JPH0733996B2 - 管内面形状検出装置 - Google Patents
管内面形状検出装置Info
- Publication number
- JPH0733996B2 JPH0733996B2 JP61200566A JP20056686A JPH0733996B2 JP H0733996 B2 JPH0733996 B2 JP H0733996B2 JP 61200566 A JP61200566 A JP 61200566A JP 20056686 A JP20056686 A JP 20056686A JP H0733996 B2 JPH0733996 B2 JP H0733996B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- pipe
- inspected
- peripheral surface
- inner peripheral
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/954—Inspecting the inner surface of hollow bodies, e.g. bores
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は熱交換器等のパイプ、その他各種の配管の内面
性状、特に小径管の内面形状を光学的に検出する装置に
関するものである。
性状、特に小径管の内面形状を光学的に検出する装置に
関するものである。
従来、この種の小径管の内面検査装置は種々提案されて
いるが、いずれも超音波又は光を用いる構成が採られて
おり、その一例を示すと第4,5図に示す如くになってい
る。第4図は超音波を用いた従来の管内面検査装置の模
式的断面図であり、超音波の送,受信機能を備えた超音
波深触子42及びこれに対向させて配設した反射部材43を
備えた検出ヘッド41を被検査管P内に挿入すると共に、
被検査管P内に超音波の伝播媒体である水を注入し、反
射部材43をその軸心線回りに回転させつつこれに向けて
超音波深触子42から超音波を投射し、反射部材43にて超
音波を直角に屈折させ、被検査管Pの内周面の周方向各
部に投射させ、被検査管Pの内,外面からの反射エコー
を超音波深触子42にて受信し、そのデータを図示しない
検査装置本体に取り出し、被検査管Pの内,外径、表面
の凹凸、変形等を検出するようになっている。
いるが、いずれも超音波又は光を用いる構成が採られて
おり、その一例を示すと第4,5図に示す如くになってい
る。第4図は超音波を用いた従来の管内面検査装置の模
式的断面図であり、超音波の送,受信機能を備えた超音
波深触子42及びこれに対向させて配設した反射部材43を
備えた検出ヘッド41を被検査管P内に挿入すると共に、
被検査管P内に超音波の伝播媒体である水を注入し、反
射部材43をその軸心線回りに回転させつつこれに向けて
超音波深触子42から超音波を投射し、反射部材43にて超
音波を直角に屈折させ、被検査管Pの内周面の周方向各
部に投射させ、被検査管Pの内,外面からの反射エコー
を超音波深触子42にて受信し、そのデータを図示しない
検査装置本体に取り出し、被検査管Pの内,外径、表面
の凹凸、変形等を検出するようになっている。
また第5図は光を用いた従来の管内面検査装置の模式的
断面図であり、筒状ケーシング51a内にその周壁に形成
した窓51bに面して投光部52,受光部53をその光軸が被検
査管Pの内周面にて相互に交叉するよう傾けた状態に配
置してなる検出ヘッド51を操作軸54の先端に固定して構
成されており、操作軸54にて検出ヘッド51を被検査管P
内で回転させつつ軸方向に移動させて内周面を光学的に
検査するようになっている。
断面図であり、筒状ケーシング51a内にその周壁に形成
した窓51bに面して投光部52,受光部53をその光軸が被検
査管Pの内周面にて相互に交叉するよう傾けた状態に配
置してなる検出ヘッド51を操作軸54の先端に固定して構
成されており、操作軸54にて検出ヘッド51を被検査管P
内で回転させつつ軸方向に移動させて内周面を光学的に
検査するようになっている。
更に、特開昭60−129647号公報及び特開昭62−150612号
にはスリットを用いた光分配手段により環状に光を発生
させ、この光の像を受光手段により撮像し、像の歪みか
ら管内面を検査する技術が開示されている。
にはスリットを用いた光分配手段により環状に光を発生
させ、この光の像を受光手段により撮像し、像の歪みか
ら管内面を検査する技術が開示されている。
ところで上述した第4図に示した如き超音波を利用する
検出装置にあっては超音波自体の特性である収束性が悪
いために分解能が低く、また被検査管P内に超音波の伝
播媒体たる水を充填しておく必要があって、水の給,排
設備、更には被検査管両端の水密封止手段等を必要と
し、設備コストが高くなり、また被検査管Pの両端の封
止、被検査管P内への給水,排水作業自体も煩わしく、
作業能率も低い等の問題があった。
検出装置にあっては超音波自体の特性である収束性が悪
いために分解能が低く、また被検査管P内に超音波の伝
播媒体たる水を充填しておく必要があって、水の給,排
設備、更には被検査管両端の水密封止手段等を必要と
し、設備コストが高くなり、また被検査管Pの両端の封
止、被検査管P内への給水,排水作業自体も煩わしく、
作業能率も低い等の問題があった。
一方第5図に示す如き光学的検出装置は水を用いない利
点がある反面、操作軸54にてケーシング51aを回転させ
つつ移動させる必要があるため作業自体が煩わしいこと
は勿論作業能率も悪く、また被検査管の内周面に対する
走査が螺旋状となるため検出精度の信頼性が低いなどの
問題があった。
点がある反面、操作軸54にてケーシング51aを回転させ
つつ移動させる必要があるため作業自体が煩わしいこと
は勿論作業能率も悪く、また被検査管の内周面に対する
走査が螺旋状となるため検出精度の信頼性が低いなどの
問題があった。
また、特開昭60−129647号および特開昭62−150612号に
開示された装置では被検査管内に同時、且つ全面に光を
投射するものの、いずれもスリットを用いて光を分配す
るため光源からの光束のうり有効に分配されるものが極
めて少なく効率が悪いという欠点があった。
開示された装置では被検査管内に同時、且つ全面に光を
投射するものの、いずれもスリットを用いて光を分配す
るため光源からの光束のうり有効に分配されるものが極
めて少なく効率が悪いという欠点があった。
本発明はかかる事情に鑑みなされたものであって、その
目的とするところは設備が簡単で作業能率が高く、測定
精度も高い管内面形状検出装置を提供するにある。
目的とするところは設備が簡単で作業能率が高く、測定
精度も高い管内面形状検出装置を提供するにある。
本発明装置にあっては光源と、該光源から発せられた光
を被検査管の内周面に向けて周方向の全周にわたって分
配投射する手段と、被検査管内周面からの像を捉える二
次元受光部とを有する検出ヘッドを備え、これを被検査
管内に挿入してその内面形状を検出する管内面形状検出
装置において、前記検出ヘッドは光源と、多数本の光フ
ァイバにて形成され、一端部は前記光源から発せられた
光を入射せしめるべく束ねられ、他端部は被検査管の内
周面に対向させるべく外方に向けて周方向に略全周にわ
たるよう放射状に配列せしめられた光分配投射手段と、
被検査管内周面の像を捉える二次元受光部とを具備する
ことを特徴とする。
を被検査管の内周面に向けて周方向の全周にわたって分
配投射する手段と、被検査管内周面からの像を捉える二
次元受光部とを有する検出ヘッドを備え、これを被検査
管内に挿入してその内面形状を検出する管内面形状検出
装置において、前記検出ヘッドは光源と、多数本の光フ
ァイバにて形成され、一端部は前記光源から発せられた
光を入射せしめるべく束ねられ、他端部は被検査管の内
周面に対向させるべく外方に向けて周方向に略全周にわ
たるよう放射状に配列せしめられた光分配投射手段と、
被検査管内周面の像を捉える二次元受光部とを具備する
ことを特徴とする。
本発明はこれによって光源からの光を途中での損失を極
めて少なくし、被検査管の内周面に対し、その周方向の
全面にわたって同時に光を投射し、且つこの像を同時的
に捉え得ることとなる。
めて少なくし、被検査管の内周面に対し、その周方向の
全面にわたって同時に光を投射し、且つこの像を同時的
に捉え得ることとなる。
以下本発明をその実施例を示す図面に基づき具体的に説
明する。第1図は本発明に係る管内面形状検出装置(以
下本発明装置という)の使用態様を示す模式的断面図、
第2図は第1図のII−II線による断面図であり、図中1
は検出ヘッド、2は検出装置本体、Pは被検査管を示し
ている。
明する。第1図は本発明に係る管内面形状検出装置(以
下本発明装置という)の使用態様を示す模式的断面図、
第2図は第1図のII−II線による断面図であり、図中1
は検出ヘッド、2は検出装置本体、Pは被検査管を示し
ている。
検出ヘッド1は金属,合成樹脂等の耐腐食性材料を用い
て両端を閉じた中空の円筒形に形成されたケーシング21
内に光源22、投光光学系を構成する第1,第2の投光レン
ズ23,24、光分配手段を構成するハンドルファイバ34、
集光光学系を構成するレンズ26、二次元受光部27等を配
設して構成されている。
て両端を閉じた中空の円筒形に形成されたケーシング21
内に光源22、投光光学系を構成する第1,第2の投光レン
ズ23,24、光分配手段を構成するハンドルファイバ34、
集光光学系を構成するレンズ26、二次元受光部27等を配
設して構成されている。
ケーシング21はその軸方向の中間部周壁に、軸方向の所
要寸法にわたって周方向の全周にわたり透明体を嵌め込
んだ環状窓21aを備え、また前,後端板の外側には取付
部21b,21cを備え、この各取付部21b,21cに一端に車輪3
を取り付けた支持杆3aの各他端が相互に略120度の間隔
を隔てて複数本(通常は3本)づつ固定されており、検
出ヘッドを被検査管P内に挿入したときケーシング21の
軸心線を被検査管Pの軸心線と略一致するよう支持し、
且つこの状態を維持しつつ被検査管P内を移動せしめる
ようになっている。またこのケーシング21の後端板に設
けた取り付け部21cの中央にはこれを貫通させて検出ヘ
ッド1の前,後移動用の駆動索を兼ねる可撓性チューブ
4(金属製パイプでもよい)の一端がケーシング21内と
連通させた状態で連結され、その他端部は検出装置本体
2の近傍にまで延在させてあり、内部には各駆動用電力
を供給するためのケーブル22a及び検出ゲータを送信す
るケーブル29a等が配設されている。
要寸法にわたって周方向の全周にわたり透明体を嵌め込
んだ環状窓21aを備え、また前,後端板の外側には取付
部21b,21cを備え、この各取付部21b,21cに一端に車輪3
を取り付けた支持杆3aの各他端が相互に略120度の間隔
を隔てて複数本(通常は3本)づつ固定されており、検
出ヘッドを被検査管P内に挿入したときケーシング21の
軸心線を被検査管Pの軸心線と略一致するよう支持し、
且つこの状態を維持しつつ被検査管P内を移動せしめる
ようになっている。またこのケーシング21の後端板に設
けた取り付け部21cの中央にはこれを貫通させて検出ヘ
ッド1の前,後移動用の駆動索を兼ねる可撓性チューブ
4(金属製パイプでもよい)の一端がケーシング21内と
連通させた状態で連結され、その他端部は検出装置本体
2の近傍にまで延在させてあり、内部には各駆動用電力
を供給するためのケーブル22a及び検出ゲータを送信す
るケーブル29a等が配設されている。
一方、ケーシング21内にはその環状窓21aの内側に対向
させて中心部には光分配手段たる円錐体25がその頂点を
ケーシング21の先端側に向け、且つ軸心線をケーシング
21の軸心線と一致させた状態で、またその外周には円環
状の第2の投光レンズ24が同心状に配設され、更にバン
ドルファイバ34の一端に対向させてその前方に第1の投
光レンズ23,光源22が配設され、一方ハンドルファイバ3
4の他端にはその軸心線上に光軸を一致させてレンズ2
6、二次元受光部27が配設されている。
させて中心部には光分配手段たる円錐体25がその頂点を
ケーシング21の先端側に向け、且つ軸心線をケーシング
21の軸心線と一致させた状態で、またその外周には円環
状の第2の投光レンズ24が同心状に配設され、更にバン
ドルファイバ34の一端に対向させてその前方に第1の投
光レンズ23,光源22が配設され、一方ハンドルファイバ3
4の他端にはその軸心線上に光軸を一致させてレンズ2
6、二次元受光部27が配設されている。
光源22としてはレーザ発生装置又は白熱光源等が用いら
れる。光源22は発光駆動回路28を経てケーブル22aによ
り検出装置本体2と電気的に接続され、検出装置本体2
から入力される連続的又は間欠的な発光指令信号に基づ
き発光駆動回路28を介して発光せしめられるようになっ
ており、発せられた光は第1の投光レンズ23にて平行光
束に変換された後、バンドルファイバ34の軸心線にこれ
と平行に投射され、バンドルファイバ34の一端に入射さ
れる。
れる。光源22は発光駆動回路28を経てケーブル22aによ
り検出装置本体2と電気的に接続され、検出装置本体2
から入力される連続的又は間欠的な発光指令信号に基づ
き発光駆動回路28を介して発光せしめられるようになっ
ており、発せられた光は第1の投光レンズ23にて平行光
束に変換された後、バンドルファイバ34の軸心線にこれ
と平行に投射され、バンドルファイバ34の一端に入射さ
れる。
光はその他端から軸心線と直交する向きの全周の分配投
射され、更に第2の投光レンズ24を介して被検査管Pの
内周面に向けて投射される。
射され、更に第2の投光レンズ24を介して被検査管Pの
内周面に向けて投射される。
バンドルファイバ34はその一端面は面一とした状態で円
柱状に束ねてその中心を第1の投光レンズ23の光軸に一
致させた状態で配設され、他端側は放射状に略均一に外
方に拡げ、その他端面が第2の投光レンズ24の光軸と同
心円周上にて半径方向外方に向けた状態に配設し、第2
の投光レンズ24の内側にこれとの間に所要の間隔を隔て
た状態で対向せしめてある。
柱状に束ねてその中心を第1の投光レンズ23の光軸に一
致させた状態で配設され、他端側は放射状に略均一に外
方に拡げ、その他端面が第2の投光レンズ24の光軸と同
心円周上にて半径方向外方に向けた状態に配設し、第2
の投光レンズ24の内側にこれとの間に所要の間隔を隔て
た状態で対向せしめてある。
第2の投光レンズ24は円環状であって、且つその断面は
内,外周面共に所要の円弧をなす凸レンズ形をなし、そ
の焦点は被検査管Pの内周面上に略一致するよう設定さ
れており、バンドルファイバ34で分配された光を管軸方
向に集光した状態で被検査管Pの内周面に細いリング状
に投射せしめるようになっている。
内,外周面共に所要の円弧をなす凸レンズ形をなし、そ
の焦点は被検査管Pの内周面上に略一致するよう設定さ
れており、バンドルファイバ34で分配された光を管軸方
向に集光した状態で被検査管Pの内周面に細いリング状
に投射せしめるようになっている。
被検査管Pの内周面の像はレンズ26にて集光せしめら
れ、二次元受光部27に投射結像せしめられ、これによっ
て捉えられた各部の受光量に関するデータは出力回路2
9、ケーブル29aを介して検出装置本体2に読み込まれ、
形状検出が行われるようになっている。
れ、二次元受光部27に投射結像せしめられ、これによっ
て捉えられた各部の受光量に関するデータは出力回路2
9、ケーブル29aを介して検出装置本体2に読み込まれ、
形状検出が行われるようになっている。
なお、レンズ26と二次元受光部27とはレンズ26で捉えら
れた被検査管Pの内周面の像が所要の比率に縮尺された
状態で二次元受光部27に投影されるよう相互の配置位置
を定めてある。
れた被検査管Pの内周面の像が所要の比率に縮尺された
状態で二次元受光部27に投影されるよう相互の配置位置
を定めてある。
二次元受光部27としては電荷結合素子又はPSD等を用い
る。電荷結合素子による場合はこれを光軸中心に円形に
配したもの、正方形に配したもの等、適宜の形状とすれ
ばよい。
る。電荷結合素子による場合はこれを光軸中心に円形に
配したもの、正方形に配したもの等、適宜の形状とすれ
ばよい。
而してこのような本発明装置にあっては、第1図に示す
如く被検査管P内にその一端から検出ヘッド1を先端部
側から挿入する。この状態では検出ヘッド1はその先,
後端に取り付けてある車輪3にてケーシング21の軸心線
が被検査管Pの軸心線と略一致するよう保持される。そ
こで可撓性チューブ4を繰り出して検出ヘッド1を被検
査管P内で移動させつつ検出装置本体2からケーブル22
aを通じて連続的又は間欠的に発光駆動回路28に発光指
令信号を出力し、光源22を発光させる。光源22の光は第
1の投光レンズ23にて平行光束に変換されてバンドルフ
ァイバ34の周面に入射され、ここからその周方向の全面
にわたって配分投射され、第2の投光レンズ24にて集光
され、被検査管Pの内周面にその周方向の全面にわたる
ようこれと直交する向きに投射される。
如く被検査管P内にその一端から検出ヘッド1を先端部
側から挿入する。この状態では検出ヘッド1はその先,
後端に取り付けてある車輪3にてケーシング21の軸心線
が被検査管Pの軸心線と略一致するよう保持される。そ
こで可撓性チューブ4を繰り出して検出ヘッド1を被検
査管P内で移動させつつ検出装置本体2からケーブル22
aを通じて連続的又は間欠的に発光駆動回路28に発光指
令信号を出力し、光源22を発光させる。光源22の光は第
1の投光レンズ23にて平行光束に変換されてバンドルフ
ァイバ34の周面に入射され、ここからその周方向の全面
にわたって配分投射され、第2の投光レンズ24にて集光
され、被検査管Pの内周面にその周方向の全面にわたる
ようこれと直交する向きに投射される。
被検査管Pの内周面の像はレンズ26を介して二次元受光
部27に縮小投影され、二次元受光部27にて光電変換さ
れ、出力回路29,ケーブル29aを通じて検出装置本体2に
取り出され、被検査管Pの内周面の形状が検出される。
部27に縮小投影され、二次元受光部27にて光電変換さ
れ、出力回路29,ケーブル29aを通じて検出装置本体2に
取り出され、被検査管Pの内周面の形状が検出される。
検出態様については特に限定するものではなく、従来知
られたものを適宜採択すればよい。
られたものを適宜採択すればよい。
このような実施例にあっては光源22から発せられた光は
第1の投光レンス23にて平行光束に変換されてバンドル
ファイバ34の一端面に入射され、光ファイバの他端面か
ら第2の投光レンズ24に入射され、集束されて被検査管
Pの内面に投射せしめられ、その後は第1〜3図に示す
実施例と同様に内周面の像がレンズ26を介して二次元受
光部27に縮尺投影されることとなる。更にこのような実
施例にあっては、光分配投射手段に対する反射面の保
守,点検等が不要となる利点がある。
第1の投光レンス23にて平行光束に変換されてバンドル
ファイバ34の一端面に入射され、光ファイバの他端面か
ら第2の投光レンズ24に入射され、集束されて被検査管
Pの内面に投射せしめられ、その後は第1〜3図に示す
実施例と同様に内周面の像がレンズ26を介して二次元受
光部27に縮尺投影されることとなる。更にこのような実
施例にあっては、光分配投射手段に対する反射面の保
守,点検等が不要となる利点がある。
第3図は本発明の他の実施例を示す模式的断面図であ
り、環状をなす第2の投光レンズ24に対し、第1の投光
レンス23と反対側にあって、第2の投光レンズ24側に反
射面を向けてミラー35を配設すると共に、該ミラー35と
第2の投光レンズ24との間に集光レンズ26、二次元受光
部27を配設してあり、第2の投光レンズ24から被検査管
Pの内周面に投射され、ここから反射された光はミラー
35で反射された後、集光レンズ26を経て二次元受光部27
に縮尺投影されるようになっている。
り、環状をなす第2の投光レンズ24に対し、第1の投光
レンス23と反対側にあって、第2の投光レンズ24側に反
射面を向けてミラー35を配設すると共に、該ミラー35と
第2の投光レンズ24との間に集光レンズ26、二次元受光
部27を配設してあり、第2の投光レンズ24から被検査管
Pの内周面に投射され、ここから反射された光はミラー
35で反射された後、集光レンズ26を経て二次元受光部27
に縮尺投影されるようになっている。
二次元受光部27と出力回路29とを結ぶケーブル29aはバ
ンドルファイバ34の光ファイバ間を通して第2の投光レ
ンズ24に対し光源22と同側に導出してここで出力回路29
に接続されている。
ンドルファイバ34の光ファイバ間を通して第2の投光レ
ンズ24に対し光源22と同側に導出してここで出力回路29
に接続されている。
他の構成は前記第1図に示す実施例と実質的に同じであ
る。
る。
このような実施例にあっては、バンドルファイバ34の他
端面から投射された光が二次元受光部27に達する迄の間
の光路をケーブル29aが横切らない(第1図に示す実施
例では同図中に第1図に(e)で示す如く光路中をケー
ブル29aが横切ることとなる)から被検査管Pの内面に
対する未検出部が形成されるおそれがない。
端面から投射された光が二次元受光部27に達する迄の間
の光路をケーブル29aが横切らない(第1図に示す実施
例では同図中に第1図に(e)で示す如く光路中をケー
ブル29aが横切ることとなる)から被検査管Pの内面に
対する未検出部が形成されるおそれがない。
なお、上述の実施例では被検査管P、検出ヘッド1のケ
ーシング21がいずれも円形の場合につき説明したが何ら
円形に限らず、各種の角形管についても適用し得る。
ーシング21がいずれも円形の場合につき説明したが何ら
円形に限らず、各種の角形管についても適用し得る。
また上述の実施例では被検査管P内における検出ヘッド
1の推進はチューブ4の挿入、又は引出しによって行う
構成につき説明したが車輪3の駆動源を検出ヘッド1に
設けて自走式としてもよいことは言うまでもない。
1の推進はチューブ4の挿入、又は引出しによって行う
構成につき説明したが車輪3の駆動源を検出ヘッド1に
設けて自走式としてもよいことは言うまでもない。
以上の如く本発明にあっては、光源からの光を極めて少
ない損失で配分することが出来て、強力な投射光が得ら
れ、しかも被検査管の内周面にその周方向の全面にわた
るよう同時に同時に効率良く放射し、且つ内周面の像を
同時に捉えるから未検出部分が発生するおそれがなく、
強力な投射光が得られ、また高い形状検出精度が得られ
信頼性も高く、設備も簡略化され、設備コストが安価と
なるなど本発明は優れた効果を奏するものである。
ない損失で配分することが出来て、強力な投射光が得ら
れ、しかも被検査管の内周面にその周方向の全面にわた
るよう同時に同時に効率良く放射し、且つ内周面の像を
同時に捉えるから未検出部分が発生するおそれがなく、
強力な投射光が得られ、また高い形状検出精度が得られ
信頼性も高く、設備も簡略化され、設備コストが安価と
なるなど本発明は優れた効果を奏するものである。
第1図は本発明装置の検出ヘッドの模式的断面図、 第2図は第1図のII−II線による断面図、 第3図は本発明の他の実施例を示す模式的断面図、 第4,5図は従来装置の模式的断面図である。 1……検出ヘッド、2……検出装置本体、3……車輪、
21……ケーシング、22……光源、23……第1の投光レン
ズ、24……第2の投光レンズ、25……円錐体、26……集
光レンズ、27……二次元受光部、28……発光駆動回路、
29……出力回路、31……円錐台、32……環状レンズ、33
……環状光源、34……バンドルファイバ、35……ミラ
ー、P……被検査管 なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。
21……ケーシング、22……光源、23……第1の投光レン
ズ、24……第2の投光レンズ、25……円錐体、26……集
光レンズ、27……二次元受光部、28……発光駆動回路、
29……出力回路、31……円錐台、32……環状レンズ、33
……環状光源、34……バンドルファイバ、35……ミラ
ー、P……被検査管 なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。
Claims (2)
- 【請求項1】光源と、該光源から発せられた光を被検査
管の内周面に向けて周方向の全周にわたって分配投射す
る手段と、被検査管内周面からの像を捉える二次元受光
部とを有する検出ヘッドを備え、これを被検査管内に挿
入してその内面形状を検出する管内面形状検出装置にお
いて、 前記検出ヘッドは光源と、多数本の光ファイバにて形成
され、一端部は前記光源から発せられた光を入射せしめ
るべく束ねられ、他端部は被検査管の内周面に対向させ
るべく外方に向けて周方向に略全周にわたるよう放射状
に配列せしめられた光分配投射手段と、被検査管内周面
の像を捉える二次元受光部とを具備することを特徴とす
る管内面形状検出装置。 - 【請求項2】前記二次元受光部は被検査管内周面の像を
ミラーで光分配投射手段側に反射させて捉えるべく配置
されている特許請求の範囲第1項記載の管内面形状検出
装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61200566A JPH0733996B2 (ja) | 1986-08-26 | 1986-08-26 | 管内面形状検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61200566A JPH0733996B2 (ja) | 1986-08-26 | 1986-08-26 | 管内面形状検出装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6355441A JPS6355441A (ja) | 1988-03-09 |
JPH0733996B2 true JPH0733996B2 (ja) | 1995-04-12 |
Family
ID=16426451
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61200566A Expired - Fee Related JPH0733996B2 (ja) | 1986-08-26 | 1986-08-26 | 管内面形状検出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0733996B2 (ja) |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0298612A (ja) * | 1988-10-05 | 1990-04-11 | Sekiyu Sangyo Katsuseika Center | 管内検査装置 |
JP2007285891A (ja) * | 2006-04-17 | 2007-11-01 | Toru Yoshizawa | 内面形状の測定方法とこの方法による測定装置 |
JP5309542B2 (ja) * | 2007-12-05 | 2013-10-09 | 株式会社ニコン | 測定装置およびその方法 |
JP2010164334A (ja) * | 2009-01-13 | 2010-07-29 | Ihi Corp | 内面形状測定装置および内面形状測定方法 |
JP5972527B2 (ja) | 2010-10-04 | 2016-08-17 | 三菱重工業株式会社 | 伝熱管内面又は蒸発管内面の減肉状態監視装置 |
WO2013046451A1 (ja) | 2011-09-30 | 2013-04-04 | オリンパス株式会社 | 内面形状測定装置、検出ヘッド及び内視鏡装置 |
JP5880096B2 (ja) * | 2012-02-09 | 2016-03-08 | 株式会社Ihi | 内径測定装置 |
JP5915223B2 (ja) | 2012-02-09 | 2016-05-11 | 株式会社Ihi | 内径測定装置及び内径測定方法 |
JP5786971B2 (ja) | 2012-02-09 | 2015-09-30 | 株式会社Ihi | 内径測定装置 |
JP2013164274A (ja) | 2012-02-09 | 2013-08-22 | Ihi Corp | 内径測定装置 |
JP5880097B2 (ja) | 2012-02-09 | 2016-03-08 | 株式会社Ihi | 内径測定装置 |
EP2813813B1 (en) | 2012-02-09 | 2019-11-27 | IHI Corporation | Inside-diameter measurement device |
JP5821675B2 (ja) | 2012-02-09 | 2015-11-24 | 株式会社Ihi | 回転機器の回転制限装置 |
JP5915222B2 (ja) | 2012-02-09 | 2016-05-11 | 株式会社Ihi | 内径測定装置 |
JP2014173912A (ja) * | 2013-03-07 | 2014-09-22 | Non-Profit Organization Npo 3D Associates | 形状測定装置 |
JP6526465B2 (ja) * | 2015-04-13 | 2019-06-05 | 三洋機工株式会社 | 真円度測定装置 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4326808A (en) * | 1979-02-27 | 1982-04-27 | Diffracto Ltd. | Method and apparatus for determining physical characteristics of object outer surfaces |
JPS55133315U (ja) * | 1980-03-13 | 1980-09-20 | ||
JPS5963330U (ja) * | 1982-10-21 | 1984-04-26 | 三菱電線工業株式会社 | イメ−ジガイド装置 |
-
1986
- 1986-08-26 JP JP61200566A patent/JPH0733996B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6355441A (ja) | 1988-03-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPH0733996B2 (ja) | 管内面形状検出装置 | |
US6791101B2 (en) | Scanning apparatus | |
JPH05149884A (ja) | 管内検査装置 | |
JPH10197215A (ja) | 管状製品の内壁の光学検査装置 | |
JPS6184961A (ja) | 放射線画像情報をテレビジヨン信号系列に変換する装置 | |
JPH0729405U (ja) | 管内面検査装置 | |
CN110879385A (zh) | 一种非扫描激光雷达接收光学系统 | |
JPH0298612A (ja) | 管内検査装置 | |
JPS6358135A (ja) | 管内面形状測定装置 | |
JPS6355442A (ja) | 管内面形状検出装置 | |
CN211577416U (zh) | 一种非扫描激光雷达接收光学系统 | |
JPS63243848A (ja) | 管内検査装置 | |
JPS6358130A (ja) | 管内面検査装置 | |
CN109283545A (zh) | 一种新型二维固态led激光雷达及其测距方法 | |
JPS6355443A (ja) | 管内面形状検出装置 | |
JPS63243847A (ja) | 管内検査装置 | |
JPH0197808A (ja) | 管内検査装置 | |
JPS63243845A (ja) | 管内検査装置 | |
JPH0375544A (ja) | レーザ管内検査装置 | |
JP2556889B2 (ja) | 管内検査装置 | |
JPS6358133A (ja) | 管内面形状測定装置 | |
JPS63243739A (ja) | 管内検査装置 | |
JPS594663B2 (ja) | 超音波を用いるひれ管の非破壊材料検査方法 | |
JP3205678B2 (ja) | 鉛シース管用超音波探傷装置 | |
RU2818406C1 (ru) | Устройство для автоматизированной диагностики технического состояния трубопроводов |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |