JPH07325262A - レーザ顕微鏡装置 - Google Patents
レーザ顕微鏡装置Info
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- JPH07325262A JPH07325262A JP11934194A JP11934194A JPH07325262A JP H07325262 A JPH07325262 A JP H07325262A JP 11934194 A JP11934194 A JP 11934194A JP 11934194 A JP11934194 A JP 11934194A JP H07325262 A JPH07325262 A JP H07325262A
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- axis
- laser
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 レーザ顕微鏡装置で、対物レンズを駆動させ
ることで、標本上で定速度のレーザ光走査を行うことが
できる。 【構成】 レーザ光発生器８から発生したレーザ光は、
プリズム９、対物レンズ１を透過し、標本１１上で焦点
を結ぶ。対物レンズ１には、Ｘ軸位置検出装置２とＹ軸
位置検出装置３、及びＸ軸方向対物レンズ駆動装置４と
Ｙ軸方向対物レンズ駆動装置５が配置されている。Ｘ軸
位置検出装置２はＸ軸走査制御装置６に、Ｙ軸位置検出
装置３はＹ軸走査制御装置７に接続し、さらにＸ軸走査
制御装置６はＸ軸方向対物レンズ駆動４に、Ｙ軸走査制
御装置７はＹ軸方向対物レンズ駆動装置５に接続する。
ることで、標本上で定速度のレーザ光走査を行うことが
できる。 【構成】 レーザ光発生器８から発生したレーザ光は、
プリズム９、対物レンズ１を透過し、標本１１上で焦点
を結ぶ。対物レンズ１には、Ｘ軸位置検出装置２とＹ軸
位置検出装置３、及びＸ軸方向対物レンズ駆動装置４と
Ｙ軸方向対物レンズ駆動装置５が配置されている。Ｘ軸
位置検出装置２はＸ軸走査制御装置６に、Ｙ軸位置検出
装置３はＹ軸走査制御装置７に接続し、さらにＸ軸走査
制御装置６はＸ軸方向対物レンズ駆動４に、Ｙ軸走査制
御装置７はＹ軸方向対物レンズ駆動装置５に接続する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、レーザ光を標本上で走
査し、標本画像を作り出すレーザ顕微鏡装置に関する。
査し、標本画像を作り出すレーザ顕微鏡装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】レーザ顕微鏡装置は、レーザ光スポット
を標本に当てて、反射光の量によって画素情報を得て、
レーザ光自体を振る、あるいは走査することにより、標
本の画像を作り出す装置である。
を標本に当てて、反射光の量によって画素情報を得て、
レーザ光自体を振る、あるいは走査することにより、標
本の画像を作り出す装置である。
【０００３】上記のレーザ光を走査するデバイスとし
て、ガルバノミラーが知られている。これは、多面鏡で
あるガルバノミラーを回鏡させ、レーザ光を反射させる
鏡面の角度を変化させることによって、レーザ光を走査
するデバイスである。
て、ガルバノミラーが知られている。これは、多面鏡で
あるガルバノミラーを回鏡させ、レーザ光を反射させる
鏡面の角度を変化させることによって、レーザ光を走査
するデバイスである。
【０００４】また、レーザ光を走査するデバイスとし
て、音響光学素子、いわゆるＡＯ素子も知られている。
ＡＯ素子は、レーザ光が素子中を通過するときの屈折角
を変えるデバイスである。
て、音響光学素子、いわゆるＡＯ素子も知られている。
ＡＯ素子は、レーザ光が素子中を通過するときの屈折角
を変えるデバイスである。
【０００５】上記のレーザ光を走査するデバイスは、１
次元の走査で、通常は組み合わせて使用したり、２度用
いたりする。
次元の走査で、通常は組み合わせて使用したり、２度用
いたりする。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記のレー
ザ光を走査するデバイスは、非常に高価である。
ザ光を走査するデバイスは、非常に高価である。
【０００７】また、上述したガルバノミラーに関して
は、ガルバノミラーを回鏡させ、そこへ標本からの反射
レーザ光を当て、鏡面上での反射光の角度を変えること
によってレーザ光を走査する。このため、ミラーが角速
度一定の駆動をしても、厳密には定速度のレーザ光走査
にはならない。そこで、特殊レンズを用いて補正し、画
面上の走査速度を一定にするのが一般的であるが、光学
系が複雑で高価になってしまう。
は、ガルバノミラーを回鏡させ、そこへ標本からの反射
レーザ光を当て、鏡面上での反射光の角度を変えること
によってレーザ光を走査する。このため、ミラーが角速
度一定の駆動をしても、厳密には定速度のレーザ光走査
にはならない。そこで、特殊レンズを用いて補正し、画
面上の走査速度を一定にするのが一般的であるが、光学
系が複雑で高価になってしまう。
【０００８】また、ＡＯ素子に関しても、上記のレーザ
光の光路の角度を変える走査のため、厳密に定速度の走
査にはならず、上述のように特殊レンズで補正し、画面
上の走査速度を一定にするのが一般的で、光学系が複雑
で高価になってしまう。
光の光路の角度を変える走査のため、厳密に定速度の走
査にはならず、上述のように特殊レンズで補正し、画面
上の走査速度を一定にするのが一般的で、光学系が複雑
で高価になってしまう。
【０００９】そこで、本発明は、複雑な光学系を用いる
ことなく、単純な構成で、上述のレーザ光の走査を行え
るような廉価なレーザ顕微鏡装置を提供することを目的
とする。
ことなく、単純な構成で、上述のレーザ光の走査を行え
るような廉価なレーザ顕微鏡装置を提供することを目的
とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明に係るレーザ顕微
鏡装置は、上述の如き問題点を解決するために、上記レ
ーザ光を上記標本に収束させるために上記標本と対向し
て対物レンズと、上記対物レンズを上記レーザ光の光軸
と直交する方向に移動させる対物レンズ駆動手段と、上
記レーザ光を走査するための対物レンズ駆動手段を制御
する制御手段を有する。
鏡装置は、上述の如き問題点を解決するために、上記レ
ーザ光を上記標本に収束させるために上記標本と対向し
て対物レンズと、上記対物レンズを上記レーザ光の光軸
と直交する方向に移動させる対物レンズ駆動手段と、上
記レーザ光を走査するための対物レンズ駆動手段を制御
する制御手段を有する。
【００１１】上記対物レンズ駆動手段は、上記レーザ光
の光軸と直交する２次元平面内に互いに直交する２つの
方向に対物レンズを移動させることを特徴としている。
の光軸と直交する２次元平面内に互いに直交する２つの
方向に対物レンズを移動させることを特徴としている。
【００１２】上記対物レンズ駆動手段により上記対物レ
ンズが移動させられた移動位置を検出する位置検出手段
を設け、この位置検出手段からの検出出力を上記制御手
段に帰還して上記レーザ光走査制御を行わせることを特
徴とする。
ンズが移動させられた移動位置を検出する位置検出手段
を設け、この位置検出手段からの検出出力を上記制御手
段に帰還して上記レーザ光走査制御を行わせることを特
徴とする。
【００１３】
【作用】本発明に係るレーザ顕微鏡装置によれば、上記
対物レンズにより、上記レーザ光は上記標本上で焦点を
結んで、スポットが形成される。上記対物レンズ駆動装
置により、上記対物レンズを上記レーザ光の光軸と直交
する方向に移動させることができる。また、上記対物レ
ンズ駆動手段の動作を制御する制御手段を設けることに
よって、上記対物レンズ駆動手段の動作は制御される。
対物レンズにより、上記レーザ光は上記標本上で焦点を
結んで、スポットが形成される。上記対物レンズ駆動装
置により、上記対物レンズを上記レーザ光の光軸と直交
する方向に移動させることができる。また、上記対物レ
ンズ駆動手段の動作を制御する制御手段を設けることに
よって、上記対物レンズ駆動手段の動作は制御される。
【００１４】また、上記対物レンズ駆動手段を、上記レ
ーザ光の光軸と直交する２次元平面内に互いに直交する
２つの方向に対物レンズを移動させるような特徴を持た
せることによって、上記標本上で上記対物レンズの焦点
の移動を上記２つの方向の各方向に対する１次元の動き
に分解することができる。
ーザ光の光軸と直交する２次元平面内に互いに直交する
２つの方向に対物レンズを移動させるような特徴を持た
せることによって、上記標本上で上記対物レンズの焦点
の移動を上記２つの方向の各方向に対する１次元の動き
に分解することができる。
【００１５】上記位置検出手段を設けることによって、
上記対物レンズの移動位置の検出出力を上記制御手段に
帰還して上記レーザ光走査制御を行わせることができ
る。
上記対物レンズの移動位置の検出出力を上記制御手段に
帰還して上記レーザ光走査制御を行わせることができ
る。
【００１６】
【実施例】以下、本発明に係るレーザ顕微鏡装置の実施
例について、図面を参照しながら詳細に説明する。
例について、図面を参照しながら詳細に説明する。
【００１７】図１は、本発明に係るレーザ顕微鏡装置の
一実施例の概略構成を示すブロック図である。
一実施例の概略構成を示すブロック図である。
【００１８】図１において、レーザ発生器８から発生し
たレーザ光は、順にプリズム９、対物レンズ１を透過
し、標本１１上で焦点を結ぶ。なお、プリズム９から上
記レーザ光の光軸に対し垂直な方向へ受光素子１０が設
置される。またプリズム９は、レーザ発生器８から出た
レーザ光を透過させ、標本１１からの戻り光を反射させ
て光路を９０度曲げる機能をもつ。また、対物レンズ１
には、Ｘ軸位置検出装置２とＹ軸位置検出装置３、及び
Ｘ軸方向対物レンズ駆動装置４とＹ軸方向対物レンズ駆
動装置５が設置されている。Ｘ軸位置検出装置２はＸ軸
走査制御装置６に、Ｙ軸位置検出装置３はＹ軸走査制御
装置７にそれぞれ接続され、さらには、Ｘ軸走査制御装
置６はＸ軸方向対物レンズ駆動装置４に、Ｙ軸走査制御
装置７はＹ軸方向対物レンズ駆動装置５にそれぞれ接続
されている。
たレーザ光は、順にプリズム９、対物レンズ１を透過
し、標本１１上で焦点を結ぶ。なお、プリズム９から上
記レーザ光の光軸に対し垂直な方向へ受光素子１０が設
置される。またプリズム９は、レーザ発生器８から出た
レーザ光を透過させ、標本１１からの戻り光を反射させ
て光路を９０度曲げる機能をもつ。また、対物レンズ１
には、Ｘ軸位置検出装置２とＹ軸位置検出装置３、及び
Ｘ軸方向対物レンズ駆動装置４とＹ軸方向対物レンズ駆
動装置５が設置されている。Ｘ軸位置検出装置２はＸ軸
走査制御装置６に、Ｙ軸位置検出装置３はＹ軸走査制御
装置７にそれぞれ接続され、さらには、Ｘ軸走査制御装
置６はＸ軸方向対物レンズ駆動装置４に、Ｙ軸走査制御
装置７はＹ軸方向対物レンズ駆動装置５にそれぞれ接続
されている。
【００１９】図１のレーザ顕微鏡において、レーザ発生
器８から発生したレーザ光は、プリズム９を透過し、対
物レンズ１により、標本１１上に焦点を結んで、スポッ
トが形成される。このとき、対物レンズ１を動作させれ
ば、標本１１上でレーザ光の焦点位置のスポットが移動
する、すなわちレーザ光を標本１１上にて走査すること
になるのを図２を用いて説明する。
器８から発生したレーザ光は、プリズム９を透過し、対
物レンズ１により、標本１１上に焦点を結んで、スポッ
トが形成される。このとき、対物レンズ１を動作させれ
ば、標本１１上でレーザ光の焦点位置のスポットが移動
する、すなわちレーザ光を標本１１上にて走査すること
になるのを図２を用いて説明する。
【００２０】図２で、図２のＡは対物レンズ１が標本１
１の真上にある場合を示し、図２のＢは対物レンズ１を
右側へ移動させた場合を指している。対物レンズ１にて
標本１１の位置にレーザ光を絞り込んでできる焦点位置
は、対物レンズ１の中心線上で、対物レンズ１から一定
の距離に存在する。図２のＡにて示されるように、レー
ザ光の中心と対物レンズ１の中心が同一の場合、標本１
１上でできる上記の焦点位置はレーザ光の中心の延長線
上に存在する。ここで、対物レンズ１がずれて対物レン
ズ１の中心がずれたとき、図２のＢにて示されるよう
に、上記の焦点位置は、常に対物レンズ１の中心線上に
あるため、対物レンズ１と同時に動き、レーザ光の中心
線からずれる。ここで対物レンズ１を移動させた距離
が、そのまま上記の焦点位置の移動距離となるため、対
物レンズ１の駆動距離が直接レーザ光の走査距離とな
る。
１の真上にある場合を示し、図２のＢは対物レンズ１を
右側へ移動させた場合を指している。対物レンズ１にて
標本１１の位置にレーザ光を絞り込んでできる焦点位置
は、対物レンズ１の中心線上で、対物レンズ１から一定
の距離に存在する。図２のＡにて示されるように、レー
ザ光の中心と対物レンズ１の中心が同一の場合、標本１
１上でできる上記の焦点位置はレーザ光の中心の延長線
上に存在する。ここで、対物レンズ１がずれて対物レン
ズ１の中心がずれたとき、図２のＢにて示されるよう
に、上記の焦点位置は、常に対物レンズ１の中心線上に
あるため、対物レンズ１と同時に動き、レーザ光の中心
線からずれる。ここで対物レンズ１を移動させた距離
が、そのまま上記の焦点位置の移動距離となるため、対
物レンズ１の駆動距離が直接レーザ光の走査距離とな
る。
【００２１】ここで、Ｘ軸位置検出装置２とＹ軸位置検
出装置３により構成される位置検出装置の一実施例を図
３を用いて説明する。
出装置３により構成される位置検出装置の一実施例を図
３を用いて説明する。
【００２２】図３は、本発明に係るレーザ顕微鏡装置の
位置検出装置の一実施例の概略構成を示す図である。な
お本実施例では、位置検出素子として感磁性素子を用い
ている。
位置検出装置の一実施例の概略構成を示す図である。な
お本実施例では、位置検出素子として感磁性素子を用い
ている。
【００２３】図３において、対物レンズ１にはＸ軸マグ
ネットアレイ２３、Ｙ軸マグネットアレイ２４、Ｘ軸方
向対物レンズ駆動装置４、及びＹ軸方向対物レンズ駆動
装置５が設置されている。両対物レンズ駆動装置４及び
５は、例えばボイスコイルやＤＣモーターのような廉価
なものを使用できる。また、Ｘ軸マグネットアレイ２３
にはＸ軸方向感磁性素子２１が、Ｙ軸マグネットアレイ
２４にはＹ軸方向感磁性素子２２がそれぞれ接続されて
いる。Ｘ軸マグネットアレイ２３とＸ軸方向感磁性素子
２１でＸ軸位置検出装置２を構成し、Ｙ軸マグネットア
レイ２４とＹ軸方向感磁性素子２２でＹ軸位置検出装置
３を構成している。また、Ｘ軸方向感磁性素子２１から
の対物レンズ１の移動位置の情報はＸ軸走査制御装置６
へ出力され、Ｙ軸方向感磁性素子２２からの対物レンズ
１の移動位置の情報はＹ軸走査制御装置７へと出力され
ている。
ネットアレイ２３、Ｙ軸マグネットアレイ２４、Ｘ軸方
向対物レンズ駆動装置４、及びＹ軸方向対物レンズ駆動
装置５が設置されている。両対物レンズ駆動装置４及び
５は、例えばボイスコイルやＤＣモーターのような廉価
なものを使用できる。また、Ｘ軸マグネットアレイ２３
にはＸ軸方向感磁性素子２１が、Ｙ軸マグネットアレイ
２４にはＹ軸方向感磁性素子２２がそれぞれ接続されて
いる。Ｘ軸マグネットアレイ２３とＸ軸方向感磁性素子
２１でＸ軸位置検出装置２を構成し、Ｙ軸マグネットア
レイ２４とＹ軸方向感磁性素子２２でＹ軸位置検出装置
３を構成している。また、Ｘ軸方向感磁性素子２１から
の対物レンズ１の移動位置の情報はＸ軸走査制御装置６
へ出力され、Ｙ軸方向感磁性素子２２からの対物レンズ
１の移動位置の情報はＹ軸走査制御装置７へと出力され
ている。
【００２４】ここで、本実施例の位置検出装置の動作原
理について説明する。対物レンズ１が、対物レンズ駆動
装置４、５により駆動されると、対物レンズ１に設置さ
れたマグネットアレイ２３と２４も同時に移動する。な
お、２個のマグネットアレイ２３、２４は互いに直交す
るように配置されている。換言すれば、対物レンズ１の
２次元の動作が、Ｘ軸方向とＹ軸方向の各方向における
１次元動作に分解される。また、各マグネットアレイ２
３と２４は、感磁性素子２１または２２に接続されてい
て、感磁性素子２１はＸ軸方向に、また感磁性素子２２
はＹ軸方向にどの程度移動したかを感知し、感磁性素子
により検出された移動後の位置情報はＸ軸方向感磁性素
子２１からはＸ軸走査制御装置６に、またＹ軸方向感磁
性素子２２からはＹ軸走査制御装置７にそれぞれ送られ
る。
理について説明する。対物レンズ１が、対物レンズ駆動
装置４、５により駆動されると、対物レンズ１に設置さ
れたマグネットアレイ２３と２４も同時に移動する。な
お、２個のマグネットアレイ２３、２４は互いに直交す
るように配置されている。換言すれば、対物レンズ１の
２次元の動作が、Ｘ軸方向とＹ軸方向の各方向における
１次元動作に分解される。また、各マグネットアレイ２
３と２４は、感磁性素子２１または２２に接続されてい
て、感磁性素子２１はＸ軸方向に、また感磁性素子２２
はＹ軸方向にどの程度移動したかを感知し、感磁性素子
により検出された移動後の位置情報はＸ軸方向感磁性素
子２１からはＸ軸走査制御装置６に、またＹ軸方向感磁
性素子２２からはＹ軸走査制御装置７にそれぞれ送られ
る。
【００２５】続いて、Ｘ軸走査制御装置６、及びＹ軸走
査制御装置７で行われる位置検出装置により検出された
位置に帰還する走査制御またはフィードバック走査制御
の原理について、図４を用いて説明する。
査制御装置７で行われる位置検出装置により検出された
位置に帰還する走査制御またはフィードバック走査制御
の原理について、図４を用いて説明する。
【００２６】図４において、図４のＡ、Ｂ、及びＣは任
意の区間における対物レンズ１の区間動作時間Ｔにおけ
る時間ｔと移動距離ｄの関係を示している。横軸は対物
レンズ１の動作の時間を表し、縦軸は対物レンズ１の移
動距離を表している。図４のＡは、目的とする対物レン
ズ１の動作を示している。対物レンズ１が、希望の速度
でスムーズに移動する軌跡を描くことを表す。図４のＢ
及び図４のＣにおいて、実線はこの場合における対物レ
ンズ１の動作の軌跡を表し、破線は目的とする対物レン
ズ１の動作の軌跡を表し、実線の破線からのずれは
Ｓ1、Ｓ2であることを示している。図４のＢは、目的と
する対物レンズ１の動作よりも遅い動作を示している。
この場合対物レンズ１の区間動作時間Ｔにおいて、時間
ｔの値が大きいところでの対物レンズ１の移動距離ｄ
が、破線に示されている対物レンズ１の同時間内におけ
る移動距離よりも短くなり、その差はＳ1となることを
表している。図４のＣは、目的とする対物レンズ１の動
作よりも速い動作を示している。こちらの場合は対物レ
ンズ１の区間動作時間Ｔにおいて、時間ｔの値が大きい
ところでの対物レンズ１の移動距離ｄが、破線に示され
ている対物レンズ１の同時間内における移動距離よりも
長くなり、その差はＳ2となることを表している。
意の区間における対物レンズ１の区間動作時間Ｔにおけ
る時間ｔと移動距離ｄの関係を示している。横軸は対物
レンズ１の動作の時間を表し、縦軸は対物レンズ１の移
動距離を表している。図４のＡは、目的とする対物レン
ズ１の動作を示している。対物レンズ１が、希望の速度
でスムーズに移動する軌跡を描くことを表す。図４のＢ
及び図４のＣにおいて、実線はこの場合における対物レ
ンズ１の動作の軌跡を表し、破線は目的とする対物レン
ズ１の動作の軌跡を表し、実線の破線からのずれは
Ｓ1、Ｓ2であることを示している。図４のＢは、目的と
する対物レンズ１の動作よりも遅い動作を示している。
この場合対物レンズ１の区間動作時間Ｔにおいて、時間
ｔの値が大きいところでの対物レンズ１の移動距離ｄ
が、破線に示されている対物レンズ１の同時間内におけ
る移動距離よりも短くなり、その差はＳ1となることを
表している。図４のＣは、目的とする対物レンズ１の動
作よりも速い動作を示している。こちらの場合は対物レ
ンズ１の区間動作時間Ｔにおいて、時間ｔの値が大きい
ところでの対物レンズ１の移動距離ｄが、破線に示され
ている対物レンズ１の同時間内における移動距離よりも
長くなり、その差はＳ2となることを表している。
【００２７】ここで走査制御とは、対物レンズ１の動作
が図４のＢのような軌跡を辿るときは、対物レンズ１の
移動距離ｄを増すように、また、図４のＣのような軌跡
を辿るときは、対物レンズ１の移動距離ｄを減らすよう
に行う、対物レンズ駆動装置４及び５によるレーザ走査
制御を指す。換言すれば、図４のＢ及び図４のＣに示さ
れた目的の対物レンズの軌跡からの大きさＳ1、あるい
はＳ2のずれを補整するような走査制御を指す。すなわ
ちこの走査制御により、上記対物レンズ駆動装置自体に
動作の精密性をもたせなくても、定速度の上記レーザ光
走査が実現される。本実施例においては、図４の区間移
動時間Ｔを無限に小さくとって、上記のような制御を繰
り返し行う、高速フィードバック走査制御が行える。
が図４のＢのような軌跡を辿るときは、対物レンズ１の
移動距離ｄを増すように、また、図４のＣのような軌跡
を辿るときは、対物レンズ１の移動距離ｄを減らすよう
に行う、対物レンズ駆動装置４及び５によるレーザ走査
制御を指す。換言すれば、図４のＢ及び図４のＣに示さ
れた目的の対物レンズの軌跡からの大きさＳ1、あるい
はＳ2のずれを補整するような走査制御を指す。すなわ
ちこの走査制御により、上記対物レンズ駆動装置自体に
動作の精密性をもたせなくても、定速度の上記レーザ光
走査が実現される。本実施例においては、図４の区間移
動時間Ｔを無限に小さくとって、上記のような制御を繰
り返し行う、高速フィードバック走査制御が行える。
【００２８】図５では、本実施例を用いたレーザ顕微鏡
装置によるレーザ走査イメージの概略を示している。
装置によるレーザ走査イメージの概略を示している。
【００２９】図５において、図１での受光素子１０の先
に、増幅回路４１が接続され、増幅回路４１の先には記
憶装置４２が接続され、記憶装置４２の先にはモニタ４
３が接続されている。記憶装置４２には、デュアルポー
トメモリを用いる。
に、増幅回路４１が接続され、増幅回路４１の先には記
憶装置４２が接続され、記憶装置４２の先にはモニタ４
３が接続されている。記憶装置４２には、デュアルポー
トメモリを用いる。
【００３０】図５で、対物レンズ１のＸ軸方向への移動
をテレビスキャンにおける水平方向の走査またはＨスキ
ャン、Ｙ軸方向への移動を垂直方向の走査またはＶスキ
ャンと同様にレーザ光を走査すると、標本１１上の１つ
の面をレーザ光スポットで隙間なく走査することができ
る。また、一定間隔で受光素子１０で得られる標本１１
からの反射光量のデータを記憶装置４２に記憶していけ
ば、一面の画像としてモニタ４３上に作り上げることが
できる。
をテレビスキャンにおける水平方向の走査またはＨスキ
ャン、Ｙ軸方向への移動を垂直方向の走査またはＶスキ
ャンと同様にレーザ光を走査すると、標本１１上の１つ
の面をレーザ光スポットで隙間なく走査することができ
る。また、一定間隔で受光素子１０で得られる標本１１
からの反射光量のデータを記憶装置４２に記憶していけ
ば、一面の画像としてモニタ４３上に作り上げることが
できる。
【００３１】また、上記テレビスキャンと同じ速度で、
Ｘ軸及びＹ軸方向へレーザ光を駆動できれば、標本１１
が微生物のような動く物体の場合でも、リアルタイムの
画像が作り出せる。
Ｘ軸及びＹ軸方向へレーザ光を駆動できれば、標本１１
が微生物のような動く物体の場合でも、リアルタイムの
画像が作り出せる。
【００３２】本実施例では、対物レンズ駆動装置として
ボイスコイルやＤＣモーターを例に挙げたが、これらに
限定されず、他の駆動装置を用いてもよい。また、対物
レンズの位置検出装置の検出素子として、感磁性素子の
例を挙げたが、これに限定されず、レンズの駆動の妨げ
にならない程度に軽く、必要な精度を持つような他の検
出素子、例えば磁気抵抗素子のようなものを用いても、
同様の結果が得られることは言うまでもない。また、レ
ーザ走査イメージでは、画像データを蓄積する手段とし
て、デュアルポートメモリを用いた例を挙げたが、これ
に限定されず、他の画像情報を蓄積できるものならば、
何でもよいことは言うまでもない。
ボイスコイルやＤＣモーターを例に挙げたが、これらに
限定されず、他の駆動装置を用いてもよい。また、対物
レンズの位置検出装置の検出素子として、感磁性素子の
例を挙げたが、これに限定されず、レンズの駆動の妨げ
にならない程度に軽く、必要な精度を持つような他の検
出素子、例えば磁気抵抗素子のようなものを用いても、
同様の結果が得られることは言うまでもない。また、レ
ーザ走査イメージでは、画像データを蓄積する手段とし
て、デュアルポートメモリを用いた例を挙げたが、これ
に限定されず、他の画像情報を蓄積できるものならば、
何でもよいことは言うまでもない。
【００３３】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係るレーザ
顕微鏡装置によれば、レーザ光を標本に照射し、上記レ
ーザ光を上記標本上で収束させるために設けた対物レン
ズにより、上記レーザ光は上記標本上で焦点を結んで、
スポットが形成される。本発明で設けた対物レンズ駆動
装置により、上記標本上で上記のレーザ光スポットを、
上記レーザ光の光軸と直交する平面上で移動させること
ができる。また、上記対物レンズ駆動装置の動作を制御
する走査制御装置を設けることにより、上記レーザ光の
走査を制御することができる。
顕微鏡装置によれば、レーザ光を標本に照射し、上記レ
ーザ光を上記標本上で収束させるために設けた対物レン
ズにより、上記レーザ光は上記標本上で焦点を結んで、
スポットが形成される。本発明で設けた対物レンズ駆動
装置により、上記標本上で上記のレーザ光スポットを、
上記レーザ光の光軸と直交する平面上で移動させること
ができる。また、上記対物レンズ駆動装置の動作を制御
する走査制御装置を設けることにより、上記レーザ光の
走査を制御することができる。
【００３４】また、本発明に係るレーザ顕微鏡装置は、
上記対物レンズ駆動装置の動作を、上記レーザ光の光軸
と直交する２次元平面内に互いに直交する２つの方向に
向けるようにし、上記標本上で走査される上記レーザ光
スポットの動作を、各方向に対する１次元動作に置き換
えることを可能とする。
上記対物レンズ駆動装置の動作を、上記レーザ光の光軸
と直交する２次元平面内に互いに直交する２つの方向に
向けるようにし、上記標本上で走査される上記レーザ光
スポットの動作を、各方向に対する１次元動作に置き換
えることを可能とする。
【００３５】また、本発明に係るレーザ顕微鏡装置は、
上記対物レンズの移動位置を検出し、上記走査制御装置
に帰還して上記レーザ光の走査を制御しているため、定
速度の上記レーザ光走査を実現することができる。
上記対物レンズの移動位置を検出し、上記走査制御装置
に帰還して上記レーザ光の走査を制御しているため、定
速度の上記レーザ光走査を実現することができる。
【図１】本発明に係るレーザ顕微鏡装置の一実施例の概
略構成を示すブロック図である。
略構成を示すブロック図である。
【図２】対物レンズの移動に対する標本上でのレーザス
ポットの位置の変化を表す図である。
ポットの位置の変化を表す図である。
【図３】本発明に係るレーザ顕微鏡装置の位置検出装置
の一実施例の概略構成を示す図である。
の一実施例の概略構成を示す図である。
【図４】本発明に係るレーザ顕微鏡装置における対物レ
ンズの移動位置に帰還したレーザ走査制御の説明に用い
る図である。
ンズの移動位置に帰還したレーザ走査制御の説明に用い
る図である。
【図５】本発明に係るレーザ顕微鏡装置によるレーザ光
の走査イメージを表す図である。
の走査イメージを表す図である。
１ 対物レンズ ２ Ｘ軸位置検出装置 ３ Ｙ軸位置検出装置 ４ Ｘ軸対物レンズ駆動装置 ５ Ｙ軸対物レンズ駆動装置 ６ Ｘ軸走査制御装置 ７ Ｙ軸走査制御装置 ９ プリズム ２１ Ｘ軸方向感磁性素子 ２２ Ｙ軸方向感磁性素子 ２３ Ｘ軸マグネットアレイ ２４ Ｙ軸マグネットアレイ ４１ 増幅回路 ４２ 記憶装置
Claims (3)
- 【請求項１】 レーザ光を標本に照射し、反射光量によ
り標本の画素情報を得るレーザ顕微鏡であって、 上記レーザ光を上記標本に収束させるために上記標本と
対向して設けられる対物レンズと、 上記対物レンズを上記レーザ光の光軸と直交する方向に
移動させる対物レンズ駆動手段と、 上記対物レンズ駆動手段を制御する制御手段とを有する
ことを特徴とするレーザ顕微鏡装置。 - 【請求項２】 上記走査駆動手段は、上記レーザ光の光
軸と直交する２次元平面内で互いに直交する２つの方向
に対物レンズを移動させることを特徴とする請求項１記
載のレーザ顕微鏡装置。 - 【請求項３】 上記対物レンズの移動位置を検出する位
置検出手段を設け、この位置検出手段からの検出出力を
上記制御手段に帰還して走査制御を行わせることを特徴
とする請求項１記載のレーザ顕微鏡装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11934194A JPH07325262A (ja) | 1994-05-31 | 1994-05-31 | レーザ顕微鏡装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11934194A JPH07325262A (ja) | 1994-05-31 | 1994-05-31 | レーザ顕微鏡装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07325262A true JPH07325262A (ja) | 1995-12-12 |
Family
ID=14759093
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11934194A Pending JPH07325262A (ja) | 1994-05-31 | 1994-05-31 | レーザ顕微鏡装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07325262A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009009135A (ja) * | 2007-06-28 | 2009-01-15 | Leica Microsystems (Schweiz) Ag | センタリングされた照明を持つ顕微鏡 |
| JP2013519908A (ja) * | 2010-02-12 | 2013-05-30 | ライカ マイクロシステムス ツェーエムエス ゲーエムベーハー | １つ又は複数の試料を光学的に走査する走査顕微鏡及び方法 |
| JP2013525823A (ja) * | 2010-02-12 | 2013-06-20 | ライカ マイクロシステムス ツェーエムエス ゲーエムベーハー | 対象物を走査する装置、その装置の作動方法および走査顕微鏡 |
| JP2017187800A (ja) * | 2017-07-05 | 2017-10-12 | ソニー株式会社 | 制御装置および制御方法 |
| US10310244B2 (en) | 2013-12-25 | 2019-06-04 | Sony Corporation | Microscope system and image data transfer method therefor |
-
1994
- 1994-05-31 JP JP11934194A patent/JPH07325262A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009009135A (ja) * | 2007-06-28 | 2009-01-15 | Leica Microsystems (Schweiz) Ag | センタリングされた照明を持つ顕微鏡 |
| JP2013519908A (ja) * | 2010-02-12 | 2013-05-30 | ライカ マイクロシステムス ツェーエムエス ゲーエムベーハー | １つ又は複数の試料を光学的に走査する走査顕微鏡及び方法 |
| JP2013525823A (ja) * | 2010-02-12 | 2013-06-20 | ライカ マイクロシステムス ツェーエムエス ゲーエムベーハー | 対象物を走査する装置、その装置の作動方法および走査顕微鏡 |
| US9036232B2 (en) | 2010-02-12 | 2015-05-19 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Device for scanning an object, method for operating the device and scanning microscope |
| US9042010B2 (en) | 2010-02-12 | 2015-05-26 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Scanning microscope and method for optically scanning one or more samples |
| US10310244B2 (en) | 2013-12-25 | 2019-06-04 | Sony Corporation | Microscope system and image data transfer method therefor |
| US10802257B2 (en) | 2013-12-25 | 2020-10-13 | Sony Corporation | Microscope system and image data transfer method therefor |
| JP2017187800A (ja) * | 2017-07-05 | 2017-10-12 | ソニー株式会社 | 制御装置および制御方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
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