JPH07336045A - 基板の接続方法 - Google Patents

基板の接続方法

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JPH07336045A
JPH07336045A JP6126225A JP12622594A JPH07336045A JP H07336045 A JPH07336045 A JP H07336045A JP 6126225 A JP6126225 A JP 6126225A JP 12622594 A JP12622594 A JP 12622594A JP H07336045 A JPH07336045 A JP H07336045A
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JP
Japan
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nickel
etching
copper layer
copper
circuit
Prior art date
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Pending
Application number
JP6126225A
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English (en)
Inventor
Hiroshi Kawazoe
宏 河添
Shinichi Setoguchi
進一 瀬戸口
Naoyuki Urasaki
直之 浦崎
Yuichi Nakazato
裕一 中里
Mitsuteru Suganuma
光輝 菅沼
Yorio Iwasaki
順雄 岩崎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Showa Denko Materials Co Ltd
Original Assignee
Hitachi Chemical Co Ltd
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Publication date
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    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/30Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
    • H05K3/32Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
    • H05K3/34Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by soldering
    • H05K3/341Surface mounted components
    • H05K3/3431Leadless components
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/36Assembling printed circuits with other printed circuits
    • H05K3/368Assembling printed circuits with other printed circuits parallel to each other
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/40Forming printed elements for providing electric connections to or between printed circuits
    • H05K3/4007Surface contacts, e.g. bumps

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  • Manufacturing Of Electrical Connectors (AREA)
  • Multi-Conductor Connections (AREA)
  • Coupling Device And Connection With Printed Circuit (AREA)
  • Combinations Of Printed Boards (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】凸部の高さが1mm以下の微小な接続端子につい
ても、位置合わせ及び接続が容易で、確実かつ安価に行
える、基板間の接続方法を提供すること。 【構成】第一の基板101に有底孔部の深さが10μm
以上かつ1mm以下である有底孔付きの接続端子103を
設け、第二の基板102に凸部の高さが10μm以上か
つ1mm以下である凸部付き接続端子106を設け、両接
続端子を嵌合し、はんだ接合すること。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、プリント基板間の接続
方法に関する。
【0002】
【従来の技術】電子部品に対する高機能・高性能、小型
軽量化の要求に伴う部品形態の変遷は著しい。例えば、
LSIパッケージに関しては、接続端子(アウターリー
ド)の小型・微細化が進み、またその配列は、SOP、
OFP、LCC等の線上の配列から、BGA、PGA等
の平面格子上の配列へと変遷している。特に、はんだで
凸型の接続端子を形成し、パッケージ底面に格子状に配
列させたBGAは、多端子化と小型軽量化という相反す
る要求を両立させており、近年注目を集めている。一般
に、このはんだからなる凸型接続端子は、はんだボール
あるいはソルダーボールと称されている。図2(a)に
示すように、従来の、このような凸型の接続端子204
は、平型接続端子207上へ、はんだ付けで取付けられ
ていたが、その取付けのための位置合わせや仮固定が困
難であった。
【0003】このような問題を解決する方法として、特
開平1−2434492号公報や特開平5−34746
6号公報に開示された方法が知られている。これは、図
2(b)に示すように、プリント基板203に、非貫通
スルーホール208を配設することで接続端子を凹型に
し、その凹部で凸型の接続端子205を受けることによ
り、基板間の固定並びに接続を容易、かつ確実に行うこ
とができるという方法である。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかし、この方法は、
表面実装型PGA等のバットジョイントタイプの部品に
対応したものであり、BGAのように凸部の高さが1mm
程度以下となる微小な凸型の接続端子には適用できな
い。また、配線層の層数が増加すれば、工程数も増加
し、経済的でないという課題が発生する。
【0005】本発明は、凸部の高さが1mm以下の微小な
接続端子についても、位置合わせ及び接続が容易で、確
実かつ安価に行える、基板間の接続方法を提供すること
を目的とするものである。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明の基板の接続方法
は、図1(a)および(b)に示すように、第一の基板
101に有底孔部の深さが10μm以上かつ1mm以下で
ある有底孔付きの接続端子103を設け、第二の基板1
02に凸部の高さが10μm以上かつ1mm以下である凸
部付き接続端子106を設け、両接続端子を嵌合し、は
んだ接合することを特徴とする。
【0007】また、本発明に係わる第一のプリント基板
101の有底孔付き接続端子103は、薄い銅層/ニッ
ケルあるいはニッケル合金からなる中間層/キャリアと
なる銅層の層構成を有する壁部及びその内部に薄い銅層
あるいは薄い銅層/ニッケルあるいはニッケル合金から
なる中間層からなることを特徴とし、また、第二のプリ
ント基板102の凸部付き接続端子104は、回路とな
る銅層/ニッケルあるいはに合金層/凸部となる銅層か
らなることを特徴とする。
【0008】また、本発明に用いる第一のプリント基板
の製造方法は、図3に示すように、以下の工程を含むこ
とを特徴とする。 a.図3(a)に示すように、接着を担う絶縁材あるい
は内層回路板307上に接着を担う絶縁材306を重
ね、その表面にキャリアとなる銅層302/ニッケルあ
るいはニッケル合金からなる中間層304/回路となる
銅層305の三層からなる金属箔301を、回路となる
銅層305が接触するように重ね、加熱加圧して積層一
体化する工程 b.図3(b)に示すように、必要に応じて無電解銅め
っきあるいは電解銅めっきを行い、接続箇所に穴をあ
け、図3(c)に示すように、無電解めっき及び必要な
場合に電解めっきを行って、穴内壁と表面に必要な導体
を形成する工程 c.図3(d)に示すように、有底孔312となる部分
を除いてエッチングレジストを形成して、ニッケルある
いはニッケル合金からなる中間層まで、キャリアとなる
銅層をアルカリエッチャントでエッチング除去して有底
孔312を形成する工程 d.図3(e)に示すように、エッチングレジストを剥
離除去し、さらにニッケルあるいはニッケル合金からな
る中間層をニッケルエッチング液でエッチング除去する
工程 e.回路となる形状にエッチングレジストを形成し、回
路となる銅層を選択的にエッチング除去し、エッチング
レジストを剥離除去し、必要に応じて所定の位置に、ソ
ルダーレジストを形成及びはんだを印刷し加熱及び冷却
する工程
【0009】また、本発明に用いる第二の基板は、図4
に示すように、以下の工程を含むことを特徴とする。 a.図4(a)に示すように、接着を担う絶縁材あるい
は内層回路板307上に接着を担う絶縁材306を重
ね、その表面に回路となる銅層305/ニッケルあるい
はニッケル合金からなる中間層304/凸部となる銅層
303の三層からなる金属箔301を、回路となる銅層
305が接着を担う絶縁材306と接触するように重
ね、加熱加圧して積層一体化する工程 b’.図4(b)に示すように、必要に応じて無電解銅
めっきあるいは電解銅めっきを行い、接続箇所に穴をあ
ける工程 f.図4(c)に示すように、凸部となる形状にエッチ
ングレジストを形成して、ニッケルあるいはニッケル合
金からなる中間層305まで、凸部となる銅層303を
アルカリエッチング液で選択的にエッチング除去し、エ
ッチングレジストを剥離除去し、図4(d)に示すよう
に、露出したニッケルあるいはニッケル合金からなる中
間層304をエッチング除去する工程 g.図4(e)に示すように、無電解めっき及び必要に
応じて電解めっきを行い、穴内壁と表面に必要な導体を
形成する工程 e.図4(f)に示すように、回路となる形状にエッチ
ングレジストを形成して、回路となる銅層を選択的にエ
ッチング除去し、エッチングレジストを剥離除去し、必
要に応じて所定の位置に、ソルダーレジストを形成及び
はんだを印刷し加熱及び冷却する工程
【0010】また、第二の基板を製造する方法として、
前記方法の工程gに続いて、以下の工程を含む方法で製
造することもできる。 h.図4(g)に示すように、回路となる形状にめっき
レジスト315を形成し、電解めっき310とはんだめ
っき314を行って穴内壁と表面に必要な導体及びはん
だ層を形成する工程 i.図4(h)に示すように、めっきレジスト315を
剥離除去して、アルカリエッチング液で回路となる銅層
305を選択的にエッチング除去し、必要に応じてはん
だ層を剥離除去する工程 j.必要に応じて所定の位置に、ソルダーレジスト形成
及びはんだを印刷し加熱及び冷却する工程
【0011】本発明に用いる絶縁材には、フェノール樹
脂、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、ビスマレイミドト
リアジン(BT)樹脂、ふっ素樹脂、及びこれら樹脂の
変性樹脂、あるいはこれら樹脂を含浸した紙、ガラス繊
維布、石英繊維布、アラミド繊維布、あるいはこれら樹
脂にガラス繊維、タルク、カオリン、アルミナ粒子、チ
タン酸カルシウム等各種の充填剤、添加剤を混合したも
の、あるいはこれら樹脂をフィルム状にしたもの等を用
いることができる。
【0012】内層回路板307には、通常用いられる多
層配線板用内層回路板や配線板を使用することができ
る。回路となる導体305/ニッケルあるいはニッケル
合金からなる中間層305/ニッケルあるいはニッケル
合金からなる中間層304/キャリアとなる銅層302
の三層からなる金属箔301、及び回路となる銅層30
5/ニッケルあるいはニッケル合金からなる中間層30
4/凸部となる銅層303の三層からなる金属箔301
を使用することができる。この回路となる銅層305
は、1〜15μmの厚さであることが好ましい。1μm
未満では銅層にピンホール等の欠陥が現れて、15μm
を越えるとエッチングによる回路形成性が低下する。ニ
ッケルあるいはニッケル合金からなる中間層304は、
0.04〜1.5μmの厚さであることが好ましい。
0.04μm未満では中間層にピンホール等の欠陥が現
れ、1.5μmを越えるとエッチングによる除去に時間
がかかり非能率的で、エッチング液の消費量も多くなり
不経済的となる。
【0013】キャリアとなる銅層302及び凸部となる
銅層303は、10〜150μmであることが好まし
い。10μm未満では有底孔の深さ及び凸部としての高
さが不十分となり、150μmを越えるとエッチングに
よる除去に時間がかかり非能率的で、エッチング液の消
費量も多くなり不経済的となる。
【0014】無電解及び電解銅めっきはともに通常の方
法によって行うことができる。穴あけは、通常のドリル
あるいはレーザーあるいは打ち抜き等で行うことができ
る。
【0015】キャリアとなる銅層302及び凸部となる
銅層303のみを選択的にエッチングする方法として
は、塩素イオンと、アンモニウムイオンと、銅イオンと
を化学液(アルカリエッチング液という)に接触するこ
とによって行うことができる。ここで言う、接触とは、
その液中に浸漬することや、その液を噴霧することを指
している。
【0016】露出したニッケルあるいはニッケル合金か
らなる中間層304のみをエッチングするには、硝酸
と、過酸化水素とカルボキシル基を含む有機酸と、ベン
ゾトリアゾールとを含む化学液に接触することによって
行うことができる。無電解めっき309及び電解めっき
310及び314はともに通常の方法によって行うこと
ができる。
【0017】はんだの種類は特に制限するものではな
く、接続時の加熱条件やプリント基板と接続対象との熱
膨張係数差を考慮して、特に融点、機械的特性等に注意
して選択することが重要である。
【0018】
【作用】本発明により、第一のプリント基板の有底孔付
き接続端子と、第二のプリント基板の凸部付き接続端子
を嵌合し、はんだ接合することができる。また、3層の
金属箔を用いることにより、有底孔付き接続端子の有底
孔部深さを10μm以上1mm以下とすることができる。
【0019】
【実施例】以下に本発明の好ましい実施例について説明
する。 実施例1 ガラス布/エポキシ樹脂塗工布GEA−67N(日立化
成工業株式会社製、商品名)と、その表面にキャリアと
なる銅層(厚さ15μm)/2%リン−ニッケルからな
る中間層(厚さ0.18μm)/回路となる銅層(厚さ
5μm)からなる三層構造の銅箔を回路となる銅層が前
記塗工布に接触するように重ね、圧力2.94MPa(3
0kgf/cm2)、温度175℃、65分の条件で積層一体
化し、所定位置に表裏の各回路層を接続するためのドリ
ル穴あけを行った。次に、無電解銅めっきを30μm行
って穴内壁と表面に必要な導体を形成した後、エッチン
グレジストH−K450(日立化成工業株式会社製、商
品名)を形成して、ニッケルからなる中間層までめっき
及びキャリアとなる銅層をアルカリエッチング液である
Aプロセス用エッチング液(ソルテックス社製、商品
名)で選択的にエッチング除去し、前記のエッチングレ
ジストを剥離除去した。そして、回路となる形状にエッ
チングレジストH−K450(日立化成工業株式会社
製、商品名)を形成して、回路となる銅層を選択的にエ
ッチング除去し前記のエッチングレジストを剥離除去
し、有底孔深さ45μmである有底孔付き接続端子を有
する第一のプリント基板を作製した。その有底孔部には
はんだボール(直径0.8mm)が嵌合するように第二の
基板であるBGAを乗せ、200℃のホットプレート上
で加熱し、基板とBGAとのはんだ接続を行った。
【0020】実施例2 ガラス布/エポキシ樹脂塗工布GEA−679N(日立
化成工業株式会社製、商品名)と、その表面にキャリア
となる銅層(15μm)/2%リン−ニッケルからなる
中間層(0.18μm)/回路となる銅層(5μm)か
らなる三層構造の銅箔を回路となる銅層が前記塗工布に
接触するように重ね、圧力2.94MPa(30kgf/c
m2)、温度175℃、65分の条件で積層一体化し、無
電解銅めっきを30μm行い、所定位置に表裏の各回路
層を接続するためのドリル穴あけを行った。次に、無電
解銅めっき及び電解銅めっきを30μm行って穴内壁と
表面に必要な導体を形成した後、エッチングレジストH
−K450(日立化成工業株式会社製、商品名)を形成
して、ニッケルからなる中間層までめっき及びキャリア
となる銅層をアルカリエッチング液であるAプロセス用
エッチング液(ソルテックス社製、商品名)で選択的に
エッチング除去し、前記のエッチングレジストを剥離除
去し、露出した2%リン−ニッケルからなる中間層を硝
酸200g/l、過酸化水素水10ml/l、りんご酸100g
/l、ベンゾトリアゾール5g/lを成分とするエッチング
液によりエッチング除去した。そして、回路となる形状
にエッチングレジストH−K450(日立化成工業株式
会社製、商品名)を形成して、回路とならない銅層を選
択的にエッチング除去し前記のエッチングレジストを剥
離除去し、有底孔深さ75μmの有底孔付き接続端子を
有する第一のプリント基板を作製した。その有底孔部
に、はんだボール(直径0.8mm)が嵌合するように第
二の基板であるBGAを乗せ、200℃のホットプレー
ト上で加熱し、基板とBGAとのはんだ接続を行った。
【0021】実施例3 実施例1の方法で有底孔深さ45μmである有底孔付き
接続端子を有する第一のプリント基板を作製した。次
に、ガラス布/エポキシ樹脂塗工布GEA−67N(日
立化成工業株式会社製、商品名)と、その回路となる銅
層(厚さ5μm)/2%リン−ニッケルからなる中間層
(厚さ0.18μm)/表面に凸部となる銅層(厚さ1
5μm)からなる三層構造の銅箔を、回路となる銅層が
前記塗工布に接触するように重ね、圧力2.94MPa
(30kgf/cm2)、温度175℃、65分の条件で積層
一体化した後、無電解銅めっきを30μm行い、所定位
置に表裏の各回路層を接続するためのドリル穴あけを行
った。次に、凸部となる形状にエッチングレジストH−
K450(日立化成工業株式会社製、商品名)を形成し
て、2%リン−ニッケルからなる中間層まで凸部となる
銅層をアルカリエッチング液であるAプロセス用エッチ
ング液(ソルテックス社製、商品名)で選択的にエッチ
ング除去し、前記のエッチングレジストを剥離除去し、
露出した2%リン−ニッケルからなる中間層を硝酸20
0g/l 、過酸化水素水10ml/l、りんご酸100g/l 、
ベンゾトリアゾール5g/l を成分とするエッチング液に
よりエッチング除去した後、無電解銅めっき及び電解銅
めっきを30μm行って穴内壁と表面に必要な導体を形
成した。そして、回路となる形状にエッチングレジスト
H−K450(日立化成工業株式会社製、商品名)を形
成して、回路となる銅層を選択的にエッチング除去し、
前記のエッチングレジストを剥離除去し、指定の位置に
はんだ印刷及び加熱・冷却を行い凸部高さが60μmの
凸部付き接続端子を有する第二のプリント基板を作製し
た。第一のプリント基板の有底孔部に第二のプリント基
板の凸部が嵌合するように乗せ、200℃のホットプレ
ート上で加熱し、第一の基板と第二の基板とのはんだ接
続を行った。
【0022】
【発明の効果】以上に説明したように、本発明によっ
て、凸部の高さが1mm以下の微小な接続端子についても
適用可能であり、位置合わせ及び接合が容易、確実かつ
安価に行える、基板間の接続方法を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】(a)、(b)は、ともに、本発明の実施例を
示す模式図である。
【図2】(a)、(b)は、ともに、従来例を示す模式
図である。
【図3】(a)〜(e)は、本発明の一実施例のうち第
一の基板の製造法を説明するための各工程における断面
図である。
【図4】(a)〜(h)は、本発明の一実施例および他
の実施例のうち第二の基板の製造法を説明するための各
工程における断面図である。
【符号の説明】
101 有底孔付き接続端子を有するプリント基板 102 凸部付き接続端子を有するプリント基板 103 有底孔付き接続端子 104 凸部付き接続端子 105 スルーホール 106 はんだ 201 平型接続端子を有するプリント基板 202 凸部付き接続端子を有するプリント基板 203 凹部付き接続端子を有するプリント基板 204 凸部付き接続端子(はんだボール) 205 凸部付き接続端子(リードピン) 206 スルーホール 207 平型接続端子 208 非貫通スルーホール 209 はんだ 301 三層からなる金属箔 302 キャリアとなる銅層 303 凸部となる銅層 304 ニッケルあるいはニッケル合金からなる中間層 305 回路となる銅層 306 接着を担う絶縁層 307 内層回路板 308 スルーホールとなる穴 309 無電解めっき 310 電解めっき 311 スルーホール 312 有底孔 313 有底孔付き接続端子 314 はんだめっき 315 めっきレジスト
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中里 裕一 茨城県下館市大字小川1500番地 日立化成 工業株式会社下館工場内 (72)発明者 菅沼 光輝 茨城県下館市大字小川1500番地 日立化成 エレクトロニクス株式会社内 (72)発明者 岩崎 順雄 茨城県下館市大字小川1500番地 日立化成 工業株式会社下館工場内

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】第一の基板に有底孔部の深さが10μm以
    上且つ1mm以下である有底孔付きの接続端子を設け、第
    二の基板に凸部の高さが10μm以上かつ1mm以下であ
    る凸部付き接続端子を設け、両接続端子を嵌合し、はん
    だ接合することを特徴とする基板の接続方法。
  2. 【請求項2】第一の基板に、回路となる銅層/ニッケル
    あるいはニッケル合金からなる中間層/キャリアとなる
    銅層の層構成を有する壁部及びその内部に銅層あるいは
    銅層/ニッケルあるいはニッケル合金層からなる有底孔
    付き接続端子を設けることを特徴とする請求項1に記載
    の基板の接続方法。
  3. 【請求項3】第二の基板に、銅からなるパッドの上部に
    ニッケルあるいはニッケル合金からなる中間層/銅層か
    らなる凸部付き接続端子を設けることを特徴とする請求
    項1に記載の基板の接続方法。
  4. 【請求項4】第一の基板を、以下の工程を含む方法で製
    造することを特徴とする請求項2に記載の基板の接続方
    法。 a.接着を担う絶縁材あるいは内層回路板上に接着を担
    う絶縁材を重ね、その表面にキャリアとなる銅層/ニッ
    ケルあるいはニッケル合金からなる中間層/回路となる
    銅層の三層からなる金属箔を、回路となる銅層が接触す
    るように重ね、加熱加圧して積層一体化する工程 b.必要に応じて無電解銅めっきあるいは電解銅めっき
    を行い、接続箇所に穴をあけ、無電解めっき及び必要な
    場合に電解めっきを行って、穴内壁と表面に必要な導体
    を形成する工程 c.有底孔部となる部分を除いてエッチングレジストを
    形成して、ニッケルあるいはニッケル合金からなる中間
    層まで、キャリアとなる銅層をアルカリエッチャントで
    エッチング除去して有底孔を形成する工程 d.エッチングレジストを剥離除去し、さらにニッケル
    あるいはニッケル合金からなる中間層をニッケルエッチ
    ング液でエッチング除去する工程 e.回路となる形状にエッチングレジストを形成し、回
    路となる銅層を選択的にエッチング除去し、エッチング
    レジストを剥離除去し、必要に応じて所定の位置に、ソ
    ルダーレジストを形成及びはんだを印刷し加熱及び冷却
    する工程
  5. 【請求項5】第二の基板を、以下の工程を含む方法で製
    造することを特徴とする請求項3に記載の基板の接続方
    法。 a.接着を担う絶縁材あるいは内層回路板上に接着を担
    う絶縁材を重ね、その表面に回路となる銅層/ニッケル
    あるいはニッケル合金からなる中間層/凸部となる銅層
    の三層からなる金属箔を、回路となる銅層が接着を担う
    絶縁材と接触するように重ね、加熱加圧して積層一体化
    する工程 b’.必要に応じて無電解銅めっきあるいは電解銅めっ
    きを行い、接続箇所に穴をあける工程 f.凸部となる形状にエッチングレジストを形成して、
    ニッケルあるいはニッケル合金からなる中間層まで、凸
    部となる銅層をアルカリエッチング液で選択的にエッチ
    ング除去し、エッチングレジストを剥離除去し、露出し
    たニッケルあるいはニッケル合金からなる中間層をエッ
    チング除去する工程 g.無電解めっき及び必要に応じて電解めっきを行い、
    穴内壁と表面に必要な導体を形成する工程 e.回路となる形状にエッチングレジストを形成して、
    回路となる銅層を選択的にエッチング除去し、エッチン
    グレジストを剥離除去し、必要に応じて所定の位置に、
    ソルダーレジストを形成及びはんだを印刷し加熱及び冷
    却する工程
  6. 【請求項6】第二の基板を、以下の工程を含む方法で製
    造することを特徴とする請求項3に記載の基板の接続方
    法。 a.接着を担う絶縁材あるいは内層回路板上に接着を担
    う絶縁材を重ね、その表面に回路となる銅層/ニッケル
    あるいはニッケル合金からなる中間層/凸部となる銅層
    の三層からなる金属箔を、回路となる銅層が接着を担う
    絶縁材と接触するように重ね、加熱加圧して積層一体化
    する工程 b.必要に応じて無電解銅めっきあるいは電解銅めっき
    を行い、接続箇所に穴をあける工程 f.凸部となる形状にエッチングレジストを形成して、
    ニッケルあるいはニッケル合金からなる中間層まで、凸
    部となる銅層をアルカリエッチング液で選択的にエッチ
    ング除去し、エッチングレジストを剥離除去し、露出し
    たニッケルあるいはニッケル合金からなる中間層をエッ
    チング除去する工程 g.無電解めっきを行って穴内壁と表面に必要な導体を
    形成する工程 h.回路となる形状にめっきレジストを形成し、電解め
    っきとはんだめっきを行って穴内壁と表面に必要な導体
    及びはんだ層を形成する工程 i.めっきレジストを剥離除去して、アルカリエッチン
    グ液で回路となる銅層を選択的にエッチング除去し、必
    要に応じてはんだ層を剥離除去する工程 j.必要に応じて所定の位置に、ソルダーレジスト形成
    及びはんだを印刷し加熱及び冷却する工程
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2019050348A (ja) * 2017-09-07 2019-03-28 サムソン エレクトロ−メカニックス カンパニーリミテッド. プリント回路基板
CN114096078A (zh) * 2021-11-25 2022-02-25 四川九洲电器集团有限责任公司 不耐高温器件的印制板保护罩制备方法、保护罩及应用

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