JPH07330350A - 光学ガラス素子のプレス成形用型及び光学ガラス素子のプレス成形方法 - Google Patents
光学ガラス素子のプレス成形用型及び光学ガラス素子のプレス成形方法Info
- Publication number
- JPH07330350A JPH07330350A JP12120794A JP12120794A JPH07330350A JP H07330350 A JPH07330350 A JP H07330350A JP 12120794 A JP12120794 A JP 12120794A JP 12120794 A JP12120794 A JP 12120794A JP H07330350 A JPH07330350 A JP H07330350A
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- Japan
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- thin film
- press
- mold
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- Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 高融点光学ガラス素子を、繰り返しプレス成
形することが可能なプレス成形用型を提供する。 【構成】 超硬合金１３の上面に、切削加工層として、
耐熱性、切削加工性に優れたＳｉ−Ｍｏ層１２を形成
し、該加工層を所望の形状に精密加工した後、保護層と
してＰｔ−Ｉｒ合金薄膜１１をコーティングする。 【効果】 精密加工が容易で、高融点光学ガラス素子を
繰り返しプレス成形できる。
形することが可能なプレス成形用型を提供する。 【構成】 超硬合金１３の上面に、切削加工層として、
耐熱性、切削加工性に優れたＳｉ−Ｍｏ層１２を形成
し、該加工層を所望の形状に精密加工した後、保護層と
してＰｔ−Ｉｒ合金薄膜１１をコーティングする。 【効果】 精密加工が容易で、高融点光学ガラス素子を
繰り返しプレス成形できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は光学ガラス素子の製造方
法に関し、高精度な光学ガラス素子を、プレス成形する
方法及びプレス成形する際に用いる光学ガラス素子のプ
レス成形用型に関するものである。
法に関し、高精度な光学ガラス素子を、プレス成形する
方法及びプレス成形する際に用いる光学ガラス素子のプ
レス成形用型に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】高精度な光学ガラス素子をプレス成形に
より、繰り返し成形するためには、型材料として高温で
も安定で、耐酸化性に優れ、ガラスに対して不活性であ
り、プレスした時に形状精度が崩れないような機械的強
度の優れたものが必要であるが、その反面、加工性に優
れ、精密加工が容易にできなくてはいけない。
より、繰り返し成形するためには、型材料として高温で
も安定で、耐酸化性に優れ、ガラスに対して不活性であ
り、プレスした時に形状精度が崩れないような機械的強
度の優れたものが必要であるが、その反面、加工性に優
れ、精密加工が容易にできなくてはいけない。
【０００３】以上のような光学ガラス素子のプレス成形
用型に必要な条件を、ある程度満足する型材として、チ
タンカーバイド（ＴｉＣ）及び金属の混合材料（例えば
特開昭５９−１２１１２６号公報）や超硬合金母材上に
貴金属薄膜を形成したもの（例えば特開昭６２−９６３
３１号公報）などが提案されている。
用型に必要な条件を、ある程度満足する型材として、チ
タンカーバイド（ＴｉＣ）及び金属の混合材料（例えば
特開昭５９−１２１１２６号公報）や超硬合金母材上に
貴金属薄膜を形成したもの（例えば特開昭６２−９６３
３１号公報）などが提案されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
型材料では、上記の条件を全て満足するものは得られて
いない。
型材料では、上記の条件を全て満足するものは得られて
いない。
【０００５】例えば型材としてＴｉＣ及び金属の混合材
料を用いた場合では、非常に硬く、機械的強度は優れて
いるものの、加工性に劣り、高精度な加工が困難であ
る。さらには、光学ガラス素子の構成成分である鉛（Ｐ
ｂ）やアルカリ元素と反応しやすいという欠点を有して
いる。
料を用いた場合では、非常に硬く、機械的強度は優れて
いるものの、加工性に劣り、高精度な加工が困難であ
る。さらには、光学ガラス素子の構成成分である鉛（Ｐ
ｂ）やアルカリ元素と反応しやすいという欠点を有して
いる。
【０００６】また、超硬合金母材上に貴金属薄膜を形成
した型では、超硬合金をダイヤモンド砥石を用いて加工
を行うと、ダイヤモンド砥石の摩耗が激しく、精密な形
状加工が困難であり、特別な加工装置が必要である。ま
た、加工時間も長く、金型コストが非常に高いという問
題があった。
した型では、超硬合金をダイヤモンド砥石を用いて加工
を行うと、ダイヤモンド砥石の摩耗が激しく、精密な形
状加工が困難であり、特別な加工装置が必要である。ま
た、加工時間も長く、金型コストが非常に高いという問
題があった。
【０００７】これらの改善策として超硬合金母材上に母
材と密着性が良好な薄膜を形成し、さらに該薄膜上に容
易に精密加工できる膜として例えば無電解Ｎｉ−Ｐめっ
き膜を形成し、保護膜として合金薄膜を形成する方法
（例えば特開平３−２３２３０号公報）が検討されてい
る。
材と密着性が良好な薄膜を形成し、さらに該薄膜上に容
易に精密加工できる膜として例えば無電解Ｎｉ−Ｐめっ
き膜を形成し、保護膜として合金薄膜を形成する方法
（例えば特開平３−２３２３０号公報）が検討されてい
る。
【０００８】しかしながらこの方法では無電解Ｎｉ−Ｐ
めっき膜の耐熱性が低く、高融点ガラスを成形すること
ができないといった問題があった。
めっき膜の耐熱性が低く、高融点ガラスを成形すること
ができないといった問題があった。
【０００９】以上のように、従来の型材料では前述の型
材料としての必要条件を全て満足するには至っていな
い。
材料としての必要条件を全て満足するには至っていな
い。
【００１０】本発明はこのような従来の課題を解消し、
従来の研削加工では実現できなかった多種多様の形状を
持った高融点光学ガラス素子を、繰り返しプレス成形す
ることが可能なプレス成形用型及び光学ガラス素子のプ
レス成形方法を提供することを目的とする。
従来の研削加工では実現できなかった多種多様の形状を
持った高融点光学ガラス素子を、繰り返しプレス成形す
ることが可能なプレス成形用型及び光学ガラス素子のプ
レス成形方法を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本発明ではＷＣを主成分とする超硬合金、ＴｉＣあ
るいはＴｉＮを主成分とするサーメット、またはＷＣ焼
結体からなる母材上に切削加工層として、含有率が２０
〜８０ａｔ％のＳｉと残りがＮｉ、Ｃｏ、Ｆｅ、Ｃｕ、
Ｔｉ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｍｏ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｐｄ、Ｈｆ、Ｔ
ａ、Ｗ、Ｒｅ、Ｏｓ、Ｉｒから選ばれる金属との合金薄
膜を形成し、該加工層を切削加工により所望の形状に精
密加工した後、該薄膜上に保護層としてＰｔ、Ｐｄ、Ｉ
ｒ、Ｒｈ、Ｏｓ、Ｒｕ、Ｒｅ、Ｗ、Ｔａから選ばれる少
なくとも１種類以上の金属を含む貴金属系合金薄膜を形
成して構成される金型を作製することによって、多種多
様な形状を持った高融点光学ガラス素子のプレス成形用
型を提供し、この型を用いて高融点光学ガラスを繰り返
しプレス成形することによって、従来プレス成形できな
かった多種多様な形状を持った高融点光学ガラス素子を
安価に、かつ大量に製造することを可能にしたものであ
る。
に、本発明ではＷＣを主成分とする超硬合金、ＴｉＣあ
るいはＴｉＮを主成分とするサーメット、またはＷＣ焼
結体からなる母材上に切削加工層として、含有率が２０
〜８０ａｔ％のＳｉと残りがＮｉ、Ｃｏ、Ｆｅ、Ｃｕ、
Ｔｉ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｍｏ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｐｄ、Ｈｆ、Ｔ
ａ、Ｗ、Ｒｅ、Ｏｓ、Ｉｒから選ばれる金属との合金薄
膜を形成し、該加工層を切削加工により所望の形状に精
密加工した後、該薄膜上に保護層としてＰｔ、Ｐｄ、Ｉ
ｒ、Ｒｈ、Ｏｓ、Ｒｕ、Ｒｅ、Ｗ、Ｔａから選ばれる少
なくとも１種類以上の金属を含む貴金属系合金薄膜を形
成して構成される金型を作製することによって、多種多
様な形状を持った高融点光学ガラス素子のプレス成形用
型を提供し、この型を用いて高融点光学ガラスを繰り返
しプレス成形することによって、従来プレス成形できな
かった多種多様な形状を持った高融点光学ガラス素子を
安価に、かつ大量に製造することを可能にしたものであ
る。
【００１２】
【作用】本発明では、型母材にＷＣを主成分とする超硬
合金、ＴｉＣあるいはＴｉＮを主成分とするサーメッ
ト、またはＷＣ焼結体を用いることにより、プレス成形
に充分耐える強度を持たせ、またこの母材表面に形成さ
れる切削加工層に含有率が２０〜８０ａｔ％のＳｉと残
りがＮｉ、Ｃｏ、Ｆｅ、Ｃｕ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｍ
ｏ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｐｄ、Ｈｆ、Ｔａ、Ｗ、Ｒｅ、Ｏｓ、
Ｉｒから選ばれる金属との合金薄膜を用いることによっ
て、耐熱性に優れ、容易に所望の形状に精密切削加工す
ることを可能とした。
合金、ＴｉＣあるいはＴｉＮを主成分とするサーメッ
ト、またはＷＣ焼結体を用いることにより、プレス成形
に充分耐える強度を持たせ、またこの母材表面に形成さ
れる切削加工層に含有率が２０〜８０ａｔ％のＳｉと残
りがＮｉ、Ｃｏ、Ｆｅ、Ｃｕ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｍ
ｏ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｐｄ、Ｈｆ、Ｔａ、Ｗ、Ｒｅ、Ｏｓ、
Ｉｒから選ばれる金属との合金薄膜を用いることによっ
て、耐熱性に優れ、容易に所望の形状に精密切削加工す
ることを可能とした。
【００１３】さらに、この切削加工層上に形成される保
護層としてＰｔ、Ｐｄ、Ｉｒ、Ｒｈ、Ｏｓ、Ｒｕ、Ｒ
ｅ、Ｗ、Ｔａから選ばれる少なくとも１種類以上の金属
を含む貴金属系合金薄膜を用いることによって、ガラス
との融着を防止したものである。
護層としてＰｔ、Ｐｄ、Ｉｒ、Ｒｈ、Ｏｓ、Ｒｕ、Ｒ
ｅ、Ｗ、Ｔａから選ばれる少なくとも１種類以上の金属
を含む貴金属系合金薄膜を用いることによって、ガラス
との融着を防止したものである。
【００１４】従って、本発明の型は、前記した型材料と
して要求される必要条件を全て満足したものとなる。
して要求される必要条件を全て満足したものとなる。
【００１５】このようにして作製した本発明の型を用い
て、ガラスをプレス成形すると、従来の研削加工では実
現できなかった多種多様な形状を持った高融点光学ガラ
ス素子を大量に製造することが可能となる。
て、ガラスをプレス成形すると、従来の研削加工では実
現できなかった多種多様な形状を持った高融点光学ガラ
ス素子を大量に製造することが可能となる。
【００１６】
【実施例】以下、本発明の一実施例について図１を参照
しながら説明する。
しながら説明する。
【００１７】直径６ｍｍ、厚さ１０ｍｍのＷＣを主成分
とする超硬合金を曲率半径が１ｍｍの凹形状のプレス面
を有する光学ガラスレンズのプレス成形用型１３に放電
加工により荒加工した。
とする超硬合金を曲率半径が１ｍｍの凹形状のプレス面
を有する光学ガラスレンズのプレス成形用型１３に放電
加工により荒加工した。
【００１８】次に、このプレス面上に切削加工層１２と
してＳｉ−Ｍｏをスパッタ法により１５μｍの厚みで形
成した。Ｓｉ−Ｍｏのスパッタ方法としては、まず、１
０ｍｍ×１０ｍｍのＳｉチップを直径６インチのＭｏデ
ィスクターゲット上に７２枚並べてＳｉ−Ｍｏのターゲ
ットとし、スパッタした。
してＳｉ−Ｍｏをスパッタ法により１５μｍの厚みで形
成した。Ｓｉ−Ｍｏのスパッタ方法としては、まず、１
０ｍｍ×１０ｍｍのＳｉチップを直径６インチのＭｏデ
ィスクターゲット上に７２枚並べてＳｉ−Ｍｏのターゲ
ットとし、スパッタした。
【００１９】次にこのＳｉ−Ｍｏ膜１２をダイヤモンド
バイトによる切削加工により非常に高精度な面に仕上げ
た。
バイトによる切削加工により非常に高精度な面に仕上げ
た。
【００２０】このようにＳｉ−Ｍｏ合金薄膜を切削加工
することによって、研削加工では従来作製が困難であっ
た曲率半径１ｍｍの凹面形状の金型を、容易に得ること
ができるようになった。
することによって、研削加工では従来作製が困難であっ
た曲率半径１ｍｍの凹面形状の金型を、容易に得ること
ができるようになった。
【００２１】次に該加工層上にスパッタ法により３μｍ
の厚みでＰｔ−Ｉｒ合金薄膜１１をコーティングしてプ
レス成形用型を作製した。
の厚みでＰｔ−Ｉｒ合金薄膜１１をコーティングしてプ
レス成形用型を作製した。
【００２２】図１に示す成形型を図２に示したプレス成
形機にセットする。図２において２１は上型ヒーターブ
ロック、２２は上型用加熱ヒーター、２３は図１で示す
上型、２４はガラス素材、２５も同様に図１で示す下
型、２６は下型用加熱ヒーター、２７は下型ヒーターブ
ロック、２８は覆い、２９は胴型、２１０はプランジャ
ー、２１１は位置決め用センサー、２１２はストッパー
である。
形機にセットする。図２において２１は上型ヒーターブ
ロック、２２は上型用加熱ヒーター、２３は図１で示す
上型、２４はガラス素材、２５も同様に図１で示す下
型、２６は下型用加熱ヒーター、２７は下型ヒーターブ
ロック、２８は覆い、２９は胴型、２１０はプランジャ
ー、２１１は位置決め用センサー、２１２はストッパー
である。
【００２３】次に半径１ｍｍの球状に加工した軟化点６
１３℃の重クラウン系ガラス（ＳＫ−１２）２４を下型
２５の上に置き、その上に上型２３を置いて、そのまま
６５０℃まで昇温し、窒素雰囲気中で約４０ｋｇ/ｃｍ2
のプレス圧により２分間圧力を保持し、その後、そのま
まの状態で５５０℃まで冷却して、成形された光学ガラ
ス素子を取り出して、光学ガラス素子のプレス成形の工
程を完了する。
１３℃の重クラウン系ガラス（ＳＫ−１２）２４を下型
２５の上に置き、その上に上型２３を置いて、そのまま
６５０℃まで昇温し、窒素雰囲気中で約４０ｋｇ/ｃｍ2
のプレス圧により２分間圧力を保持し、その後、そのま
まの状態で５５０℃まで冷却して、成形された光学ガラ
ス素子を取り出して、光学ガラス素子のプレス成形の工
程を完了する。
【００２４】光学ガラス素子を成形するには、以上の工
程を１サイクル行う。以上の工程を繰り返して１０００
０サイクル目のプレス終了時に、上下の型２３及び２５
をプレス成形機より取りはずして、プレス面の状態を光
学顕微鏡で観察し、その時のプレス面の表面粗さ（ＲＭ
Ｓ値、Å）を測定して、それぞれの型精度を評価した。
これらの結果を（表１）の試料Ｎｏ２〜４９に示した。
程を１サイクル行う。以上の工程を繰り返して１０００
０サイクル目のプレス終了時に、上下の型２３及び２５
をプレス成形機より取りはずして、プレス面の状態を光
学顕微鏡で観察し、その時のプレス面の表面粗さ（ＲＭ
Ｓ値、Å）を測定して、それぞれの型精度を評価した。
これらの結果を（表１）の試料Ｎｏ２〜４９に示した。
【００２５】本実施例に対する比較例として、超硬合金
母材上に切削加工層として無電解めっき法によってＮｉ
−Ｐ膜を形成し、保護膜としてＰｔ−Ｉｒ合金薄膜をコ
ーティングした型について図１と同様な形状の型を作製
し、これを図２に示したプレス成形機にセットし、上述
のプレス成形の工程を繰り返し行い、同様の型精度の評
価を行った。この結果を（表２）に示した。
母材上に切削加工層として無電解めっき法によってＮｉ
−Ｐ膜を形成し、保護膜としてＰｔ−Ｉｒ合金薄膜をコ
ーティングした型について図１と同様な形状の型を作製
し、これを図２に示したプレス成形機にセットし、上述
のプレス成形の工程を繰り返し行い、同様の型精度の評
価を行った。この結果を（表２）に示した。
【００２６】
【表１】
【００２７】
【表２】
【００２８】比較例における試料Ｎｏ．１のように切削
加工層に無電解Ｎｉ−Ｐめっき膜を成膜し、Ｐｔ−Ｉｒ
合金薄膜でコーティングした型は、ガラス付着は起こら
ないが、１００回のプレス成形によってめっき膜の亀裂
が進行し、その亀裂がレンズに転写しそれ以上プレス成
形することはできなかった。
加工層に無電解Ｎｉ−Ｐめっき膜を成膜し、Ｐｔ−Ｉｒ
合金薄膜でコーティングした型は、ガラス付着は起こら
ないが、１００回のプレス成形によってめっき膜の亀裂
が進行し、その亀裂がレンズに転写しそれ以上プレス成
形することはできなかった。
【００２９】これは切削層のＮｉ−Ｐの耐熱性が悪いた
めに、高融点ガラスのプレス成形時の熱サイクルに、Ｎ
ｉ−Ｐが耐えきれなくなるためである。
めに、高融点ガラスのプレス成形時の熱サイクルに、Ｎ
ｉ−Ｐが耐えきれなくなるためである。
【００３０】一方、試料Ｎｏ．２〜Ｎｏ．４９の本実施
例の型は、繰り返し１００００回プレスした時でも、表
面状態はほとんど変化せず、表面粗さはほとんどプレス
前と変化がなく、ＳＫ−１２のような高融点ガラスを繰
り返しプレス成形できることがわかる。
例の型は、繰り返し１００００回プレスした時でも、表
面状態はほとんど変化せず、表面粗さはほとんどプレス
前と変化がなく、ＳＫ−１２のような高融点ガラスを繰
り返しプレス成形できることがわかる。
【００３１】すなわち、本実施例の方法で得られたプレ
ス成形用型を用いてガラスをプレス成形することによっ
て、研削加工では困難な形状の高融点光学ガラス素子を
大量にプレス成形することが可能となった。
ス成形用型を用いてガラスをプレス成形することによっ
て、研削加工では困難な形状の高融点光学ガラス素子を
大量にプレス成形することが可能となった。
【００３２】以上のように、本発明の型は前述した高精
度な光学ガラス素子を直接プレス成形するための必要条
件を全て満たし、これまで成形で作製できなかった形状
の高融点光学ガラス素子を、大量にプレス成形すること
が可能となった。
度な光学ガラス素子を直接プレス成形するための必要条
件を全て満たし、これまで成形で作製できなかった形状
の高融点光学ガラス素子を、大量にプレス成形すること
が可能となった。
【００３３】なお、本発明を説明するために、実施例に
おいてプレス成形用型の母材として、ＷＣを主成分とす
る超硬合金を用いたが、ＴｉＮあるいはＴｉＣを主成分
とするサーメットあるいはＷＣ焼結体を母材に用いても
まったく同様の結果が得られた。
おいてプレス成形用型の母材として、ＷＣを主成分とす
る超硬合金を用いたが、ＴｉＮあるいはＴｉＣを主成分
とするサーメットあるいはＷＣ焼結体を母材に用いても
まったく同様の結果が得られた。
【００３４】また保護膜については、実施例においてＰ
ｔ−Ｉｒを用いたがその他のＰｔ、Ｐｄ、Ｉｒ、Ｒｈ、
Ｏｓ、Ｒｕ、Ｒｅ、Ｗ、Ｔａから選ばれる少なくとも１
種類以上の金属を含む貴金属系合金薄膜を用いてもまっ
たく同様の結果が得られた。
ｔ−Ｉｒを用いたがその他のＰｔ、Ｐｄ、Ｉｒ、Ｒｈ、
Ｏｓ、Ｒｕ、Ｒｅ、Ｗ、Ｔａから選ばれる少なくとも１
種類以上の金属を含む貴金属系合金薄膜を用いてもまっ
たく同様の結果が得られた。
【００３５】さらに、本実施例では曲率半径１ｍｍの凹
面形状の金型の作製について述べたが、従来研削では加
工が困難な形状、例えば軸非対称レンズやマイクロプリ
ズムアレイなどの金型も加工できるようになることは言
うまでもない。
面形状の金型の作製について述べたが、従来研削では加
工が困難な形状、例えば軸非対称レンズやマイクロプリ
ズムアレイなどの金型も加工できるようになることは言
うまでもない。
【００３６】
【発明の効果】以上のように、本発明は光学ガラス素子
のプレス成形用型を作製するにあたり、母材として超硬
合金、サーメット及びＷＣ焼結体を用い、該母材上に切
削加工層として、含有率が２０〜８０ａｔ％のＳｉと残
りがＮｉ、Ｃｏ、Ｆｅ、Ｃｕ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｍ
ｏ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｐｄ、Ｈｆ、Ｔａ、Ｗ、Ｒｅ、Ｏｓ、
Ｉｒから選ばれる金属との合金薄膜を形成し、該加工層
を切削加工により所望の形状に精密加工した後、該薄膜
上に保護層としてＰｔ、Ｐｄ、Ｉｒ、Ｒｈ、Ｏｓ、Ｒ
ｕ、Ｒｅ、Ｗ、Ｔａから選ばれる少なくとも１種類以上
の金属を含む貴金属系合金薄膜を形成することにより、
ガラス成形用型材料に要求される必要条件をすべて満た
し、多種多様な形状の高融点光学ガラス素子のプレス成
形用型を提供したものであり、この型を用いて光学ガラ
スを繰り返しプレス成形することによって、従来プレス
成形では得られなかった形状の高融点光学ガラス素子を
安価に、かつ、大量に製造することが可能となった。
のプレス成形用型を作製するにあたり、母材として超硬
合金、サーメット及びＷＣ焼結体を用い、該母材上に切
削加工層として、含有率が２０〜８０ａｔ％のＳｉと残
りがＮｉ、Ｃｏ、Ｆｅ、Ｃｕ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｍ
ｏ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｐｄ、Ｈｆ、Ｔａ、Ｗ、Ｒｅ、Ｏｓ、
Ｉｒから選ばれる金属との合金薄膜を形成し、該加工層
を切削加工により所望の形状に精密加工した後、該薄膜
上に保護層としてＰｔ、Ｐｄ、Ｉｒ、Ｒｈ、Ｏｓ、Ｒ
ｕ、Ｒｅ、Ｗ、Ｔａから選ばれる少なくとも１種類以上
の金属を含む貴金属系合金薄膜を形成することにより、
ガラス成形用型材料に要求される必要条件をすべて満た
し、多種多様な形状の高融点光学ガラス素子のプレス成
形用型を提供したものであり、この型を用いて光学ガラ
スを繰り返しプレス成形することによって、従来プレス
成形では得られなかった形状の高融点光学ガラス素子を
安価に、かつ、大量に製造することが可能となった。
【図１】本発明の一実施例におけるプレス成形用型の構
成を示す断面図
成を示す断面図
【図２】本発明の一実施例のプレス成形用型を用いたプ
レス成形機の概略図
レス成形機の概略図
１１ Ｐｔ−Ｉｒ合金保護膜 １２ Ｓｉ−Ｍｏ合金切削膜 １３ 母材 ２１ 上型ヒーターブロック ２２ 上型用加熱ヒーター ２３ 上型 ２４ ガラス素材 ２５ 下型 ２６ 下型用加熱ヒーター ２７ 下型ヒーターブロック ２８ 覆い ２９ 胴型 ２１０ プランジャー ２１１ 位置決め用センサー ２１２ ストッパー
フロントページの続き (72)発明者 柏木 吉成 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 井上 健二 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内
Claims (3)
- 【請求項１】母材にタングステンカーバイド（ＷＣ）を
主成分とする超硬合金、チタンカーバイド（ＴｉＣ）あ
るいはチタンナイトライド（ＴｉＮ）を主成分とするサ
ーメット、またはＷＣ焼結体を用い、該母材上に切削加
工層としてシリコン（Ｓｉ）を主成分とする合金薄膜を
備え、該加工層上に白金（Ｐｔ）、パラジウム（Ｐ
ｄ）、イリジウム（Ｉｒ）、ロジウム（Ｒｈ）、オスミ
ウム（Ｏｓ）、ルテニウム（Ｒｕ）、レニウム（Ｒ
ｅ）、タングステン（Ｗ）、タンタル（Ｔａ）から選ば
れる少なくとも１種類以上の金属を含む貴金属系合金薄
膜を形成したことを特徴とする光学ガラス素子のプレス
成形用型。 - 【請求項２】Ｓｉを主成分とする合金薄膜として含有率
が２０〜８０ａｔ％のＳｉと残りがニッケル（Ｎｉ）、
コバルト（Ｃｏ）、鉄（Ｆｅ）、銅（Ｃｕ）、チタン
（Ｔｉ）、ジルコニウム（Ｚｒ）、ニオブ（Ｎｂ）、モ
リブデン（Ｍｏ）、ルテニウム（Ｒｕ）、ロジウム（Ｒ
ｈ）、パラジウム（Ｐｄ）、ハフニウム（Ｈｆ）、タン
タル（Ｔａ）、タングステン（Ｗ）、レニウム（Ｒ
ｅ）、オスミウム（Ｏｓ）、イリジウム（Ｉｒ）から選
ばれる金属との合金薄膜を用いることを特徴とする請求
項１記載のプレス成形用型 - 【請求項３】母材のタングステンカーバイド（ＷＣ）を
主成分とする超硬合金、チタンカーバイド（ＴｉＣ）あ
るいはチタンナイトライド（ＴｉＮ）を主成分とするサ
ーメット、またはＷＣ焼結体上に、スパッタ法あるいは
蒸着法によって含有率が２０〜８０ａｔ％のＳｉと残り
がＮｉ、Ｃｏ、Ｆｅ、Ｃｕ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｍｏ、
Ｒｕ、Ｒｈ、Ｐｄ、Ｈｆ、Ｔａ、Ｗ、Ｒｅ、Ｏｓ、Ｉｒ
から選ばれる金属との合金薄膜を形成し、該薄膜を切削
加工により所望の形状に精密加工した後、該薄膜上に保
護層としてＰｔ、Ｐｄ、Ｉｒ、Ｒｈ、Ｏｓ、Ｒｕ、Ｒ
ｅ、Ｗ、Ｔａから選ばれる少なくとも１種類以上の金属
を含む貴金属系合金薄膜を形成して作製された光学ガラ
ス素子のプレス成形用型を用いて、軟化点が６００℃以
上の高融点ガラスをプレス成形することを特徴とする光
学ガラス素子のプレス成形方法。
Priority Applications (13)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12120794A JP3572664B2 (ja) | 1994-06-02 | 1994-06-02 | 光学ガラス素子のプレス成形用型及び光学ガラス素子のプレス成形方法 |
| US08/281,690 US5700307A (en) | 1993-07-28 | 1994-07-28 | Die for press-molding optical elements |
| EP94111781A EP0636585B1 (en) | 1993-07-28 | 1994-07-28 | Die for press-molding optical elements and methods of manufacturing and using the same |
| DE69421629T DE69421629T2 (de) | 1993-07-28 | 1994-07-28 | Pressform zum Pressen optischer Elemente und ihr Herstellungsverfahren und Verwendung |
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