JPH0743411B2 - 集積回路の試験装置 - Google Patents
集積回路の試験装置Info
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- JPH0743411B2 JPH0743411B2 JP59217006A JP21700684A JPH0743411B2 JP H0743411 B2 JPH0743411 B2 JP H0743411B2 JP 59217006 A JP59217006 A JP 59217006A JP 21700684 A JP21700684 A JP 21700684A JP H0743411 B2 JPH0743411 B2 JP H0743411B2
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- measurement
- selection switch
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/001—Measuring interference from external sources to, or emission from, the device under test, e.g. EMC, EMI, EMP or ESD testing
- G01R31/002—Measuring interference from external sources to, or emission from, the device under test, e.g. EMC, EMI, EMP or ESD testing where the device under test is an electronic circuit
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （イ）産業上の利用分野 本発明は集積回路（以下ICと称す）の試験装置、より具
体的には、静電気放電などのサージ電圧に対するICの耐
力を測定するための試験装置に関する。
体的には、静電気放電などのサージ電圧に対するICの耐
力を測定するための試験装置に関する。
（ロ）従来の技術 従来より、IC静電気放電試験としては、各種規格（MIL-
STD-883C、MIL-STD-1686、MIL-M-38510、BS、EIAJ-IC-1
21）にもあるように、第２図に示すコンデンサ充電法が
採用されている。即ち、第２図の構成は、抵抗（１）を
介してコンデンサ（２）に充電した電荷を充放電スイッ
チ（３）を切換えることにより、抵抗（1a）を通して放
電し、IC（４）の所定の端子間にサージ電圧を加えるも
のである。
STD-883C、MIL-STD-1686、MIL-M-38510、BS、EIAJ-IC-1
21）にもあるように、第２図に示すコンデンサ充電法が
採用されている。即ち、第２図の構成は、抵抗（１）を
介してコンデンサ（２）に充電した電荷を充放電スイッ
チ（３）を切換えることにより、抵抗（1a）を通して放
電し、IC（４）の所定の端子間にサージ電圧を加えるも
のである。
この様なICの静電気放電試験装置は、最近一部メーカよ
り市販されているが、それは、サージ電圧印加機能しか
有しておらず、斯るサージ電圧印加後のICの良否判定は
別途行なわねばならない。しかも、サージ電圧発生部と
ICとの間の電気的な接続は手動であり、IC端子の接続を
種々組合わせて試験を行なうことは非常に時間がかか
る。従って、従来、ICの静電気放電試験を行なう場合、
サージ電圧の印加、動作チェックを手動でくり返し行な
うことになり、それは極めて繁雑である。
り市販されているが、それは、サージ電圧印加機能しか
有しておらず、斯るサージ電圧印加後のICの良否判定は
別途行なわねばならない。しかも、サージ電圧発生部と
ICとの間の電気的な接続は手動であり、IC端子の接続を
種々組合わせて試験を行なうことは非常に時間がかか
る。従って、従来、ICの静電気放電試験を行なう場合、
サージ電圧の印加、動作チェックを手動でくり返し行な
うことになり、それは極めて繁雑である。
そこで、サージ電圧印加後のICの良否判定のために、半
導体用カーブトレーサを用いてIC端子間の電圧電流特性
を測定する簡易法が採用されている。しかし、この方法
の欠点は、IC端子間の電圧電流特性がICの標準的な試験
項目ではないために、ダイオード用のカーブトレーサし
か使えず、ICの各端子とカーブトレーサとの順次切換作
業が大変である。また電圧電流特性測定時、電流値を１
μＡ〜1mAまで広範囲にチェックする必要があるが、そ
の様な多数回の測定及び良否判定作業も実用的でない。
導体用カーブトレーサを用いてIC端子間の電圧電流特性
を測定する簡易法が採用されている。しかし、この方法
の欠点は、IC端子間の電圧電流特性がICの標準的な試験
項目ではないために、ダイオード用のカーブトレーサし
か使えず、ICの各端子とカーブトレーサとの順次切換作
業が大変である。また電圧電流特性測定時、電流値を１
μＡ〜1mAまで広範囲にチェックする必要があるが、そ
の様な多数回の測定及び良否判定作業も実用的でない。
（ハ）発明が解決しようとする問題点 本発明はサージ電圧の印加、電圧電流特性の測定及びIC
の良否判定を自動的に行なえる新規な試験装置を提供す
るものである。
の良否判定を自動的に行なえる新規な試験装置を提供す
るものである。
（ニ）問題点を解決するための手段 本発明のIC試験装置は、ICの各外部端子に対応して配置
された端子選択スイッチ群、サージ電圧印加部、該印加
部におけるサージ電圧値を設定するサージ電圧設定部、
電圧電流特性測定部、測定選択スイッチ、制御部を備
え、該制御部は、上記サージ電圧設定部に設定サージ電
圧値を指示する操作、上記電圧電流特性測定部に測定条
件を指示する操作、上記端子選択スイッチ群の所定の選
択スイッチをオンさせる操作、上記端子選択スイッチ群
を上記サージ電圧印加部に接続した後、上記電圧電流特
性測定部に接続するべく上記測定選択スイッチを切換え
る操作、及び上記電圧電流特性測定部により測定結果を
判定する操作を含むことを特徴とする。
された端子選択スイッチ群、サージ電圧印加部、該印加
部におけるサージ電圧値を設定するサージ電圧設定部、
電圧電流特性測定部、測定選択スイッチ、制御部を備
え、該制御部は、上記サージ電圧設定部に設定サージ電
圧値を指示する操作、上記電圧電流特性測定部に測定条
件を指示する操作、上記端子選択スイッチ群の所定の選
択スイッチをオンさせる操作、上記端子選択スイッチ群
を上記サージ電圧印加部に接続した後、上記電圧電流特
性測定部に接続するべく上記測定選択スイッチを切換え
る操作、及び上記電圧電流特性測定部により測定結果を
判定する操作を含むことを特徴とする。
（ホ）作用 本発明は、IC端子への静電気等によるサージ電圧印加に
よってIC内部のＰ−Ｎ接合破壊や酸化膜絶縁破壊が起つ
た場合、IC端子間のＶ−Ｉ特性に必ず変化が現われるこ
とを利用するもので、本発明によれば、制御部による一
連の操作により、サージ電圧印加、電圧電流特性の測定
及びICの良否判定が自動的になされ、かつそのためのIC
端子切換えも自動的に行われる。
よってIC内部のＰ−Ｎ接合破壊や酸化膜絶縁破壊が起つ
た場合、IC端子間のＶ−Ｉ特性に必ず変化が現われるこ
とを利用するもので、本発明によれば、制御部による一
連の操作により、サージ電圧印加、電圧電流特性の測定
及びICの良否判定が自動的になされ、かつそのためのIC
端子切換えも自動的に行われる。
（ヘ）実施例 第１図に本発明の実施例を示す。試料となるサンプルIC
はソケット（10）に差込まれる。該ソケットに接続され
た端子選択スイッチ群（11）は、ICの各外部端子、即ち
ソケットの各端子に対応して各一対ずつ第１、第２スイ
ッチ（STA）（STB）を有している。
はソケット（10）に差込まれる。該ソケットに接続され
た端子選択スイッチ群（11）は、ICの各外部端子、即ち
ソケットの各端子に対応して各一対ずつ第１、第２スイ
ッチ（STA）（STB）を有している。
マイクロプロセッサ等からなる制御部（12）は、試験の
手順を指示するプログラムを記憶しており、このプログ
ラムに従って、サージ電圧印加、電圧電流特性の測定及
び良否判定を実行する。試験条件、例えば、サージ電圧
印加の大きさ、ICの被測定端子番号、電圧極性、電圧電
流特性の測定のための供給電流値、良否判定基準等のデ
ータはキーボード（13）から入力される。
手順を指示するプログラムを記憶しており、このプログ
ラムに従って、サージ電圧印加、電圧電流特性の測定及
び良否判定を実行する。試験条件、例えば、サージ電圧
印加の大きさ、ICの被測定端子番号、電圧極性、電圧電
流特性の測定のための供給電流値、良否判定基準等のデ
ータはキーボード（13）から入力される。
制御部（12）は、まず入力データに基いて端子選択スイ
ッチ群（11）の所定のスイッチのみをオンさせる。例え
ば、第１端子と第42端子とが被試験端子として指定され
ているとすると、第１端子に対応する第１スイッチ（ST
A）と第42端子に対応する第２スイッチ（STB）のみがオ
ンに設定される。制御部（12）は、更に測定選択スイッ
チ（14）及びサージ電圧印加部（15）の充放電スイッチ
（16）を共に接点ａ側にセットすると共に、入力された
電圧極性データに基いて極性スイッチ（17）を適宜の極
性にセットする。尚、斯る電圧極性データは、任意の極
性のものでよい。又、上記各スイッチは全て水銀リレー
スイッチで構成され、インターフェース（26）を通じる
制御部（12）からの指令でドライバ（25）がそれらを駆
動する。
ッチ群（11）の所定のスイッチのみをオンさせる。例え
ば、第１端子と第42端子とが被試験端子として指定され
ているとすると、第１端子に対応する第１スイッチ（ST
A）と第42端子に対応する第２スイッチ（STB）のみがオ
ンに設定される。制御部（12）は、更に測定選択スイッ
チ（14）及びサージ電圧印加部（15）の充放電スイッチ
（16）を共に接点ａ側にセットすると共に、入力された
電圧極性データに基いて極性スイッチ（17）を適宜の極
性にセットする。尚、斯る電圧極性データは、任意の極
性のものでよい。又、上記各スイッチは全て水銀リレー
スイッチで構成され、インターフェース（26）を通じる
制御部（12）からの指令でドライバ（25）がそれらを駆
動する。
制御部（12）は次いで、入力された印加サージ電圧値デ
ータをインターフェース（26）を通じて、サージ電圧設
定部（18）に送り込む。サージ電圧設定部（18）のD/A
変換部（18a）は、入力されたサージ電圧値データがデ
ジタル信号であるため、これをアナログ値に変換し、そ
れに基いて高圧定電圧電源部（18b）が所定の印加用サ
ージ電圧を出力する。このとき、分圧抵抗（19a）（19
b）による分圧値が電源部（18b）にフィードバックさ
れ、出力電圧の安定化がなされる。
ータをインターフェース（26）を通じて、サージ電圧設
定部（18）に送り込む。サージ電圧設定部（18）のD/A
変換部（18a）は、入力されたサージ電圧値データがデ
ジタル信号であるため、これをアナログ値に変換し、そ
れに基いて高圧定電圧電源部（18b）が所定の印加用サ
ージ電圧を出力する。このとき、分圧抵抗（19a）（19
b）による分圧値が電源部（18b）にフィードバックさ
れ、出力電圧の安定化がなされる。
サージ電圧設定部（18）の出力する電圧は、極性スイッ
チ（17）を介して適当な極性となり、サージ電圧印加部
（15）に入力される。即ち、抵抗（30）、充放電スイッ
チ（16）、インダクタンス（31）、抵抗（32）を経てコ
ンデンサ（33）に所定のサージ電圧が充電される。
チ（17）を介して適当な極性となり、サージ電圧印加部
（15）に入力される。即ち、抵抗（30）、充放電スイッ
チ（16）、インダクタンス（31）、抵抗（32）を経てコ
ンデンサ（33）に所定のサージ電圧が充電される。
制御部（12）は、続く段階として、充放電スイッチ（1
6）を接点ｂ側にセットする。この結果、測定選択スイ
ッチ（14）及び端子選択スイッチ群（11）を介して、IC
の第１端子と第42端子との間にサージ電圧の印加が実行
されたことになる。
6）を接点ｂ側にセットする。この結果、測定選択スイ
ッチ（14）及び端子選択スイッチ群（11）を介して、IC
の第１端子と第42端子との間にサージ電圧の印加が実行
されたことになる。
続く試験は、斯るサージ電圧印加によりICの破壊状況を
調べることであり、このためにICの第１端子と第42端子
との間の電圧電流特性を調べ、良否判定がなされる。
調べることであり、このためにICの第１端子と第42端子
との間の電圧電流特性を調べ、良否判定がなされる。
即ち、制御部（12）は、次いで測定選択スイッチ（14）
を接点ｂ側に切換えた後、入力された電流値データをイ
ンターフェース（26）を通じて電圧電流特性測定部（2
0）に送り込む。該測定部のD/A変換部（20a）は、入力
された電流値データがデジタル信号であるため、これを
アナログ値に変換し、それに基いて、電圧測定部（20
b）が定電流源として所定値の電流をICの第１端子−IC
内部−ICの第42端子の経路で流すと共に、これら量端子
間の電圧降下量を測定する。この降下量はA/D変換部（2
1）にてデジタル量に変換される。
を接点ｂ側に切換えた後、入力された電流値データをイ
ンターフェース（26）を通じて電圧電流特性測定部（2
0）に送り込む。該測定部のD/A変換部（20a）は、入力
された電流値データがデジタル信号であるため、これを
アナログ値に変換し、それに基いて、電圧測定部（20
b）が定電流源として所定値の電流をICの第１端子−IC
内部−ICの第42端子の経路で流すと共に、これら量端子
間の電圧降下量を測定する。この降下量はA/D変換部（2
1）にてデジタル量に変換される。
制御部（12）は斯る電圧降下量データと、予め入力され
た良否判定基準データとを比較し、両者の差が所定範囲
を越えておれば、ICがサージ電圧印加により破壊したも
のとして不良表示をCRT（22）で表示せしめる。
た良否判定基準データとを比較し、両者の差が所定範囲
を越えておれば、ICがサージ電圧印加により破壊したも
のとして不良表示をCRT（22）で表示せしめる。
以上の制御例では、D/A変換部（18a）（20a）へのデー
タ設定は、サージ電圧印加及び電圧電流特性の測定の各
段階でなされたが、試験開始初期に予め行なってもよ
く、その場合、制御部（12）は、上記各段階時に、改め
て、高圧定電源部（18b）及び電圧測定部（20b）に夫々
駆動信号を与えることになる。
タ設定は、サージ電圧印加及び電圧電流特性の測定の各
段階でなされたが、試験開始初期に予め行なってもよ
く、その場合、制御部（12）は、上記各段階時に、改め
て、高圧定電源部（18b）及び電圧測定部（20b）に夫々
駆動信号を与えることになる。
又、上記制御例では、単一のサージ電圧印加と、単一の
電圧電流特性測定とがなされたが、その他、単一の電圧
印加と複数の特性測定との組合わせで行なってもよい。
この場合、単一のサージ電圧印加後、特性測定時に電流
値を順次変化させていくのである。これにより広い電流
範囲での特性変化が容易に調べられる。又複数のサージ
電圧印加と単一の電圧電流特性測定との組合わせで行な
ってもよい。この場合、一回のサージ電圧印加と続く特
性測定を行なった後、サージ電圧を一定量高めて２回目
のサージ電圧と続く特性測定をなし、このくり返しをIC
の破壊まで続けて破壊限界を求めるものである。これら
の組合せ形態において、電流値やサージ電圧の印加変化
は制御部（12）が自動的に行なうものであり、又その際
得られる測定結果はCRT（22）でグラフ表示することも
できる。
電圧電流特性測定とがなされたが、その他、単一の電圧
印加と複数の特性測定との組合わせで行なってもよい。
この場合、単一のサージ電圧印加後、特性測定時に電流
値を順次変化させていくのである。これにより広い電流
範囲での特性変化が容易に調べられる。又複数のサージ
電圧印加と単一の電圧電流特性測定との組合わせで行な
ってもよい。この場合、一回のサージ電圧印加と続く特
性測定を行なった後、サージ電圧を一定量高めて２回目
のサージ電圧と続く特性測定をなし、このくり返しをIC
の破壊まで続けて破壊限界を求めるものである。これら
の組合せ形態において、電流値やサージ電圧の印加変化
は制御部（12）が自動的に行なうものであり、又その際
得られる測定結果はCRT（22）でグラフ表示することも
できる。
更に上記実施例では、ICの１対の端子間のみ試験された
が、必要対数につき順次自動的に実行されてもよい。
が、必要対数につき順次自動的に実行されてもよい。
尚、入力データ、測定データ、試験プログラムは必要に
応じてフロッピー装置（24）に格納でき、又プリンタ
（23）にて出力できる。
応じてフロッピー装置（24）に格納でき、又プリンタ
（23）にて出力できる。
又、サージ電圧印加部（15）において、コンデンサ（3
3）あるいはインダクタンス（31）と抵抗（32）との接
続体を夫々プラグイン式になして、試験内容に応じてそ
れらを差換える様になしてもよい。
3）あるいはインダクタンス（31）と抵抗（32）との接
続体を夫々プラグイン式になして、試験内容に応じてそ
れらを差換える様になしてもよい。
（ト）発明の効果 本発明によれば、制御部による一連の操作によりサージ
電圧印加、電圧電流特性の測定及びICの良否判定が自動
的になされ、かつそのためのIC端子の切換えも自動的に
行なわれるため、ICの静電放電試験が熟練者でなくても
短時間で実施される。
電圧印加、電圧電流特性の測定及びICの良否判定が自動
的になされ、かつそのためのIC端子の切換えも自動的に
行なわれるため、ICの静電放電試験が熟練者でなくても
短時間で実施される。
第１図は本発明の実施例回路図、第２図は規格による試
験回路図である。 （11）…端子選択スイッチ群、（12）…制御部、（14）
…測定選択スイッチ、（15）…サージ電圧印加部、（1
8）…サージ電圧設定部、（20）…電圧電流特性測定
部。
験回路図である。 （11）…端子選択スイッチ群、（12）…制御部、（14）
…測定選択スイッチ、（15）…サージ電圧印加部、（1
8）…サージ電圧設定部、（20）…電圧電流特性測定
部。
Claims (1)
- 【請求項１】集積回路の各外部端子に対応して配置され
た端子選択スイッチ群、サージ電圧印加部、該印加部に
おけるサージ電圧値を設定するサージ電圧設定部、電圧
電流特性測定部、測定選択スイッチ、制御部を備え、該
制御部は、上記サージ電圧設定部に設定サージ電圧値を
指示する操作、上記電圧電流特性測定部に測定電流値を
指示する操作、上記端子選択スイッチ群の所定の選択ス
イッチをオンさせる操作、上記端子選択スイッチ群を上
記サージ電圧印加部に接続した後、上記電圧電流特性測
定部に接続すべく上記測定選択スイッチを切り換える操
作、及び上記電圧電流特性測定部の測定電流供給に伴う
電圧降下量と基準データとを比較し両者の差が所定範囲
を越えているか否かを判定する操作を含むことを特徴と
する集積回路の試験装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59217006A JPH0743411B2 (ja) | 1984-10-16 | 1984-10-16 | 集積回路の試験装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59217006A JPH0743411B2 (ja) | 1984-10-16 | 1984-10-16 | 集積回路の試験装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6195258A JPS6195258A (ja) | 1986-05-14 |
| JPH0743411B2 true JPH0743411B2 (ja) | 1995-05-15 |
Family
ID=16697341
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59217006A Expired - Lifetime JPH0743411B2 (ja) | 1984-10-16 | 1984-10-16 | 集積回路の試験装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0743411B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102759688A (zh) * | 2011-04-27 | 2012-10-31 | 夏普株式会社 | 高电压检查装置 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105403795B (zh) * | 2015-12-21 | 2018-08-17 | 国网四川省电力公司电力科学研究院 | 一种ic卡静电测试装置及测试方法 |
| CN115812155A (zh) * | 2020-07-03 | 2023-03-17 | 三菱电机株式会社 | 静电耐压试验装置和静电耐压试验方法 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55149886A (en) * | 1979-05-11 | 1980-11-21 | Toshiba Corp | Automatic testing device |
| JPS58144764A (ja) * | 1982-02-23 | 1983-08-29 | Victor Co Of Japan Ltd | 回路基板自動計測検査装置 |
| JPS58186473U (ja) * | 1982-06-04 | 1983-12-10 | 三菱電機株式会社 | 電気的耐圧試験装置 |
-
1984
- 1984-10-16 JP JP59217006A patent/JPH0743411B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102759688A (zh) * | 2011-04-27 | 2012-10-31 | 夏普株式会社 | 高电压检查装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6195258A (ja) | 1986-05-14 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |