JPH07322606A - 昇圧回路及びこれを用いた固体撮像装置 - Google Patents

昇圧回路及びこれを用いた固体撮像装置

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JPH07322606A
JPH07322606A JP6138150A JP13815094A JPH07322606A JP H07322606 A JPH07322606 A JP H07322606A JP 6138150 A JP6138150 A JP 6138150A JP 13815094 A JP13815094 A JP 13815094A JP H07322606 A JPH07322606 A JP H07322606A
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JP6138150A
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Yasuto Maki
康人 真城
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    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L27/00Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
    • H01L27/14Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02MAPPARATUS FOR CONVERSION BETWEEN AC AND AC, BETWEEN AC AND DC, OR BETWEEN DC AND DC, AND FOR USE WITH MAINS OR SIMILAR POWER SUPPLY SYSTEMS; CONVERSION OF DC OR AC INPUT POWER INTO SURGE OUTPUT POWER; CONTROL OR REGULATION THEREOF
    • H02M3/00Conversion of dc power input into dc power output
    • H02M3/02Conversion of dc power input into dc power output without intermediate conversion into ac
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    • H02M3/06Conversion of dc power input into dc power output without intermediate conversion into ac by static converters using resistors or capacitors, e.g. potential divider
    • H02M3/07Conversion of dc power input into dc power output without intermediate conversion into ac by static converters using resistors or capacitors, e.g. potential divider using capacitors charged and discharged alternately by semiconductor devices with control electrode, e.g. charge pumps
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 回路素子のサイズを変更したりすることな
く、昇圧電圧の立ち上がり特性を改善した昇圧回路を提
供する。 【構成】 電源1の正極側と回路出力端子2との間に、
ダイオード接続の3段の昇圧用MOSトランジスタM1
〜M3を直列に接続するとともに、1段目のMOSトラ
ンジスタM1の出力端N1にコンデンサC1を介してク
ロックパルスφ1を、2段目のMOSトランジスタM2
の出力端N2にコンデンサC2を介してクロックパルス
φ2をそれぞれ印加する構成のパルス昇圧型の昇圧回路
において、電源1の正極側と回路出力端子2との間に、
ダイオード接続の充電用MOSトランジスタM4を、電
源1側から回路出力端子2側に向けて順方向に接続した
構成とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、昇圧回路及びこれを用
いた固体撮像装置に関し、特にパルス昇圧型の昇圧回路
及びこれを用いた固体撮像装置に関する。
【0002】
【従来の技術】パルス昇圧型の昇圧回路の従来例を図1
0に示す。同図において、電源101の正極側と回路出
力端子102との間には、ゲート及びドレインが共通接
続されたいわゆるダイオード接続のNチャネル形MOS
FET(以下、単にMOSトランジスタと称する)M1
0nが例えば3段直列に接続されている。
【0003】そして、1段目のMOSトランジスタM1
01の出力端N101には、クロックパルスφ11がコ
ンデンサC11を介して印加される。一方、2段目のM
OSトランジスタM102の出力端N102には、クロ
ックパルスφ11と逆相のクロックパルスφ12が印加
される。また、3段目のMOSトランジスタM103の
出力端N103(回路出力端子12)と接地間には、負
荷コンデンサCLが接続されている。
【0004】上記構成の昇圧回路は、例えば、リニアセ
ンサ(ラインセンサ)やエリアセンサと称される固体撮
像装置において、電源電圧を昇圧してその昇圧電圧Vo
utを基板電圧VsubとするVsub発生昇圧回路と
して用いられる。固体撮像装置においては、現行5Vの
電源電圧が3V、あるいはそれ以下に低電圧化される傾
向にある。しかしながら、電源電圧が低電圧化されて
も、固体撮像装置の性能を引き出すためには、基板電圧
Vsubとして5V程度の電圧が必要である。このた
め、電源電圧の低電圧化が進むにつれ、電源電圧を昇圧
して基板電圧Vsubを発生するVsub発生昇圧回路
が必要となる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】このように、固体撮像
装置のVsub発生昇圧回路として用いた場合には、固
体撮像装置の基板(チップ)全体が負荷容量となり、大
容量駆動でかつ電流容量も必要とするため、図11に示
すように、昇圧電圧Voutの立ち上がり特性が悪くな
る。このように立ち上がり時間が遅くなるのは、Vsu
b発生昇圧回路として用いた場合に限られるものではな
く、大容量駆動でかつ電流容量も必要とする用途全般に
言える問題である。
【0006】上記構成の昇圧回路において、昇圧電圧V
outの立ち上がり時間を短くするためには、各MOS
トランジスタM101〜M103のドレイン‐ソース間
電流Idsを大きくとれば良い。そのためには、各MO
SトランジスタM101〜M103の閾値電圧Vthを
下げたり、チャネル幅Wを大きくしたり、あるいはチャ
ネル長Lを短くしたりする必要がある。
【0007】現実的には、チャネル幅Wを大きくする方
法が一般的であるが、この方法の場合には、各トランジ
スタM101〜M103のゲート‐ソース(ゲート‐ド
レイン)間の容量が増えるため、昇圧電圧Voutの電
位を下げないようにコンデンサC11,C12等の容量
値を大きくしなければならない。
【0008】そうすると、この昇圧回路を例えば固体撮
像装置のVsub発生昇圧回路として用いた場合におい
て、当該昇圧回路を固体撮像装置の基板上に作製(オン
チップ)するには、大きなスペースが必要になり、固体
撮像装置の小型化の妨げになるという問題が新たに発生
することになる。
【0009】本発明は、上記課題に鑑みてなされたもの
であり、その目的とするところは、回路素子のサイズを
変更したりすることなく、昇圧電圧の立ち上がり特性を
改善した昇圧回路及びこれを用いた固体撮像装置を提供
することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】本発明による昇圧回路
は、電源と回路出力端子との間に、一方向性素子が電源
側から回路出力端子側に向けて順方向に複数段直列に接
続され、かつ各段間にクロックパルスがコンデンサを介
して印加され昇圧回路であって、電源と回路出力端子と
の間に、電源側から回路出力端子側に向けて順方向に接
続された一方向性素子を有する構成となっている。
【0011】
【作用】上記構成の昇圧回路において、電源が立ち上が
ると、先ず、電源側から回路出力端子側に向けて順方向
に接続された充電用の一方向性素子が順バイアス状態と
なり、導通状態となるため、この一方向性素子を通して
負荷が充電される。また、電源が立ち上がることによ
り、複数段の昇圧用の一方向性素子も順バイアス状態と
なり、導通状態となるため、この複数段の一方向性素子
による昇圧動作に伴う充電も並行して行われる。これに
より、負荷の充電電圧が素早く電源電圧まで立ち上が
る。
【0012】負荷の充電電圧が電源電圧を越えると、そ
れまで充電を行っていた充電用の一方向性素子が逆バイ
アス状態となるため非導通状態となる。したがって、そ
れ以降はこの一方向性素子による充電は行われず、複数
段の昇圧用の一方向性素子により、互いに逆相のクロッ
クパルスに同期して昇圧動作が行われる。
【0013】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細
に説明する。図1は、本発明による昇圧回路の第1実施
例を示す回路図である。図1において、電源1の正極側
と回路出力端子2との間には、ゲート及びドレインが共
通接続された昇圧用MOSトランジスタMnが一方向性
素子として、電源1側から回路出力端子2側に向けて順
方向に例えば3段直列に接続されている。
【0014】そして、1段目のMOSトランジスタM1
の出力端N1には、クロックパルスφ1がコンデンサC
1を介して印加される。一方、2段目のMOSトランジ
スタM2の出力端N2には、クロックパルスφ1と逆相
のクロックパルスφ2がコンデンサC2を介して印加さ
れる。
【0015】また、3段目のMOSトランジスタM3の
出力端N3(回路出力端子2)と接地間には、負荷コン
デンサCLが接続されている。電源1の正極側と回路出
力端子2との間には更に、ゲート及びドレインが共通接
続された充電用MOSトランジスタM4が一方向性素子
として、電源1側から回路出力端子2側に向けて順方向
に接続されている。すなわち、充電用MOSトランジス
タM4のゲート及びドレインが電源1の正極側に配線さ
れ、ソースが回路出力端子2に配線されている。
【0016】この充電用MOSトランジスタM4は、後
述するように、電源立上げ時に負荷コンデンサCLを迅
速に充電するために設けられたものであり、ドレイン‐
ソース間電流Idsが大きく設定される。具体的には、
MOSトランジスタM4の閾値電圧Vthを下げたり、
チャネル幅Wを大きくしたり、あるいはチャネル長Lを
短くしたりすることで、MOSトランジスタM4のドレ
イン‐ソース間電流Idsを大きく設定できる。
【0017】次に、上記構成の第1実施例に係る昇圧回
路における昇圧動作について説明する。先ず、電源1が
立ち上がると(電源オン)、充電用MOSトランジスタ
M4が順バイアス状態となるために導通する。したがっ
て、この充電用MOSトランジスタM4を通して負荷コ
ンデンサCLの充電が開始される。また、電源1が立ち
上がることにより、昇圧用MOSトランジスタM1〜M
3も順バイアス状態となり、導通(オン)状態となるた
め、これらの昇圧用MOSトランジスタM1〜M3によ
る昇圧動作に伴う充電も並行して行われる。
【0018】これにより、電源立上げ時に、先ず充電用
MOSトランジスタM4を通して負荷コンデンサCLの
充電が急速に行われることになるため、図2に実線で示
すように、昇圧電圧Voutを素早く立ち上げることが
できる。なお、図2において、破線は従来例での立ち上
げ時の応答波形を示している。負荷コンデンサCLに対
する充電が進み、その充電電圧が電源電圧Vddを越え
ると、充電用MOSトランジスタM4が逆バイアス状態
となるために、非導通(オフ)状態となる。
【0019】それ以降は、定常状態として昇圧用MOS
トランジスタM1〜M3による昇圧動作が行われる。こ
の定常状態での昇圧動作を、図3のタイミングチャート
を参照しつつ説明する。先ず、クロックパルスφ1が
“L”レベルのときは、MOSトランジスタM1のゲー
ト及びドレインが電源1の正極側に接続されていること
から、その出力端N1の電圧V1は電源電圧Vddより
もVx1 だけ低くなっている。ここで、Vx1 はMOS
トランジスタM1の閾値電圧Vth1 による電圧降下分
である。
【0020】この状態において、コンデンサC1を介し
てクロックパルスφ1が入力されると、そのクロックパ
ルスφ1の波高値分だけMOSトランジスタM1の出力
端N1の電圧V1が昇圧される。一方、クロックパルス
φ2はクロックパルスφ1と逆相であることから、クロ
ックパルスφ2が“L”レベルのときには、MOSトラ
ンジスタM2の出力端N2の電圧V2は、出力端N1の
電圧V1よりもVx2 だけ低くなっている。ここで、V
2 はMOSトランジスタM2の閾値電圧Vth2 によ
る電圧降下分である。
【0021】この状態において、コンデンサC2を介し
てクロックパルスφ2が入力されると、そのクロックパ
ルスφ2 の波高値分だけMOSトランジスタM2の出力
端N2の電圧V2が昇圧される。この出力端N2の電圧
V2は、MOSトランジスタM3及び負荷コンデンサC
Lによって平滑化され、回路出力端子2から昇圧電圧V
outとして導出される。なお、昇圧電圧Voutは、
出力端N2の電圧V2よりもVx3 だけ低くなってい
る。ここで、Vx3 はMOSトランジスタM3の閾値電
圧Vth3 による電圧降下分である。
【0022】上述したように、パルス昇圧型の昇圧回路
において、電源1の正極側にゲート及びドレインが接続
されかつソースが回路出力端子2に接続された充電用M
OSトランジスタM4を設けたことにより、電源立上げ
時に、この充電用MOSトランジスタM4を通して負荷
コンデンサCLが急速に充電されることになるため、昇
圧電圧Voutを高速に立ち上げることができる。
【0023】また、充電用MOSトランジスタM4のド
レイン‐ソース間電流Idsを大きく設定しておくこと
により、その他の昇圧用MOSトランジスタM1〜M3
のサイズやコンデンサC1,C2の容量値を大きくしな
くても、電源立上げ時に昇圧電圧Voutが高速に立ち
上がる昇圧回路を実現できるので、MOSトランジスタ
の小サイズ化やコンデンサの小容量化に伴い、回路を構
成するスペースが小さくて済むことになる。
【0024】なお、上記実施例では、一方向性素子とし
てダイオード接続のMOSトランジスタM4を用いた場
合について説明したが、図4に示すように、電源1の正
極側にアノードが接続されかつ回路出力端子2にカソー
ドが接続されたダイオードD1を用いても良いことは勿
論である。
【0025】但し、昇圧用一方向性素子としてMOSト
ランジスタを用いた昇圧回路では、第1実施例の場合の
ように、ダイオード接続のMOSトランジスタM4を用
いた方が、回路を作製する上で有利である。しかしなが
ら、MOSトランジスタの方がダイオードよりもバラツ
キが生じ易いため、図4の変形例の場合のように、昇圧
用一方向性素子としてダイオードD1を用いた方が、特
性のバラツキが少ないという利点がある。
【0026】図5は、上記構成の昇圧回路をVsub発
生昇圧回路として用いた固体撮像装置の一例を示す構成
図である。本例では、固体撮像装置として、CCDリニ
アセンサに適用した場合を示すが、CCDリニアセンサ
への適用に限定されるものではなく、CCDに限らずエ
リアセンサを含め固体撮像装置全般に適用し得るもので
ある。
【0027】図5に示すように、CCDリニアセンサ
は、入射光をその光量に応じた電荷量の信号電荷に変換
して蓄積するフォトダイオード等からなる受光部11が
一列に複数個配列されてなるセンサ列12と、このセン
サ列12の各受光部11から読出しゲート13を介して
読み出された信号電荷を転送するCCDからなる電荷転
送レジスタ14とを有する構成となっている。
【0028】読出しゲート13は、読出しパルスφRO
Gが印加されることにより、センサ列12の各受光部1
1に蓄えられた信号電荷を電荷転送レジスタ14に一斉
に読み出す。電荷転送レジスタ14は、2相の転送クロ
ックφH1,φH2によって2相駆動されることにより
信号電荷を転送する。電荷転送レジスタ14の最終段に
は、転送されてきた信号電荷を検出して電圧に変換する
例えばフローティング・ディフュージョン構成の電荷電
圧変換部(電荷検出部)15が形成されている。この電
荷電圧変換部15の出力電圧は、バッファ16を介して
出力端子17からCCD出力として導出される。
【0029】上記構成のCCDリニアセンサにおいて、
本発明に係る昇圧回路が、電源電圧Vddを昇圧して基
板電圧Vsubを発生するVsub発生昇圧回路18と
して用いられる。このVsub発生昇圧回路18は、セ
ンサ列2や電荷転送レジスタ14等と同じ基板19上に
作製(オンチップ)され、クロックパルスφ1,φ2と
して2相の転送クロックφH1,φH2が用いられる。
なお、Vsub発生昇圧回路18としてのみならず、バ
ッファ16等の他の回路に対して動作電源電圧を供給す
る昇圧回路として用いることも可能である。
【0030】図6は、Vsub発生昇圧回路18をオン
チップしたCCDリニアセンサの要部の断面構造図であ
る。図6において、N型シリコン基板19上のPウェル
20内には、N+ 型電荷蓄積層21及びその上のP+
正孔蓄積層22からなる受光部11が形成されている。
この受光部11に隣接して、N型不純物領域23及びそ
の上方に配されたゲート電極24からなる読出しゲート
13が形成され、更にN+ 型不純物領域25及びその上
方に配された転送電極26からなる電荷転送レジスタ1
4が形成されている。
【0031】また、Pウェル20と分離して形成された
別のPウェル27内には、N型不純物領域28をソース
領域とし、N型不純物領域29をドレイン領域とし、両
領域28,29間の上方にゲート電極30が配されるこ
とによって最終段のMOSトランジスタ(図1における
MOSトランジスタM3)が形成されている。この最終
段のMOSトランジスタM3のソース領域28から昇圧
電圧が導出される。そして、この昇圧電圧が基板電圧V
subとして、N型シリコン基板19の表面側に形成さ
れたN+ 型不純物領域31に印加される。
【0032】上述したように、本発明に係る昇圧回路を
Vsub発生昇圧回路18として用いたことにより、本
発明に係る昇圧回路は小さなMOSトランジスタサイズ
で大容量を充電できるため、オンチップできるととも
に、チップサイズを小さく構成できる。したがって、C
CDリニアセンサの小型化に寄与できるとともに、低電
源電圧化にも対応できることになる。
【0033】図7は、本発明による昇圧回路の第2実施
例を示す回路図であり、図中、図1と同等部分には同一
符号を付して示してある。この第2実施例では、より高
電圧の昇圧電圧Voutを発生すべく、昇圧用MOSト
ランジスタの段数を増やし、MOSトランジスタMnを
例えば5段直列に接続した構成となっている。すなわ
ち、図7において、電源1の正極側と回路出力端子2と
の間に、ゲート及びドレインが共通接続された昇圧用M
OSトランジスタM11〜M15が一方向性素子とし
て、電源1側から回路出力端子2側に向けて順方向に直
列に接続されている。
【0034】1段目と3段目(最終段を除く奇数段目)
のMOSトランジスタM11,M13の各出力端N1
1,N13には、クロックパルスφ1がコンデンサC
1,C3を介して印加される。一方、2段目と4段目
(偶数段目)のMOSトランジスタM12,M4の各出
力端N12,N14には、クロックパルスφ1と逆相の
クロックパルスφ2がコンデンサC2を介して印加され
る。
【0035】そして、5段目のMOSトランジスタM1
5の出力端N15(回路出力端子2)と接地間には、負
荷コンデンサCLが接続されている。また、電源1の正
極側と回路出力端子2との間には更に、ゲート及びドレ
インが共通接続された充電用MOSトランジスタM16
が一方向性素子として、電源1側から回路出力端子2側
に向けて順方向に接続されている。すなわち、充電用M
OSトランジスタM16のゲート及びドレインが電源1
の正極側に配線され、ソースが回路出力端子2に配線さ
れている。
【0036】次に、上記構成の第2実施例に係る昇圧回
路における昇圧動作について説明する。先ず、電源1が
立ち上がると(電源オン)、充電用MOSトランジスタ
M16が順バイアス状態となるために導通する。したが
って、この充電用MOSトランジスタM16を通して負
荷コンデンサCLの充電が開始される。また、電源1が
立ち上がることにより、昇圧用MOSトランジスタM1
1〜M15も順バイアス状態となり、導通(オン)状態
となるため、これらの昇圧用MOSトランジスタM11
〜M15による昇圧動作に伴う充電も並行して行われ
る。
【0037】これにより、電源立上げ時に、先ず充電用
MOSトランジスタM6を通して負荷コンデンサCLの
充電が急速に行われることになるため、図8に実線で示
すように、昇圧電圧Voutを素早く立ち上げることが
できる。ここで、第1実施例に係る電源立上げ時の応答
波形を示す図2と、第2実施例に係る電源立上げ時の応
答波形を示す図8とを対比すると、昇圧用MOSトラン
ジスタM1〜M5の段数が多い分だけ、昇圧電圧Vou
tの立ち上がりが早いことがわかる。
【0038】負荷コンデンサCLに対する充電が進み、
その充電電圧が電源電圧Vddを越えると、充電用MO
SトランジスタM16が逆バイアス状態となるため、非
導通(オフ)状態となる。それ以降は、定常状態として
昇圧用MOSトランジスタM11〜M15による昇圧動
作が行われる。この定常状態での昇圧動作を、図9のタ
イミングチャートを参照しつつ説明する。
【0039】先ず、1段目のMOSトランジスタM11
の出力端N11の電圧V11は、電源電圧Vddよりも
Vx11だけ低くなっている。ここで、Vx11はMOSト
ランジスタM11の閾値電圧Vth11による電圧降下分
である。この状態において、コンデンサC1を介してク
ロックパルスφ1が入力されると、そのクロックパルス
φ1の波高値分だけMOSトランジスタM11の出力端
N11の電圧V11が昇圧される。
【0040】次に、2段目のMOSトランジスタM12
の出力端N12の電圧V12は、出力端N11の電圧V
11よりもVx12だけ低くなっている。ここで、Vx12
はMOSトランジスタM12の閾値電圧Vth12による
電圧降下分である。この状態において、コンデンサC2
を介してクロックパルスφ2が入力されると、そのクロ
ックパルスφ2の波高値分だけMOSトランジスタM1
2の出力端N12の電圧V12が昇圧される。
【0041】次に、3段目のMOSトランジスタM13
の出力端N13の電圧V13は、出力端N12の電圧V
12よりもVx13だけ低くなっている。ここで、Vx13
はMOSトランジスタM13の閾値電圧Vth13による
電圧降下分である。この状態において、コンデンサC3
を介してクロックパルスφ1が入力されると、そのクロ
ックパルスφ1の波高値分だけMOSトランジスタM1
3の出力端N13の電圧V13が昇圧される。
【0042】次に、4段目のMOSトランジスタM14
の出力端N14の電圧V14は、出力端N13の電圧V
13よりもVx14だけ低くなっている。ここで、Vx14
はMOSトランジスタM14の閾値電圧Vth14による
電圧降下分である。この状態において、コンデンサC4
を介してクロックパルスφ2が入力されると、そのクロ
ックパルスφ2の波高値分だけMOSトランジスタM1
4の出力端N14の電圧V14が昇圧される。
【0043】この出力端N14の電圧V14は、MOS
トランジスタM15及び負荷コンデンサCLによって平
滑化され、回路出力端子2から昇圧電圧Voutとして
導出される。なお、昇圧電圧Voutは、出力端N14
の電圧V14よりもVx15だけ低くなっている。ここ
で、Vx15はMOSトランジスタM15の閾値電圧Vt
15による電圧降下分である。
【0044】このように、昇圧用のMOSトランジスタ
の段数を増やすことで、より高電圧の昇圧電圧Vout
を導出することができる。したがって、この第2実施例
の昇圧回路によれば、図5に示した如く固体撮像装置の
Vsub発生昇圧回路として用いた場合において、固体
撮像装置の電源電圧が例えば1.5V程度まで低電圧化
されたとしても、固体撮像装置の性能を引き出すために
必要な5V程度の基板電圧Vsubを容易に得ることが
できる。
【0045】なお、図4に示す第1実施例の変形例の場
合のように、ダイオード接続のMOSトランジスタM6
に代えてダイオードD1を一方向性素子として用いても
良いことは勿論である。また、昇圧用MOSトランジス
タの段数は、第1,第2実施例に示した3段或いは5段
に限定されるものではなく、2段,4段或いは6段以上
であっも良く、昇圧用MOSトランジスタの段数が多け
れば多いほどより高電圧の昇圧電圧Voutを導出でき
ることになる。
【0046】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
パルス昇圧型の昇圧回路において、電源と回路出力端子
との間に、一方向性素子を電源側から回路出力端子側に
向けて順方向に接続するように構成したことにより、電
源立上げ時に、この一方向性素子を通して負荷が急速に
充電されることになるため、回路素子のサイズを変更し
たりすることなく、昇圧電圧の立ち上がり特性を改善で
きることになる。
【0047】また、本発明に係る昇圧回路によれば、小
サイズの回路素子で大容量を充電できるため、固体撮像
装置に適用した場合に、オンチップ化できるとともに、
チップサイズを小さくできることになる。したがって、
固体撮像装置の小型化に寄与できるとともに、低電源電
圧化にも対応できることになる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施例を示す回路図である。
【図2】第1実施例に係る電源立上げ時の応答波形を示
す波形図である。
【図3】第1実施例に係る定常状態でのタイミングチャ
ートである。
【図4】第1実施例の変形例を示す回路図である。
【図5】本発明に係るCDDリニアセンサの一例の構成
図である。
【図6】Vsub発生昇圧回路をオンチップしたCCD
リニアセンサの要部の断面構造図である。
【図7】本発明の第2実施例を示す回路図である。
【図8】第2実施例に係る電源立上げ時の応答波形を示
す波形図である。
【図9】第2実施例に係る定常状態でのタイミングチャ
ートである。
【図10】従来例を示す回路図である。
【図11】従来例に係る電源立上げ時の応答波形を示す
波形図である。
【符号の説明】
1 電源 2 回路出力端子 CL 負荷コンデンサ M1〜M3,M11〜M15 昇圧用MOSトランジス
タ M4,M16 充電用MOSトランジスタ

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 電源と回路出力端子との間に、一方向性
    素子が電源側から回路出力端子側に向けて順方向に複数
    段直列に接続され、かつ各段間にクロックパルスがコン
    デンサを介して印加される昇圧回路であって、 電源と回路出力端子との間に、電源側から回路出力端子
    側に向けて順方向に接続された一方向性素子を有するこ
    とを特徴とする昇圧回路。
  2. 【請求項2】 入射光をその光量に応じた電荷量の信号
    電荷に変換して蓄積する受光部が複数個配列されてなる
    センサ部と、前記センサ部の各受光部から読み出された
    信号電荷を転送する電荷転送レジスタと、前記電荷転送
    レジスタによって転送された信号電荷を検出しかつ電気
    信号に変換して出力する電荷検出部とを具備した固体撮
    像装置であって、 請求項1記載の昇圧回路を有することを特徴とする固体
    撮像装置。
  3. 【請求項3】 請求項2記載の固体撮像装置において、
    前記昇圧回路による昇圧電圧を基板電圧として用いたこ
    とを特徴とする固体撮像装置。
  4. 【請求項4】 請求項2記載の固体撮像装置において、
    前記昇圧回路を前記センサ部、前記電荷転送レジスタ及
    び前記電荷検出部と同一の基板上に作製したことを特徴
    とする固体撮像装置。
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