JPH07325199A - 電子線照射装置 - Google Patents
電子線照射装置Info
- Publication number
- JPH07325199A JPH07325199A JP6140692A JP14069294A JPH07325199A JP H07325199 A JPH07325199 A JP H07325199A JP 6140692 A JP6140692 A JP 6140692A JP 14069294 A JP14069294 A JP 14069294A JP H07325199 A JPH07325199 A JP H07325199A
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- JP
- Japan
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- irradiated
- irradiation
- window
- electron beam
- window foil
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 被照射物の電荷蓄積による照射窓箔の放電損
傷を防止すること。 【構成】 真空チャンバ３内のフィラメント４は熱電子
を放出し、電子線は照射窓６の窓箔７を透過して照射室
１の照射領域に取り出され、搬送コンベア８によって搬
送される被照射物９に照射される。照射窓の照射領域側
近傍に複数本の水冷グリッド１０が設けられ、グリッド
には照射領域側に向けて針状突起１１が分布して設けら
れている。被照射物の絶縁性が高く、あるいは電子線処
理層が厚く、被照射物に電荷蓄積が生ずると、被照射物
と接地電位にある針状突起との間で放電が起こり、窓箔
への放電を防ぐ。グリッドには支持パイプ部材１２を介
して冷却水が供給されており、グリッドは被照射物の搬
送方向に対し斜めに位置し、照射ムラは生じない。
傷を防止すること。 【構成】 真空チャンバ３内のフィラメント４は熱電子
を放出し、電子線は照射窓６の窓箔７を透過して照射室
１の照射領域に取り出され、搬送コンベア８によって搬
送される被照射物９に照射される。照射窓の照射領域側
近傍に複数本の水冷グリッド１０が設けられ、グリッド
には照射領域側に向けて針状突起１１が分布して設けら
れている。被照射物の絶縁性が高く、あるいは電子線処
理層が厚く、被照射物に電荷蓄積が生ずると、被照射物
と接地電位にある針状突起との間で放電が起こり、窓箔
への放電を防ぐ。グリッドには支持パイプ部材１２を介
して冷却水が供給されており、グリッドは被照射物の搬
送方向に対し斜めに位置し、照射ムラは生じない。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、被照射物の電荷蓄積に
よる照射窓箔の放電損傷を防止する電子線照射装置に関
する。
よる照射窓箔の放電損傷を防止する電子線照射装置に関
する。
【０００２】
【従来の技術】図６はエリアビーム型電子線照射装置の
一例を示す構成図であり、照射室１の上方に電子線発生
装置２が設けられている。同発生装置は真空チャンバ３
の内部に熱電子放出用フィラメント４を有し、同フィラ
メントの周りはフィラメントと共に負の高電位にバイア
スされているシールド電極５で囲われている。フィラメ
ント４で発生した熱電子は接地電位にある真空チャンバ
３及び同チャンバの下端部を真空シールしている照射窓
６に向けて加速され、照射窓の窓箔７を透過し、照射領
域に取り出される。照射領域にはメッシュ（ネット）コ
ンベア、スラットコンベア等の搬送コンベア８によって
シート状或いは板状の被照射物９が搬送され、窓箔７を
透過した電子線ｅ-が照射される。
一例を示す構成図であり、照射室１の上方に電子線発生
装置２が設けられている。同発生装置は真空チャンバ３
の内部に熱電子放出用フィラメント４を有し、同フィラ
メントの周りはフィラメントと共に負の高電位にバイア
スされているシールド電極５で囲われている。フィラメ
ント４で発生した熱電子は接地電位にある真空チャンバ
３及び同チャンバの下端部を真空シールしている照射窓
６に向けて加速され、照射窓の窓箔７を透過し、照射領
域に取り出される。照射領域にはメッシュ（ネット）コ
ンベア、スラットコンベア等の搬送コンベア８によって
シート状或いは板状の被照射物９が搬送され、窓箔７を
透過した電子線ｅ-が照射される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】被照射物９が絶縁性が
高い高分子材料であったり、被照射物の電子線処理層が
厚い場合、電子線照射による電荷が接地電位にある被照
射物搬送コンベア系に逃げず、被照射物に電荷蓄積が生
ずる。かかる電荷蓄積により、被照射物９が部分的に高
電位になると、照射窓箔７との間の空気層、エアパスを
介して接地電位にある窓箔に被照射物の蓄積電荷が放電
し、放電エネルギーにより窓箔にピンホールが発生し、
真空が破れ、電子線照射装置が運転が阻害される。特
に、加速電圧が３００ｋＶ以下の低エネルギー電子線照
射装置の場合にはエアパスが３５ｍｍ以下と短いため、
かかる事態が発生しやすい。
高い高分子材料であったり、被照射物の電子線処理層が
厚い場合、電子線照射による電荷が接地電位にある被照
射物搬送コンベア系に逃げず、被照射物に電荷蓄積が生
ずる。かかる電荷蓄積により、被照射物９が部分的に高
電位になると、照射窓箔７との間の空気層、エアパスを
介して接地電位にある窓箔に被照射物の蓄積電荷が放電
し、放電エネルギーにより窓箔にピンホールが発生し、
真空が破れ、電子線照射装置が運転が阻害される。特
に、加速電圧が３００ｋＶ以下の低エネルギー電子線照
射装置の場合にはエアパスが３５ｍｍ以下と短いため、
かかる事態が発生しやすい。
【０００４】本発明は、被照射物に電荷が蓄積し、局部
的に高電位になるようなことがあっても、照射窓箔との
間で放電が生じないようにした電子線照射装置の提供を
目的とするものである。
的に高電位になるようなことがあっても、照射窓箔との
間で放電が生じないようにした電子線照射装置の提供を
目的とするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、電子線照射装
置において、照射窓の照射領域側近傍に配置された接地
電位の水冷グリッドを有し、前記グリッドは、被照射物
の搬送方向に対して斜めに位置し、針状突起を備えてい
ることを特徴とするものである。
置において、照射窓の照射領域側近傍に配置された接地
電位の水冷グリッドを有し、前記グリッドは、被照射物
の搬送方向に対して斜めに位置し、針状突起を備えてい
ることを特徴とするものである。
【０００６】
【作用】被照射物に電荷が蓄積し、局部的に高電位にな
っても、接地電位にある水冷グリッドの針状突起との間
で放電が生じ、窓箔との間での放電を防ぐ。水冷グリッ
ドは被照射物の搬送方向に対し斜めに位置しているか
ら、被照射物に照射ムラは生じない。
っても、接地電位にある水冷グリッドの針状突起との間
で放電が生じ、窓箔との間での放電を防ぐ。水冷グリッ
ドは被照射物の搬送方向に対し斜めに位置しているか
ら、被照射物に照射ムラは生じない。
【０００７】
【実施例】本発明の実施例について図面を参照して説明
する。以下の説明において図６と同一符号は同等部分を
示す。図１は実施例の概略構成図、図２は実施例の要部
部分の上面図、図３は同じく要部部分の斜視図である。
真空チャンバ３の照射領域側下端部に同チャンバ内を真
空シールし電子線が透過する窓箔７を有する照射窓６が
設けられており、この照射窓の照射領域側近傍に水冷グ
リッド１０を複数本設け、同グリッドには、その下方に
搬送される被照射物９に向けて針状突起１１が設けられ
ている。
する。以下の説明において図６と同一符号は同等部分を
示す。図１は実施例の概略構成図、図２は実施例の要部
部分の上面図、図３は同じく要部部分の斜視図である。
真空チャンバ３の照射領域側下端部に同チャンバ内を真
空シールし電子線が透過する窓箔７を有する照射窓６が
設けられており、この照射窓の照射領域側近傍に水冷グ
リッド１０を複数本設け、同グリッドには、その下方に
搬送される被照射物９に向けて針状突起１１が設けられ
ている。
【０００８】水冷グリッド１０は、電子線が当りそのエ
ネルギーを吸収し発熱するから内部を冷却水が通流する
パイプで形成されており、被照射物９の電子線照射ムラ
を防止するために被照射物の搬送方向に対し斜めに位置
させて設ける。水冷グリッド１０の配置ピッチは図２の
点線で示す照射面積の４割以下の占有面積となるように
し、水冷グリッドによる線量損失を防ぐ。低エネルギー
電子線照射装置の場合、窓箔７を透過後の気中での電子
線の散乱が大きいため、各水冷グリッド体１０間の開口
率が６割以上であれば被照射物９における照射ムラは生
じない。
ネルギーを吸収し発熱するから内部を冷却水が通流する
パイプで形成されており、被照射物９の電子線照射ムラ
を防止するために被照射物の搬送方向に対し斜めに位置
させて設ける。水冷グリッド１０の配置ピッチは図２の
点線で示す照射面積の４割以下の占有面積となるように
し、水冷グリッドによる線量損失を防ぐ。低エネルギー
電子線照射装置の場合、窓箔７を透過後の気中での電子
線の散乱が大きいため、各水冷グリッド体１０間の開口
率が６割以上であれば被照射物９における照射ムラは生
じない。
【０００９】水冷グリッド１０の両端は支持パイプ部材
１２に結合されており、水冷グリッドへの冷却水は支持
パイプ部材により供給、排出される。照射窓６の窓箔７
は窓枠１３に箔押え板１４を用いて取り付けられている
が、水冷グリッド１０を支持するパイプ部材１２は照射
窓の窓枠１３の四隅に固定され、グリッドは照射窓及び
窓箔と同じ接地電位にされる。図４（ａ）はその固定態
様の一例を示すものであり、支持パイプ部材１２に腕部
材１５が溶接により固着されており、同腕部材と窓枠１
３との間にスペーサ部材１６を介在させ、ボルト１７を
用いて支持パイプ部材を窓枠に取り付ける。また、水冷
グリッド１０の端部は図４（ｂ）に示すように支持パイ
プ部材１２に溶接により取り付けられている。
１２に結合されており、水冷グリッドへの冷却水は支持
パイプ部材により供給、排出される。照射窓６の窓箔７
は窓枠１３に箔押え板１４を用いて取り付けられている
が、水冷グリッド１０を支持するパイプ部材１２は照射
窓の窓枠１３の四隅に固定され、グリッドは照射窓及び
窓箔と同じ接地電位にされる。図４（ａ）はその固定態
様の一例を示すものであり、支持パイプ部材１２に腕部
材１５が溶接により固着されており、同腕部材と窓枠１
３との間にスペーサ部材１６を介在させ、ボルト１７を
用いて支持パイプ部材を窓枠に取り付ける。また、水冷
グリッド１０の端部は図４（ｂ）に示すように支持パイ
プ部材１２に溶接により取り付けられている。
【００１０】水冷グリッド１０には針状突起１１を図
１、図３に簡略図示するようにグリッドの長手方向に適
当に分布して設けられており、これら針状突起は、図５
に示すように、全体として被照射物９側に向けて設けら
れている。照射窓の窓箔７を透過した電子線は被照射物
９に照射される。被照射物が絶縁特性の良い高分子材
料、或いは照射処理層が厚いものであると、照射電子は
被照射物から接地電位にある搬送系へと移動せず、被照
射物に電子したがって電荷の蓄積が生ずる。窓箔７と電
子が蓄積されている被照射物との間に電界が形成される
が、箔面との電界を超える高電界Ｅが被照射物と接地電
位にある水冷グリッド１０の針状突起１１との間に形成
され、放電により針状突起に電子が捕捉される。したが
って、窓箔７への放電が防止され、窓箔を保護すること
ができる。針状突起１１の設置数を多くすることによ
り、放電確率を高くすることができる。
１、図３に簡略図示するようにグリッドの長手方向に適
当に分布して設けられており、これら針状突起は、図５
に示すように、全体として被照射物９側に向けて設けら
れている。照射窓の窓箔７を透過した電子線は被照射物
９に照射される。被照射物が絶縁特性の良い高分子材
料、或いは照射処理層が厚いものであると、照射電子は
被照射物から接地電位にある搬送系へと移動せず、被照
射物に電子したがって電荷の蓄積が生ずる。窓箔７と電
子が蓄積されている被照射物との間に電界が形成される
が、箔面との電界を超える高電界Ｅが被照射物と接地電
位にある水冷グリッド１０の針状突起１１との間に形成
され、放電により針状突起に電子が捕捉される。したが
って、窓箔７への放電が防止され、窓箔を保護すること
ができる。針状突起１１の設置数を多くすることによ
り、放電確率を高くすることができる。
【００１１】上述の実施例ではエリアビーム形電子線照
射装置について説明したが、本発明は、走査型電子線照
射装置に対しても実施することができる。
射装置について説明したが、本発明は、走査型電子線照
射装置に対しても実施することができる。
【００１２】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成した
ので、被照射物に電荷が蓄積し、局部的に高電位になっ
ても、接地電位にある水冷グリッドの針状突起との間で
放電が生じ、窓箔との間での放電を防ぐ。水冷グリッド
は被照射物の搬送方向に対し斜めに位置しているから、
被照射物に照射ムラは生じない。
ので、被照射物に電荷が蓄積し、局部的に高電位になっ
ても、接地電位にある水冷グリッドの針状突起との間で
放電が生じ、窓箔との間での放電を防ぐ。水冷グリッド
は被照射物の搬送方向に対し斜めに位置しているから、
被照射物に照射ムラは生じない。
【図１】エリアビーム型電子線照射装置についての実施
例の概略構成図である。
例の概略構成図である。
【図２】実施例の要部部分の上面図である。
【図３】実施例の要部部分の斜視図である。
【図４】実施例の要部部分の取付け、固定態様の一例を
示す構成図である。
示す構成図である。
【図５】実施例の水冷グリッドにおける針状突起の設置
態様及び被照射物蓄積電荷の放電についての説明図であ
る。
態様及び被照射物蓄積電荷の放電についての説明図であ
る。
【図６】従来のエリアビーム型電子線照射装置の概略構
成図である。
成図である。
１ 照射室 ２ 電子線発生装置 ３ 真空チャンバ ４ フィラメント ６ 照射窓 ７ 窓箔 ８ 搬送コンベア ９ 被照射物 １０ 水冷グリッド １１ 針状突起 １２ 支持パイプ部材
Claims (1)
- 【請求項１】 照射窓の照射領域側近傍に配置された接
地電位の水冷グリッドを有し、前記グリッドは、被照射
物の搬送方向に対して斜めに位置し、針状突起を備えて
いることを特徴とする電子線照射装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6140692A JPH07325199A (ja) | 1994-06-01 | 1994-06-01 | 電子線照射装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6140692A JPH07325199A (ja) | 1994-06-01 | 1994-06-01 | 電子線照射装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07325199A true JPH07325199A (ja) | 1995-12-12 |
Family
ID=15274539
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6140692A Pending JPH07325199A (ja) | 1994-06-01 | 1994-06-01 | 電子線照射装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07325199A (ja) |
-
1994
- 1994-06-01 JP JP6140692A patent/JPH07325199A/ja active Pending
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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