JPH075032A - 半導体レーザ評価装置 - Google Patents
半導体レーザ評価装置Info
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- JPH075032A JPH075032A JP5143190A JP14319093A JPH075032A JP H075032 A JPH075032 A JP H075032A JP 5143190 A JP5143190 A JP 5143190A JP 14319093 A JP14319093 A JP 14319093A JP H075032 A JPH075032 A JP H075032A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 半導体レーザの発光点位置ずれと、ビーム角
度ずれの分離しての分析評価を、簡便にかつ同時に、か
つ同じ評価系で実施できるようにする。 【構成】 半導体レーザ１からのレーザ光５を集光レン
ズ１４で集光してその光スポット１８と焦点ｂ１６との
間の距離でもって発光点位置ずれを検出し、反射板２０
で反射させたレーザ反射光２１によりその光強度分布を
光センサ６でもって得る。また、この２つのデータよ
り、ビーム角度ずれθを算出する。さらに、取り付け治
具２に開けた透過孔２２から外部のＨｅ−Ｎｅ等レーザ
光２３を入射し、装置の校正を行う。 【効果】 光強度分布，発光点位置ずれ，ビーム角度ず
れを同時に、かつ簡便に評価でき、装置校正も容易にな
る。
度ずれの分離しての分析評価を、簡便にかつ同時に、か
つ同じ評価系で実施できるようにする。 【構成】 半導体レーザ１からのレーザ光５を集光レン
ズ１４で集光してその光スポット１８と焦点ｂ１６との
間の距離でもって発光点位置ずれを検出し、反射板２０
で反射させたレーザ反射光２１によりその光強度分布を
光センサ６でもって得る。また、この２つのデータよ
り、ビーム角度ずれθを算出する。さらに、取り付け治
具２に開けた透過孔２２から外部のＨｅ−Ｎｅ等レーザ
光２３を入射し、装置の校正を行う。 【効果】 光強度分布，発光点位置ずれ，ビーム角度ず
れを同時に、かつ簡便に評価でき、装置校正も容易にな
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、半導体レーザ評価装
置に関し、特に半導体レーザの外部出射光を分析する評
価装置の構成に関するものである。
置に関し、特に半導体レーザの外部出射光を分析する評
価装置の構成に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図４は、従来の半導体レーザの外部出射
光を評価する半導体レーザ評価装置を示す構成図であ
り、図において、１は半導体レーザ、２はこの半導体レ
ーザ１を取り付ける取り付け治具、３は取り付け治具２
に取り付けた半導体レーザ１の理想光軸、４は半導体レ
ーザ１を駆動するための電源、５は半導体レーザ１から
外部に出射されたレーザ光（拡散空間光）、６はレーザ
光５の光強度を検知する光センサ、７は光センサ６の出
力を処理する光センサデータ処理装置、８は半導体レー
ザ１の理想光軸３上にある基準発光点、ｌは半導体レー
ザ１の基準発光点８から光センサ６までの距離である。
光を評価する半導体レーザ評価装置を示す構成図であ
り、図において、１は半導体レーザ、２はこの半導体レ
ーザ１を取り付ける取り付け治具、３は取り付け治具２
に取り付けた半導体レーザ１の理想光軸、４は半導体レ
ーザ１を駆動するための電源、５は半導体レーザ１から
外部に出射されたレーザ光（拡散空間光）、６はレーザ
光５の光強度を検知する光センサ、７は光センサ６の出
力を処理する光センサデータ処理装置、８は半導体レー
ザ１の理想光軸３上にある基準発光点、ｌは半導体レー
ザ１の基準発光点８から光センサ６までの距離である。
【０００３】図５は、図４の従来の半導体レーザ評価装
置における光センサデータ処理装置７で得られたレーザ
光５の遠視野像を示すものであり、９は光センサ６が基
準発光点８を中心に半径ｌの円弧を描くように移動した
場所の，理想光軸３に対する角度を横軸にとった角度
軸、１０は光センサの出力の大きさを縦軸にとった光セ
ンサ出力軸、１１は光センサ出力の角度軸に対する光強
度分布、１２は該光強度分布１１のピーク点、１３は該
ピーク点１２の光強度の２分の１の強度である半値点で
ある。
置における光センサデータ処理装置７で得られたレーザ
光５の遠視野像を示すものであり、９は光センサ６が基
準発光点８を中心に半径ｌの円弧を描くように移動した
場所の，理想光軸３に対する角度を横軸にとった角度
軸、１０は光センサの出力の大きさを縦軸にとった光セ
ンサ出力軸、１１は光センサ出力の角度軸に対する光強
度分布、１２は該光強度分布１１のピーク点、１３は該
ピーク点１２の光強度の２分の１の強度である半値点で
ある。
【０００４】次に動作について説明する。図４におい
て、取り付け治具２に装着した半導体レーザ１は、駆動
電源４によって駆動され、レーザ光５を出射する。光セ
ンサ６は、半導体レーザ１の基準発光点８を中心に理想
光軸３に対し半径ｌの距離で±６０deg の円弧を描くよ
うに移動可能に設けられており、例えばその１deg 毎に
光センサ６により半導体レーザ１から出射されるレーザ
光の光強度を測定する。測定データは、光センサデータ
処理装置７でデータ処理され、図５に示される光強度分
布１１を得る。図５の光強度分布１１におけるピーク点
１２の光センサ出力を１とし、その光センサ出力の半値
１３である０．５の出力値における光強度分布１１の全
幅を、遠視野像の半値全幅と呼ぶ。この半値全幅の角度
軸９上の，０deg の（−）側の角度幅をＡ、（＋）側の
角度幅をＢとした時、｜（Ｂ−Ａ）／２｜が、レーザ光
５の理想光軸３に対する光軸ずれとして算出される。
て、取り付け治具２に装着した半導体レーザ１は、駆動
電源４によって駆動され、レーザ光５を出射する。光セ
ンサ６は、半導体レーザ１の基準発光点８を中心に理想
光軸３に対し半径ｌの距離で±６０deg の円弧を描くよ
うに移動可能に設けられており、例えばその１deg 毎に
光センサ６により半導体レーザ１から出射されるレーザ
光の光強度を測定する。測定データは、光センサデータ
処理装置７でデータ処理され、図５に示される光強度分
布１１を得る。図５の光強度分布１１におけるピーク点
１２の光センサ出力を１とし、その光センサ出力の半値
１３である０．５の出力値における光強度分布１１の全
幅を、遠視野像の半値全幅と呼ぶ。この半値全幅の角度
軸９上の，０deg の（−）側の角度幅をＡ、（＋）側の
角度幅をＢとした時、｜（Ｂ−Ａ）／２｜が、レーザ光
５の理想光軸３に対する光軸ずれとして算出される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従来の半導体レーザ評
価装置は以上のように構成されているので、レーザ光の
光軸ずれがある場合、該光軸ずれは、レーザ光が理想光
軸に対しある角度をもって、即ちビーム角度ずれをもっ
て出射されているためか、あるいは、発光点が基準発光
点に対し位置ずれをしているためかを、分離して評価す
ることができないという問題点があり、また、理想光軸
に対して光センサの零点を調整することが困難であるな
どの問題点があった。
価装置は以上のように構成されているので、レーザ光の
光軸ずれがある場合、該光軸ずれは、レーザ光が理想光
軸に対しある角度をもって、即ちビーム角度ずれをもっ
て出射されているためか、あるいは、発光点が基準発光
点に対し位置ずれをしているためかを、分離して評価す
ることができないという問題点があり、また、理想光軸
に対して光センサの零点を調整することが困難であるな
どの問題点があった。
【０００６】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、ビーム角度ずれと、発光点位置
ずれとを分けて評価することができるとともに、装置の
調整を簡便に行うことのできる半導体レーザ評価装置を
提供することを目的としている。
ためになされたもので、ビーム角度ずれと、発光点位置
ずれとを分けて評価することができるとともに、装置の
調整を簡便に行うことのできる半導体レーザ評価装置を
提供することを目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この発明に係る半導体レ
ーザ評価装置は、１つの集光レンズの一方の焦点位置に
発光点を定め、他方の焦点位置にＣＣＤ（固体撮像素
子）カメラを設けて、レーザ光を集光レンズで集光した
位置が基準焦点位置からどれだけの距離にあるかでもっ
て発光点位置ずれを検出し、また光路中に１００％未満
の反射率を有する反射板を設けてレーザ光の一部の方向
を変え、これを光強度分布を評価する光センサによって
検出して光軸ずれを検出できるようにしたものである。
ーザ評価装置は、１つの集光レンズの一方の焦点位置に
発光点を定め、他方の焦点位置にＣＣＤ（固体撮像素
子）カメラを設けて、レーザ光を集光レンズで集光した
位置が基準焦点位置からどれだけの距離にあるかでもっ
て発光点位置ずれを検出し、また光路中に１００％未満
の反射率を有する反射板を設けてレーザ光の一部の方向
を変え、これを光強度分布を評価する光センサによって
検出して光軸ずれを検出できるようにしたものである。
【０００８】即ちこの発明は、被評価対象である半導体
レーザを取り付けるための治具と、該半導体レーザから
出射されるレーザ光が通る集光レンズと、該集光レンズ
を通して入射されるレーザ光を検出するＣＣＤカメラと
が、上記半導体レーザの発光点とＣＣＤカメラの中心と
が集光レンズをはさんで集光レンズの中心を通る理想光
軸上の両側の焦点位置に来るように設置されてなり、か
つ半導体レーザと集光レンズとの間に光軸を所要の角度
回転するように１００％未満の反射率を有する反射板を
設け、また、上記反射板によって反射された反射光を検
知する反射光センサを設けてなるものである。
レーザを取り付けるための治具と、該半導体レーザから
出射されるレーザ光が通る集光レンズと、該集光レンズ
を通して入射されるレーザ光を検出するＣＣＤカメラと
が、上記半導体レーザの発光点とＣＣＤカメラの中心と
が集光レンズをはさんで集光レンズの中心を通る理想光
軸上の両側の焦点位置に来るように設置されてなり、か
つ半導体レーザと集光レンズとの間に光軸を所要の角度
回転するように１００％未満の反射率を有する反射板を
設け、また、上記反射板によって反射された反射光を検
知する反射光センサを設けてなるものである。
【０００９】またこの発明は、上記反射板を、上記集光
レンズと上記ＣＣＤカメラとの間に設置したものであ
る。
レンズと上記ＣＣＤカメラとの間に設置したものであ
る。
【００１０】またこの発明は、上記ＣＣＤカメラのデー
タと、上記反射光センサで得られる光強度分布データと
から、上記集光レンズの基準焦点位置からの距離でもっ
て発光点位置ずれを検出し、かつ該発光点の光軸角度ず
れを算出する光軸角度ずれ演算装置を備えてなるもので
ある。
タと、上記反射光センサで得られる光強度分布データと
から、上記集光レンズの基準焦点位置からの距離でもっ
て発光点位置ずれを検出し、かつ該発光点の光軸角度ず
れを算出する光軸角度ずれ演算装置を備えてなるもので
ある。
【００１１】またこの発明は、上記半導体レーザの取付
け治具に、集光レンズの中心を通る理想光軸を中心とし
た透過孔を備え、上記取付け治具の外部からの光を入射
できるようにしたものである。
け治具に、集光レンズの中心を通る理想光軸を中心とし
た透過孔を備え、上記取付け治具の外部からの光を入射
できるようにしたものである。
【００１２】
【作用】この発明における半導体レーザ評価装置は、上
記のような構成としたから、発光点の位置ずれを容易に
検出できるとともに、同時に従来の光強度分布検出によ
る光軸ずれの評価を簡便に行うことができる。
記のような構成としたから、発光点の位置ずれを容易に
検出できるとともに、同時に従来の光強度分布検出によ
る光軸ずれの評価を簡便に行うことができる。
【００１３】また、取付け治具の中央に設けた透過孔を
介して外部よりのレーザ光を、該半導体レーザ評価装置
に入力するようにすることにより、該半導体レーザ評価
装置のメンテナンスを非常に簡便に行うことができる効
果がある。
介して外部よりのレーザ光を、該半導体レーザ評価装置
に入力するようにすることにより、該半導体レーザ評価
装置のメンテナンスを非常に簡便に行うことができる効
果がある。
【００１４】
実施例１．以下、この発明の一実施例を図について説明
する。図１はこの発明の第１の実施例による半導体レー
ザ評価装置を示し、図において、図４と同一符号は同一
または相当部分を示す。また、１４は半導体レーザ１か
らの光を集光する集光レンズ、１５は集光レンズ１４の
一方の焦点ａ、１６は集光レンズ１４の他方の焦点ｂ、
１７は集光レンズ１４よりの光を受けるＣＣＤカメラ、
１８はＣＣＤカメラ１７上の集光されたレーザ光５の光
スポット、１９はＣＣＤカメラ１７の検出データを処理
するＣＣＤデータ処理装置である。
する。図１はこの発明の第１の実施例による半導体レー
ザ評価装置を示し、図において、図４と同一符号は同一
または相当部分を示す。また、１４は半導体レーザ１か
らの光を集光する集光レンズ、１５は集光レンズ１４の
一方の焦点ａ、１６は集光レンズ１４の他方の焦点ｂ、
１７は集光レンズ１４よりの光を受けるＣＣＤカメラ、
１８はＣＣＤカメラ１７上の集光されたレーザ光５の光
スポット、１９はＣＣＤカメラ１７の検出データを処理
するＣＣＤデータ処理装置である。
【００１５】また、２０は１００％未満の反射率を有す
る反射板であり、これは半導体レーザ１と集光レンズ１
４との間に配置されている。２１は反射板２０で反射し
たレーザ反射光、ｌ1 は上記集光レンズ１４の一方の焦
点ａから、上記理想光軸３と反射板２０の交点ｃまでの
距離、ｌ2 は上記理想光軸３と反射板２０の交点ｃから
光センサ６が描く円弧までの距離である。
る反射板であり、これは半導体レーザ１と集光レンズ１
４との間に配置されている。２１は反射板２０で反射し
たレーザ反射光、ｌ1 は上記集光レンズ１４の一方の焦
点ａから、上記理想光軸３と反射板２０の交点ｃまでの
距離、ｌ2 は上記理想光軸３と反射板２０の交点ｃから
光センサ６が描く円弧までの距離である。
【００１６】また、図２はＣＣＤカメラ１７のカメラ面
を示す図であるが、上記光スポット１８と上記焦点ｂ
（１６）との間の距離をΔ、該両点１８，１６間を結ぶ
線Ｌがｘ−ｘ′軸となす角をθとする。
を示す図であるが、上記光スポット１８と上記焦点ｂ
（１６）との間の距離をΔ、該両点１８，１６間を結ぶ
線Ｌがｘ−ｘ′軸となす角をθとする。
【００１７】次に本実施例１の動作について説明する。
取付け治具２に装着した半導体レーザ１は、駆動電源４
によって駆動され、レーザ光５を出射する。該レーザ光
５は集光レンズ１４で集光され、ＣＣＤカメラ１７のカ
メラ面上にて光スポット１８を生ずることとなる。該光
スポット１８は、ＣＣＤカメラ１７上の焦点ｂ（１６）
との間の距離をＣＣＤデータ処理装置１９で検出され、
この距離が発光点位置ずれΔとして判断される。
取付け治具２に装着した半導体レーザ１は、駆動電源４
によって駆動され、レーザ光５を出射する。該レーザ光
５は集光レンズ１４で集光され、ＣＣＤカメラ１７のカ
メラ面上にて光スポット１８を生ずることとなる。該光
スポット１８は、ＣＣＤカメラ１７上の焦点ｂ（１６）
との間の距離をＣＣＤデータ処理装置１９で検出され、
この距離が発光点位置ずれΔとして判断される。
【００１８】また、上記レーザ光５は反射板２０で反射
され、レーザ反射光２１として取り出される。このレー
ザ反射光２１は、上記焦点ａ（１５）から反射板２０ま
でのレーザ光５を、該反射板２０の表面を対称軸として
該表面の図１中上側に９０°回転させたときの上記焦点
ａが位置する点，を中心として、（ｌ1 ＋ｌ2 ）を半径
とする円弧を描くような位置に取り付けた光センサ６に
入射し、光センサデータ処理装置７でその光強度分布を
得ることができる。
され、レーザ反射光２１として取り出される。このレー
ザ反射光２１は、上記焦点ａ（１５）から反射板２０ま
でのレーザ光５を、該反射板２０の表面を対称軸として
該表面の図１中上側に９０°回転させたときの上記焦点
ａが位置する点，を中心として、（ｌ1 ＋ｌ2 ）を半径
とする円弧を描くような位置に取り付けた光センサ６に
入射し、光センサデータ処理装置７でその光強度分布を
得ることができる。
【００１９】このような本実施例１の半導体レーザ評価
装置では、１つの集光レンズ１４の一方の焦点位置１５
に発光点を定め、他方の焦点位置１６にＣＣＤカメラ１
７を設けて、レーザ光５を集光レンズ１７で集光した光
スポット１８の位置の，基準焦点位置１６からの距離で
もって発光点位置ずれを検出し、かつこれとともに、光
路中に１００％未満の反射率を有する反射板２０を設け
てレーザ光の一部の方向を変え、該レーザ光の光強度分
布を光センサ６によって検出，評価することによって光
軸ずれを検出するようにしたので、発光点位置ずれの検
出と、従来の光強度分布検出による光軸ずれの評価とを
簡便に行うことができる。
装置では、１つの集光レンズ１４の一方の焦点位置１５
に発光点を定め、他方の焦点位置１６にＣＣＤカメラ１
７を設けて、レーザ光５を集光レンズ１７で集光した光
スポット１８の位置の，基準焦点位置１６からの距離で
もって発光点位置ずれを検出し、かつこれとともに、光
路中に１００％未満の反射率を有する反射板２０を設け
てレーザ光の一部の方向を変え、該レーザ光の光強度分
布を光センサ６によって検出，評価することによって光
軸ずれを検出するようにしたので、発光点位置ずれの検
出と、従来の光強度分布検出による光軸ずれの評価とを
簡便に行うことができる。
【００２０】実施例２．上記実施例１では、反射板２０
を半導体レーザ１と集光レンズ１４との間に設けるよう
にしたが、この反射板は、図示はしていないが、集光レ
ンズ１４とＣＣＤカメラ１７との間に設けるようにして
もよく、上記と同様の効果を奏する。
を半導体レーザ１と集光レンズ１４との間に設けるよう
にしたが、この反射板は、図示はしていないが、集光レ
ンズ１４とＣＣＤカメラ１７との間に設けるようにして
もよく、上記と同様の効果を奏する。
【００２１】実施例３．本発明の第３の実施例は、上記
実施例１のＣＣＤデータ処理装置１９で得た発光点の位
置ずれの値を、光センサデータ処理装置７による光強度
分布検出データにフィードバックするようにしたもの
で、これにより、例えば図２の直線Ｌで示される上記発
光点位置ずれのｘ−ｘ′軸方向よりのビーム角度ずれθ
を、図５の｜（Ｂ−Ａ）／２｜で得た光軸ずれから、
実施例１のＣＣＤデータ処理装置１９で得た発光点の位
置ずれの値を、光センサデータ処理装置７による光強度
分布検出データにフィードバックするようにしたもの
で、これにより、例えば図２の直線Ｌで示される上記発
光点位置ずれのｘ−ｘ′軸方向よりのビーム角度ずれθ
を、図５の｜（Ｂ−Ａ）／２｜で得た光軸ずれから、
【００２２】
【数１】
【００２３】として得ることができる。
【００２４】このような本実施例３では、ＣＣＤデータ
処理装置１９で得た発光点位置ずれの値より、ビーム角
度ずれθをも得ることができる効果がある。
処理装置１９で得た発光点位置ずれの値より、ビーム角
度ずれθをも得ることができる効果がある。
【００２５】実施例４．図３は本発明の第４の実施例に
よる半導体レーザ評価装置を示す。図３に示す本実施例
４においては、上記実施例１の半導体レーザ評価装置に
対し、その集光レンズ１４，ＣＣＤカメラ１７，取り付
け治具２，光センサ６，反射板２０の光学的な位置合わ
せをするために、半導体レーザ２を取りつける取付け治
具２の中央に透過孔２２を開け、この透過孔２２を介し
て外部のＨｅ−Ｎｅレーザ光２３等を、該半導体レーザ
評価装置に入力するようにしたものである。
よる半導体レーザ評価装置を示す。図３に示す本実施例
４においては、上記実施例１の半導体レーザ評価装置に
対し、その集光レンズ１４，ＣＣＤカメラ１７，取り付
け治具２，光センサ６，反射板２０の光学的な位置合わ
せをするために、半導体レーザ２を取りつける取付け治
具２の中央に透過孔２２を開け、この透過孔２２を介し
て外部のＨｅ−Ｎｅレーザ光２３等を、該半導体レーザ
評価装置に入力するようにしたものである。
【００２６】このような本実施例４では、このようにす
ることにより、該半導体レーザ評価装置のメンテナンス
を非常に簡便に行うことができる効果がある。
ることにより、該半導体レーザ評価装置のメンテナンス
を非常に簡便に行うことができる効果がある。
【００２７】
【発明の効果】以上のようにこの発明にかかる半導体レ
ーザ評価装置によれば、１つの集光レンズの一方の焦点
位置に発光点を定め、他方の焦点位置にＣＣＤカメラを
設けて、レーザ光を集光レンズで集光した位置と、基準
焦点位置との間の距離により、発光点位置ずれを検出
し、かつ、光路中に１００％未満の反射率を有する反射
板を設けることによりレーザ光の一部の方向を変え、こ
れを光強度分布を評価する光センサによって検出して光
軸ずれを検出するようにしたので、発光点の位置ずれを
光強度分布の検出と同時に評価することができる効果が
ある。
ーザ評価装置によれば、１つの集光レンズの一方の焦点
位置に発光点を定め、他方の焦点位置にＣＣＤカメラを
設けて、レーザ光を集光レンズで集光した位置と、基準
焦点位置との間の距離により、発光点位置ずれを検出
し、かつ、光路中に１００％未満の反射率を有する反射
板を設けることによりレーザ光の一部の方向を変え、こ
れを光強度分布を評価する光センサによって検出して光
軸ずれを検出するようにしたので、発光点の位置ずれを
光強度分布の検出と同時に評価することができる効果が
ある。
【００２８】またこの発明によれば、上記集光レンズの
基準焦点位置からの距離で発光点位置ずれを検出すると
ともに、ＣＣＤカメラからのデータと、上記反射光セン
サで得られる光強度分布データとから、該発光点の光軸
角度ずれを算出することにより、上記２つのデータから
ビーム角度ずれをも算出することができる効果がある。
基準焦点位置からの距離で発光点位置ずれを検出すると
ともに、ＣＣＤカメラからのデータと、上記反射光セン
サで得られる光強度分布データとから、該発光点の光軸
角度ずれを算出することにより、上記２つのデータから
ビーム角度ずれをも算出することができる効果がある。
【００２９】また、半導体レーザを取りつける取付け治
具の中央に透過孔を開け、この透過孔を介して外部より
のレーザ光を、該半導体レーザ評価装置に入力するよう
にすることにより、該半導体レーザ評価装置のメンテナ
ンスを非常に簡便に行うことができる効果がある。
具の中央に透過孔を開け、この透過孔を介して外部より
のレーザ光を、該半導体レーザ評価装置に入力するよう
にすることにより、該半導体レーザ評価装置のメンテナ
ンスを非常に簡便に行うことができる効果がある。
【図１】この発明の第１の実施例による半導体レーザ評
価装置を示す構成図。
価装置を示す構成図。
【図２】図１のこの発明の第１の実施例のＣＣＤカメラ
部を示す図。
部を示す図。
【図３】この発明の第２の実施例による半導体レーザ評
価装置を示す校正図。
価装置を示す校正図。
【図４】従来の半導体レーザ評価装置を示す構成図。
【図５】半導体レーザの光強度分布を示す図。
１ 半導体レーザ ２ 取り付け治具 ３ 理想光軸 ５ レーザ光 ６ 光センサ ７ 光センサデータ処理装置 ８ 基準発光点 １４ 集光レンズ １５ 集光レンズ１４の一方の焦点ａ １６ 集光レンズ１４の他方の焦点ｂ １７ ＣＣＤカメラ １８ 光スポット １９ ＣＣＤデータ処理装置 ２０ 反射板 ２１ レーザ反射光 ２２ 透過孔 ２３ Ｈｅ−Ｎｅレーザ光
Claims (4)
- 【請求項１】 半導体レーザ評価装置において、 被評価対象である半導体レーザを取り付けるための治具
と、該半導体レーザから出射されるレーザ光が通る集光
レンズと、該集光レンズを通して入射されるレーザ光を
検出するＣＣＤカメラとは、上記半導体レーザの発光点
と上記ＣＣＤカメラの中心とが、上記集光レンズをはさ
んで集光レンズの中心を通る理想光軸上の両側の焦点位
置に来るように設置されてなり、かつ、 上記半導体レーザと上記集光レンズとの間に、これによ
り反射される光の光軸がこれに入射する光の光軸に対し
所要の角度回転するよう設けられた１００％未満の反射
率を有する反射板と、 上記反射板によって反射された反射光を検知する反射光
センサと、 上記集光レンズで集光した光の位置のその基準焦点位置
からの距離として発光点位置ずれを検出するＣＣＤデー
タ処理手段と、 上記反射光センサによる光検知出力より光強度分布デー
タを得る光センサデータ処理手段とを備えたことを特徴
とする半導体レーザ評価装置。 - 【請求項２】 請求項１の半導体レーザ評価装置におい
て、 上記反射板を、上記集光レンズと上記ＣＣＤカメラとの
間に設置したことを特徴とする半導体レーザ評価装置。 - 【請求項３】 請求項１記載の半導体レーザ評価装置に
おいて、 上記ＣＣＤデータ処理手段の出力を、上記光センサデー
タ処理手段に入力することにより、上記ＣＣＤカメラの
データと、上記光センサによる光強度分布データとか
ら、該発光点の光軸角度ずれを算出するようにしたこと
を特徴とする半導体レーザ評価装置。 - 【請求項４】 請求項１ないし３のいずれかに記載の半
導体レーザ評価装置において、 上記半導体レーザの取付け治具は、上記集光レンズの中
心を通る理想光軸を中心とする透過孔を備え、 上記取付け治具の外部からの光を該半導体レーザ評価装
置に入射することができることを特徴とする半導体レー
ザ評価装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5143190A JPH075032A (ja) | 1993-06-15 | 1993-06-15 | 半導体レーザ評価装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5143190A JPH075032A (ja) | 1993-06-15 | 1993-06-15 | 半導体レーザ評価装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH075032A true JPH075032A (ja) | 1995-01-10 |
Family
ID=15332971
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5143190A Pending JPH075032A (ja) | 1993-06-15 | 1993-06-15 | 半導体レーザ評価装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH075032A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0762092A2 (en) * | 1995-08-22 | 1997-03-12 | Hamamatsu Photonics K.K. | Optical source position adjustment device |
| EP1220394A2 (en) * | 2000-12-15 | 2002-07-03 | Corning Incorporated | Laser bar tester |
| CN102445280A (zh) * | 2011-10-18 | 2012-05-09 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种用于小孔标定的检测装置及方法 |
| JP2015034789A (ja) * | 2013-08-09 | 2015-02-19 | 日本放送協会 | 光線射出方向算出装置および光線射出方向算出方法 |
-
1993
- 1993-06-15 JP JP5143190A patent/JPH075032A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0762092A2 (en) * | 1995-08-22 | 1997-03-12 | Hamamatsu Photonics K.K. | Optical source position adjustment device |
| EP0762092A3 (en) * | 1995-08-22 | 1997-09-10 | Hamamatsu Photonics Kk | Positioning device for an optical source |
| US5700084A (en) * | 1995-08-22 | 1997-12-23 | Hamamatsu Photonics K.K. | Optical source position adjustment device |
| EP1220394A2 (en) * | 2000-12-15 | 2002-07-03 | Corning Incorporated | Laser bar tester |
| EP1220394A3 (en) * | 2000-12-15 | 2004-09-22 | Corning Incorporated | Laser bar tester |
| CN102445280A (zh) * | 2011-10-18 | 2012-05-09 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种用于小孔标定的检测装置及方法 |
| JP2015034789A (ja) * | 2013-08-09 | 2015-02-19 | 日本放送協会 | 光線射出方向算出装置および光線射出方向算出方法 |
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