JPH0735766A - 加速度センサ、加速度センサの取付構造および製造方法 - Google Patents
加速度センサ、加速度センサの取付構造および製造方法Info
- Publication number
- JPH0735766A JPH0735766A JP5202849A JP20284993A JPH0735766A JP H0735766 A JPH0735766 A JP H0735766A JP 5202849 A JP5202849 A JP 5202849A JP 20284993 A JP20284993 A JP 20284993A JP H0735766 A JPH0735766 A JP H0735766A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- acceleration sensor
- fixed
- flexible
- inertial mass
- strain
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01G—WEIGHING
- G01G23/00—Auxiliary devices for weighing apparatus
- G01G23/06—Means for damping oscillations, e.g. of weigh beams
- G01G23/10—Means for damping oscillations, e.g. of weigh beams by electric or magnetic means
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01G—WEIGHING
- G01G3/00—Weighing apparatus characterised by the use of elastically-deformable members, e.g. spring balances
- G01G3/12—Weighing apparatus characterised by the use of elastically-deformable members, e.g. spring balances wherein the weighing element is in the form of a solid body stressed by pressure or tension during weighing
- G01G3/14—Weighing apparatus characterised by the use of elastically-deformable members, e.g. spring balances wherein the weighing element is in the form of a solid body stressed by pressure or tension during weighing measuring variations of electrical resistance
- G01G3/1414—Arrangements for correcting or for compensating for unwanted effects
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measurement Of Force In General (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 小型でかつ検出精度の良い加速度センサを提
供する。 【構成】 起歪体１には、２箇所の可撓部２１ａを有す
るビーム部２０が、固定剛体部１０と慣性質量部１１と
の間に互いに平行に２枚溶接してある。ビーム部２０
は、表面に歪みゲージ２３が直接形成された薄板２１に
より構成されている。可撓部２１ａは、溝２４をエッチ
ング加工することにより形成されている。
供する。 【構成】 起歪体１には、２箇所の可撓部２１ａを有す
るビーム部２０が、固定剛体部１０と慣性質量部１１と
の間に互いに平行に２枚溶接してある。ビーム部２０
は、表面に歪みゲージ２３が直接形成された薄板２１に
より構成されている。可撓部２１ａは、溝２４をエッチ
ング加工することにより形成されている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、主として、ウェイト
チェッカーや組合せ計量装置に加わる床振動などの振動
成分を検出する加速度センサに関するものである。
チェッカーや組合せ計量装置に加わる床振動などの振動
成分を検出する加速度センサに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】物品をコンベアで搬送しながら物品の重
量を検出するウェイトチェッカーや、複数の計量器で計
量した物品を組合せて目標重量とする組合せ計量装置の
設置場所には、計量セル（荷重検出器）に影響を与える
低周波の振動が発生している場合がある。したがって、
低周波の振動成分による計量誤差を除去する必要があ
る。そこで、この種の計量装置では、物品を計量して重
量に対応した計量信号を出力する計量セルの他に、加速
度センサを設置し、この加速度センサから出力される信
号を反転したうえで、計量セルと加速度センサの出力を
加算することにより、計量信号中から床の振動成分を除
去している。
量を検出するウェイトチェッカーや、複数の計量器で計
量した物品を組合せて目標重量とする組合せ計量装置の
設置場所には、計量セル（荷重検出器）に影響を与える
低周波の振動が発生している場合がある。したがって、
低周波の振動成分による計量誤差を除去する必要があ
る。そこで、この種の計量装置では、物品を計量して重
量に対応した計量信号を出力する計量セルの他に、加速
度センサを設置し、この加速度センサから出力される信
号を反転したうえで、計量セルと加速度センサの出力を
加算することにより、計量信号中から床の振動成分を除
去している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来、かかる加速度セ
ンサとしては、１枚の板状の梁の先端に慣性質量部を固
定し、上記板状の梁に歪みゲージを取り付けたものが知
られている。しかし、この片持梁式の加速度センサで
は、板状の梁にねじりが生じるので、一方向の振動成分
の検出精度が悪くなる。
ンサとしては、１枚の板状の梁の先端に慣性質量部を固
定し、上記板状の梁に歪みゲージを取り付けたものが知
られている。しかし、この片持梁式の加速度センサで
は、板状の梁にねじりが生じるので、一方向の振動成分
の検出精度が悪くなる。
【０００４】そこで、荷重検出器として用いられる起歪
体、つまり平行四辺形に変形する起歪体を加速度センサ
として用いている。この場合、大きな荷重を検出するた
めの荷重検出器によって、微弱な振動成分を検出するた
めに、自由端に２００ｇを越えるような大型の錘りを設
ける必要がある。したがって、起歪体が大きいばかりで
なく、慣性質量の一部となる錘りも大きいので、加速度
センサが大型なものになる。
体、つまり平行四辺形に変形する起歪体を加速度センサ
として用いている。この場合、大きな荷重を検出するた
めの荷重検出器によって、微弱な振動成分を検出するた
めに、自由端に２００ｇを越えるような大型の錘りを設
ける必要がある。したがって、起歪体が大きいばかりで
なく、慣性質量の一部となる錘りも大きいので、加速度
センサが大型なものになる。
【０００５】この発明は、上記従来の問題に鑑みてなさ
れたもので、小型でかつ検出精度の良い加速度センサを
提供することを主目的とする。また、この発明の他の目
的は、コンパクトな加速度センサの取付構造を提供する
ことである。また、この発明の更に他の目的は、加速度
センサの製造方法を提供することである。
れたもので、小型でかつ検出精度の良い加速度センサを
提供することを主目的とする。また、この発明の他の目
的は、コンパクトな加速度センサの取付構造を提供する
ことである。また、この発明の更に他の目的は、加速度
センサの製造方法を提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段および作用】上記目的を達
成するために、請求項１ないし５の発明の加速度センサ
は、２箇所の可撓部が形成されたビーム部を、一端の固
定部と他端の慣性質量部との間に、互いに平行に２本設
けた起歪体と、ビーム部の可撓部に設けられた歪みゲー
ジとを備えている。請求項１の発明では、上記固定部お
よび慣性質量部をブロックで形成し、一方、上記ビーム
部を金属製の薄板で形成するとともに、このビーム部の
両端部を上記ブロックに固定している。なお、この場
合、ビーム部の両端部を、固定部および慣性質量部に溶
接して固着するのが好ましい。
成するために、請求項１ないし５の発明の加速度センサ
は、２箇所の可撓部が形成されたビーム部を、一端の固
定部と他端の慣性質量部との間に、互いに平行に２本設
けた起歪体と、ビーム部の可撓部に設けられた歪みゲー
ジとを備えている。請求項１の発明では、上記固定部お
よび慣性質量部をブロックで形成し、一方、上記ビーム
部を金属製の薄板で形成するとともに、このビーム部の
両端部を上記ブロックに固定している。なお、この場
合、ビーム部の両端部を、固定部および慣性質量部に溶
接して固着するのが好ましい。
【０００７】請求項１〜５の発明によれば、一端の固定
部と他端の慣性質量部との間に、ビーム部が互いに平行
に２本設けられているから、ビーム部がねじれるおそれ
がない。また、請求項１の発明では、固定部および慣性
質量部をブロックにより形成する一方で、ビーム部を金
属製の薄板で形成したから、慣性質量部に必要な重量が
得られるとともに、ビーム部を薄いものとすることがで
きる。したがって、微弱な振動により、ビーム部の可撓
部が容易に歪むので、加速度センサが小型になる。
部と他端の慣性質量部との間に、ビーム部が互いに平行
に２本設けられているから、ビーム部がねじれるおそれ
がない。また、請求項１の発明では、固定部および慣性
質量部をブロックにより形成する一方で、ビーム部を金
属製の薄板で形成したから、慣性質量部に必要な重量が
得られるとともに、ビーム部を薄いものとすることがで
きる。したがって、微弱な振動により、ビーム部の可撓
部が容易に歪むので、加速度センサが小型になる。
【０００８】この場合、ビーム部の両端部を、固定部お
よび慣性質量部に溶着すれば、ねじなどの取付金具が不
要になるとともに、小さな接合部分において、ビーム部
と固定部および慣性質量部とを接合することができる。
したがって、加速度センサがより一層小型になる。
よび慣性質量部に溶着すれば、ねじなどの取付金具が不
要になるとともに、小さな接合部分において、ビーム部
と固定部および慣性質量部とを接合することができる。
したがって、加速度センサがより一層小型になる。
【０００９】請求項３の加速度センサは、ビーム部の可
撓部が非機械加工により形成されている。ビーム部の可
撓部を機械加工で形成すると、加工時に切削工具がビー
ム部に応力を付与するので、可撓部の肉厚や幅などを十
分に小さくできないから、可撓部の曲げ剛性を十分に小
さくすることができない。これに対し、エッチングやレ
ーザビームなどの非機械加工により、可撓部を加工する
場合は、加工中に可撓部に応力が発生しないので、可撓
部の肉厚や幅を十分に小さくすることができる。したが
って、小さな負荷により可撓部が歪むから、慣性質量部
を小さくすることができる。
撓部が非機械加工により形成されている。ビーム部の可
撓部を機械加工で形成すると、加工時に切削工具がビー
ム部に応力を付与するので、可撓部の肉厚や幅などを十
分に小さくできないから、可撓部の曲げ剛性を十分に小
さくすることができない。これに対し、エッチングやレ
ーザビームなどの非機械加工により、可撓部を加工する
場合は、加工中に可撓部に応力が発生しないので、可撓
部の肉厚や幅を十分に小さくすることができる。したが
って、小さな負荷により可撓部が歪むから、慣性質量部
を小さくすることができる。
【００１０】請求項５の加速度センサは、歪みゲージが
直接形成された金属製の薄板によりビーム部を構成して
いる。従来のように歪みゲージを薄板に接着した場合に
は、歪みゲージの剛性が薄板の可撓部の撓みに影響を与
えるので、この加速度センサの精度を維持するために可
撓部の肉厚を薄くするのには限界がある。しかし、歪み
ゲージを金属製薄板に直接形成した場合には、歪みゲー
ジの剛性をセンサ精度上無視できるので、ビーム部の可
撓部を薄肉にすることができる。したがって、慣性質量
部を小さくすることができる。
直接形成された金属製の薄板によりビーム部を構成して
いる。従来のように歪みゲージを薄板に接着した場合に
は、歪みゲージの剛性が薄板の可撓部の撓みに影響を与
えるので、この加速度センサの精度を維持するために可
撓部の肉厚を薄くするのには限界がある。しかし、歪み
ゲージを金属製薄板に直接形成した場合には、歪みゲー
ジの剛性をセンサ精度上無視できるので、ビーム部の可
撓部を薄肉にすることができる。したがって、慣性質量
部を小さくすることができる。
【００１１】請求項６の発明では、上記のような加速度
センサを構成する起歪体が、計量セルを構成する他の起
歪体の貫通孔内に収納されているとともに、上記他の起
歪体の固定剛体部に固定されている。
センサを構成する起歪体が、計量セルを構成する他の起
歪体の貫通孔内に収納されているとともに、上記他の起
歪体の固定剛体部に固定されている。
【００１２】ウェイトチェッカーや組合せ計量装置など
のように、荷重の検出時に、床振動を伴うものでは、こ
の床振動による振動成分を除去する必要があるが、計量
セルの近傍に加速度センサを設けると、加速度センサの
分だけ、全体が大型化する。これに対し、請求項６の発
明では、加速度センサを構成する起歪体を、計量セルを
構成する他の起歪体の貫通孔内に収納しているので、全
体が小型になる。また、加速度センサは計量セルと位相
のずれがないため、同時に同量の床振動を検出すること
ができ、床振動による振動成分の除去について、効果の
向上を図ることができる。
のように、荷重の検出時に、床振動を伴うものでは、こ
の床振動による振動成分を除去する必要があるが、計量
セルの近傍に加速度センサを設けると、加速度センサの
分だけ、全体が大型化する。これに対し、請求項６の発
明では、加速度センサを構成する起歪体を、計量セルを
構成する他の起歪体の貫通孔内に収納しているので、全
体が小型になる。また、加速度センサは計量セルと位相
のずれがないため、同時に同量の床振動を検出すること
ができ、床振動による振動成分の除去について、効果の
向上を図ることができる。
【００１３】請求項７の発明は、２箇所の可撓部が形成
された薄板製のビーム部を、一端の固定部と他端の慣性
質量部との間に、互いに平行に２枚架設した起歪体を有
する加速度センサの製造方法であって、上記固定部およ
び慣性質量部を構成する一対のブロックの相対位置を保
持した状態で、上記２枚のビーム部を上記一対のブロッ
クに固定する工程を有する。この製造方法によれば、一
対のブロックの相対位置を保持した状態で、２枚のビー
ム部をブロックに固定するから、ブロックに対するビー
ム部の取付が容易になるとともに、結果として製造され
た加速度センサの形状寸法のばらつきが小さくなる。
された薄板製のビーム部を、一端の固定部と他端の慣性
質量部との間に、互いに平行に２枚架設した起歪体を有
する加速度センサの製造方法であって、上記固定部およ
び慣性質量部を構成する一対のブロックの相対位置を保
持した状態で、上記２枚のビーム部を上記一対のブロッ
クに固定する工程を有する。この製造方法によれば、一
対のブロックの相対位置を保持した状態で、２枚のビー
ム部をブロックに固定するから、ブロックに対するビー
ム部の取付が容易になるとともに、結果として製造され
た加速度センサの形状寸法のばらつきが小さくなる。
【００１４】なお、本センサは、従来の加速度センサと
構造的に近似しているが、慣性質量部に働く加速度によ
って生じた力学量である力を検出することを本来の使途
とするセンサである。従来の加速度センサの如く、運動
学量の加速度を検出することを目的とするセンサの構造
とは若干異なり、加速度によって生じた力を検出するの
に好適な構造となるような設計としている。
構造的に近似しているが、慣性質量部に働く加速度によ
って生じた力学量である力を検出することを本来の使途
とするセンサである。従来の加速度センサの如く、運動
学量の加速度を検出することを目的とするセンサの構造
とは若干異なり、加速度によって生じた力を検出するの
に好適な構造となるような設計としている。
【００１５】
【実施例】以下、この発明の実施例を図面にしたがって
説明する。図１および図２は第１実施例を示す。図１に
おいて、起歪体１は、一端の固定部１０と他端の慣性質
量部１１との間に、ビーム部２０を構成する薄板２１が
２枚架設されている。両ビーム部２０は、振動方向に対
して直交する方向に平行に延びており、その両端部の近
傍に薄肉の２箇所の可撓部２１ａ，２１ａが形成されて
いる。したがって、この起歪体１は、固定部１０が固定
されている機器などが上下に振動すると、固定部１０と
慣性質量部１１とが相対的に上下に平行移動するように
して振動する。
説明する。図１および図２は第１実施例を示す。図１に
おいて、起歪体１は、一端の固定部１０と他端の慣性質
量部１１との間に、ビーム部２０を構成する薄板２１が
２枚架設されている。両ビーム部２０は、振動方向に対
して直交する方向に平行に延びており、その両端部の近
傍に薄肉の２箇所の可撓部２１ａ，２１ａが形成されて
いる。したがって、この起歪体１は、固定部１０が固定
されている機器などが上下に振動すると、固定部１０と
慣性質量部１１とが相対的に上下に平行移動するように
して振動する。
【００１６】上記固定部１０および慣性質量部１１は、
たとえばステンレスのような金属製のブロックで形成さ
れている。上記固定部１０および慣性質量部１１には位
置決め段部１２が形成されており、薄板２１が上記位置
決め段部１２に当接している。これにより、薄板２１が
固定部１０および慣性質量部１１に対してビーム部２０
の長手方向に位置決めされる。なお、固定部１０には、
起歪体１を種々の機器や車両などに取り付けるための取
付雌ねじ１３が形成されている。また、固定部１０およ
び慣性質量部１１には、組立用のボルト挿入用孔１４を
形成してもよい。
たとえばステンレスのような金属製のブロックで形成さ
れている。上記固定部１０および慣性質量部１１には位
置決め段部１２が形成されており、薄板２１が上記位置
決め段部１２に当接している。これにより、薄板２１が
固定部１０および慣性質量部１１に対してビーム部２０
の長手方向に位置決めされる。なお、固定部１０には、
起歪体１を種々の機器や車両などに取り付けるための取
付雌ねじ１３が形成されている。また、固定部１０およ
び慣性質量部１１には、組立用のボルト挿入用孔１４を
形成してもよい。
【００１７】上記薄板２１は、その両端部がＹＡＧレー
ザ溶接により、複数の溶接箇所２１ｂにおいて、固定部
１０および慣性質量部１１にスポット溶接されている。
薄板２１は上記ビーム部２０を構成しており、たとえば
0.3mm程度の板厚のステンレス鋼板に、歪みゲージ２３
が直接形成されている。なお、薄板２１の板厚は、一般
に 1.0mm以下のものを用いるのが好ましく、より好まし
くは、 0.5mm以下のものを用いる。
ザ溶接により、複数の溶接箇所２１ｂにおいて、固定部
１０および慣性質量部１１にスポット溶接されている。
薄板２１は上記ビーム部２０を構成しており、たとえば
0.3mm程度の板厚のステンレス鋼板に、歪みゲージ２３
が直接形成されている。なお、薄板２１の板厚は、一般
に 1.0mm以下のものを用いるのが好ましく、より好まし
くは、 0.5mm以下のものを用いる。
【００１８】図２に示すように、矩形状の薄板２１の表
面には、絶縁層２２を介して上記歪みゲージ２３が設け
られているとともに、薄板２１の裏面には、一対の溝２
４，２４が形成されており、これらの溝２４，２４に対
応する部位が上記可撓部２１ａ，２１ａを形成してい
る。
面には、絶縁層２２を介して上記歪みゲージ２３が設け
られているとともに、薄板２１の裏面には、一対の溝２
４，２４が形成されており、これらの溝２４，２４に対
応する部位が上記可撓部２１ａ，２１ａを形成してい
る。
【００１９】上記歪みゲージ２３は、上記溝２４に対応
して配置された抵抗線からなる一対の歪み感知部２３ａ
と、歪み感知部２３ａに接続された３本の導線部２３ｂ
と、これらの導線部２３ｂの端部に設けられた端子部２
３ｃとを備えている。この歪みゲージ２３は、図１に示
す起歪体１の変形に伴って、薄板２１の可撓部２１ａの
表面に引張歪みまたは圧縮歪みが生じたときに、これに
対応して図２の歪み感知部２３ａの抵抗値が増加または
減少する。この抵抗値の変化が上記各端子部２３ｃに接
続されたケーブル（図示せず）を介して外部の装置に出
力され、起歪体１に加わった振動成分などの加速度が測
定される。
して配置された抵抗線からなる一対の歪み感知部２３ａ
と、歪み感知部２３ａに接続された３本の導線部２３ｂ
と、これらの導線部２３ｂの端部に設けられた端子部２
３ｃとを備えている。この歪みゲージ２３は、図１に示
す起歪体１の変形に伴って、薄板２１の可撓部２１ａの
表面に引張歪みまたは圧縮歪みが生じたときに、これに
対応して図２の歪み感知部２３ａの抵抗値が増加または
減少する。この抵抗値の変化が上記各端子部２３ｃに接
続されたケーブル（図示せず）を介して外部の装置に出
力され、起歪体１に加わった振動成分などの加速度が測
定される。
【００２０】つぎに、この歪みゲージ２３の製造方法に
ついて説明する。まず、図３に示すように、ステンレス
材などの金属材料からなる大きな薄板素材３０の一方の
面に、所定の間隔を隔てて多数の溝３１…３１を平行に
形成する。これらの溝３１…３１は、この実施例ではハ
ーフエッチング法により、以下のようにして形成され
る。
ついて説明する。まず、図３に示すように、ステンレス
材などの金属材料からなる大きな薄板素材３０の一方の
面に、所定の間隔を隔てて多数の溝３１…３１を平行に
形成する。これらの溝３１…３１は、この実施例ではハ
ーフエッチング法により、以下のようにして形成され
る。
【００２１】まず、図４に示すように、薄板素材３０の
一方の面にレジスト膜３２を形成し、その上に、遮光部
３３ａおよび透光部３３ｂからなるマスクフィルム３３
を重ねる。ついで、マスクフィルム３３の上方から光を
照射することにより、上記レジスト膜３２におけるマス
クフィルム３３の透光部３３ｂに対応する部位を硬化さ
せる。この硬化後、マスクフィルム３３を除去した後
に、レジスト膜３２の非硬化部を現像液で除去すること
によって、図５に示すように、レジスト膜３２の硬化部
３２ａのみが薄板素材３０の表面上に残る。上記レジス
ト膜３２の形成後、薄板素材３０におけるレジスト膜３
２が存在しない部位を、図６に示すように、適宣深さま
で腐食させる。こうして、周知の手法でエッチングを行
うことにより、薄板素材３０に多数の溝３１…３１が形
成され、その後、レジスト膜３２の硬化部３２ａを除去
することにより、図３に示すような薄板素材３０が得ら
れる。
一方の面にレジスト膜３２を形成し、その上に、遮光部
３３ａおよび透光部３３ｂからなるマスクフィルム３３
を重ねる。ついで、マスクフィルム３３の上方から光を
照射することにより、上記レジスト膜３２におけるマス
クフィルム３３の透光部３３ｂに対応する部位を硬化さ
せる。この硬化後、マスクフィルム３３を除去した後
に、レジスト膜３２の非硬化部を現像液で除去すること
によって、図５に示すように、レジスト膜３２の硬化部
３２ａのみが薄板素材３０の表面上に残る。上記レジス
ト膜３２の形成後、薄板素材３０におけるレジスト膜３
２が存在しない部位を、図６に示すように、適宣深さま
で腐食させる。こうして、周知の手法でエッチングを行
うことにより、薄板素材３０に多数の溝３１…３１が形
成され、その後、レジスト膜３２の硬化部３２ａを除去
することにより、図３に示すような薄板素材３０が得ら
れる。
【００２２】その後、図７に示すように、多数の溝３１
…３１が形成された薄板素材３０の他方の面に、前述の
絶縁層２２を介して多数の歪みゲージ２３…２３を縦横
に整列させて形成する。これらの歪みゲージ２３…２３
は、スパッタリング法等による金属薄膜の形成と、この
金属薄膜を所定のパターンに形成するエッチング処理と
を繰り返すことにより形成される。すなわち、歪みゲー
ジ２３は、図８に示すように、少なくとも歪み感知部２
３ａと導線部２３ｂとが積層され、これら２３ａ，２３
ｂがスクリーン印刷法によって形成される保護膜２３ｄ
によって覆われている。
…３１が形成された薄板素材３０の他方の面に、前述の
絶縁層２２を介して多数の歪みゲージ２３…２３を縦横
に整列させて形成する。これらの歪みゲージ２３…２３
は、スパッタリング法等による金属薄膜の形成と、この
金属薄膜を所定のパターンに形成するエッチング処理と
を繰り返すことにより形成される。すなわち、歪みゲー
ジ２３は、図８に示すように、少なくとも歪み感知部２
３ａと導線部２３ｂとが積層され、これら２３ａ，２３
ｂがスクリーン印刷法によって形成される保護膜２３ｄ
によって覆われている。
【００２３】こうして図７のように、裏面および表面に
多数の溝３１…３１および歪みゲージ２３…２３が形成
された薄板素材３０を、二点鎖線で示す切断線ｂに沿っ
て切断することにより、図２に示すように、歪みゲージ
２３が直接形成さた薄板２１が多数得られる。
多数の溝３１…３１および歪みゲージ２３…２３が形成
された薄板素材３０を、二点鎖線で示す切断線ｂに沿っ
て切断することにより、図２に示すように、歪みゲージ
２３が直接形成さた薄板２１が多数得られる。
【００２４】上記のようにして歪みゲージ２３および溝
３１が形成された薄板２１は、以下のように、固定部１
０および慣性質量部１１（図１）に固定される。まず、
図９のように、固定部１０および慣性質量部１１の側面
に一対の治具板４０を当てがって、ボルト４１を固定部
１０および慣性質量部１１のボルト挿入用孔１４に通し
て、固定部１０および慣性質量部１１の相対位置がずれ
ないように固定する。この状態で、二点鎖線で示すよう
に、固定部１０および慣性質量部１１に１枚目の薄板２
１を架け渡し、薄板２１の両端部を固定部１０および慣
性質量部１１にスポット溶接により固着する。この後、
固定部１０および慣性質量部１１を治具板４０などと共
に１８０°回転させて裏返した後、２枚目の薄板２１を
同様にスポット溶接により、固定部１０および慣性質量
部１１に固着する。
３１が形成された薄板２１は、以下のように、固定部１
０および慣性質量部１１（図１）に固定される。まず、
図９のように、固定部１０および慣性質量部１１の側面
に一対の治具板４０を当てがって、ボルト４１を固定部
１０および慣性質量部１１のボルト挿入用孔１４に通し
て、固定部１０および慣性質量部１１の相対位置がずれ
ないように固定する。この状態で、二点鎖線で示すよう
に、固定部１０および慣性質量部１１に１枚目の薄板２
１を架け渡し、薄板２１の両端部を固定部１０および慣
性質量部１１にスポット溶接により固着する。この後、
固定部１０および慣性質量部１１を治具板４０などと共
に１８０°回転させて裏返した後、２枚目の薄板２１を
同様にスポット溶接により、固定部１０および慣性質量
部１１に固着する。
【００２５】上記構成において、図１の固定部１０が固
定された機器が振動すると、可撓部２１ａに圧縮歪みお
よび引張歪みが生じる。この際、ビーム部２０が互いに
平行に一対設けられているので、ビーム部２０がねじれ
るおそれがないから、一方向の振動成分を精度良く検出
することができる。
定された機器が振動すると、可撓部２１ａに圧縮歪みお
よび引張歪みが生じる。この際、ビーム部２０が互いに
平行に一対設けられているので、ビーム部２０がねじれ
るおそれがないから、一方向の振動成分を精度良く検出
することができる。
【００２６】特に、この加速度センサは、固定部１０お
よび慣性質量部１１を金属ブロックにより形成している
ので、慣性質量部１１に必要な重量が得られるととも
に、ビーム部２０を金属製の薄板２１で形成したから、
ビーム部２０全体を薄いものとすることができ、加速度
センサが小型になる。
よび慣性質量部１１を金属ブロックにより形成している
ので、慣性質量部１１に必要な重量が得られるととも
に、ビーム部２０を金属製の薄板２１で形成したから、
ビーム部２０全体を薄いものとすることができ、加速度
センサが小型になる。
【００２７】また、可撓部２１ａを前述のように、エッ
チングなどの非機械加工により形成することで、可撓部
２１ａを極めて薄くすることができるから、小さな負荷
により、可撓部２１ａが容易に歪む。したがって、慣性
質量部１１を小さくすることができるから、加速度セン
サがより一層小型になる。
チングなどの非機械加工により形成することで、可撓部
２１ａを極めて薄くすることができるから、小さな負荷
により、可撓部２１ａが容易に歪む。したがって、慣性
質量部１１を小さくすることができるから、加速度セン
サがより一層小型になる。
【００２８】さらに、薄板２１を固定部１０および慣性
質量部１１に、たとえばＹＡＧレーザによるスポット溶
接によって溶接しているので、薄板２１と固定部１０お
よび慣性質量部１１とを小さな接合部分により一体とす
ることができる。したがって、やはり、加速度センサが
小型になる。
質量部１１に、たとえばＹＡＧレーザによるスポット溶
接によって溶接しているので、薄板２１と固定部１０お
よび慣性質量部１１とを小さな接合部分により一体とす
ることができる。したがって、やはり、加速度センサが
小型になる。
【００２９】また、上記実施例では、ビーム部２０を構
成する薄板２１に歪みゲージ２３を直接形成したから、
別途歪みゲージ２３を形成した薄板をビーム部２０に接
着するのと異なり、ビーム部２０の可撓部２１ａを薄肉
にすることができる。したがって、慣性質量部１１を軽
量にして、加速度センサの小型化を図ることができる。
なお、図７の大きな薄板素材３０に多数の歪みゲージ２
３を直接形成することにより、生産性も向上する。
成する薄板２１に歪みゲージ２３を直接形成したから、
別途歪みゲージ２３を形成した薄板をビーム部２０に接
着するのと異なり、ビーム部２０の可撓部２１ａを薄肉
にすることができる。したがって、慣性質量部１１を軽
量にして、加速度センサの小型化を図ることができる。
なお、図７の大きな薄板素材３０に多数の歪みゲージ２
３を直接形成することにより、生産性も向上する。
【００３０】また、上記実施例では、図９のように、固
定部１０と慣性質量部１１との相対位置を保持した状態
で、２枚の薄板２１を溶接するから、薄板２１の取付位
置にずれが生じないので、固定部１０および慣性質量部
１１に対する薄板２１の取付が容易になる。
定部１０と慣性質量部１１との相対位置を保持した状態
で、２枚の薄板２１を溶接するから、薄板２１の取付位
置にずれが生じないので、固定部１０および慣性質量部
１１に対する薄板２１の取付が容易になる。
【００３１】ところで、上記第１実施例では、図１の薄
板２１に溝２４を設けることで、ビーム部２０の可撓部
２１ａを形成した。しかし、この発明では、必ずしも薄
板２１に溝２４を設ける必要はない。この一例を図１０
の第２実施例に示す。
板２１に溝２４を設けることで、ビーム部２０の可撓部
２１ａを形成した。しかし、この発明では、必ずしも薄
板２１に溝２４を設ける必要はない。この一例を図１０
の第２実施例に示す。
【００３２】図１０において、薄板２１には、４つの切
欠スリット２４Ａが形成されており、この切欠スリット
２４Ａによって、ビーム部２０に可撓部２１ａが形成さ
れている。切欠スリット２４Ａは、たとえばレーザビー
ムにより切断除去されている。その他の構成は、図１お
よび図２の第１実施例と同様であり、同一部分または相
当部分に同一符号を付して、その説明および図示を省略
する。
欠スリット２４Ａが形成されており、この切欠スリット
２４Ａによって、ビーム部２０に可撓部２１ａが形成さ
れている。切欠スリット２４Ａは、たとえばレーザビー
ムにより切断除去されている。その他の構成は、図１お
よび図２の第１実施例と同様であり、同一部分または相
当部分に同一符号を付して、その説明および図示を省略
する。
【００３３】図１１は第３実施例を示す。図１１におい
て、加速度センサを構成する第１の起歪体１は、計量セ
ルを構成する第２の（他の）起歪体５０の貫通孔５１内
に収納されている。第１の起歪体１は、第２の起歪体５
０の固定剛体部５２の凹所５２ａに嵌め込まれた状態
で、ねじ５３により固定されている。上記第２の起歪体
５０は、周知のロードセルで、固定剛体部５２と可動剛
体部５７との間に一対のビーム部５４が一体に架設され
ており、上記ビーム部５４の可撓部５５に設けた歪みゲ
ージ５６によって、可動剛体部５７に加わった荷重Ｆを
検出する。この加速度センサ付の計量セルは、たとえ
ば、ウェイトチェッカーや組合せ計量装置の設置場所の
振動が荷重の検出精度を低下させる場合について好適に
用いられる。なお、第１の起歪体１を含む加速度センサ
の構成は、図１および図２の第１実施例と同様であり、
同一部分ないし相当部分に同一符号を付して、その説明
を省略する。
て、加速度センサを構成する第１の起歪体１は、計量セ
ルを構成する第２の（他の）起歪体５０の貫通孔５１内
に収納されている。第１の起歪体１は、第２の起歪体５
０の固定剛体部５２の凹所５２ａに嵌め込まれた状態
で、ねじ５３により固定されている。上記第２の起歪体
５０は、周知のロードセルで、固定剛体部５２と可動剛
体部５７との間に一対のビーム部５４が一体に架設され
ており、上記ビーム部５４の可撓部５５に設けた歪みゲ
ージ５６によって、可動剛体部５７に加わった荷重Ｆを
検出する。この加速度センサ付の計量セルは、たとえ
ば、ウェイトチェッカーや組合せ計量装置の設置場所の
振動が荷重の検出精度を低下させる場合について好適に
用いられる。なお、第１の起歪体１を含む加速度センサ
の構成は、図１および図２の第１実施例と同様であり、
同一部分ないし相当部分に同一符号を付して、その説明
を省略する。
【００３４】この第３実施例のように、加速度センサ用
の第１の起歪体１を、第２の起歪体５０の貫通孔５１内
に収納すれば、第２の起歪体５０内のスペースを有効に
利用できるから、機器が小型になる。
の第１の起歪体１を、第２の起歪体５０の貫通孔５１内
に収納すれば、第２の起歪体５０内のスペースを有効に
利用できるから、機器が小型になる。
【００３５】図１２（ａ）および（ｂ）は、それぞれ第
４実施例および第５実施例を示す。図１２（ａ）におい
て、固定部１０には、慣性質量部１１のストッパ用突部
１５が入り込むストッパ用溝１６が形成されている。上
記ストッパ用溝１６とストッパ用突部１５との間には、
若干の隙間Ｓが形成されており、固定部１０に対して慣
性質量部１１が必要以上に大きく変位するのを防止して
いる。なお、上記ストッパ用突部１５およびストッパ用
溝１６は、図１２（ｂ）のように、慣性質量部１１およ
び固定部１０を形成するブロックとは別体の板材１７，
１８に形成し、これらの板材１７，１８をブロックにボ
ルト（図示せず）などにより固定してもよい。
４実施例および第５実施例を示す。図１２（ａ）におい
て、固定部１０には、慣性質量部１１のストッパ用突部
１５が入り込むストッパ用溝１６が形成されている。上
記ストッパ用溝１６とストッパ用突部１５との間には、
若干の隙間Ｓが形成されており、固定部１０に対して慣
性質量部１１が必要以上に大きく変位するのを防止して
いる。なお、上記ストッパ用突部１５およびストッパ用
溝１６は、図１２（ｂ）のように、慣性質量部１１およ
び固定部１０を形成するブロックとは別体の板材１７，
１８に形成し、これらの板材１７，１８をブロックにボ
ルト（図示せず）などにより固定してもよい。
【００３６】なお、上記各実施例では、薄板２１に溝２
４または図１０の切欠スリット２４Ａを設けて、可撓部
２１ａを形成したが、請求項１，２，５，６もしくは７
の発明では、上記切欠スリット２４Ａなどを必ずしも設
ける必要はない。たとえば、薄板２１は、図１の溝２４
を設けなくても、固定部１０および慣性質量部１１の近
傍において最も大きく歪むので、この部分を可撓部２１
ａとしてもよい。
４または図１０の切欠スリット２４Ａを設けて、可撓部
２１ａを形成したが、請求項１，２，５，６もしくは７
の発明では、上記切欠スリット２４Ａなどを必ずしも設
ける必要はない。たとえば、薄板２１は、図１の溝２４
を設けなくても、固定部１０および慣性質量部１１の近
傍において最も大きく歪むので、この部分を可撓部２１
ａとしてもよい。
【００３７】また、請求項３，４および６の発明では、
ビーム部２０を薄板２１により形成する必要はなく、ビ
ーム部２０と固定部１０および慣性質量部１１とを一体
の成形品で構成してもよい。
ビーム部２０を薄板２１により形成する必要はなく、ビ
ーム部２０と固定部１０および慣性質量部１１とを一体
の成形品で構成してもよい。
【００３８】また、上記実施例では、歪みゲージ２３と
して、金属薄膜からなる歪みゲージを用いたが、この発
明では、水素化アモルファスシリコン薄膜のような半導
体薄膜歪みゲージなどを用いてもよい。
して、金属薄膜からなる歪みゲージを用いたが、この発
明では、水素化アモルファスシリコン薄膜のような半導
体薄膜歪みゲージなどを用いてもよい。
【００３９】
【発明の効果】以上説明したように、請求項１の発明に
よれば、ビーム部を一対設けるとともに、固定部および
慣性質量部をブロックで形成し、一方、ビーム部を薄板
で形成したから、加速度センサを小さくすることがで
き、かつ、この小さな加速度センサにより微弱な振動を
精度良く検出し得る。この場合、薄板を固定部および慣
性質量部に溶接すれば、加速度センサがより一層小型に
なる。
よれば、ビーム部を一対設けるとともに、固定部および
慣性質量部をブロックで形成し、一方、ビーム部を薄板
で形成したから、加速度センサを小さくすることがで
き、かつ、この小さな加速度センサにより微弱な振動を
精度良く検出し得る。この場合、薄板を固定部および慣
性質量部に溶接すれば、加速度センサがより一層小型に
なる。
【００４０】また、請求項３の発明によれば、ビーム部
の可撓部を、たとえばエッチングやレーザビームなどの
ような非機械加工によって形成しているので、可撓部を
薄肉ないし幅の狭いものとすることができるから、慣性
質量部を小さくすることができる。したがって、やは
り、加速度センサが小型になる。
の可撓部を、たとえばエッチングやレーザビームなどの
ような非機械加工によって形成しているので、可撓部を
薄肉ないし幅の狭いものとすることができるから、慣性
質量部を小さくすることができる。したがって、やは
り、加速度センサが小型になる。
【００４１】また、請求項５の発明によれば、歪みゲー
ジが直接形成された金属製の薄板によってビーム部が構
成されているから、別途、ビーム部に歪みゲージを接着
する場合と異なり、ビーム部の可撓部を薄くすることが
できるので、やはり、加速度センサが小型になる。
ジが直接形成された金属製の薄板によってビーム部が構
成されているから、別途、ビーム部に歪みゲージを接着
する場合と異なり、ビーム部の可撓部を薄くすることが
できるので、やはり、加速度センサが小型になる。
【００４２】また、請求項６の発明のように、加速度セ
ンサを構成する起歪体を、計量セルを構成する他の起歪
体の貫通孔内に収納することにより、加速度センサ付の
計量セル全体が小型になる。
ンサを構成する起歪体を、計量セルを構成する他の起歪
体の貫通孔内に収納することにより、加速度センサ付の
計量セル全体が小型になる。
【００４３】また、請求項７の製造方法によれば、固定
部および慣性質量部を構成するブロックに対して、ビー
ム部の取付が容易になる。
部および慣性質量部を構成するブロックに対して、ビー
ム部の取付が容易になる。
【図１】この発明の加速度センサの第１実施例を示す起
歪体の概略拡大斜視図である。
歪体の概略拡大斜視図である。
【図２】同ビーム部を構成する薄板の拡大斜視図であ
る。
る。
【図３】薄板素材に溝を形成した状態を示す斜視図であ
る。
る。
【図４】溝を形成するエッチング法の第１工程を示す拡
大断面図である。
大断面図である。
【図５】同第２工程を示す拡大断面図である。
【図６】同第３工程を示す拡大断面図である。
【図７】薄板素材に多数の歪みゲージを形成した状態を
示す概略斜視図である。
示す概略斜視図である。
【図８】歪みゲージの構造の一部を示す拡大断面図であ
る。
る。
【図９】薄板の溶接工程を示す平面図である。
【図１０】第２実施例にかかる薄板（ビーム部）の概略
拡大斜視図である。
拡大斜視図である。
【図１１】第３実施例にかかる加速度センサ付のロード
セルを示す一部断面した正面図である。
セルを示す一部断面した正面図である。
【図１２】（ａ）は加速度センサの第４実施例を示す起
歪体の概略拡大斜視図、（ｂ）は加速度センサの第５実
施例を示す起歪体の概略拡大斜視図である。
歪体の概略拡大斜視図、（ｂ）は加速度センサの第５実
施例を示す起歪体の概略拡大斜視図である。
１…起歪体、１０…固定部、１１…慣性質量部、２０…
ビーム部、２１…薄板、２１ａ…可撓部、２３…歪みゲ
ージ、５０…他の起歪体、５１…貫通孔、５２…固定剛
体部。
ビーム部、２１…薄板、２１ａ…可撓部、２３…歪みゲ
ージ、５０…他の起歪体、５１…貫通孔、５２…固定剛
体部。
Claims (7)
- 【請求項１】 ２箇所の可撓部が形成されたビーム部
を、一端の固定部と他端の慣性質量部との間に、互いに
平行に２本設けた起歪体と、上記ビーム部の可撓部に設
けられた歪みゲージとを備えた加速度センサであって、 上記固定部および慣性質量部はブロックで形成され、 上記ビーム部は金属製の薄板で形成されているととも
に、ビーム部の両端部が上記ブロックに固定されている
加速度センサ。 - 【請求項２】 請求項１において、上記ビーム部の両端
部が上記固定部および慣性質量部に溶接されている加速
度センサ。 - 【請求項３】 ２箇所の可撓部が形成されたビーム部
を、一端の固定部と他端の慣性質量部との間に、互いに
平行に２本設けた起歪体と、上記ビーム部の可撓部に設
けられた歪みゲージとを備えた加速度センサであって、 上記可撓部が、非機械加工により形成されている加速度
センサ。 - 【請求項４】 請求項３において、上記可撓部が、エッ
チングまたはレーザビームにより加工されて形成されて
いる加速度センサ。 - 【請求項５】 ２箇所の可撓部が形成されたビーム部
を、一端の固定部と他端の慣性質量部との間に、互いに
平行に２本設けた起歪体と、上記ビーム部の可撓部に設
けられた歪みゲージとを備えた加速度センサであって、 上記ビーム部は歪みゲージが直接形成された金属製の薄
板で構成されている加速度センサ。 - 【請求項６】 請求項１，２，３，４もしくは５の加速
度センサを構成する起歪体が、計量セルを構成する他の
起歪体の貫通孔内に収納されているとともに、上記他の
起歪体の固定剛体部に固定されている加速度センサの取
付構造。 - 【請求項７】 ２箇所の可撓部が形成された薄板製のビ
ーム部を、一端の固定部と他端の慣性質量部との間に、
互いに平行に２枚架設した起歪体を有する加速度センサ
の製造方法であって、 上記固定部および慣性質量部を構成する一対のブロック
の相対位置を保持した状態で、上記２枚のビーム部を上
記一対のブロックに固定する工程を有する加速度センサ
の製造方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20284993A JP3314107B2 (ja) | 1993-07-22 | 1993-07-22 | 加速度センサの取付構造 |
| US08/277,748 US5440077A (en) | 1993-07-22 | 1994-07-20 | Combined weighting and displacement sensor and weighing apparatus using the same |
| DE69415885T DE69415885T2 (de) | 1993-07-22 | 1994-07-21 | Lastsensor mit Verschiebungssensor und diese verwendende Wiegevorrichtung |
| EP94111446A EP0635703B1 (en) | 1993-07-22 | 1994-07-21 | Combined weighing and displacement sensor and weighing apparatus using the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20284993A JP3314107B2 (ja) | 1993-07-22 | 1993-07-22 | 加速度センサの取付構造 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0735766A true JPH0735766A (ja) | 1995-02-07 |
| JP3314107B2 JP3314107B2 (ja) | 2002-08-12 |
Family
ID=16464215
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20284993A Expired - Fee Related JP3314107B2 (ja) | 1993-07-22 | 1993-07-22 | 加速度センサの取付構造 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5440077A (ja) |
| EP (1) | EP0635703B1 (ja) |
| JP (1) | JP3314107B2 (ja) |
| DE (1) | DE69415885T2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005337480A (ja) * | 2004-05-31 | 2005-12-08 | Toyota Motor Corp | 圧電式制振装置の構成方法 |
| JP2007322188A (ja) * | 2006-05-31 | 2007-12-13 | Oki Electric Ind Co Ltd | Ｍｅｍｓデバイス |
| JP2011169786A (ja) * | 2010-02-19 | 2011-09-01 | Yamato Scale Co Ltd | ダミーロードセル |
| JP2013061262A (ja) * | 2011-09-14 | 2013-04-04 | Yamato Scale Co Ltd | ロードセルおよびその製造方法 |
| US8473188B2 (en) | 2007-02-20 | 2013-06-25 | Denso Corporation | Vehicle collision detecting system |
Families Citing this family (21)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE69624049T2 (de) * | 1995-07-26 | 2003-03-06 | Ishida Co., Ltd. | Wägeeinrichtung |
| DE19926513A1 (de) * | 1999-06-10 | 2000-12-21 | Bsh Bosch Siemens Hausgeraete | Kochfeld mit Wägeeinheit |
| US6178829B1 (en) * | 1999-06-29 | 2001-01-30 | Kavlico Corporation | Redundant linkage and sensor assembly |
| EP1347273A1 (de) * | 2002-03-23 | 2003-09-24 | Soehnle-Waagen GmbH & Co. KG | Wägezelle |
| US7009119B2 (en) * | 2002-12-02 | 2006-03-07 | Conair Corporation | Weight scale control system and pad |
| US7275452B2 (en) * | 2003-03-25 | 2007-10-02 | Kulite Semiconductor Products, Inc. | Stop assembly for a beam type load cell |
| JP3808841B2 (ja) * | 2003-04-02 | 2006-08-16 | 株式会社イシダ | 重量検出装置 |
| US7086299B2 (en) * | 2003-05-08 | 2006-08-08 | Kulite Semiconductor Products, Inc. | Multi-load beam apparatus to prevent improper operation due to off-axis loads |
| US7048096B2 (en) * | 2003-12-08 | 2006-05-23 | Russell Ozechowski | Incremental braking apparatus and method of braking |
| US7624637B2 (en) * | 2007-09-14 | 2009-12-01 | Kulite Semiconductor Products, Inc. | Beam accelerometer with limiting apparatus |
| NL2008635C2 (nl) * | 2012-04-13 | 2013-10-16 | Marel Stork Poultry Proc Bv | Inrichting voor het wegen van slachtproducten en werkwijze voor toepassing daarvan. |
| US9778120B2 (en) * | 2012-11-02 | 2017-10-03 | A&D Company, Limited | Load cell |
| DE102013114418A1 (de) * | 2013-12-18 | 2015-06-18 | Eurailscout Inspection & Analysis B.V. (Niederlassung Berlin) | Vorrichtung und Verfahren zum Ermitteln der Kontaktkraft zwischen zwei Bauteilen |
| US10041856B2 (en) * | 2016-03-01 | 2018-08-07 | Cleveland Electric Laboratories Company | Method and apparatus for measuring physical displacement |
| WO2019229549A1 (en) | 2018-05-31 | 2019-12-05 | Nanolever S.R.L. | Load-cell device |
| CN110044418A (zh) * | 2019-04-28 | 2019-07-23 | 深圳市力准传感技术有限公司 | 组合式位移测力计 |
| IT201900021000A1 (it) | 2019-11-12 | 2021-05-12 | Nanolever S R L | Dispositivo di pesatura e corrispondente procedimento |
| EP3845872B1 (de) * | 2019-12-30 | 2023-07-12 | Bizerba SE & Co. KG | Wägezelle |
| EP3845874A1 (de) | 2019-12-30 | 2021-07-07 | Bizerba SE & Co. KG | Regalkonsole |
| EP3845873B1 (de) | 2019-12-30 | 2023-02-15 | Bizerba SE & Co. KG | Regalkonsole |
| DE102022128780A1 (de) * | 2022-10-28 | 2024-05-08 | Sartorius Lab Instruments Gmbh & Co. Kg | Verfahren zum Herstellen eines Grundkörpers eines Wägeaufnehmers und Grundkörper |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4379495A (en) * | 1981-04-27 | 1983-04-12 | Hobart Corporation | Weighing scale with low susceptibility to vibration |
| DE3236532A1 (de) * | 1982-10-02 | 1984-04-05 | Philips Patentverwaltung Gmbh, 2000 Hamburg | Kraftaufnehmer |
| DE3479237D1 (en) * | 1983-04-14 | 1989-09-07 | Ishida Scale Mfg Co Ltd | Weighing apparatus |
| US4593778A (en) * | 1983-06-21 | 1986-06-10 | Kabushiki Kaisha Ishida Koki Seisakusho | Weighing machine with dummy load cell for error correction |
| AU565314B2 (en) * | 1983-12-28 | 1987-09-10 | K.S. Ishida K.K. | Weight sensor |
| US4657097A (en) * | 1984-02-13 | 1987-04-14 | Reliance Electric Company | Load cell |
| CH665287A5 (fr) * | 1985-12-17 | 1988-04-29 | Scaime | Capteur a jauge de contrainte pour la mesure de forces. |
| JPH0785032B2 (ja) * | 1987-02-27 | 1995-09-13 | 大和製衡株式会社 | 計量機 |
| US5154247A (en) * | 1989-10-31 | 1992-10-13 | Teraoka Seiko Co., Limited | Load cell |
| JP3312626B2 (ja) * | 1989-12-01 | 2002-08-12 | 株式会社石田衡器製作所 | ロードセル型重量測定装置 |
| JPH03180722A (ja) * | 1989-12-08 | 1991-08-06 | Yamato Scale Co Ltd | 秤 |
-
1993
- 1993-07-22 JP JP20284993A patent/JP3314107B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1994
- 1994-07-20 US US08/277,748 patent/US5440077A/en not_active Expired - Lifetime
- 1994-07-21 EP EP94111446A patent/EP0635703B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1994-07-21 DE DE69415885T patent/DE69415885T2/de not_active Expired - Lifetime
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005337480A (ja) * | 2004-05-31 | 2005-12-08 | Toyota Motor Corp | 圧電式制振装置の構成方法 |
| JP4655511B2 (ja) * | 2004-05-31 | 2011-03-23 | トヨタ自動車株式会社 | 圧電式制振装置の構成方法 |
| JP2007322188A (ja) * | 2006-05-31 | 2007-12-13 | Oki Electric Ind Co Ltd | Ｍｅｍｓデバイス |
| US8473188B2 (en) | 2007-02-20 | 2013-06-25 | Denso Corporation | Vehicle collision detecting system |
| JP2011169786A (ja) * | 2010-02-19 | 2011-09-01 | Yamato Scale Co Ltd | ダミーロードセル |
| JP2013061262A (ja) * | 2011-09-14 | 2013-04-04 | Yamato Scale Co Ltd | ロードセルおよびその製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3314107B2 (ja) | 2002-08-12 |
| DE69415885D1 (de) | 1999-02-25 |
| EP0635703A1 (en) | 1995-01-25 |
| DE69415885T2 (de) | 1999-07-01 |
| EP0635703B1 (en) | 1999-01-13 |
| US5440077A (en) | 1995-08-08 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0735766A (ja) | 加速度センサ、加速度センサの取付構造および製造方法 | |
| US7954215B2 (en) | Method for manufacturing acceleration sensing unit | |
| EP0381187A2 (en) | Force detector using resistance elements | |
| EP2110847B1 (en) | Method for manufacturing acceleration sensor and angular velocity sensor by using a method for correcting mask pattern | |
| US7608900B2 (en) | Semiconductor device and method of manufacturing and inspection thereof | |
| JPH0368827A (ja) | 力測定器 | |
| JPH08178694A (ja) | 変位センサ用のスケール | |
| US20210041312A1 (en) | Force sensor and sensing element thereof | |
| JP2003042861A (ja) | 立体型歪みセンサ | |
| EP4276410B1 (en) | Vibrating beam accelerometer | |
| JP2732287B2 (ja) | 加速度センサ | |
| JPS63118667A (ja) | 三次元加速度センサ | |
| CN110088592B (zh) | 试验治具和试验方法 | |
| JPH05248925A (ja) | ロードセル、ロードセルの製造方法、計量器及び計量方法 | |
| JP2004045138A (ja) | 分力計 | |
| JPH08107219A (ja) | 半導体加速度センサ及び半導体加速度センサの製造方法 | |
| CN111670349B (zh) | 传感器芯片及力传感器装置 | |
| JP6364637B2 (ja) | 荷重変換器 | |
| EP1288646B1 (en) | Method and apparatus for measuring a material property | |
| JP7061718B2 (ja) | 荷重変換器 | |
| JPH05187913A (ja) | 振動インテンシティ計測方法及びその装置 | |
| JPH04198823A (ja) | 薄板材の残留応力測定方法および装置 | |
| JPS62108161A (ja) | 加速度センサ | |
| JPH0152911B2 (ja) | ||
| JPH1038726A (ja) | 半導体圧力差圧検出器 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080531 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110531 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120531 Year of fee payment: 10 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |