JPH0733312A - 帯状体へのフィルム張付装置 - Google Patents
帯状体へのフィルム張付装置Info
- Publication number
- JPH0733312A JPH0733312A JP5176708A JP17670893A JPH0733312A JP H0733312 A JPH0733312 A JP H0733312A JP 5176708 A JP5176708 A JP 5176708A JP 17670893 A JP17670893 A JP 17670893A JP H0733312 A JPH0733312 A JP H0733312A
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- Japan
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- film
- reel
- chucking
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- Folding Of Thin Sheet-Like Materials, Special Discharging Devices, And Others (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 帯状体へのフィルム張付において、フィルム
装着時のセンタ位置を常にリール旋回軸固定架構のセン
タに一致させ、フィルム繋ぎ時の安定張付を可能とした
帯状体へのフィルム張付装置を提供すること。 【構成】 帯状体へのフィルム張付において、少なくと
もその片側に幅方向の位置制御機能を持つ２個のチャッ
キングアームを有するフィルム巻き解き機構を複数配設
するとともに、この複数のフィルム巻き解き機構全体の
帯状体の幅方向への倣い機能を配設したことを特徴とす
る帯状体へのフィルム張付装置。 【効果】 フィルム繋ぎ時の安定張りつけを可能とし帯
状体全長にわたり良好なフィルム張付が可能となった。
装着時のセンタ位置を常にリール旋回軸固定架構のセン
タに一致させ、フィルム繋ぎ時の安定張付を可能とした
帯状体へのフィルム張付装置を提供すること。 【構成】 帯状体へのフィルム張付において、少なくと
もその片側に幅方向の位置制御機能を持つ２個のチャッ
キングアームを有するフィルム巻き解き機構を複数配設
するとともに、この複数のフィルム巻き解き機構全体の
帯状体の幅方向への倣い機能を配設したことを特徴とす
る帯状体へのフィルム張付装置。 【効果】 フィルム繋ぎ時の安定張りつけを可能とし帯
状体全長にわたり良好なフィルム張付が可能となった。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、帯状体へのフィルム張
付装置に関するものである。
付装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】帯状体へのフィルム張付装置の側面図を
図２に示す。帯状体１の上部に帯状体１へのリール旋回
軸固定架構倣い機構１５を有するリール旋回軸固定架構
１４が配置され、この架構上に２個のフィルム供給用の
リールａ，ｂ軸３ａ，３ｂがリール旋回軸２を中心に回
転する構造となっている。図では、リールａ軸３ａがフ
ィルム供給位置Ｉにあり、リールａ軸３ａからフィルム
は供給され、途中のガイドロール５ａ，６，７，８を経
て、ラミネートロール（上）１０と帯状体１の間に供給
され、ラミネートロール（上）１０とラミネートロール
（下）１０′の間で圧下され、帯状体１に圧着され、ラ
ミネートロール（上）１０から出てゆく。
図２に示す。帯状体１の上部に帯状体１へのリール旋回
軸固定架構倣い機構１５を有するリール旋回軸固定架構
１４が配置され、この架構上に２個のフィルム供給用の
リールａ，ｂ軸３ａ，３ｂがリール旋回軸２を中心に回
転する構造となっている。図では、リールａ軸３ａがフ
ィルム供給位置Ｉにあり、リールａ軸３ａからフィルム
は供給され、途中のガイドロール５ａ，６，７，８を経
て、ラミネートロール（上）１０と帯状体１の間に供給
され、ラミネートロール（上）１０とラミネートロール
（下）１０′の間で圧下され、帯状体１に圧着され、ラ
ミネートロール（上）１０から出てゆく。
【０００３】また、フィルムが形状よく供給されるよう
に、ガイドロールの途中に張力調整用ロール９を配置
し、フィルムの張力を一定値に制御している。フィルム
供給中は、帯状体１が板幅方向α′，β′に移動して
も、フィルムエッジ検出器１２でフィルムエッジを検出
するとともに帯状体エッジ検出器１３で帯状体のエッジ
を検出し、フィルムエッジ〜帯状体のエッジ間距離を演
算し、リール旋回軸固定架構１４をリール旋回軸固定架
構倣い機構１５を使用し帯状体１の進行方向と交差する
方向α，βに移動させ、常にフィルムエッジ〜帯状体の
エッジ間距離を一定に保つようにされている。
に、ガイドロールの途中に張力調整用ロール９を配置
し、フィルムの張力を一定値に制御している。フィルム
供給中は、帯状体１が板幅方向α′，β′に移動して
も、フィルムエッジ検出器１２でフィルムエッジを検出
するとともに帯状体エッジ検出器１３で帯状体のエッジ
を検出し、フィルムエッジ〜帯状体のエッジ間距離を演
算し、リール旋回軸固定架構１４をリール旋回軸固定架
構倣い機構１５を使用し帯状体１の進行方向と交差する
方向α，βに移動させ、常にフィルムエッジ〜帯状体の
エッジ間距離を一定に保つようにされている。
【０００４】一方、リールｂ軸３ｂは待機位置IIで次の
使用に備え待機しており、圧着ロール６′と供給中のフ
ィルム４の間に垂れ下げられている。リールａ軸３ａの
フィルムが終了するときまたは違う種類のフィルムに変
更するときには、圧着ロール６，６′で供給中のフィル
ムと次に使用するフィルムを圧着し、次いでカッタ１６
で供給中のフィルムを切断し、新しいリール軸（ｂ軸）
３ｂからのフィルム供給を開始する。この後、リール旋
回軸２は１８０°回転し、フィルム供給位置Ｉにリール
ｂ軸３ｂが、待機位置にリールａ軸３ａが位置すること
となり、引き続きフィルムを供給する。
使用に備え待機しており、圧着ロール６′と供給中のフ
ィルム４の間に垂れ下げられている。リールａ軸３ａの
フィルムが終了するときまたは違う種類のフィルムに変
更するときには、圧着ロール６，６′で供給中のフィル
ムと次に使用するフィルムを圧着し、次いでカッタ１６
で供給中のフィルムを切断し、新しいリール軸（ｂ軸）
３ｂからのフィルム供給を開始する。この後、リール旋
回軸２は１８０°回転し、フィルム供給位置Ｉにリール
ｂ軸３ｂが、待機位置にリールａ軸３ａが位置すること
となり、引き続きフィルムを供給する。
【０００５】図３は従来法によるリール軸へのフィルム
供給の概念図である。フィルム４ａ，４ｂはフィルム内
筒４ａ′，４ｂ′に巻かれており、リール軸３ａ，３ｂ
からはフィルム内筒４ａ′，４ｂ′を左右からチャッキ
ングアーム１９ａ，１９ａ′及び１９ｂ，１９ｂ′を介
してチャッキングコーン１７ａ，１７ａ′及び１７ｂ，
１７ｂ′で押さえ付けられる形で保持されている。通
常、供給位置Ｉからフィルムは供給され、待機位置IIで
リール軸にフィルムを装着したり取り除いたりする。
供給の概念図である。フィルム４ａ，４ｂはフィルム内
筒４ａ′，４ｂ′に巻かれており、リール軸３ａ，３ｂ
からはフィルム内筒４ａ′，４ｂ′を左右からチャッキ
ングアーム１９ａ，１９ａ′及び１９ｂ，１９ｂ′を介
してチャッキングコーン１７ａ，１７ａ′及び１７ｂ，
１７ｂ′で押さえ付けられる形で保持されている。通
常、供給位置Ｉからフィルムは供給され、待機位置IIで
リール軸にフィルムを装着したり取り除いたりする。
【０００６】図では、リールｂ軸３ｂが待機位置IIにあ
り、リールｂ軸３ｂに対してフィルムの装着或いは取り
除きを行う。リールｂ軸３ｂにフィルムを装着するとき
には、例えば搬送台車（図示せず）でフィルム４ｂをリ
ールｂ軸３ｂの下まで搬送し、次にフィルム内筒の軸芯
をリールｂ軸３ｂの軸芯高さまで持ち上げ、次いでチャ
ッキングアーム前後進機構２０ｂ，２０ｂ′を使用し、
チャッキングアームを左右から等圧力で前進させ、フィ
ルム内筒４を両側からチャッキングコーン１７ｂ，１７
ｂ′で支持する方法がとられている。待機位置IIにリー
ルａ軸３ａが位置するときも同様である。
り、リールｂ軸３ｂに対してフィルムの装着或いは取り
除きを行う。リールｂ軸３ｂにフィルムを装着するとき
には、例えば搬送台車（図示せず）でフィルム４ｂをリ
ールｂ軸３ｂの下まで搬送し、次にフィルム内筒の軸芯
をリールｂ軸３ｂの軸芯高さまで持ち上げ、次いでチャ
ッキングアーム前後進機構２０ｂ，２０ｂ′を使用し、
チャッキングアームを左右から等圧力で前進させ、フィ
ルム内筒４を両側からチャッキングコーン１７ｂ，１７
ｂ′で支持する方法がとられている。待機位置IIにリー
ルａ軸３ａが位置するときも同様である。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】フィルムをリールｂ軸
３ｂに装着するとき、先ず左右から等圧力でチャッキン
グアーム１９ｂ，１９ｂ′を前進させ、フィルム内筒４
ｂ′を両側からチャッキングコーン１７ｂ，１７ｂ′で
支持し、リール旋回軸固定架構１４の幅方向センタにフ
ィルム幅方向センタを一致させようとする。リール旋回
軸固定架構１４の幅方向センタがラインセンタと同じ位
置であれば、装着予定のフィルム４ｂの幅方向のセンタ
は、概ねリール旋回軸固定架構１４の幅方向センタと同
じ位置となり、結果として供給中のフィルム４ａと装着
予定のフィルム４ｂの幅方向のセンタが概ね同じ位置と
なる。
３ｂに装着するとき、先ず左右から等圧力でチャッキン
グアーム１９ｂ，１９ｂ′を前進させ、フィルム内筒４
ｂ′を両側からチャッキングコーン１７ｂ，１７ｂ′で
支持し、リール旋回軸固定架構１４の幅方向センタにフ
ィルム幅方向センタを一致させようとする。リール旋回
軸固定架構１４の幅方向センタがラインセンタと同じ位
置であれば、装着予定のフィルム４ｂの幅方向のセンタ
は、概ねリール旋回軸固定架構１４の幅方向センタと同
じ位置となり、結果として供給中のフィルム４ａと装着
予定のフィルム４ｂの幅方向のセンタが概ね同じ位置と
なる。
【０００８】しかし、リール旋回軸固定架構１４はフィ
ルムエッジ〜帯状体エッジ間距離を一定とするようにリ
ール旋回軸固定架構倣い機構１５により帯状体１の板幅
方向α′，β′に移動しており、装着予定のフィルム４
ｂのリールｂ軸３ｂへの装着が左右等圧力で行われて
も、フィルム４ｂの幅方向のセンタはリール旋回軸固定
架構１４の幅方向のセンタと異なる位置となり、結果と
して供給中のフィルム４ａの幅方向のセンタと異なる位
置となり、フィルム繋ぎのとき急激にフィルムエッジ〜
帯状体エッジ間距離が変化し、リール旋回軸固定架構倣
い機構１５によりリール旋回軸固定架構１４は急激に移
動を余儀なくされ、これによる追従困難によるフィルム
の帯状体１への張付位置不合及び張付フィルムの形状不
良のトラブルを招いていた。
ルムエッジ〜帯状体エッジ間距離を一定とするようにリ
ール旋回軸固定架構倣い機構１５により帯状体１の板幅
方向α′，β′に移動しており、装着予定のフィルム４
ｂのリールｂ軸３ｂへの装着が左右等圧力で行われて
も、フィルム４ｂの幅方向のセンタはリール旋回軸固定
架構１４の幅方向のセンタと異なる位置となり、結果と
して供給中のフィルム４ａの幅方向のセンタと異なる位
置となり、フィルム繋ぎのとき急激にフィルムエッジ〜
帯状体エッジ間距離が変化し、リール旋回軸固定架構倣
い機構１５によりリール旋回軸固定架構１４は急激に移
動を余儀なくされ、これによる追従困難によるフィルム
の帯状体１への張付位置不合及び張付フィルムの形状不
良のトラブルを招いていた。
【０００９】そこで本発明は、フィルム装着時の幅方向
のセンタ位置を常にリール旋回軸固定架構１４のセンタ
位置に一致させ、フィルム繋ぎの時の安定張付を可能と
した帯状体へのフィルム張付装置を提供することを目的
とする。
のセンタ位置を常にリール旋回軸固定架構１４のセンタ
位置に一致させ、フィルム繋ぎの時の安定張付を可能と
した帯状体へのフィルム張付装置を提供することを目的
とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明は従来技術の課題
を有利に解決するものであって、上記目的を達成するた
めに発明者らは鋭意工夫を重ねた結果、帯状体へのフィ
ルム張付において、フィルム装着時の幅方向のセンタ位
置を常にリール旋回軸固定架構のセンタ位置にさせ、フ
ィルム繋ぎの時の安定張付を可能としたもので、その発
明の要旨とするところは、帯状体へのフィルム張付装置
において、少なくともその片側に幅方向の位置制御機能
を持つ２個のチャッキングアームを有する複数のフィル
ム巻き解き機構を配設するとともに、この複数のフィル
ム巻き解き機構全体の帯状体の幅方向への倣い機能を配
設したことを特徴とする帯状体へのフィルム張付装置に
ある。
を有利に解決するものであって、上記目的を達成するた
めに発明者らは鋭意工夫を重ねた結果、帯状体へのフィ
ルム張付において、フィルム装着時の幅方向のセンタ位
置を常にリール旋回軸固定架構のセンタ位置にさせ、フ
ィルム繋ぎの時の安定張付を可能としたもので、その発
明の要旨とするところは、帯状体へのフィルム張付装置
において、少なくともその片側に幅方向の位置制御機能
を持つ２個のチャッキングアームを有する複数のフィル
ム巻き解き機構を配設するとともに、この複数のフィル
ム巻き解き機構全体の帯状体の幅方向への倣い機能を配
設したことを特徴とする帯状体へのフィルム張付装置に
ある。
【００１１】以下、本発明を図面に従って詳細に説明す
る。図１は本発明によるリール軸へのフィルム供給の概
念図である。フィルム４ａ，４ｂはフィルム内筒４
ａ′，４ｂ′に巻かれており、リールａ，ｂ軸３ａ，３
ｂはフィルム内筒４ａ′，４ｂ′を左右からチャッキン
グアーム１９ａ，１９ａ′及び１９ｂ，１９ｂ′を介し
てチャッキングコーン１７ａ，１７ａ′及び１７ｂ，１
７ｂ′で押さえ付けられる形で保持されている。
る。図１は本発明によるリール軸へのフィルム供給の概
念図である。フィルム４ａ，４ｂはフィルム内筒４
ａ′，４ｂ′に巻かれており、リールａ，ｂ軸３ａ，３
ｂはフィルム内筒４ａ′，４ｂ′を左右からチャッキン
グアーム１９ａ，１９ａ′及び１９ｂ，１９ｂ′を介し
てチャッキングコーン１７ａ，１７ａ′及び１７ｂ，１
７ｂ′で押さえ付けられる形で保持されている。
【００１２】チャッキングアームのうち片側１９ａ，１
９ｂは、リールａ，ｂ軸３ａ，３ｂに取付けられている
位置決め機能を有するチャッキングアーム前後進駆動装
置２１ａ，２１ｂによりスクリュー２２ａ，２２ｂを回
転し、前後進する機構からなる。チャッキングアームの
うち残りの側１９ａ′及び１９ｂ′は、等圧力で移動さ
れるチャッキングアーム前後進機構２０ａ′，２０ｂ′
により前後進する機構からなる。通常、供給位置Ｉから
フィルムは供給され、待機位置IIでリール軸にフィルム
を装着したり取り除いたりする。
９ｂは、リールａ，ｂ軸３ａ，３ｂに取付けられている
位置決め機能を有するチャッキングアーム前後進駆動装
置２１ａ，２１ｂによりスクリュー２２ａ，２２ｂを回
転し、前後進する機構からなる。チャッキングアームの
うち残りの側１９ａ′及び１９ｂ′は、等圧力で移動さ
れるチャッキングアーム前後進機構２０ａ′，２０ｂ′
により前後進する機構からなる。通常、供給位置Ｉから
フィルムは供給され、待機位置IIでリール軸にフィルム
を装着したり取り除いたりする。
【００１３】図１では、リールｂ軸３ｂが待機位置IIに
あり、リールｂ軸３ｂにフィルムを装着或いは取り除き
を行う。リールｂ軸３ｂにフィルムを装着するときに
は、例えば搬送台車（図示せず）でフィルム４ｂをリー
ルｂ軸３ｂの下まで搬送し、次にフィルム内筒４ｂ′の
軸芯をリールｂ軸３ｂの軸芯高さまで持ち上げ、次いで
チャッキングアーム前後進駆動装置２１ｂを駆動させ、
スクリュー２２ｂを回転させ、チャッキングアーム１９
ｂをチャッキングコーン１７ｂがフィルム４ｂのフィル
ム内筒４ｂ′の中に入った状態でフィルム４ｂの幅方向
センタがリール旋回軸固定架構１４の幅方向のセンタと
同じ位置になるまで前進させ、次いでチャッキングアー
ム前後進駆動装置２１ｂを停止し、最後に反対側のチャ
ッキングアーム前後進機構２０ｂ′を駆動させチャッキ
ングアーム１９ｂ′を前進させ、チャッキングコーン１
７ｂ，１７ｂ′でフィルム内筒４ｂ′を両側から支持す
る。
あり、リールｂ軸３ｂにフィルムを装着或いは取り除き
を行う。リールｂ軸３ｂにフィルムを装着するときに
は、例えば搬送台車（図示せず）でフィルム４ｂをリー
ルｂ軸３ｂの下まで搬送し、次にフィルム内筒４ｂ′の
軸芯をリールｂ軸３ｂの軸芯高さまで持ち上げ、次いで
チャッキングアーム前後進駆動装置２１ｂを駆動させ、
スクリュー２２ｂを回転させ、チャッキングアーム１９
ｂをチャッキングコーン１７ｂがフィルム４ｂのフィル
ム内筒４ｂ′の中に入った状態でフィルム４ｂの幅方向
センタがリール旋回軸固定架構１４の幅方向のセンタと
同じ位置になるまで前進させ、次いでチャッキングアー
ム前後進駆動装置２１ｂを停止し、最後に反対側のチャ
ッキングアーム前後進機構２０ｂ′を駆動させチャッキ
ングアーム１９ｂ′を前進させ、チャッキングコーン１
７ｂ，１７ｂ′でフィルム内筒４ｂ′を両側から支持す
る。
【００１４】こうして、フィルム４ｂの幅方向センタは
リール旋回軸固定架構１４の幅方向のセンタと同じ位置
となり、結果として供給中のフィルム４ａの幅方向セン
タと同じ位置となり、フィルム繋ぎのときもリール旋回
軸固定架構１４をリール旋回軸固定架構倣い装置１５に
より急激に移動させる必要がなくなり、帯状体１へのフ
ィルム張付が安定して行うことが可能となった。待機位
置IIにリールａ軸３ａが位置するときも同様である。
尚、更に供給中フィルムと次の使用予定のフィルムの幅
方向センタがより精度良く一致する必要がある場合には
チャッキングアームの両側に位置決め機能を有するチャ
ッキングアーム前後進駆動装置及びスクリューを取り付
けてもよい。
リール旋回軸固定架構１４の幅方向のセンタと同じ位置
となり、結果として供給中のフィルム４ａの幅方向セン
タと同じ位置となり、フィルム繋ぎのときもリール旋回
軸固定架構１４をリール旋回軸固定架構倣い装置１５に
より急激に移動させる必要がなくなり、帯状体１へのフ
ィルム張付が安定して行うことが可能となった。待機位
置IIにリールａ軸３ａが位置するときも同様である。
尚、更に供給中フィルムと次の使用予定のフィルムの幅
方向センタがより精度良く一致する必要がある場合には
チャッキングアームの両側に位置決め機能を有するチャ
ッキングアーム前後進駆動装置及びスクリューを取り付
けてもよい。
【００１５】
【発明の効果】以上述べたように、本発明により供給中
のフィルムと次の使用予定のフィルムの幅方向センタ位
置を一致させることが可能となり、フィルム繋ぎの時に
おいて幅方向への急激なフィルムの移動がなくなり、フ
ィルム繋ぎの時を含めて帯状体全体において、張付位置
及びフィルム形状を含め良好なフィルム張付を可能とし
た。
のフィルムと次の使用予定のフィルムの幅方向センタ位
置を一致させることが可能となり、フィルム繋ぎの時に
おいて幅方向への急激なフィルムの移動がなくなり、フ
ィルム繋ぎの時を含めて帯状体全体において、張付位置
及びフィルム形状を含め良好なフィルム張付を可能とし
た。
【図１】本発明によるフィルムのリール軸への供給の概
略図、
略図、
【図２】帯状体へのフィルム張付装置の側面図、
【図３】従来法によるフィルムのリール軸への供給の概
略図である。
略図である。
１ 帯状体 ２ リール旋回軸 ３ａ リールａ軸 ３ｂ リールｂ軸 ４ フィルム ４ａ′，４ｂ′ フィルム円筒（リールａ，ｂ軸用） ５ａ， ５ｂ ガイドロール（リールａ，ｂ軸用） ６ 圧着ロール（固定側） ６′ 圧着ロール（移動側） ７ ガイドロール１ ８ ガイドロール２ ９ 張力調整用ロール １０ ラミネートロール（上：固定側） １０′ ラミネートロール（下：移動側） １１ ラミネートロール（下）昇降装置 １２ フィルムエッジ検出器 １３ 帯状体エッジ検出器 １４ リール旋回軸固定架構 １５ リール旋回軸固定架構倣い機構 １６ カッタ １７ａ，ａ′，ｂ，ｂ′ チャッキングコーン（ａ，ｂ
軸用） １９ａ，ａ′，ｂ，ｂ′ チャッキングアーム（ａ，ｂ
軸用） ２０ａ，ａ′，ｂ，ｂ′ チャッキングアーム前後進機
構（ａ，ｂ軸用） ２１ａ，ｂ チャッキングアーム前後進駆動装置（ａ，
ｂ軸用） ２２ａ，ｂ スクリュー（ａ，ｂ軸用） Ｉ フィルム供給位置 II 待機位置 α，β 帯状体の進行方向とは交差する方向の移動 α′，β′ リール旋回軸固定架構の進行方向とは交差
する方向の移動
軸用） １９ａ，ａ′，ｂ，ｂ′ チャッキングアーム（ａ，ｂ
軸用） ２０ａ，ａ′，ｂ，ｂ′ チャッキングアーム前後進機
構（ａ，ｂ軸用） ２１ａ，ｂ チャッキングアーム前後進駆動装置（ａ，
ｂ軸用） ２２ａ，ｂ スクリュー（ａ，ｂ軸用） Ｉ フィルム供給位置 II 待機位置 α，β 帯状体の進行方向とは交差する方向の移動 α′，β′ リール旋回軸固定架構の進行方向とは交差
する方向の移動
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 榎枝 茂幸 福岡県北九州市八幡東区川淵町９−27 太 平工業株式會社八幡支店内 (72)発明者 川合 玄夫 福岡県前原市大字浦志78番地の１ 伊都工 業株式會社内
Claims (1)
- 【請求項１】 帯状体へのフィルム張付装置において、
少なくともその片側に幅方向の位置制御機能を持つ２個
のチャッキングアームを有する複数のフィルム巻き解き
機構を配設するとともに、この複数のフィルム巻き解き
機構全体の帯状体の幅方向への倣い機能を配設したこと
を特徴とする帯状体へのフィルム張付装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5176708A JPH0733312A (ja) | 1993-07-16 | 1993-07-16 | 帯状体へのフィルム張付装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5176708A JPH0733312A (ja) | 1993-07-16 | 1993-07-16 | 帯状体へのフィルム張付装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0733312A true JPH0733312A (ja) | 1995-02-03 |
Family
ID=16018373
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5176708A Withdrawn JPH0733312A (ja) | 1993-07-16 | 1993-07-16 | 帯状体へのフィルム張付装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0733312A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009192428A (ja) * | 2008-02-15 | 2009-08-27 | Sii Nanotechnology Inc | 複合荷電粒子ビーム装置、それを用いた試料加工方法及び透過電子顕微鏡用試料作製方法 |
-
1993
- 1993-07-16 JP JP5176708A patent/JPH0733312A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009192428A (ja) * | 2008-02-15 | 2009-08-27 | Sii Nanotechnology Inc | 複合荷電粒子ビーム装置、それを用いた試料加工方法及び透過電子顕微鏡用試料作製方法 |
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