JPH075062A - プロービングテストにおけるアライメント方法 - Google Patents
プロービングテストにおけるアライメント方法Info
- Publication number
- JPH075062A JPH075062A JP14387593A JP14387593A JPH075062A JP H075062 A JPH075062 A JP H075062A JP 14387593 A JP14387593 A JP 14387593A JP 14387593 A JP14387593 A JP 14387593A JP H075062 A JPH075062 A JP H075062A
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- Japan
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- point
- coordinates
- measured
- cell
- probe
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- Pending
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- Testing Of Balance (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 プロービングテストにおいて、微小な被測定
点の場合でも、精度の良いアライメントが達成できるア
ライメント方法を提供することを目的とする。 【構成】 測定デバイスがもつ座標をセルで区分された
基準座標に変換し、被測定点がもつ座標を上記の基準座
標に変換して上記の被測定点が存在するセルを検出し、
このセルにおける基準点から上記の被測定点までの距離
を算出して測定デバイスと被測定点との位置合わせを行
う。
点の場合でも、精度の良いアライメントが達成できるア
ライメント方法を提供することを目的とする。 【構成】 測定デバイスがもつ座標をセルで区分された
基準座標に変換し、被測定点がもつ座標を上記の基準座
標に変換して上記の被測定点が存在するセルを検出し、
このセルにおける基準点から上記の被測定点までの距離
を算出して測定デバイスと被測定点との位置合わせを行
う。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はプロービングテストにお
けるアライメント方法の改良に関する。特に、微小な被
測定点の場合でも精度の良いアライメントが達成でき
る、プロービングテストにおけるアライメント方法を提
供することを目的とする改良に関する。
けるアライメント方法の改良に関する。特に、微小な被
測定点の場合でも精度の良いアライメントが達成でき
る、プロービングテストにおけるアライメント方法を提
供することを目的とする改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、半導体デバイスはますます高集積
化され、プロービングテストにおいて使用されるコンタ
クトパッドも微細化された結果、より精度の良いアライ
メントが要求されている。
化され、プロービングテストにおいて使用されるコンタ
クトパッドも微細化された結果、より精度の良いアライ
メントが要求されている。
【０００３】従来技術に係るアライメント方法を高集積
回路の場合について以下に説明する。
回路の場合について以下に説明する。
【０００４】従来のプロービングテストにおいては、測
定用プローブが固定され、ウェーハを搭載したステージ
が回転・移動することによりアライメントを行ってい
る。具体的には、ウェーハのチップのスクライブライン
が、プローブの座標の座標軸に対して傾いている角θ
を、ＣＲＴ上においてウェーハ上の各点を２値化するこ
とにより測定し、ウェーハを角θ回転した後、回転した
ウェーハの座標における被測定点の座標位置と、プロー
ブの座標におけるプローブの座標位置と、両座標の原点
間距離とから、上記の被測定点の位置とプローブの位置
との間の距離を演算し、この距離だけウェーハを搭載し
たステージを移動して、プローブと被測定点とのアライ
メントを行っている。
定用プローブが固定され、ウェーハを搭載したステージ
が回転・移動することによりアライメントを行ってい
る。具体的には、ウェーハのチップのスクライブライン
が、プローブの座標の座標軸に対して傾いている角θ
を、ＣＲＴ上においてウェーハ上の各点を２値化するこ
とにより測定し、ウェーハを角θ回転した後、回転した
ウェーハの座標における被測定点の座標位置と、プロー
ブの座標におけるプローブの座標位置と、両座標の原点
間距離とから、上記の被測定点の位置とプローブの位置
との間の距離を演算し、この距離だけウェーハを搭載し
たステージを移動して、プローブと被測定点とのアライ
メントを行っている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところが、従来技術に
係るアライメント方法においては、ウェーハ全体の回転
中心と被測定点との間の距離が小さい場合には、上記の
傾き角θの測定に誤差があっても、プローブがコンタク
トパッドから外れて接触失敗を起こすことはないが、ウ
ェーハ全体の回転中心と被測定点との間の距離が大きい
場合には、上記の傾き角θの測定に誤差の影響が拡大さ
れて、プローブがコンタクトパッドから外れて接触しな
くなると云う欠点が従来技術にはある。
係るアライメント方法においては、ウェーハ全体の回転
中心と被測定点との間の距離が小さい場合には、上記の
傾き角θの測定に誤差があっても、プローブがコンタク
トパッドから外れて接触失敗を起こすことはないが、ウ
ェーハ全体の回転中心と被測定点との間の距離が大きい
場合には、上記の傾き角θの測定に誤差の影響が拡大さ
れて、プローブがコンタクトパッドから外れて接触しな
くなると云う欠点が従来技術にはある。
【０００６】本発明の目的は、この欠点を解消すること
にあり、微小な被測定点の場合でも、精度の良いアライ
メントが達成できる、プロービングテストにおけるアラ
イメント方法を提供することにある。
にあり、微小な被測定点の場合でも、精度の良いアライ
メントが達成できる、プロービングテストにおけるアラ
イメント方法を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記の目的は、測定デバ
イスがもつ座標をセル（一定のピッチをもつ格子で区切
られた領域）で区分された基準座標に変換し、被測定点
がもつ座標を前記の基準座標に変換して前記の被測定点
が存在するセルを検出し、このセルにおける基準点（例
えばセルの中心点）から被測定点までの距離を算出して
測定デバイスと被測定点との位置合わせを行う、プロー
ビングテストにおけるアライメント方法によって達成さ
れる。
イスがもつ座標をセル（一定のピッチをもつ格子で区切
られた領域）で区分された基準座標に変換し、被測定点
がもつ座標を前記の基準座標に変換して前記の被測定点
が存在するセルを検出し、このセルにおける基準点（例
えばセルの中心点）から被測定点までの距離を算出して
測定デバイスと被測定点との位置合わせを行う、プロー
ビングテストにおけるアライメント方法によって達成さ
れる。
【０００８】
【作用】本発明においては、被測定物を搭載するステー
ジが固定であり、測定デバイス（プローブ）が可動であ
る。本発明に係るアライメント方法においては、まず、
測定デバイスがもつ座標を予め設定された固定座標、す
なわち、セルで区分された基準座標に変換する。つぎ
に、被測定点がもつ座標、すなわち、被測定点が存在す
るチップの中心を原点とするウェーハ上の座標を上記の
基準座標に変換して上記の被測定点が基準座標のどのセ
ルに入っているかを計算する。そして、この被測定点が
入っているセルにおける基準点（例えばセルの中心点）
から被測定点までの距離を算出してアライメントを行
う。上記のセルの基準点は、測定デバイスを駆動するモ
ータのパルスカウンタの値で登録されているので、測定
デバイスを上記のセルの基準点に正確に移動することは
可能であり、この基準点から微小な距離にある被測定点
と測定デバイスとの位置合わせにおいては、パルスカウ
ンタにおけるエラーや傾き角θにおける誤差があって
も、基準点から被測定点までの距離が微小であるからア
ライメントに及ぼす影響は小さく、より精度の良いアラ
イメントが達成される。
ジが固定であり、測定デバイス（プローブ）が可動であ
る。本発明に係るアライメント方法においては、まず、
測定デバイスがもつ座標を予め設定された固定座標、す
なわち、セルで区分された基準座標に変換する。つぎ
に、被測定点がもつ座標、すなわち、被測定点が存在す
るチップの中心を原点とするウェーハ上の座標を上記の
基準座標に変換して上記の被測定点が基準座標のどのセ
ルに入っているかを計算する。そして、この被測定点が
入っているセルにおける基準点（例えばセルの中心点）
から被測定点までの距離を算出してアライメントを行
う。上記のセルの基準点は、測定デバイスを駆動するモ
ータのパルスカウンタの値で登録されているので、測定
デバイスを上記のセルの基準点に正確に移動することは
可能であり、この基準点から微小な距離にある被測定点
と測定デバイスとの位置合わせにおいては、パルスカウ
ンタにおけるエラーや傾き角θにおける誤差があって
も、基準点から被測定点までの距離が微小であるからア
ライメントに及ぼす影響は小さく、より精度の良いアラ
イメントが達成される。
【０００９】
【実施例】以下、図面を参照して、本発明の一実施例に
係るプロービングテストにおけるアライメント方法につ
いて説明する。
係るプロービングテストにおけるアライメント方法につ
いて説明する。
【００１０】図１は、本発明の一実施例に係るアライメ
ント方法の説明図である。
ント方法の説明図である。
【００１１】図１参照 図において、Ｘm 、Ｙm は測定デバイス（プローブ）が
もつ座標のＸ軸、Ｙ軸であり、Ｘa 、Ｙa はチップ１の
中心を原点とするウェーハ上の座標のＸ軸、Ｙ軸であ
る。Ｘb 、Ｙb は予め設定された基準座標のＸ軸、Ｙ軸
であり、この基準座標は一定のピッチａをもつ格子で区
分されている。２は、この格子で区分されたセルであ
る。３はチップ１のスクライブラインであり、Ａ、Ｂ、
Ｃ、Ｄは、このスクライブライン３上の任意の点であ
る。Ｐは、Ａ、Ｂを結ぶ線と、Ｃ、Ｄを結ぶ線との交点
である。θは上記のスクライブライン３が基準座標のＸ
b 軸またはＹb 軸となす角、すなわち、傾き角である。
Ｔは被測定点であり、Ｏはセルの基準点（例えば、セル
の中心点）である。
もつ座標のＸ軸、Ｙ軸であり、Ｘa 、Ｙa はチップ１の
中心を原点とするウェーハ上の座標のＸ軸、Ｙ軸であ
る。Ｘb 、Ｙb は予め設定された基準座標のＸ軸、Ｙ軸
であり、この基準座標は一定のピッチａをもつ格子で区
分されている。２は、この格子で区分されたセルであ
る。３はチップ１のスクライブラインであり、Ａ、Ｂ、
Ｃ、Ｄは、このスクライブライン３上の任意の点であ
る。Ｐは、Ａ、Ｂを結ぶ線と、Ｃ、Ｄを結ぶ線との交点
である。θは上記のスクライブライン３が基準座標のＸ
b 軸またはＹb 軸となす角、すなわち、傾き角である。
Ｔは被測定点であり、Ｏはセルの基準点（例えば、セル
の中心点）である。
【００１２】つぎに、本発明に係るアライメント方法に
ついて説明する。
ついて説明する。
【００１３】まず、プローブがもつＸm 、Ｙm 座標を基
準座標（Ｘb ・Ｙb 座標）に変換し、つぎに、チップ１
のスクライブライン３上で、Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ各点をＣＲ
Ｔ上で指定して、Ｐ点を求め、ＰとＤとを結ぶ直線と基
準座標の座標軸Ｘb とのなす角、すなわち、スクライブ
ライン３の傾き角θを算出する。この傾き角θとＸa・
Ｙa 座標の原点の基準座標における位置とにもとづい
て、Ｘa ・Ｙa 座標における被測定点Ｔの座標位置を基
準座標の座標位置に変換する。そして、被測定点Ｔが、
基準座標における一定ピッチａの格子が作るセル２のど
れに入っているかを計算し、そのセルにおける基準点
（例えば、セルの中心点）Ｏから被測定点Ｔまでの距離
を算出する。セルのそれぞれの基準点Ｏは、プローブ駆
動モータのカウンタ値ですでに登録されているので、こ
のカウンタ値と、算出されたセルの基準点Ｏから被測定
点Ｔまでの距離とにもとづいて、プローブと被測定点Ｔ
とのアライメントを行う。プローブ駆動モータのカウン
タに登録されている値と、セルの基準点から被測定点Ｔ
までの微小距離とにもとづいてアライメントを行ってい
るので、精度の良いアライメントを行うことができる。
準座標（Ｘb ・Ｙb 座標）に変換し、つぎに、チップ１
のスクライブライン３上で、Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ各点をＣＲ
Ｔ上で指定して、Ｐ点を求め、ＰとＤとを結ぶ直線と基
準座標の座標軸Ｘb とのなす角、すなわち、スクライブ
ライン３の傾き角θを算出する。この傾き角θとＸa・
Ｙa 座標の原点の基準座標における位置とにもとづい
て、Ｘa ・Ｙa 座標における被測定点Ｔの座標位置を基
準座標の座標位置に変換する。そして、被測定点Ｔが、
基準座標における一定ピッチａの格子が作るセル２のど
れに入っているかを計算し、そのセルにおける基準点
（例えば、セルの中心点）Ｏから被測定点Ｔまでの距離
を算出する。セルのそれぞれの基準点Ｏは、プローブ駆
動モータのカウンタ値ですでに登録されているので、こ
のカウンタ値と、算出されたセルの基準点Ｏから被測定
点Ｔまでの距離とにもとづいて、プローブと被測定点Ｔ
とのアライメントを行う。プローブ駆動モータのカウン
タに登録されている値と、セルの基準点から被測定点Ｔ
までの微小距離とにもとづいてアライメントを行ってい
るので、精度の良いアライメントを行うことができる。
【００１４】
【発明の効果】以上説明したとおり、本発明に係るアラ
イメント方法においては、測定デバイスの座標をセルで
区分された基準座標に変換し、被測定点の座標を上記の
基準座標に変換して上記の被測定点が存在するセルを検
出し、このセルにおける基準点から上記の被測定点まで
の距離を算出して測定デバイスと被測定点との位置合わ
せをすることゝされているので、測定デバイスを駆動す
るモータのパルスカウンタの値で登録されているセルの
基準点とこの基準点から被測定点までの算出された微小
距離とにもとづいてアライメントを行う結果、アライメ
ントにおける誤差を縮小することができる。
イメント方法においては、測定デバイスの座標をセルで
区分された基準座標に変換し、被測定点の座標を上記の
基準座標に変換して上記の被測定点が存在するセルを検
出し、このセルにおける基準点から上記の被測定点まで
の距離を算出して測定デバイスと被測定点との位置合わ
せをすることゝされているので、測定デバイスを駆動す
るモータのパルスカウンタの値で登録されているセルの
基準点とこの基準点から被測定点までの算出された微小
距離とにもとづいてアライメントを行う結果、アライメ
ントにおける誤差を縮小することができる。
【００１５】したがって、本発明は、高集積化された半
導体デバイスのように微小な被測定点の場合でも、精度
の良いアライメントが達成できる、プロービングテスト
におけるアライメント方法を提供することが可能であ
る。
導体デバイスのように微小な被測定点の場合でも、精度
の良いアライメントが達成できる、プロービングテスト
におけるアライメント方法を提供することが可能であ
る。
【図１】本発明の一実施例に係るアライメント方法の説
明図である。
明図である。
Ｘm 、Ｙm 測定デバイスの座標のＸ軸、Ｙ軸 Ｘa 、Ｙa チップの中心を原点とするウェーハ上の
座標のＸ軸、Ｙ軸 Ｘb 、Ｙb 基準座標のＸ軸、Ｙ軸 １ チップ ２ セル ３ チップのスクライブライン θ 傾き角 Ｔ 被測定点 Ｏ セルの基準点
座標のＸ軸、Ｙ軸 Ｘb 、Ｙb 基準座標のＸ軸、Ｙ軸 １ チップ ２ セル ３ チップのスクライブライン θ 傾き角 Ｔ 被測定点 Ｏ セルの基準点
Claims (1)
- 【請求項１】 測定デバイスがもつ座標をセルで区分さ
れた基準座標に変換し、 被測定点がもつ座標を前記基準座標に変換して前記被測
定点が存在するセルを検出し、 該セルにおける基準点から前記被測定点までの距離を算
出して測定デバイスと被測定点との位置合わせを行うこ
とを特徴とするプロービングテストにおけるアライメン
ト方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14387593A JPH075062A (ja) | 1993-06-15 | 1993-06-15 | プロービングテストにおけるアライメント方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14387593A JPH075062A (ja) | 1993-06-15 | 1993-06-15 | プロービングテストにおけるアライメント方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH075062A true JPH075062A (ja) | 1995-01-10 |
Family
ID=15349043
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14387593A Pending JPH075062A (ja) | 1993-06-15 | 1993-06-15 | プロービングテストにおけるアライメント方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH075062A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5808544A (en) * | 1996-02-29 | 1998-09-15 | Denso Corporation | Intrusion detecting apparatus for a vehicle |
| US5856778A (en) * | 1996-02-29 | 1999-01-05 | Denso Corporation | Intrusion detecting apparatus for a vehicle |
-
1993
- 1993-06-15 JP JP14387593A patent/JPH075062A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5808544A (en) * | 1996-02-29 | 1998-09-15 | Denso Corporation | Intrusion detecting apparatus for a vehicle |
| US5856778A (en) * | 1996-02-29 | 1999-01-05 | Denso Corporation | Intrusion detecting apparatus for a vehicle |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20000208 |