JPS6358130A - 管内面検査装置 - Google Patents

管内面検査装置

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JPS6358130A
JPS6358130A JP20422086A JP20422086A JPS6358130A JP S6358130 A JPS6358130 A JP S6358130A JP 20422086 A JP20422086 A JP 20422086A JP 20422086 A JP20422086 A JP 20422086A JP S6358130 A JPS6358130 A JP S6358130A
Authority
JP
Japan
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light
inspected
tube
guide
pipe
Prior art date
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Pending
Application number
JP20422086A
Other languages
English (en)
Inventor
Kazuo Takashima
和夫 高嶋
Keiichi Yamaguchi
圭一 山口
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP20422086A priority Critical patent/JPS6358130A/ja
Publication of JPS6358130A publication Critical patent/JPS6358130A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N21/954Inspecting the inner surface of hollow bodies, e.g. bores

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は熱交換器等のパイプ、その他各種の配管の内面
性状、特に小径管の内面形状を光学的に検出する装置に
関するものである。
〔従来技術〕
従来、この種の小径管の内面検査装置は種々提案されて
いるが、いずれも超音波又は光を用いる構成が採られて
おり、その−例を示すと第6.7図に示す如くになって
いる。第6図は超音波を用いた従来の管内面検査装置の
模式的断面図であり、超音波の送、受信機能を備えた超
音波探触子42及びこれに対向させて配設した反射部材
43を67iiえた検出ヘッド41を被検査管P内に挿
入すると共に、被検査管P内に超音波の伝播媒体である
水を注入し、反射部材43をその軸心線口りに回転させ
つつこれに向けて超音波探触子41から超音波を投則し
、反射部材43にて超音波を直角に屈折させ、被検査管
1)の内周面の周方向各部に投射させ、被検査管1)の
内、外面からの反射エコーを超音波探触子42にて受信
し2、そのデータを図示しない検出装置に取り出し2、
被検査管Pの内、外径、表面の凹凸。
変形等を検出するようになっている。
また第7図は光を用いた従来の管内面検査装置の模式的
断面図であり、筒状ケーシング51a内にその周壁に形
成した窓51hに面して投光部52.受光部53をその
光軸が被検査管Pの内周面にて相互に交叉するよう傾り
た状態に配置してなる検出ヘノ151を操作軸54の先
端に固定して構成されており、1M作軸54にて検1]
i−\ソド51を被検査管P内で回転さ−1つつ軸方向
に移動させて内周面を光学的に)灸存するようになって
いる。
〔発明が解決しようとする問題点〕
とこイ)で」−述した第(j図に示した如き超音波を利
用する検出装置にあっては超音波自体の特性である収束
1’lが悪いために分解能が低く、また被検I4i二僧
f)内Gこ超I′″?波の伝播媒体たる水を充填してお
く必要があっ′(、水の給、排設備、更には被検査管両
端の水密封止手段等を必要とし、設備コストが高くなり
、また被検査管Pの両端の封止、被検査管P内への給水
、排水作業自体も煩わしく、作業能率も低い等の問題が
あった。一方第12図に示す如き光学的検出装置は水を
用いない利点がある反面、操作軸54にてケーシング5
1aを回転させつつ移動させる必要があるため作業自体
が傾ねしいことは勿論、作業能率が悪く、また被検査管
の内周面に対する走査が螺旋状となるため検出精度の信
頼性が低いなどの問題があった。
本発明はかかる事情に鑑みなされたものであって、その
目的とするところは設備が簡単で作業能率が高く、測定
精度も高い管内面形状検出装置を提供するにある。
〔問題点を解決するだめの手段〕
本発明にあっては、被検査管の内面に光を投射し、その
反射光を捉える検出ヘッドに対する光の伝送、並びに検
出ヘッドにおける検出データの伝送を光学的に行うため
のライトガイド、イメージガイドを具備する。
〔作用〕
本発明にあっては、これによって被検査管内に挿入され
る検出ヘッドには、電気的接続部分が存在せず信頼性の
高い防爆構造が得られることとなる。
〔実施例〕
以下本発明をその実施例を示す図面に基づき具体的に説
明する。第1図は本発明に係る管内面検査装置(以下本
発明装置という)の使用態様を示す模式図、第2図は第
1図のII−n線による模式的拡大断面図であり、図中
1は検出ヘッド、2は検出装置本体、Pは被検査管を示
している。
検出ヘッド1は金属等の耐腐食性材料を用いて両◇:1
1を閉じた中空の円筒形に形成されたケーシング21内
にライトガイド′6の一端部、投光光学系を構成する投
光レンズ22、集光光学系を構成する結1ヤ]/ンズ2
X(、イメージガイド7の一端部を配設して構成されて
いる。
ケーシング21はその軸方向の中間部周壁に、軸方向の
所要−CI法にわたって周方向の全周にわたり透明体を
嵌め込んだ環状窓21aを備え、またni+ 。
後端板の外側には取付部21b、21cを備え、この各
取付部21b、2ICに一端に車輪3を取り付けた支持
杆3aの各他端が相互に略120度の間隔を陪でて複数
本(通常は3本)づつ固定されており、検出へ・7ドを
被検査管P内に挿入したときケーシング21の軸心線を
被検査管Pの軸心線と略一致するよう支持し、且つこの
状態を維持しつつ被検査管P内で回転並びに移動せしめ
得るようになっている。
またこのケーシング21の前後端板に設けた取り付は部
21cの中央には夫々これを貫通させて検出ヘッド1の
前、後移動用の駆動索を兼ねる可撓性チューブ5,4 
(金属製パイプでもよい)の一端がケーシング21内と
連通させた状態で連結され、可撓性チューブ4内には、
ライトガイド6が、また可撓性チューブ5内にはイメー
ジガイド7が挿1111配置せしめられている。
各可撓性チューブ4,5は、その長さを少なくとも被検
査管Pの長さの2以上、望ましくは被検査管Pの全長以
上となるように設定されており、検出へノド1が被検査
管P内のいずれの位置にあっても両iJ撓性チューブ4
.5のいずれか一方又(J双方の他端部が被検査管Pの
外方に位置するようにしである。
可撓性チ、、j−−ブ4,5内に配設されたライトガイ
ド6、イメージガイド7はいずれも多数の光ファイバを
束ねて形成されており、ライトガイド6゜イメージガイ
ド7の各一端部は検出ヘット1内に位24しめられ、ま
たライトガイF′6の他端部は++J IQ性千ブ、−
ブ4の他端部から引出されて、ここに装着した発光部8
を構成する光#、8bに投光レンズ80を介在さ・Uて
、またイメージガイド7の他端部は可撓性チューブ5の
他端部から引出されてここに装Hした受光部9を構成す
る二次元受光素子9hに結像レンズ9aを介在させて夫
々対向せしめられている。発光部8 i;+、発光回路
8a、光源8b、投光レンズf(c、を伝え、また受光
部9は結像レンズ9訳−次元受光素子Oh、出力回路9
cを夫々備えており、発光回路11a、出力回路!Ic
l;J夫々l;的に検査装置本体2と着脱可能に接続せ
しめられている。
検出ヘッド1内に位置せしめられたライトガイド6の一
端部は第1,2図に示す如く、放射状であって周方向に
略均−となるように外方に拡げ、その端面が環状窓1a
の内側に同心状に配した環状投光レンズ22の内側にこ
れと同心状に対向位置せしめてあり、光源8bからの光
を被検査管Pの内周面に対し、その周方向の全面に略均
−に分配投射するようにしである。
投光レンズ22は円環状であって、且つその断面は内、
外周面皮に所要の円弧をなす凸レンズ形をなし、その焦
点は被検査管Pの内周面上に略一致するよう設定されて
おり、ライトガイド6から投射された光を管軸方向に集
光した状態で被検査管Pの内周面に細いリング状に投射
せしめるようになっている。
一方イメージガイド7の一端部は、結像レンズ23と同
心に対向せしめてあり、被検査管Pの周方向からの反射
光を捉えて、これを結像レンズ9aを経て、二次元受光
素子9bに結像せしめるようにしである。
二次元受光素子9bとしては電荷結合素子又はPSD等
が用いられる。電荷結合素子による場合はこれを光軸中
心に円形に配したもの、正方形に配したもの等、適宜の
形状とすればよい。
第3図は被検査管Pの軸心線がら管内周面までの11°
法とニー次元受光素子9bへ投影された像の光軸からの
寸法との位置関係を示す説明図であり、いま被検査管1
)の軸心線と検出ヘッド1内のレンズ23の光軸が一致
した状態にあるものとして軸心線から被検査管Pの内周
面の各光反射位置Pa、Pb、Pcまでの寸法を夫々1
.a 、 Lb 、 Lcとすると、ここから反1・1
された光がレンズ23、換言すればレンズ9aを経て二
次元受光素子9blに達したときの二次元受光素P9b
J二の位置はレンズ9aの光軸がら夫々na、ffb。
PCだけ離れたQa、 Oh、 nc点となる。これら
La、l、b。
!、(7等の距離I、と7!a、ffb、nc等の距離
lとの間には一般的に次の関係が成立する。
L −−−−−一 ・ p 但し、■〕:レンズ23から検出面までの水平距F:レ
ンズ9aから二次元受光素子9b表面までの距離 従って、二次元受光素子9h上に投射される被検査管P
内面からの反射光は内周面が凹凸のない−様な円周面の
場合には第4図(イ)に示す如くに乱れのない円形像が
得られるが、被検査管Pの内周面に腐食部分が存在して
凹状となっている部分では第4図(ロ)に示ずaの如く
外方に膨出し、また錆等が発生して凸状となっている部
分では第4図(ロ)に示すbの如く内方に凹んだ像が表
れる。
この凹、凸の程度を測定することによって被検査膜Pの
内周面における凹部、凸部の深さ、高さを検出し得るこ
ととなる。勿論二次元受光素子9bへの投影像の真円度
各部の光量等に基づき被検査管Pの各種内面性状を推測
することも可能である。
而してこのような本発明装置にあっては、第1図に示す
如く被検査管P内にその一尋::;から検出ヘット1の
一端に連結した可撓性チューブ4又シJ5をその先端側
から挿通して検出ヘッド川を被検査管))内に挿入する
。この状態では検出ヘット川はその先、後端に取り付げ
である車輪3にてケーシング21の軸心線が被検査管P
の軸心線と略一致するよう保持される。そこで可撓性チ
ューブ4.又番、15の端部に設けた投光部8、又は受
光部9を検査装置本体2と電気的に接続した後、可撓性
チューブ4又は5を引張り、又は押して検出ヘッドlを
被検査管■)内で回転させつつ移動させ、検出装置本体
2から連続的又は間欠的に発光回路8aに発光指令信号
を出力し、光源8bを発光させる。光源It bの光は
投光レンズ8Cにより平行光束に変換され゛ζライ1ガ
イド6の一端面に入射され、ライトガイド〔j内を伝播
され、その他端面から周方向の全面にわたって配分投射
され、投光レンズ22にて集光され、被検査管Pの内周
面にその周方向の実質的に全面にわたるようこれと直交
する向きに投射される。
被検山1ゞ(1)の内周面の像し!レンズ23を介して
イメージガイド7の一端面に縮小投影され、イメージガ
イド7内を伝播され、その他端面からレンズ9aを経て
二次元受光素子9bに投影され、ここで光電変換され、
出力回路9CをjINして検出装置本体2に取り出され
、被検査管Pの内周面の形状が検出される。
検出態様については特に限定するものではなく、従来知
られたものを適宜採択すればよい。
このような実施例にあってはライトガイド6と環状をな
す投光レンズ22との組み合わせによって被検査管Pの
内周面に対しその周方向の全面にわたって同時的に光を
投射し、またこの像を捉えることが可能となり、検出漏
れ発生のおそれがなく、検出精度も高く、更に被検査管
P内には電気的接続部分が存在しないため、防爆性を必
要とする被検査管内の検査に適用して高い信顛性が得ら
れる。
なお上述の実施例ではライトガイド6をそのまま利用し
て被検査管Pの内周面に光を分配投射する構成とした場
合につき説明したが、これに限らず、例えば円錐体等を
利用して分配してもよく、光分配手段については特に限
定するものではない。
第51メ目11本発明の他の実施例を示す模式的断面図
であり、検出ヘット用の基端部側にのみ可撓性チ1.−
ゾ4を設け、この内側にライトガイトロとノ1、にイメ
ージガイド7を挿通し、検出ヘッド1内にイ1装置する
イメージガイド7の一端部には被検査管1)の内周面の
像をミラー24.レンズ23を介して縮尺投影せしめる
ようにしである。
他の構成及び作用は実質的に前記第1〜2図に示す実施
例と同じである。
このような実施例にあっては、前記第1.2図に示した
実施例の効果に加えて検出ヘッド1には片◇:1;にの
め可撓性チューブ4を設けるのみで足り、構成の簡略化
が図れ、また被検査管Pに検出ヘッド1を挿入する際も
、例えば受光部を検出装置本体2から切り離して被検査
管Pに挿通せしめた後、再び検査装置本体2と接続し、
検査を開始するという煩わしさがなく、発光部8.受光
部9ともに検出装置r1本体2と電気的に接続状態を維
持したまま検出ヘッド1を被検査管Pの一端から挿入し
、直りに検査を開始することが可能となる外、検査終了
後もそのまま被検査管Pから検出ヘッド1を引き出すの
みで足りる利点がある。
なお、上述の各実施例では被検査管P、検出ヘッド1の
ケーシング21がいずれも円形の場合につき説明したが
何ら円形に限らず、各種の角形管についても適用し得る
また上述の各実施例では被検査管P内における検出ヘッ
ド1の移動は可撓性チューブ4.5の挿入、又は引出し
によって行う構成につき説明したが車輪3の駆動源を検
出ヘッド1に設けて自走式としてもよいことは言うまで
もない。
〔効果〕
以上の如く本発明に依れば光分配投射手段によって被検
査管の内周面にその周方向の全面にわたるよう同時に光
を投射し、且つこれからの反射光を同時に捉えるから未
検出部分が発生するおそれがなく、形状検出精度が高く
、また設備も簡略化され、設備コストが安価となり、更
に、ライトガイド、イメージガイドを用いて検出ヘッド
への光の伝播並びに検出データの取り出しを行うことと
しているから、被検査管内には電気的接続部分が全く存
71シないため信頼性の高い防爆構造が得られ、用途が
格段に拡大されるなど本発明は優れた効果を奉するもの
である。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明装置の模式的断面図、第2図は第1図の
II −II線による拡大断面図、第3図は管内jT+
j形状の検出原理を示す説明I閾、第4図(イ)。 (ロ)は二次元受光素子で捉えた被検査管の内周面像の
説明図、第5図は本発明の他の実施例を示す模式的断面
図、第6,7図は従来装置の模式的断面図である。 1・・・検出ヘッド 2・・・検出装置本体 3・・・
車輪4.5・・・1iJIQ性チユーブ 6・・・ライ
トガイド7・・・イメージガイド 8・・・発光部 9
・・・受光部21・・・ケーシング 21a・・・環状
窓 22・・・投光レンズ2、′)・・・結像レンズ 
24・・・ミラー P・・・被検査管なお、図中、同−
一符号は同一、又は相当部分をボす。 代理人  大  々1:  増  雄 手続補正書(自発)

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、被検査管の内面の実質的に全周にわたるよう光を投
    射する投光部及び被検査管の内面からの光を捉える集光
    部を有し、被検査管内にその軸方向へ移動可能に挿入さ
    れる検出ヘッドと、被検査管の外部に配設される発光部
    及び受光部と、前記発光部に一端を対向させ、他端を前
    記検出ヘッド内の投光部に臨ませたライトガイドと、前
    記受光部に一端を対向させ、他端を前記検出ヘッド内の
    集光部に臨ませたイメージガイドとを具備することを特
    徴とする管内面検査装置。 2、前記ライトガイドとイメージガイドとは、被検査管
    の両端側から各一端部を外方に導出されている特許請求
    の範囲第1項記載の管内面検査装置。 3、前記ライトガイドとイメージガイドとは被検査管の
    一端側から各一端部を外方に導出されている特許請求の
    範囲第1項記載の管内面検査装置。
JP20422086A 1986-08-28 1986-08-28 管内面検査装置 Pending JPS6358130A (ja)

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JP20422086A JPS6358130A (ja) 1986-08-28 1986-08-28 管内面検査装置

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JP20422086A JPS6358130A (ja) 1986-08-28 1986-08-28 管内面検査装置

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009139176A (ja) * 2007-12-05 2009-06-25 Nikon Corp 測定装置およびその方法
JP2013145196A (ja) * 2012-01-16 2013-07-25 Jfe Steel Corp 磨耗検出方法及び磨耗検出装置
JP2014149164A (ja) * 2013-01-31 2014-08-21 Olympus Corp 内面形状測定装置

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JP2009139176A (ja) * 2007-12-05 2009-06-25 Nikon Corp 測定装置およびその方法
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