JPH0736182A - 架橋硬化型樹脂組成物 - Google Patents

架橋硬化型樹脂組成物

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JPH0736182A
JPH0736182A JP19762793A JP19762793A JPH0736182A JP H0736182 A JPH0736182 A JP H0736182A JP 19762793 A JP19762793 A JP 19762793A JP 19762793 A JP19762793 A JP 19762793A JP H0736182 A JPH0736182 A JP H0736182A
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JP
Japan
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weight
curable resin
crosslinkable
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meth
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JP19762793A
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English (en)
Inventor
Kenji Kushi
憲治 串
Tadayuki Fujiwara
匡之 藤原
Hiroyuki Otani
博行 大谷
Seiya Koyanagi
精也 小▲柳▼
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Mitsubishi Rayon Co Ltd
Original Assignee
Mitsubishi Rayon Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 支持フィルムと感光性樹脂層との密着力の高
いドライフィルムレジストを形成する架橋硬化型樹脂組
成物を提供する。 【構成】 (A)3〜15個の炭素原子を有するα,β
−不飽和カルボキシル基含有単量体(a−1)の少なく
とも1種18.5〜22重量%、スチレン(a−2)3
〜25重量%、メチルアクリレート(a−3)24〜3
8重量%及びメチルメタクリレート(a−4)20〜5
5重量%を共重合してなるバインダー用熱可塑性重合体
45〜65重量部、(B)1分子中に2個以上のエチレ
ン性不飽和基を有する少なくとも1種の架橋性単量体3
0〜50重量部、及び(C)光重合開始剤0.1〜10
重量部(ただし、(A)〜(C)成分の合計を100重
量部とする)からなることを特徴とする架橋硬化型樹脂
組成物。 【効果】 プリント配線板を製造する工程において露光
前に支持フィルムが剥離するといったトラブルが解消さ
れ、工業的に極めて有利となる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、アルカリ水溶液によっ
て現像可能な光重合性又は放射線重合性の架橋硬化型樹
脂組成物に関する。
【0002】
【従来の技術】近年プリント配線板作製用フォトレジス
トとして架橋硬化型樹脂層を支持フィルムと保護フィル
ムでサンドイッチ状にはさんだ構造の、いわゆるドライ
フィルムレジストが広く使用されている。架橋硬化型樹
脂層としては、未露光部を塩素系有機溶剤で現像除去す
る溶剤型と、未露光部をアルカリ水溶液によって現像除
去するアルカリ現像型とが知られているが、環境への影
響及び製造コストの有利さからアルカリ現像型のドライ
フィルムレジストが主流になりつつある。
【0003】保護フィルムと支持フィルムとを有するア
ルカリ現像型ドライフィルムレジストの使用方法は、ま
ず、該ドライフィルムレジストより保護フィルムを剥離
しながら架橋硬化型樹脂層を銅張り積層板に熱にてラミ
ネートし、次いでレジストフィルムの支持フィルム面に
フォトツールを密着させ要硬化部を紫外線等で露光硬化
させる。次いで支持フィルムをはがした後、炭酸ナトリ
ウムなどの弱アルカリ水溶液により未露光部を現像除去
しレジストの回路パターンを得る。
【0004】これらの各工程には、それぞれ歩留まりを
低下させる要因があるが、中でも紫外線露光工程では、
小さなゴミが支持フィルムとフォトツールとの間に紛れ
込み、本来配線パターンとして硬化されるべき部分が、
露光されずに断線となるトラブルが起こり易い。これま
では、このようなトラブルに対しては、適正な露光量よ
り若干高めに露光することで断線を防ぎ、ゴミの影響を
軽減してきた。
【0005】しかしながら、特に近年は、配線パターン
の高密度化が進んだため、適正な露光量より多めに露光
することで断線のトラブルは軽減されるものの、今度は
逆に配線パターンが太り、配線パターン同士が連結する
ショートのトラブルが発生するようになってきた。
【0006】そこで最近では、ラミネート工程と露光工
程との間に、支持フィルム上に紛れ込んだゴミを粘着ロ
ールで除去する新しい工程を導入し、上記のトラブルの
解決を図るようになってきている。しかし、従来のドラ
イフィルムレジストでは、支持フィルムと架橋硬化型樹
脂層との密着力が低いため、粘着ロールでゴミを除去す
る際に支持フィルムが感光性樹脂層から剥がれ、空気が
入り込み、酸素の重合阻害作用により露光部分が硬化不
足になってしまうという新たな問題が発生するようにな
った。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、上記
トラブルを解決するために、支持フィルムと架橋硬化型
樹脂層との密着力の高いドライフィルムレジストを形成
する架橋硬化型樹脂組成物を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段及び作用】本発明者らは、
上記の目的を達成すべく鋭意検討した結果、特定のバイ
ンダー用熱可塑性重合体、エチレン性不飽和基含有架橋
性単量体及び光重合開始剤からなる架橋硬化型樹脂組成
物を使用することで、これらの目的が達成されることを
見いだし、本発明を完成するに至った。すなわち、本発
明は、(A)3〜15個の炭素原子を有するα,β−不
飽和カルボキシル基含有単量体(a−1)の少なくとも
1種18.5〜22重量%、スチレン(a−2)3〜2
5重量%、メチルアクリレート(a−3)24〜38重
量%及びメチルメタクリレート(a−4)20〜55重
量%を共重合してなるバインダー用熱可塑性重合体45
〜65重量部、(B)1分子中に2個以上のエチレン性
不飽和基を有する少なくとも1種の架橋性単量体30〜
50重量部、及び(C)光重合開始剤0.1〜10重量
部(ただし、(A)〜(C)成分の合計を100重量部
とする。)からなることを特徴とする架橋硬化型樹脂組
成物にある。
【0009】以下、本発明の架橋硬化型樹脂組成物を構
成する各成分について、作用とともに順次述べる。本発
明の架橋硬化型樹脂組成物を構成するバインダー用熱可
塑性重合体(A)は、炭酸ナトリウム等のアルカリ希薄
水溶液で現像できるよう、3〜15個の炭素原子を有す
るα,β−不飽和カルボキシル基含有単量体(a−1)
の少なくとも1種を共重合体成分として18.5〜22
重量%なる範囲で共重合させることが必要である。
【0010】該単量体(a−1)の具体例としては、例
えば、(メタ)アクリル酸、ケイ皮酸、クロトン酸、ソ
ルビン酸、イタコン酸、プロピオル酸、マレイン酸及び
フマル酸等が挙げられ、また、これらの半エステル類又
は無水物も使用可能である。これらの中では、架橋硬化
型樹脂組成物の弱アルカリ水溶液による現像時間、及び
剥離工程における架橋硬化型樹脂組成物の硬化物の剥離
片の剥離液への非溶解性の点からメタクリル酸が好まし
い。
【0011】バインダー用熱可塑性重合体(A)中の該
単量体(a−1)の含有量としては、18.5〜22重
量%の範囲となるように用いることが必要である。1
8.5重量%未満では、アルカリ水溶液によって現像が
できないか、または現像時間が長くなりすぎて解像度が
低下し、一方、22重量%を越えた場合には、架橋硬化
型樹脂組成物の支持フィルムに対する密着力が低下する
ようになる。
【0012】バインダー用熱可塑性重合体(A)の構成
成分の(a−2)成分であるスチレンは、3〜25重量
%の範囲で使用することが必要である。スチレンは、架
橋硬化型樹脂組成物の支持フィルムに対する密着力の向
上に効果を示すため、3重量%未満では十分な効果が得
られず、一方、25重量%を越えると、現像時間及び剥
離時間が長くなる。
【0013】バインダー用熱可塑性重合体(A)の構成
成分の(a−3)成分であるメチルアクリレートは、2
4〜38重量%の範囲で使用することが必要である。メ
チルアクリレートは、架橋硬化型樹脂組成物の支持フィ
ルムに対する密着力の向上に効果を示すため、24重量
%未満では十分な効果が得られず、一方、38重量%を
越えると、ドライフィルムレジストが柔らかくなりす
ぎ、ロール状での保存において、レジスト樹脂が端面よ
りにじみでる、いわゆるコールドフロー現象の原因とな
る。
【0014】バインダー用熱可塑性重合体(A)の構成
成分の(a−4)成分であるメチルメタクリレートは、
20〜55重量%の範囲で使用される。メチルメタクリ
レートは、架橋性単量体(B)との相溶性を付与すると
ともに、メチルアクリレート(a−3)と相まって、バ
インダー用熱可塑性重合体(A)に適度なガラス転移温
度(Tg)を付与するために使用される。
【0015】本発明の目的である支持フィルムに対する
密着力を架橋硬化型樹脂組成物に付与するためには、バ
インダー用熱可塑性重合体として前記特定の単量体を特
定量共重合させることが必要であって、本願範囲外の組
成物では支持フィルムに対する高い密着力は発現しな
い。
【0016】バインダー用熱可塑性重合体の重量平均分
子量(Mw)としては、現像時間及び耐コールドフロー
性の点から40,000〜500,000のものが望ま
しく、更に好ましくは70,000〜150,000の
範囲である。重量平均分子量が40,000未満のもの
はドライフィルムレジストとした際にコールドフロー現
象を起こし易い傾向にあり、逆に、重量平均分子量が5
00,000を越えたものは未露光部のアルカリ現像液
に対する溶解性が不足するため、その現像性が低下し易
くなり、現像時間が長くかかりすぎて生産性の低下を引
き起こす傾向にある。
【0017】本発明においては、バインダー用熱可塑性
重合体(A)は、本発明の成分(A),(B)及び
(C)からなる架橋硬化型樹脂組成物100重量部中に
45〜65重量部含有されることが必要である。バイン
ダー用熱可塑性樹脂(A)の含有量が45重量部未満で
は、得られるドライフィルムレジストの架橋硬化型樹脂
層のフィルム形成性が損なわれ、十分な膜強度が得られ
ず、コールドフローが発生し易い。一方、65重量部を
越えたものは、支持フィルムに対する密着力が低下す
る。
【0018】次に、本発明の架橋硬化型樹脂組成物を構
成する、1分子中に2個以上のエチレン性不飽和基を有
する少なくとも1種の架橋性単量体(B)について説明
する。該架橋性単量体(B)の具体例としては、1,3
−ブタンジオールジ(メタ)アクリレート、1,6−ヘ
キサンジオールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチル
グリコールジ(メタ)アクリレート、ポリエチレングリ
コールジ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコ
ールジ(メタ)アクリレート、2,2−ビス〔4−(メ
タ)アクリロイルオキシポリエトキシフェニル〕プロパ
ン、2,2−ビス〔4−(メタ)アクリロイルオキシポ
リプロピレンオキシフェニル〕プロパン、ヒドロキシピ
バリン酸ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレー
ト、グリセリンジ(メタ)アクリレート、グリセリント
リ(メタ)アクリレート、トリメチロールエタンジ(メ
タ)アクリレート、トリメチロールエタントリ(メタ)
アクリレート、トリメチロールプロパンジ(メタ)アク
リレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリ
レート、トリメチロールプロパントリス〔ポリエトキシ
(メタ)アクリレート〕、トリメチロールプロパントリ
ス〔ポリプロピレンオキシ(メタ)アクリレート〕、イ
ソシアヌル酸トリエチロールジ(メタ)アクリレート、
イソシアヌル酸トリエチロールトリ(メタ)アクリレー
ト、ペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート、ペ
ンタエリスルトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタ
エリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタ
エリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエ
リスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエ
リスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエ
リスリトールヘキサ(メタ)アクリレート等の多価アル
コールのポリ(メタ)アクリレート類、エポキシ(メ
タ)アクリレート類及びウレタン(メタ)アクリレート
類などが挙げられ、これらは1種または2種以上を混合
して使用することができる。
【0019】本発明においては、架橋性単量体(B)
は、本発明の成分(A),(B)及び(C)からなる架
橋硬化型樹脂組成物100重量部中に30〜50重量部
含有されることが必要である。架橋性単量体(B)の含
有量が30重量部未満では、支持フィルムに対する密着
力が低下し、一方、50重量部を越える場合には、得ら
れるドライフィルムレジストの架橋硬化型樹脂層のフィ
ルム形成性が損なわれ、十分な膜強度が得られず、コー
ルドフローが発生し易い。
【0020】本発明における光重合開始剤(C)の具体
例としては、例えば、ベンゾフェノン、ミヒラーズケト
ン、4,4′−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノ
ン、t−ブチルアントラキノン、2−エチルアントラキ
ノン、チオキサントン類、ベンゾインアルキルエーテル
類、ベンジルケタール類等公知のものを用いることがで
き、これらは1種または2種以上を併用してもよい。
【0021】光重合開始剤(C)の添加量としては、本
発明の成分(A),(B)及び(C)からなる架橋硬化
型樹脂組成物100重量部中に0.1〜10重量部含有
されることが必要である。0.1重量部未満の場合に
は、十分な硬化性が得られず、一方、10重量部を越え
る場合にはコスト的に不利となる。
【0022】本発明においては、目的に応じて本発明の
架橋硬化型樹脂組成物に、銅張り積層板等の基材との密
着性を向上させるために密着促進剤を添加してもよい。
【0023】密着促進剤としては、従来公知のベンゾト
リアゾール、ベンズイミダゾール等を使用することも可
能であるが、少量の添加で金属面への密着性を向上させ
ることができるテトラゾール又はその誘導体が好まし
く、具体例としては、例えば、1−フェニルテトラゾー
ル、5−フェニルテトラゾール、5−アミノテトラゾー
ル、5−アミノ−1−メチルテトラゾール、5−アミノ
2−フェニルテトラゾール、5−メルカプト−1−フェ
ニルテトラゾール、5−メルカプト−1−メチルテトラ
ゾール等が挙げられ、これらは1種または2種以上を併
用してもよい。
【0024】密着促進剤を使用する場合には、本発明の
架橋硬化型樹脂組成物100重量部に対し0.005〜
5重量部が好ましい。0.005重量部未満では、基材
との密着性の向上に効果が認められにくく、一方、5重
量部を越えると本発明の架橋硬化型樹脂組成物への溶解
に長時間を要し易く、また、得られる架橋硬化型樹脂組
成物の感度も低下し易い。
【0025】さらに、本発明の架橋硬化型樹脂組成物に
は、必要に応じて熱重合禁止剤、染料、可塑剤、充填
剤、難燃剤等の各種添加剤を添加することもできる。
【0026】本発明の架橋硬化型樹脂組成物は、有機溶
剤溶液として液状にて基材上に塗布して使用することも
できるが、ドライフィルムレジストとして使用すること
が工業的にみて有利である。
【0027】また、本発明の架橋硬化型樹脂組成物を用
いてドライフィルムレジストを形成させるには、ブレー
ドコーター、ロッドコーター、ナイフコーター、ロール
ドクターコーター、コンマコーター、リバースロールコ
ーター、トランスファロールコーター、グラビアコータ
ー、キスロールコーター、カーテンコーター等を用いて
塗布することができるが、架橋硬化型樹脂組成物に溶剤
を添加して使用する場合には、溶剤を飛散させる必要が
ある。ドライフィルムレジストの支持体としては、通常
一般に用いられているポリエステル等のプラスチックフ
ィルムが主に用いられる。乾燥機としては可燃性有機溶
剤を使用する場合には安全性の点から蒸気による空気加
熱式の熱源を備えたものを用い、乾燥機内の熱風を向流
接触させる方式、ノズルより支持体に吹き付ける方式等
が用いられる。また、乾燥機の形状は、アーチ式、フラ
ット式等目的に合わせて選択して用いられる。
【0028】乾燥後のドライフィルムレジストには、必
要に応じてポリエチレンやポリプロピレンのような保護
フィルムをラミネートして用いてもよい。
【0029】
【実施例】以下、実施例により本発明を具体的に説明す
る。
【0030】〈バインダー用熱可塑性重合体溶液A〜K
の合成例〉窒素導入口、攪拌機、コンデンサー及び温度
計を備えた1000mlの4つ口フラスコに、窒素雰囲
気下でイソプロピルアルコール100g、メチルエチル
ケトン100g及び表1に示した各種組成の単量体20
0gを入れ、攪拌しながら湯浴の温度を80℃に上げ
た。次いでアゾビスイソブチロニトリル1.0gを10
gのイソプロピルアルコールに溶解し、これを30分お
きに5回に分けて添加した後、フラスコ内温を沸点まで
上昇させ、その温度で2時間重合を継続させた。重合終
了後、イソプロピルアルコール100gを添加して重合
反応物をフラスコより取り出し、表1に示したバインダ
ー用熱可塑性重合体溶液A〜Kを得た。なお、各重合体
における重合率はいずれも99.5%以上であった。ま
た、各重合体溶液中の固形分量はいずれも38.7重量
%であった。
【0031】
【表1】
【0032】実施例1〜7、比較例1〜8 上記合成例で得た熱可塑性重合体溶液A〜Kを用いて、
表2〜3に示す各種組成の架橋硬化型樹脂組成物溶液を
プロペラ型ミキサーで攪拌し、減圧脱泡後、ブレードコ
ーターにより厚さ20μm、幅500mmのポリエステ
ルフィルム(帝人(株)製GS−20)上に塗工幅34
0mmに塗工した。次いで、幅800mm、高さ100
mm、長さ8mの乾燥機中に、塗工フィルムの動きに対
して向流になるようにして熱風を送り込み、塗工液を乾
燥させ、乾燥塗工厚さ38μmの積層フィルムを得た。
この時の塗工速度は4m/分、熱風温度を90℃とし
た。次いで、その乾燥塗膜上に、厚さ35μmのポリエ
チレン製保護フィルムをラミネートして、ポリエステル
フィルム、架橋硬化型樹脂組成物及び保護フィルムが順
次積層された積層フィルムを得た後、両端面をスリット
により除去して幅250mmとし、外径10cmのAB
Sコア上に120mの長さにロール状に捲き取り、ドラ
イフィルムレジストロール状物を得た。得られたドライ
フィルムレジストを用いて下記の評価を実施した。得ら
れた結果を表4〜5に示す。
【0033】1.耐コールドフロー性 得られた各種ドライフィルムレジストロール状物を、2
5℃、50%RHの恒温恒湿条件下、横向きにして5日
間放置し、ロール端面からのコールドフローの状態を目
視で観察した。 ○…コールドフローなし ×…コールドフロー発生
【0034】2.最少現像時間の測定 保護フィルムを剥離したドライフィルムレジストを、表
面を研磨した片面銅張り積層板(FR−4、板厚1.6
mm、銅厚18μm)の銅面に熱ラミネートした。ラミ
ネートは(株)MCK製ドライフィルムレジスト用ラミ
ネータ、ML−480Dを用い、ロール温度120℃、
ラミネート速度1.5m/分、エアーシリンダー圧力
3.0kg/cm2 、で実施した。ラミネート後20分
放置した後、ポリエステル支持フィルムを剥離し、1重
量%炭酸ナトリウム水溶液をスプレーし続け、架橋硬化
型樹脂層が完全に除去される時間(最少現像時間)を測
定した。この時の現像条件として、液温30℃、スプレ
ー圧1.6kg/cm2 、スプレーノズルと基板との距
離10cmとした。
【0035】3.ポリエステル支持フィルムの密着強度
の測定 ドライフィルムレジストを幅3cm、長さ5cmの形状
に切りとり、温度23℃、湿度59%の部屋に12時間
放置した後、最少現像時間測定方法と同様の条件で、銅
張り積層板に熱ラミネートした。ラミネート後10分放
置した後、引っ張り試験機にてポリエステル支持フィル
ムの密着強度を測定した。ポリエステル支持フィルムの
剥離は、図1のように剥離方向が架橋硬化型樹脂層ラミ
ネート板と平行になるように保ちながら、ドライフィル
ムレジストの長さ方向に2cm/分の速度で行った。得
られた値をドライフィルムレジストの幅3cmで割り、
幅1cm当たりの密着強度を求めた。 密着強度9g/cm未満…粘着ロールでゴミを除去する
際に支持フィルムが架橋硬化型樹脂層より剥がれてきや
すい。 密着強度9g/cm以上…粘着ロールでゴミを除去して
も支持フィルムが剥離してこない。
【0036】
【表2】
【0037】
【表3】
【0038】
【表4】
【0039】
【表5】
【0040】
【発明の効果】以上詳述したように、本発明の架橋硬化
型樹脂組成物を用いて製造したドライフィルムレジスト
は、架橋硬化型樹脂層と支持フィルムとの密着力が高い
ことから、プリント配線板を製造する工程において露光
前に支持フィルムが剥離するといったトラブルが解消さ
れ、工業的に極めて有利となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】ポリエステル支持フィルムの密着強度測定時の
側面模式図である。
【符号の説明】
1 ポリエステル支持フィルム 2 ドライフィルムレジストの架橋硬化型樹脂層 3 銅張り積層板
【手続補正書】
【提出日】平成5年10月7日
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0006
【補正方法】変更
【補正内容】
【0006】そこで最近では、ラミネート工程と露光工
程との間に、支持フィルム上に紛れ込んだゴミを粘着ロ
ールで除去する新しい工程を導入し、上記のトラブルの
解決を図るようになつてきている。しかし、従来のドラ
イフィルムレジストでは、支持フィルムと架橋硬化型樹
脂層との密着力が低いため、粘着ロールでゴミを除去す
る際に支持フィルムが架橋硬化型樹脂層から剥がれ、空
気が入り込み、酸素の重合阻害作用により露光部分が硬
化不足になってしまうという新たな問題が発生するよう
になった。
【手続補正2】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0035
【補正方法】変更
【補正内容】
【0035】3.ポリエステル支持フィルムの密着強度
の測定 ドライフィルムレジストを幅3cm、長さ15cmの形
状に切りとり、温度23℃、湿度59%の部屋に12時
間放置した後、最少現像時間測定方法と同様の条件で、
銅張り積層板に熱ラミネートした。ラミネート後10分
放置した後、引っ張り試験機にてポリエステル支持フィ
ルムの密着強度を測定した。ポリエステル支持フィルム
の剥離は、図1のように剥離方向が架橋硬化型樹脂層ラ
ミネート板と平行になるように保ちながら、ドライフィ
ルムレジストの長さ方向に2cm/分の速度で行った。
得られた値をドライフィルムレジストの幅3cmで割
り、幅1cm当たりの密着強度を求めた。 密着強度9g/cm未満…粘着ロールでゴミを除去する
際に支持フィルムが架橋硬化型樹脂層より剥がれてきや
すい。 密着強度9g/cm以上…粘着ロールでゴミを除去して
も支持フィルムが剥離してこない。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 G03F 7/031 7/033 7/038 H05K 3/00 F 6921−4E (72)発明者 小▲柳▼ 精也 広島県大竹市御幸町20番1号 三菱レイヨ ン株式会社中央研究所内

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 (A)3〜15個の炭素原子を有する
    α,β−不飽和カルボキシル基含有単量体(a−1)の
    少なくとも一種18.5〜22重量%、スチレン(a−
    2)3〜25重量%、メチルアクリレート(a−3)2
    4〜38重量%及びメチルメタクリレート(a−4)2
    0〜55重量%を共重合してなるバインダー用熱可塑性
    重合体45〜65重量部、(B)1分子中に2個以上の
    エチレン性不飽和基を有する少なくとも1種の架橋性単
    量体30〜50重量部、及び(C)光重合開始剤0.1
    〜10重量部(ただし、(A)〜(C)成分の合計を1
    00重量部とする。)からなることを特徴とする架橋硬
    化型樹脂組成物。
JP19762793A 1993-07-16 1993-07-16 架橋硬化型樹脂組成物 Pending JPH0736182A (ja)

Priority Applications (1)

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JP19762793A JPH0736182A (ja) 1993-07-16 1993-07-16 架橋硬化型樹脂組成物

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2001255653A (ja) * 2001-01-09 2001-09-21 Hitachi Chem Co Ltd 感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント、レジストパターンの製造法及びプリント配線板の製造法

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