１６（ｃ）に
示す光カード製造用電着用原板を作成した。厚み０．５
ｍｍ、たて１０ｃｍ×よこ６ｃｍのガラス板１６７にＡ
ｌを３００Åの厚さに蒸着して導電層１６８を形成し
た。

【００９８】該Ａｌ膜上に、ホトレジスト（ＷＡＹＣＯ
ＡＴ、登録商標、ＨＰＲ２０４、富士ハントエレクトロ
ニクステクノロジー社製）をスピナーで２μｍの厚さに
塗布し、１００℃で２０分間プリベークした後、ＵＶ光
でプリフォーマットパターンを露光、現像して、幅３μ
ｍ、ピッチ１２μｍのストライプ状の、トラッキングト
ラックに相当するレジストパターン及びアドレスピット
に相当するレジストパターンを形成した。

【００９９】次にこのレジストパターンの上に、絶縁層
１６９としてＳｉＯ₂を２００Åの厚さにスパッター
し、次いで導電層１７０としてＡｌを２００Åの厚さに
スパッタした。

【０１００】次いでレジストをリフト・オフしてＡｌ膜
上の、トラッキングトラック及びアドレスピットに相当
する部分以外の領域にＳｉＯ₂−Ａｌ積層膜が配置され
てなる電着用原板を作成した。

【０１０１】次に、Ｎ，Ｎ−ジエチルアミノエチルメタ
クリレート、スチレン、アクリレート及びｐ−ヒドロキ
シ安息香酸とグリシジルアクリレート等のモル反応によ
って得られた化合物をモル比で３：２：４：１、重量平
均分子量７万に共重合した有機重合体を８０重量部、
２，２−ジメトキシ−２−フェニルアセトフェノンを
０．５重量部、トリメチロールプロパントリアクリレー
トを１４．５重量部からなるカチオン性感光性樹脂組成
物を、エチレングリコールモノブチルエーテルで揮発分
８０ｗｔ％に希釈し、０．５当量の酢酸で中和し、純水
にて揮発分９０ｗｔ％に調整して電着樹脂組成物とし
た。

【０１０２】この電着樹脂組成物８０ｗｔ％に記録材料
として粒子径０．１〜０．３μｍのフタロシアニン２０
ｗｔ％分散して記録層形成用電着塗料とした。

【０１０３】又上記樹脂組成物８０ｗｔ％に平均粒子径
０．１μｍのＮｉ粒子２０ｗｔ％を分散してプリフォー
マット層形成用電着塗料とした。

【０１０４】次いで上記で作成した原板を記録層形成用
電着塗料中に浸漬し、導電層１７０を陰極として３０ボ
ルトの直流電圧を１分間印加して記録層１６６を析出さ
せた。次に原板を引き上げて水洗後、プリフォーマット
層形成用電着塗料中に浸漬し導電層１６８を陰極として
３０ボルトの直流電圧を１分間印加してプリフォーマッ
ト層１６５を析出させた。

【０１０５】このようにして、記録層及びプリフォーマ
ット層を順次設けた原板を十分に水洗いした後、高圧水
銀ランプ（２００ｍＪ／ｃｍ²）で硬化処理した。

【０１０６】なお硬化後の記録層及びプリフォーマット
層の厚さは３μｍであった。

【０１０７】次に、電着した原板と、０．４ｍｍ厚の透
明ポリメチルメタクリレート基板とを、電着層を内側に
し、エチレン−アクリル酸エチル共重合体からなるシー
トを介し、ローラー温度１３０℃のラミネーターで接着
した。

【０１０８】次に、基板を原板から剥離し、透明ポリメ
チルメタクリレート基板上に電着層を転写した。

【０１０９】なお記録層中のフタロシアニンの含有量は
２５ｗｔ％、プリフォーマット層中のＮｉの含有量は３
０ｗｔ％であった。

【０１１０】以上のようにして形成された、パターニン
グされた記録層及びプリフォーマット層を有する基板上
に、エチレン−アクリル酸エチル共重合体からなるホッ
トメルト接着剤、及び保護層として０．３ｍｍ厚のポリ
メチルメタクリレート基板を順次積層した。

【０１１１】これを、光カードサイズ（８６ｍｍ×５４
ｍｍ）に切断して光カードを得た。

【０１１２】この光カードを光学顕微鏡を用いて観察し
たところ記録層及びプリフォーマット層の間には全く隙
間は認められず記録層のパターンとプリフォーマット層
のパターンとの位置精度は極めて良好であった。

【０１１３】更にこの光カードについてプリフォーマッ
ト層を横断する様に光ビームを走査し、トラック横断信
号を観察した。

【０１１４】この時のトラック横断信号のコントラスト
の最大値、最小値及び平均値を以下に示す。

【０１１５】最大値０．７２最小値０．７０平均値０．７０

【０１１６】

【発明の効果】以上説明した様に本発明によれば基板上
に複数の種類のパターンを形成するパターニング方法に
於いて、フォトリソ工程と電着工程とを分離して行うこ
とができるため、フォトリソ工程と電着工程とが混在し
ていた従来の方法と比較して作業効率を大幅に向上させ
ることができ、又複数のパターン間の位置の相対精度を
高いレベルで安定的に維持することができる。

【０１１７】さらに、転写方式と組み合わせる事により
マスター基板として機能し、大量複製が可能となり、大
幅な低コスト化を実現できる。

【０１１８】又本発明によれば各色相のパターン精度に
優れたカラーフィルターを低コストで作成することがで
き、そして又本発明によればプリフォーマットと記録層
とのパターンの位置精度に優れた光記録媒体を低コスト
で製造することができる。

【０１１９】更に本発明によれば異なるパターンを構成
する電着層を間隙を設けることなく、基板上に配置する
事が可能となり微細なパターニング加工を基板に施すこ
とができる。そして又本発明のパターニング方法を例え
ばカラーフィルターの製造に応用した場合、異なる色相
の電着パターンの間に隙間の無いカラーフィルターを製
造することができ、高精細なカラー表示装置用のカラー
フィルターをより一層低コストで提供することが可能と
なる。更に又、本発明のパターニング方法を例えば光記
録媒体の製造に適用した場合、記録層とプリフォーマッ
ト層との間隙を無くす事ができ、光記録媒体の記録密度
の向上を容易に達成することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るカラーフィルター製造用電着用原
板の一実施態様の説明図。（ａ）本発明に係るカラーフ
ィルター製造用電着用原板の一実施態様の概略平面図。
（ｂ）図１（ａ）のＡＡ線断面図。

【図２】従来の、電着法によるカラーフィルターの製造
方法を示す工程図。

【図３】図１の電着用原板を用いた電着工程の概略説明
図。

【図４】（ａ）図１の電着用原板上に析出させた電着層
の透明基板への転写工程の説明図。（ｂ）図１の電着用
原板上に析出させた電着層の透明基板への転写工程の説
明図。

【図５】図１の電着用原板の製造方法を示す工程図。

【図６】図１の電着用原板の隣接する同種のパターンの
接続部の概略説明図。

【図７】本発明に係るカラーフィルター製造用電着用原
板の他の実施態様の概略説明図。（ａ）カラーフィルタ
ーの概略平面図。（ｂ）電着用原板用基板の概略平面
図。（ｃ）図７（ｂ）のＢＢ線断面図。

【図８】図７（ｂ）の基板を用いた電着用原板の製造方
法を示す概略工程図。（ａ）表面にレジストパターンを
形成した図７（ｂ）の基板の平面図。（ｂ）図８（ａ）
の基板のＣＣ線断面図。（ｃ）表面に導電層を形成した
図８（ａ）の基板の断面図。

【図９】図７（ｂ）の基板を用いた電着用原板の製造工
程を示す概略図。（ａ）表面に導電性パターンを形成し
た図７（ｂ）の基板の平面図。（ｂ）図９（ａ）のＤＤ
線断面図。

【図１０】表面にレジストパターンを形成した図９の基
板の概略断面図。

【図１１】表面に絶縁層を形成した図１０の基板の概略
断面図。

【図１２】表面に絶縁層パターンを形成した図１１の基
板の概略断面図。

【図１３】表面にレジストパターンを形成した図１２の
基板の概略断面図。

【図１４】表面に導電層を形成した図１３の基板の概略
断面図。

【図１５】図７（ａ）のカラーフィルターの製造に用い
る電着用原板の概略説明図。（ａ）図７（ａ）のカラー
フィルターの製造に用いる電着用原板の概略断面図。
（ｂ）図１５（ａ）の電着用原板の用いた電着工程を説
明する概略断面図。

【図１６】本発明に係るパターニング方法の光記録媒体
の製造方法への適用例を示す概略図。（ａ）光カードの
概略平面図。（ｂ）光カード表面の拡大図。（ｃ）光カ
ード製造用電着用原板への電着工程の説明図。

【図１７】図１５のカラーフィルターの電極上に析出し
た電着層の基板への転写工程の説明図。

【図１８】本発明に係る電着用原板のカラー表示装置へ
の応用を示す概略断面図。

【符号の説明】

１カラーフィルター１１絶縁性基板１２導電層１３電極１４絶縁層２１透明基板２２透明電極２３フォトレジスト２４電着層２５電着層２６電着層３１対向電極３２電着層４１透明基板４２転写層４３カラーフィルター５１レジストパターン５２導電層５３レジストパターン６１電極の接続部の幅７０電着層７１電着用原板用基板７２導通部７３レジストパターン７４導電層９１、９２導電層１０１レジストパターン１１０絶縁層１２０絶縁層パターン１３０レジストパターン１４０導電層１５０電着用原板１６１光カード１６２記録領域１６３トラッキングトラック１６４ピット１６５、１６６電着層１６７基板１６８導電層１６９絶縁層１７０導電層１７１転写層１７２透明基板１７３カラーフィルター１８１偏光板１８２ＩＴＯ薄膜１８３ガラス基板１８４配向膜１８５スペーサ１８６液晶

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者田邊浩神奈川県川崎市中原区今井上町53番地キヤノン株式会社小杉事業所内 (72)発明者矢野敬弥東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】基板上に２つもしくはそれ以上の種類の
パターンに対応するように電着層を形成することによっ
て該基板のパターニングを行う方法において、該パターンのそれぞれに対応する導電性パターンを有
し、それぞれの導電性パターンが表面に露出しかつ該導
電性パターン上にそれぞれ独立して電着可能な様に互い
に絶縁されている電着用原板を用意する工程、それぞれの導電性パターン上に電着層を順次析出せしめ
る工程、およびそれぞれの導電性パターン上に析出させ
た電着層を基板上に転写せしめる工程、とを有すること
を特徴とするパターニング方法。
【請求項２】それぞれの導電性パターン上に析出させ
る電着層の組成が実質的に同一である請求項１のパター
ニング方法。
【請求項３】それぞれの導電性パターン上に析出させ
る電着層の組成が異なっている請求項１のパターニング
方法。
【請求項４】２つもしくはそれ以上の種類の導電性パ
ターンを具備する電着用原板であってそれぞれの導電性
パターンが表面に露出していると共に該導電性パターン
上にそれぞれ独立して電着可能な様に構成されているこ
とを特徴とする電着用原板。
【請求項５】該導電性パターンのうち互いに隣接する
導電性パターンが異なる平面上にある請求項４の電着用
原板。
【請求項６】該導電性パターンがカラーフィルターの
カラーパターンに対応したパターンである請求項４の電
着用原板。
【請求項７】該導電性パターンを少なくとも３種有し
ている請求項６の電着用原板。
【請求項８】該導電性パターンが３つの異なる色のパ
ターンにそれぞれ対応している請求項７の電着用原板。
【請求項９】同一の色のパターンに対応した導電性パ
ターン上に同時に電着可能に構成されている請求項８の
電着用原板。
【請求項１０】該導電性パターンの少なくとも１種が
光記録媒体のプリフォーマットパターンに対応したパタ
ーンである請求項４の電着用原板。
【請求項１１】該導電性パターンの少なくとも１種が
光記録媒体の記録層のパターンに対応したパターンであ
る請求項４の電着用原板。
【請求項１２】透明基板上に異なる色の電着層がそれ
ぞれパターン状に配置されているカラーフィルターの製
造方法において、該パターンのそれぞれに対応する導電性パターンを有し
それぞれの導電性パターンが表面に露出していると共に
該導電性パターン上にそれぞれ独立して電着可能な様に
構成されている電着用原板を用意する工程；それぞれの
導電性パターン上に所定の色の電着層を順次析出せしめ
る工程；及び、それぞれの導電性パターン上に析出せしめた電着層を透
明基板に転写せしめる工程、を有することを特徴とする
カラーフィルターの製造方法。
【請求項１３】該電着用原板として、該導電性パター
ンのうち互いに隣接する導電性パターンが異なる平面上
にある電着用原板を用いる請求項１２のカラーフィルタ
ーの製造方法。
【請求項１４】該導電性パターンを少なくとも３種有
している電着用原板を用いる請求項１２のカラーフィル
ターの製造方法。
【請求項１５】該導電性パターンが３つの異なる色の
パターンにそれぞれ対応している電着用原板を用いる請
求項１４のカラーフィルターの製造方法。
【請求項１６】同一の色のパターンに対応した導電性
パターン上に同時に電着可能に構成されている電着用原
板を用いる請求項１２のカラーフィルターの製造方法。
【請求項１７】該導電性パターンが金属で形成されて
いる電着用原板を用いる請求項１２のカラーフィルター
の製造方法。
【請求項１８】該導電性パターンが透明な電着用原板
を用いる請求項１２のカラーフィルターの製造方法。
【請求項１９】透明基板上に異なる色の電着層がそれ
ぞれパターン状に配置されているカラーフィルターの製
造方法において、透明基板上に該パターンのそれぞれに対応する導電性パ
ターンを有しそれぞれの導電性パターンが表面に露出し
ていると共に該導電性パターン上にそれぞれ独立して電
着可能な様に構成されている電着用原板を用意する工
程；及び、それぞれの導電性パターン上に所定の色の電着層を順次
析出せしめる工程を有することを特徴とするカラーフィ
ルターの製造方法。
【請求項２０】該導電性パターンが透明である請求項
１９のカラーフィルターの製造方法。
【請求項２１】該電着用原板として、該導電性パター
ンのうち互いに隣接する導電性パターンが異なる平面上
にある電着用原板を用いる請求項１９のカラーフィルタ
ーの製造方法。
【請求項２２】該導電性パターンを少なくとも３種有
している電着用原板を用いる請求項１９のカラーフィル
ターの製造方法。
【請求項２３】該導電性パターンが３つの異なる色の
パターンにそれぞれ対応してる電着用原板を用いる請求
項２２のカラーフィルターの製造方法。
【請求項２４】同一の色のパターンに対応した導電性
パターン上に同時に電着可能に構成されている電着用原
板を用いる請求項１９のカラーフィルターの製造方法。
【請求項２５】基板上に電着層を有する記録層及びプ
リフォーマットに対応するパターン状に配置された電着
層を有するプリフォーマット層を有する光記録媒体の製
造方法において、導電性表面に絶縁層を介して積層されている該プリフォ
ーマットに対応するパターンを有する第１導電性パター
ンと該導電性表面の露出部によって形成されている第２
の導電性パターンとを備えた電着用原板を用意する工
程；該原板をプリフォーマット層形成用電着液中に浸漬
して第１の導電性パターンを電極として第１の導電性パ
ターン上に第１電着層を析出させる工程；該原板を記録
層形成用電着液中に浸漬して第２の導電性パターンを電
極として第２の導電性パターン上に第２電着層を析出さ
せる工程；及び、第１電着層及び第２電着層を基板に転写せしめる工程、
を有することを特徴とする光記録媒体の製造方法。
【請求項２６】第１電着層及び第２電着層を基板に転
写するステップにおいて該第１電着層及び第２電着層を
転写補助層を介して基板に転写せしめる請求項２５の光
記録媒体の製造方法。
【請求項２７】該第２電着層がレーザビームの照射に
よって光学的に検出可能な変化を生じるものである請求
項２５の光記録媒体の製造方法。
【請求項２８】該第２電着層が有機色素、カーボンブ
ラック、金属及び半金属から選ばれる少なくとも１つの
記録材料を含有する請求項２５の光記録媒体の製造方
法。
【請求項２９】該第２電着層が該記録材料を５〜５０
ｗｔ％含有する請求項２８の光記録媒体の製造方法。
【請求項３０】該有機色素がフタロシアニンである請
求項２８の光記録媒体の製造方法。
【請求項３１】波長７８０〜８６０ｎｍの光を基板側
から入射させたときの該記録層の反射率が５〜４０％で
あって、かつ該プリフォーマット層の反射率が該記録層
の反射率よりも高い請求項２５の光記録媒体の製造方
法。
【請求項３２】基板上に電着層を有する記録層及びプ
リフォーマットに対応するパターン状に配置された、電
着層を有するプリフォーマット層を有する光記録媒体の
製造方法において、導電性表面に絶縁層を介して積層されている該プリフォ
ーマットに対応するパターンを有する第１導電性パター
ンと該導電性表面の露出部によって形成されている第２
の導電性パターンとを備えた電着用原板を用意する工
程；該原板をプリフォーマット層形成用電着液中に浸漬
して第１の導電性パターンを電極として第１の導電性パ
ターン上に第１電着層を析出させる工程；及び、該原板を記録層形成用電着液中に浸漬して第２の導電性
パターンを電極として第２の導電性パターン上に第２電
着層を析出させる工程；を有することを特徴とする光記
録媒体の製造方法。
【請求項３３】第１電着層及び第２電着層を基板に転
写する工程において該第１電着層及び第２電着層を転写
補助層を介して基板に転写せしめる請求項３２の光記録
媒体の製造方法。
【請求項３４】該第２電着層がレーザビームの照射に
よって光学的に検出可能な変化を生じるものである請求
項３２の光記録媒体の製造方法。
【請求項３５】該第２電着層が有機色素、カーボンブ
ラック、金属及び半金属から選ばれる少なくとも１つの
記録材料を含有する請求項３２の光記録媒体の製造方
法。
【請求項３６】該第２電着層が該記録材料を５〜５０
ｗｔ％含有する請求項３５の光記録媒体の製造方法。
【請求項３７】該有機色素がフタロシアニンである請
求項３５の光記録媒体の製造方法。
【請求項３８】波長７８０〜８６０ｎｍの光を基板側
から入射させたときの該記録層の反射率が５〜４０％で
あって、かつ該プリフォーマット層の反射率が該記録層
の反射率よりも高い請求項３２の光記録媒体の製造方
法。
【請求項３９】基板上に２つもしくはそれ以上の種類
のパターンに対応する様に電着層を配置することによっ
て該基板のパターニングを行う方法において、該パターンのそれぞれに対応する導電性パターンを有
し、それぞれの導電性パターンが表面に露出し、該導電
性パターンは該導電性パターン上にそれぞれ独立して電
着可能な様に互いに絶縁されており、また互いに隣接し、かつ異なる組成の電着層を形成する
ための異種の導電性パターンの電極面が異なる平面上に
ある電着用原板を用意する工程；それぞれの導電性パタ
ーン上に電着層を順次析出せしめる工程；及び、それぞれの導電性パターン上に析出させた電着層を基板
上に転写せしめる工程、を有することを特徴とするパタ
ーニング方法。