JPH07335726A - ウェーハカセット検知機構 - Google Patents
ウェーハカセット検知機構Info
- Publication number
- JPH07335726A JPH07335726A JP13048494A JP13048494A JPH07335726A JP H07335726 A JPH07335726 A JP H07335726A JP 13048494 A JP13048494 A JP 13048494A JP 13048494 A JP13048494 A JP 13048494A JP H07335726 A JPH07335726 A JP H07335726A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer cassette
- elastic plate
- plate
- cassette
- magazine
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 外乱光や弾性板の微小振動の影響を受けず、
ウェーハカセットを誤りなく確実に検知し、かつ弾性板
の形状を簡単にし、ウェーハカセット検知のための調整
を容易にする。 【構成】 ウェーハカセット４が載置されるカセットス
テージ又はカセット棚のマガジンプレート９に、該プレ
ート面より突出するボタン１０を遊端部に取付けた弾性
板６の基端部６Ａを固定し、この弾性板６に、ボタン１
０で作動されるマイクロスイッチ５を取付ける。
ウェーハカセットを誤りなく確実に検知し、かつ弾性板
の形状を簡単にし、ウェーハカセット検知のための調整
を容易にする。 【構成】 ウェーハカセット４が載置されるカセットス
テージ又はカセット棚のマガジンプレート９に、該プレ
ート面より突出するボタン１０を遊端部に取付けた弾性
板６の基端部６Ａを固定し、この弾性板６に、ボタン１
０で作動されるマイクロスイッチ５を取付ける。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造装置におけ
るウェーハカセット検知機構に関する。
るウェーハカセット検知機構に関する。
【０００２】
【従来の技術】図３（Ａ），（Ｂ）はそれぞれ従来機構
の１例を示す部分分解斜視図及びその動作説明図であ
る。この従来機構は、ウェーハカセット４が載置される
カセット棚又はカセットステージのマガジンプレート１
に、該プレート面より突出する突部３Ａを遊端部に有し
た弾性板３の基端部３Ｂ及び該弾性板３の突部３Ａによ
り受光量が変化するフォトマイクロセンサ２を固定せし
める。このような構成であるから、マガジンプレート１
上に、図３（Ｂ）に示すようにウェーハカセット４が載
ると、弾性板３の突部３Ａが押されて下り、フォトマイ
クロセンサ２の受光量が変化することでウェーハカセッ
ト４を検知することになる。
の１例を示す部分分解斜視図及びその動作説明図であ
る。この従来機構は、ウェーハカセット４が載置される
カセット棚又はカセットステージのマガジンプレート１
に、該プレート面より突出する突部３Ａを遊端部に有し
た弾性板３の基端部３Ｂ及び該弾性板３の突部３Ａによ
り受光量が変化するフォトマイクロセンサ２を固定せし
める。このような構成であるから、マガジンプレート１
上に、図３（Ｂ）に示すようにウェーハカセット４が載
ると、弾性板３の突部３Ａが押されて下り、フォトマイ
クロセンサ２の受光量が変化することでウェーハカセッ
ト４を検知することになる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来機構にあって
は、ウェーハカセット検知を受光量の変化で行なってい
るため、弾性板３の振動や外乱光の影響を受け、ウェー
ハカセット検知が不安定であり、また弾性板３の形状が
複雑なため、ウェーハカセット検知の調整が難しいなど
の課題がある。
は、ウェーハカセット検知を受光量の変化で行なってい
るため、弾性板３の振動や外乱光の影響を受け、ウェー
ハカセット検知が不安定であり、また弾性板３の形状が
複雑なため、ウェーハカセット検知の調整が難しいなど
の課題がある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、ウェーハカセ
ット検知の不安定及び調整の難しさを解決し、ウェーハ
カセットの有無を確実にかつ容易に検出できるウェーハ
カセット検知機構を提供しようとするものである。即
ち、本発明機構は、ウェーハカセット４が載置されるマ
ガジンプレート９に、該プレート面より突出する突部１
０を遊端部に有した弾性板６の基端部６Ａを固定し、こ
の弾性板６に、前記突部１０で作動される接触式物体検
出手段５を取付けることを特徴とする。
ット検知の不安定及び調整の難しさを解決し、ウェーハ
カセットの有無を確実にかつ容易に検出できるウェーハ
カセット検知機構を提供しようとするものである。即
ち、本発明機構は、ウェーハカセット４が載置されるマ
ガジンプレート９に、該プレート面より突出する突部１
０を遊端部に有した弾性板６の基端部６Ａを固定し、こ
の弾性板６に、前記突部１０で作動される接触式物体検
出手段５を取付けることを特徴とする。
【０００５】
【作 用】このうよな構成であるから、マガジンプレー
ト９にウェーハカセット４が載ると、弾性板６の突部１
０が押されて下り、弾性板６に取付けられた接触式物体
検出手段５が突部１０により作動され、これによってウ
ェーハカセット４を検知することになる。
ト９にウェーハカセット４が載ると、弾性板６の突部１
０が押されて下り、弾性板６に取付けられた接触式物体
検出手段５が突部１０により作動され、これによってウ
ェーハカセット４を検知することになる。
【０００６】
【実施例】図１（Ａ），（Ｂ）はそれぞれ本発明機構の
１実施例を示す部分分解斜視図及びその動作説明図、図
２は本発明が適用される半導体製造装置の１例を示す一
部の斜視図である。図１（Ａ）において９はウェーハカ
セット４を装置内に搬入又は搬出するカセットステージ
１１（図２参照）又はカセットステージ１１により搬入
されたウェーハカセットをストックするカセット棚１２
（図２参照）のマガジンプレートである。６は形状の簡
単な板状の金属（例えば、鋼，銅，ステンレス），プラ
スチック（例えば、塩化ビニール樹脂，アクリル，ＡＢ
Ｓ樹脂）製等の弾性板、１０はマガジンプレート９の面
より突出する突部、例えばボタンで、弾性板６の遊端部
にネジ止めされている。基板７にボタン１０で作動され
る接触式物体検出手段、例えばマイクロスイッチ５が取
付けられ、ブロック８に基板７が取付けられている。ブ
ロック８は、マガジンプレート９に弾性板６の基端部６
Ａを挟んでネジ止めされている。
１実施例を示す部分分解斜視図及びその動作説明図、図
２は本発明が適用される半導体製造装置の１例を示す一
部の斜視図である。図１（Ａ）において９はウェーハカ
セット４を装置内に搬入又は搬出するカセットステージ
１１（図２参照）又はカセットステージ１１により搬入
されたウェーハカセットをストックするカセット棚１２
（図２参照）のマガジンプレートである。６は形状の簡
単な板状の金属（例えば、鋼，銅，ステンレス），プラ
スチック（例えば、塩化ビニール樹脂，アクリル，ＡＢ
Ｓ樹脂）製等の弾性板、１０はマガジンプレート９の面
より突出する突部、例えばボタンで、弾性板６の遊端部
にネジ止めされている。基板７にボタン１０で作動され
る接触式物体検出手段、例えばマイクロスイッチ５が取
付けられ、ブロック８に基板７が取付けられている。ブ
ロック８は、マガジンプレート９に弾性板６の基端部６
Ａを挟んでネジ止めされている。
【０００７】上記構成においてマガジンプレート９にウ
ェーハカセット４が載ると弾性板６の遊端部に取付けた
ボタン１０が押し下げられ、弾性板６の基端部は、マガ
ジンプレート９に固定されているため、てこの原理で弾
性板６の下に取付けてあるマイクロスイッチ５は弾性板
６により押されて作動されることになる。このマイクロ
スイッチ５の作動によりウェーハカセット４を検知する
ことになる。なお、マイクロスイッチ５を押すのに多少
の力がいるため、弾性板６の微振動でマイクロスイッチ
５が誤動作することはない。
ェーハカセット４が載ると弾性板６の遊端部に取付けた
ボタン１０が押し下げられ、弾性板６の基端部は、マガ
ジンプレート９に固定されているため、てこの原理で弾
性板６の下に取付けてあるマイクロスイッチ５は弾性板
６により押されて作動されることになる。このマイクロ
スイッチ５の作動によりウェーハカセット４を検知する
ことになる。なお、マイクロスイッチ５を押すのに多少
の力がいるため、弾性板６の微振動でマイクロスイッチ
５が誤動作することはない。
【０００８】
【発明の効果】上述のように本発明によれば、接触式物
体検出手段を用いているので、外乱光や弾性板の微小振
動の影響を受けず、ウェーハカセットを誤りなく確実に
検知できると共に弾性板の形状が簡単になり、ウェーハ
カセット検知のための調整を容易にできる。
体検出手段を用いているので、外乱光や弾性板の微小振
動の影響を受けず、ウェーハカセットを誤りなく確実に
検知できると共に弾性板の形状が簡単になり、ウェーハ
カセット検知のための調整を容易にできる。
【図１】（Ａ），（Ｂ）はそれぞれ本発明機構の１実施
例を示す部分分解斜視図及びその動作説明図である。
例を示す部分分解斜視図及びその動作説明図である。
【図２】本発明が適用される半導体製造装置の１例を示
す一部の斜視図である。
す一部の斜視図である。
【図３】（Ａ），（Ｂ）はそれぞれ従来機構の１例を示
す部分分解斜視図及びその動作説明図である。
す部分分解斜視図及びその動作説明図である。
５ 接触式物体検出手段（マイクロスイッチ） ６ 弾性板 ６Ａ 基端部 ９ マガジンプレート １０ 突部（ボタン）
Claims (1)
- 【請求項１】 ウェーハカセットが載置されるマガジン
プレートに、該プレート面より突出する突部を遊端部に
有した弾性板の基端部を固定し、この弾性板に、前記突
部で作動される接触式物体検出手段を取付けることを特
徴とするウェーハカセット検知機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13048494A JPH07335726A (ja) | 1994-06-13 | 1994-06-13 | ウェーハカセット検知機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13048494A JPH07335726A (ja) | 1994-06-13 | 1994-06-13 | ウェーハカセット検知機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07335726A true JPH07335726A (ja) | 1995-12-22 |
Family
ID=15035363
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13048494A Pending JPH07335726A (ja) | 1994-06-13 | 1994-06-13 | ウェーハカセット検知機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07335726A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1049641A1 (en) * | 1998-01-16 | 2000-11-08 | Pri Automation, Inc. | Semiconductor wafer cassette positioning and detection mechanism |
| JP2009021328A (ja) * | 2007-07-11 | 2009-01-29 | Tokai Rubber Ind Ltd | 電歪素子 |
-
1994
- 1994-06-13 JP JP13048494A patent/JPH07335726A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1049641A1 (en) * | 1998-01-16 | 2000-11-08 | Pri Automation, Inc. | Semiconductor wafer cassette positioning and detection mechanism |
| JP2009021328A (ja) * | 2007-07-11 | 2009-01-29 | Tokai Rubber Ind Ltd | 電歪素子 |
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