JPH0747750Y2 - 電子ビームテストシステム - Google Patents
電子ビームテストシステムInfo
- Publication number
- JPH0747750Y2 JPH0747750Y2 JP1988076467U JP7646788U JPH0747750Y2 JP H0747750 Y2 JPH0747750 Y2 JP H0747750Y2 JP 1988076467 U JP1988076467 U JP 1988076467U JP 7646788 U JP7646788 U JP 7646788U JP H0747750 Y2 JPH0747750 Y2 JP H0747750Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron beam
- tester
- trigger signal
- supplied
- under test
- Prior art date
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Description
【考案の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 この考案はICテスタからテスト信号を被試験IC素子へ供
給すると共にICテスタからトリガ信号を電子ビームテス
タへ供給してパルス電子ビームを被試験IC素子に照射
し、その二次電子を測定する電子ビームテストシステム
に関する。
給すると共にICテスタからトリガ信号を電子ビームテス
タへ供給してパルス電子ビームを被試験IC素子に照射
し、その二次電子を測定する電子ビームテストシステム
に関する。
「従来の技術」 従来の電子ビームテストシステムを第３図に示す。ICテ
スタ11内のタイミング発生器12からのタイミング信号は
マルチプレクサ13で選択されて波形ホーマッタ14へ供給
される。パターン発生器15からのテストパターンが波形
ホーマッタ14へ供給され、所定の波形に整形され、テス
ト信号としてドライバ16を通じて被試験IC素子17へ供給
される。
スタ11内のタイミング発生器12からのタイミング信号は
マルチプレクサ13で選択されて波形ホーマッタ14へ供給
される。パターン発生器15からのテストパターンが波形
ホーマッタ14へ供給され、所定の波形に整形され、テス
ト信号としてドライバ16を通じて被試験IC素子17へ供給
される。
一方パターン発生器15からトリガ信号が発生され、この
トリガ信号は電子ビームテスタ18内の同期式発振器19へ
供給され、この同期式発振器19が同期発振し、その出力
はプリデレイ回路21へ供給されて設定された遅延を受
け、ファインデレイ回路22で微細な遅延を受けて、パル
ス発生器23へ供給される。パルス発生器23よりのパルス
はビームブランカ24へ供給され、電子銃25からの電子ビ
ームがパルス状に被試験IC素子17へ照射される。被試験
IC素子17からの二次電子が二次電子検出器26で検出され
る。
トリガ信号は電子ビームテスタ18内の同期式発振器19へ
供給され、この同期式発振器19が同期発振し、その出力
はプリデレイ回路21へ供給されて設定された遅延を受
け、ファインデレイ回路22で微細な遅延を受けて、パル
ス発生器23へ供給される。パルス発生器23よりのパルス
はビームブランカ24へ供給され、電子銃25からの電子ビ
ームがパルス状に被試験IC素子17へ照射される。被試験
IC素子17からの二次電子が二次電子検出器26で検出され
る。
被試験IC素子17へ電子ビームを照射するタイミングの決
定は従来においてプリデレイ回路21とファインデレイ回
路22とで行っていた。プリデレイ回路21での遅延は、第
４図Ａに示すトリガ信号により同期式発振器19が同期発
振をして、第４図Ｂに示すクロックを発生し、そのクロ
ックをプリデレイ回路21で設定した数だけ計数すること
により、第４図Ｃに示す遅延出力を得ている。この出力
が線形回路のファインデレイ回路22で第４図Ｄに示すよ
うに遅延される。プリデイレ回路21での遅延分解能は８
ナノ秒であり、ファインデレイ回路22では最高10ピコ秒
の分解能とされている。
定は従来においてプリデレイ回路21とファインデレイ回
路22とで行っていた。プリデレイ回路21での遅延は、第
４図Ａに示すトリガ信号により同期式発振器19が同期発
振をして、第４図Ｂに示すクロックを発生し、そのクロ
ックをプリデレイ回路21で設定した数だけ計数すること
により、第４図Ｃに示す遅延出力を得ている。この出力
が線形回路のファインデレイ回路22で第４図Ｄに示すよ
うに遅延される。プリデイレ回路21での遅延分解能は８
ナノ秒であり、ファインデレイ回路22では最高10ピコ秒
の分解能とされている。
しかし同期式発振器19は通常発振周波数の安定度が良く
ない。このためこの発振器19の出力クロックを計数して
プリデレイ回路21で遅延を行った場合、充分な高時間分
解能で測定が行えない。この傾向は、トリガ信号の位相
制御量（遅延量）が増える程、発振器出力クロックのジ
ッタ量が積算されて顕著になる。
ない。このためこの発振器19の出力クロックを計数して
プリデレイ回路21で遅延を行った場合、充分な高時間分
解能で測定が行えない。この傾向は、トリガ信号の位相
制御量（遅延量）が増える程、発振器出力クロックのジ
ッタ量が積算されて顕著になる。
「課題を解決するための手段」 この第１の考案によれば、ICテスタ内の被試験IC素子の
出力と期待値との比較タイミングを決めるストローブ信
号より作られた可変遅延パルスと、ICテスタからのトリ
ガ信号とからその可変遅延パルスのタイミングで決まる
新たなトタガ信号を作って、電子ビームテスタ内のファ
インデレイ回路へ供給する可変トリガ信号発生回路が設
けられる。
出力と期待値との比較タイミングを決めるストローブ信
号より作られた可変遅延パルスと、ICテスタからのトリ
ガ信号とからその可変遅延パルスのタイミングで決まる
新たなトタガ信号を作って、電子ビームテスタ内のファ
インデレイ回路へ供給する可変トリガ信号発生回路が設
けられる。
またこの第２の考案によれば、ICテスタ内の被試験IC素
子の出力と期待値との比較タイミングを決めるストロー
ブ信号より作られた可変遅延パルスと、ICテスタからの
トリガ信号とからその可変遅延パルスのタイミングで決
まる新たなトタガ信号を作って、電子ビームテスタ内の
同期式発振器へ供給する可変トリガ信号発生回路が設け
られる。
子の出力と期待値との比較タイミングを決めるストロー
ブ信号より作られた可変遅延パルスと、ICテスタからの
トリガ信号とからその可変遅延パルスのタイミングで決
まる新たなトタガ信号を作って、電子ビームテスタ内の
同期式発振器へ供給する可変トリガ信号発生回路が設け
られる。
「実施例」 第１図はこの考案の実施例を示し、第３図と対応する部
分には同一符号を付けてある。この考案においてはパタ
ーン発生器15からのトリガ信号と、タイミング発生器12
からの可変遅延パルスとが可変トリガ信号発生回路31が
供給され、その可変遅延パルスでトリガ信号が打ち抜か
れる。つまり可変トリガ信号発生回路31はAND回路で構
成される。この可変トリガ信号発生回路31の出力はファ
インデレイ回路22へ供給される。
分には同一符号を付けてある。この考案においてはパタ
ーン発生器15からのトリガ信号と、タイミング発生器12
からの可変遅延パルスとが可変トリガ信号発生回路31が
供給され、その可変遅延パルスでトリガ信号が打ち抜か
れる。つまり可変トリガ信号発生回路31はAND回路で構
成される。この可変トリガ信号発生回路31の出力はファ
インデレイ回路22へ供給される。
タイミング発生器12から供給される可変遅延パルスは、
被試験IC素子17の出力が供給されるコンパレータに対す
るストローブ信号が用いられる。このストローブ信号は
例えば125ピコ秒程度の分解能で位相制御が可能であ
り、しかもその精度が著しく高い。電子ビームテストシ
ステムにおいては被試験IC素子17の出力をコンパレータ
で見ることは行っていないから、前記ストローブ信号は
不要なものとなっており、これが可変遅延パルスとして
可変トリガ信号発生回路31へ供給される。
被試験IC素子17の出力が供給されるコンパレータに対す
るストローブ信号が用いられる。このストローブ信号は
例えば125ピコ秒程度の分解能で位相制御が可能であ
り、しかもその精度が著しく高い。電子ビームテストシ
ステムにおいては被試験IC素子17の出力をコンパレータ
で見ることは行っていないから、前記ストローブ信号は
不要なものとなっており、これが可変遅延パルスとして
可変トリガ信号発生回路31へ供給される。
第２図に示すように可変トリガ信号発生回路31の出力を
同期式発振器19へ供給し、その発振クロックをプリデレ
イ回路21へ供給してもよい。高い精度の位相制御をした
い場合は、ブリデレイ回路21の遅延をゼロとし、可変ト
リガ信号発生回路31へ供給する可変遅延パルスの位相を
制御すればよい。プリデレイ回路21による遅延は使い易
いので、高い位相制御が要求されない場合に用いる。可
変トリガ発生回路31による位相制御と、プリデレイ回路
21による位相制御とを併用すれば、プリデレイ回路21に
よる位相制御量が少なくて済み、それだけ精度の低下も
少ない。
同期式発振器19へ供給し、その発振クロックをプリデレ
イ回路21へ供給してもよい。高い精度の位相制御をした
い場合は、ブリデレイ回路21の遅延をゼロとし、可変ト
リガ信号発生回路31へ供給する可変遅延パルスの位相を
制御すればよい。プリデレイ回路21による遅延は使い易
いので、高い位相制御が要求されない場合に用いる。可
変トリガ発生回路31による位相制御と、プリデレイ回路
21による位相制御とを併用すれば、プリデレイ回路21に
よる位相制御量が少なくて済み、それだけ精度の低下も
少ない。
「考案の効果」 以上述べたようにこの考案によればICテスタで得られて
いる高い精度の可変遅延パルスを用い、そのタイミング
で決まるトリガ信号を作っているため高い精度で位相制
御されたトリガ信号を得ることができ、高時間分解能測
定が可能となる。
いる高い精度の可変遅延パルスを用い、そのタイミング
で決まるトリガ信号を作っているため高い精度で位相制
御されたトリガ信号を得ることができ、高時間分解能測
定が可能となる。
第１図はこの考案による電子ビームテストシステムの一
例を示すブロック図、第２図はその変形例の一部を示す
ブロック図、第３図は従来の電子ビームテストシステム
を示すブロック図、第４図は第３図の動作を説明するた
めのタイムチャートである。
例を示すブロック図、第２図はその変形例の一部を示す
ブロック図、第３図は従来の電子ビームテストシステム
を示すブロック図、第４図は第３図の動作を説明するた
めのタイムチャートである。
Claims (2)
- 【請求項１】ICテスタからのテスト信号を被試験IC素子
へ供給し、上記ICテスタからのトリガ信号を電子ビーム
テスタへ供給してパルス電子ビームを上記被試験IC素子
に照射し、その二次電子を測定する電子ビームテストシ
ステムにおいて、 上記ICテスタ内の被試験IC素子の出力と期待値との比較
タイミングを決めるストローブ信号より作られた可変遅
延パルスと上記トリガ信号とからその可変遅延パルスの
タイミングで決まる新たなトリガ信号を作って上記電子
ビームテスタ内のファインデレイ回路へ供給する可変ト
リガ信号発生回路を設けたことを特徴とする電子ビーム
テストシステム。 - 【請求項２】ICテスタからのテスト信号を被試験IC素子
へ供給し、上記ICテスタからのトリガ信号を電子ビーム
テスタ内の同期式発振器へ供給し、その同期式発振器の
発振クロックを、プリデレイ回路で設定した数だけ計数
して遅延し、その遅延クロックをファインデレイ回路へ
供給してパルス電子ビームを上記被試験IC素子に照射
し、その二次電子を測定する電子ビームテストシステム
において、 上記ICテスタ内の被試験IC素子の出力と期待値との比較
タイミングを決めるストローブ信号より作られた可変遅
延パルスと上記トリガ信号とからその可変遅延パルスの
タイミングで決まる新たなトリガ信号を作って上記電子
ビームテスタ内の上記同期式発振器へ供給する可変トリ
ガ信号発生回路を設けたことを特徴とする電子ビームテ
ストシステム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988076467U JPH0747750Y2 (ja) | 1988-06-08 | 1988-06-08 | 電子ビームテストシステム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988076467U JPH0747750Y2 (ja) | 1988-06-08 | 1988-06-08 | 電子ビームテストシステム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01179290U JPH01179290U (ja) | 1989-12-22 |
| JPH0747750Y2 true JPH0747750Y2 (ja) | 1995-11-01 |
Family
ID=31301492
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988076467U Expired - Lifetime JPH0747750Y2 (ja) | 1988-06-08 | 1988-06-08 | 電子ビームテストシステム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0747750Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2552185Y2 (ja) * | 1990-05-30 | 1997-10-27 | 株式会社アドバンテスト | Ｉｃ試験装置 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH073775B2 (ja) * | 1986-03-20 | 1995-01-18 | 富士通株式会社 | ストロボ電子ビ−ム装置 |
-
1988
- 1988-06-08 JP JP1988076467U patent/JPH0747750Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01179290U (ja) | 1989-12-22 |
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