JPH0738305Y2 - 真空吸着プレート - Google Patents
真空吸着プレートInfo
- Publication number
- JPH0738305Y2 JPH0738305Y2 JP7200788U JP7200788U JPH0738305Y2 JP H0738305 Y2 JPH0738305 Y2 JP H0738305Y2 JP 7200788 U JP7200788 U JP 7200788U JP 7200788 U JP7200788 U JP 7200788U JP H0738305 Y2 JPH0738305 Y2 JP H0738305Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- suction
- suction plate
- plate
- vacuum suction
- exhaust path
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Feeding Of Articles By Means Other Than Belts Or Rollers (AREA)
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
- Load-Engaging Elements For Cranes (AREA)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7200788U JPH0738305Y2 (ja) | 1988-05-31 | 1988-05-31 | 真空吸着プレート |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7200788U JPH0738305Y2 (ja) | 1988-05-31 | 1988-05-31 | 真空吸着プレート |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01174385U JPH01174385U (US20080293856A1-20081127-C00150.png) | 1989-12-12 |
JPH0738305Y2 true JPH0738305Y2 (ja) | 1995-08-30 |
Family
ID=31297185
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7200788U Expired - Lifetime JPH0738305Y2 (ja) | 1988-05-31 | 1988-05-31 | 真空吸着プレート |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0738305Y2 (US20080293856A1-20081127-C00150.png) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2569175Y2 (ja) * | 1991-08-31 | 1998-04-22 | 山形日本電気株式会社 | ベローズ形ウェーハ真空チャック |
KR102556368B1 (ko) * | 2020-10-30 | 2023-07-18 | 세메스 주식회사 | 반송 핸드 및 기판 처리 장치 |
-
1988
- 1988-05-31 JP JP7200788U patent/JPH0738305Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH01174385U (US20080293856A1-20081127-C00150.png) | 1989-12-12 |
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